JPS59157163U - ダイアフラム - Google Patents

ダイアフラム

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Publication number
JPS59157163U
JPS59157163U JP5227083U JP5227083U JPS59157163U JP S59157163 U JPS59157163 U JP S59157163U JP 5227083 U JP5227083 U JP 5227083U JP 5227083 U JP5227083 U JP 5227083U JP S59157163 U JPS59157163 U JP S59157163U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
diaphragm
recorded
sectional
electronic filing
view
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP5227083U
Other languages
English (en)
Inventor
安斎　博
Original Assignee
エヌオーケー株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by エヌオーケー株式会社 filed Critical エヌオーケー株式会社
Priority to JP5227083U priority Critical patent/JPS59157163U/ja
Publication of JPS59157163U publication Critical patent/JPS59157163U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Diaphragms And Bellows (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のダイアフラムの断面図、第２図は本考案
のダイアフラムの断面図、第３図は本考案の他の実施例
のダイアフラムの断面図、第４図は第３図のダイアフラ
ムによるダイアフラムの応答数と吐出流量の関係を示す
線図、第５図は本考、案のダイアフラムの材料の応カー
歪の関係を示す線図である。− １・・・ダイアフラム、２・・・取付部、３・・・連結
部、４・・・ケーシング、５・・・ロッド、６・・・わ
ん曲、５０・・・基板、５１・・・シート、５２・・・
ダイアフラム、５３・・・ロッド、５４・・・センタプ
レート、５５・・・スプリング。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 板状を成すダイアフラムにおいて材質を超弾性合金材に
    したことを特徴とするダイアフラム。
JP5227083U 1983-04-08 1983-04-08 ダイアフラム Pending JPS59157163U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5227083U JPS59157163U (ja) 1983-04-08 1983-04-08 ダイアフラム

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5227083U JPS59157163U (ja) 1983-04-08 1983-04-08 ダイアフラム

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS59157163U true JPS59157163U (ja) 1984-10-22

Family

ID=30182634

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5227083U Pending JPS59157163U (ja) 1983-04-08 1983-04-08 ダイアフラム

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS59157163U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004060741A (ja) * 2002-07-26 2004-02-26 Motoyama Eng Works Ltd ダイアフラム及びダイアフラム弁並びに成膜装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS50149549A (ja) * 1974-05-24 1975-11-29
JPS57192612A (en) * 1981-05-22 1982-11-26 Suwa Seikosha Kk Screw member

Patent Citations (2)

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JPS50149549A (ja) * 1974-05-24 1975-11-29
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