JPS59157469U - スパツタ用タ−ゲツト消耗監視装置 - Google Patents

スパツタ用タ−ゲツト消耗監視装置

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Publication number
JPS59157469U
JPS59157469U JP5164983U JP5164983U JPS59157469U JP S59157469 U JPS59157469 U JP S59157469U JP 5164983 U JP5164983 U JP 5164983U JP 5164983 U JP5164983 U JP 5164983U JP S59157469 U JPS59157469 U JP S59157469U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sputtering
high voltage
target
monitoring device
generation circuit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP5164983U
Other languages
English (en)
Inventor
合田　茂
梅崎　公一郎
滋 蒲原
Original Assignee
ロ−ム株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by ロ−ム株式会社 filed Critical ロ−ム株式会社
Priority to JP5164983U priority Critical patent/JPS59157469U/ja
Publication of JPS59157469U publication Critical patent/JPS59157469U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
図面はこの考案の実施例を示す回路図である。 １・・・スパッタ装置、３・・・ターゲット、５・・・
高電圧発生回路、１０・・・積算電力計、１１・・・比
較回路。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. スパッタ装置に配置されたターゲットのスパッタのため
    の高電圧を発生する高電圧発生回路と、前記高電圧発生
    回路の低圧側に接続されてあって、前記高電圧の供給に
    よるスパッタにともなう前記ターゲットの消耗量に対応
    する電力を積算計測する積算電力計とからなり、前記積
    算電力計による計測値と基準信号の比較から前記ターゲ
    ットの消耗を監視してなるスパッタ用ターゲット消耗監
    視装置。
JP5164983U 1983-04-06 1983-04-06 スパツタ用タ−ゲツト消耗監視装置 Pending JPS59157469U (ja)

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JP5164983U JPS59157469U (ja) 1983-04-06 1983-04-06 スパツタ用タ−ゲツト消耗監視装置

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JP5164983U JPS59157469U (ja) 1983-04-06 1983-04-06 スパツタ用タ−ゲツト消耗監視装置

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Publication Number Publication Date
JPS59157469U true JPS59157469U (ja) 1984-10-22

Family

ID=30182052

Family Applications (1)

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JP5164983U Pending JPS59157469U (ja) 1983-04-06 1983-04-06 スパツタ用タ−ゲツト消耗監視装置

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JP (1) JPS59157469U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63102333A (ja) * 1986-10-20 1988-05-07 Tokyo Electron Ltd 半導体製造装置のメンテナンス時期判定方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5426973A (en) * 1977-08-01 1979-02-28 Nec Corp Sputtering apparatus

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5426973A (en) * 1977-08-01 1979-02-28 Nec Corp Sputtering apparatus

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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