JPS59156661A - 研磨装置 - Google Patents
研磨装置Info
- Publication number
- JPS59156661A JPS59156661A JP3351983A JP3351983A JPS59156661A JP S59156661 A JPS59156661 A JP S59156661A JP 3351983 A JP3351983 A JP 3351983A JP 3351983 A JP3351983 A JP 3351983A JP S59156661 A JPS59156661 A JP S59156661A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- abrasive grain
- polished
- fluidic
- work
- abrasive grains
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B31/00—Machines or devices designed for polishing or abrading surfaces on work by means of tumbling apparatus or other apparatus in which the work and/or the abrasive material is loose; Accessories therefor
- B24B31/10—Machines or devices designed for polishing or abrading surfaces on work by means of tumbling apparatus or other apparatus in which the work and/or the abrasive material is loose; Accessories therefor involving other means for tumbling of work
- B24B31/116—Machines or devices designed for polishing or abrading surfaces on work by means of tumbling apparatus or other apparatus in which the work and/or the abrasive material is loose; Accessories therefor involving other means for tumbling of work using plastically deformable grinding compound, moved relatively to the workpiece under the influence of pressure
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は砥粒を弾性体もしくは高粘体に混合した流動性
砥粒に加圧して被研磨面を摩擦流動通過させて研磨する
研磨装置に関する。
砥粒に加圧して被研磨面を摩擦流動通過させて研磨する
研磨装置に関する。
従来流動性砥粒を被加工体の狭窄した研磨面に一方から
加圧流入させ使方から流出させるようにして被研磨面を
摩擦流動通過させる研磨装置が知られている。この研磨
剤は流動性砥粒であるから任意の狭窄内面でも、また任
意の凹凸状部でも容易に研磨できる効果がある。
加圧流入させ使方から流出させるようにして被研磨面を
摩擦流動通過させる研磨装置が知られている。この研磨
剤は流動性砥粒であるから任意の狭窄内面でも、また任
意の凹凸状部でも容易に研磨できる効果がある。
しかしながら流動性砥粒の粘性が低いものであると狭窄
部を容易に流過し摩擦研磨性が低く、反対に粘性を高め
れば流動のために極めて高圧を必要とし、また入口部と
出口部分とが大きく圧力差を生じ研磨効果に差を生ずる
ため研磨の均一性が低くなるといった欠点がある。
部を容易に流過し摩擦研磨性が低く、反対に粘性を高め
れば流動のために極めて高圧を必要とし、また入口部と
出口部分とが大きく圧力差を生じ研磨効果に差を生ずる
ため研磨の均一性が低くなるといった欠点がある。
本発明はこの点を改善するために提案されたもので、被
加工体の研磨面を間に挾んで加圧体を対向し、該加圧体
間に流動性砥粒を充填し、前記加圧体間に前記流動性砥
粒を加圧挟持させる加圧制御装置を設けると共にその加
圧状態を維持しながら前記被加工体との間に相対往復運
動させる駆動制御装置を設けて成るものである。
加工体の研磨面を間に挾んで加圧体を対向し、該加圧体
間に流動性砥粒を充填し、前記加圧体間に前記流動性砥
粒を加圧挟持させる加圧制御装置を設けると共にその加
圧状態を維持しながら前記被加工体との間に相対往復運
動させる駆動制御装置を設けて成るものである。
以下一実施例の図面により本発明を説明する。
１は被加工体で、内部加工面１ａを研磨し、ようとする
もので、被研磨面１ａを挾むように被加工体上方開口に
加圧シリンダ２を、下方開口に加エシリンダ３を対向す
る。４．５は加圧体ピストン、６．７はポールスクリュ
、８，９は駆動モータ、１０はモータを制御する制御装
置、１１は上下シリンダ２．３間の被加工体１内に充填
した流動性砥粒、１２は及び１３は流動性砥粒が流出し
ないよう被加工体１の上下開口部に介在させたゴム等の
弾性膜である。
もので、被研磨面１ａを挾むように被加工体上方開口に
加圧シリンダ２を、下方開口に加エシリンダ３を対向す
る。４．５は加圧体ピストン、６．７はポールスクリュ
、８，９は駆動モータ、１０はモータを制御する制御装
置、１１は上下シリンダ２．３間の被加工体１内に充填
した流動性砥粒、１２は及び１３は流動性砥粒が流出し
ないよう被加工体１の上下開口部に介在させたゴム等の
弾性膜である。
流動性砥粒１１はゴム、合成樹脂の弾性体に砥粒を混合
したもの、ゴムは主としてニトリルゴム、クロロプレン
ゴム、クロロスルホン化ポリエチレン、その他の天然ゴ
ム、合成ゴム、樹脂はＥＶＡ、ＰＰ、ＰＰ５１ＰＡ等が
用いられる。重合弾性体を径が０．０１〜１ ｏｍｍφ
程度の細片にして砥粒を混合するか、弾性膜の表面に砥
粒粉を結合させて用いる。高粘体として未重合の粘性物
を用いることもでき、またシリコンパテ等のような粘性
物を用いることもできる。また液状物を加えて流動性を
適宜調整して利用することができる。また数種類を適宜
混合して利用することができる。砥粒はＴｉ ０％ ８
１ ＣＮ ＴＩ Ｎ１Ｚｒ ２０３ 、ＡＩ ２０３、
ＣＢＮ、ダイヤ、その他通常利用されている砥粒を単独
または任意に混合して利用することができる。
したもの、ゴムは主としてニトリルゴム、クロロプレン
ゴム、クロロスルホン化ポリエチレン、その他の天然ゴ
ム、合成ゴム、樹脂はＥＶＡ、ＰＰ、ＰＰ５１ＰＡ等が
用いられる。重合弾性体を径が０．０１〜１ ｏｍｍφ
程度の細片にして砥粒を混合するか、弾性膜の表面に砥
粒粉を結合させて用いる。高粘体として未重合の粘性物
を用いることもでき、またシリコンパテ等のような粘性
物を用いることもできる。また液状物を加えて流動性を
適宜調整して利用することができる。また数種類を適宜
混合して利用することができる。砥粒はＴｉ ０％ ８
１ ＣＮ ＴＩ Ｎ１Ｚｒ ２０３ 、ＡＩ ２０３、
ＣＢＮ、ダイヤ、その他通常利用されている砥粒を単独
または任意に混合して利用することができる。
先づ制御装置１０によりモータ８，９を駆動してピスト
ン４．５により内部充填砥粒１１を加圧する。加圧によ
って流動砥粒１１は被加工体１の研磨面凹凸部に充分に
加圧密着する状態となる。このようにしてピストン４，
５間に砥粒１１を加圧挟持した状態でモータ８，９を同
時駆動し、上下相対運動を行なわせることにＪ：り被研
磨面１ａを全体均一に能率的に研磨することができる。
ン４．５により内部充填砥粒１１を加圧する。加圧によ
って流動砥粒１１は被加工体１の研磨面凹凸部に充分に
加圧密着する状態となる。このようにしてピストン４，
５間に砥粒１１を加圧挟持した状態でモータ８，９を同
時駆動し、上下相対運動を行なわせることにＪ：り被研
磨面１ａを全体均一に能率的に研磨することができる。
研磨作業は加圧ピストン４，５を上下相対に往復運動を
行なわせ被研磨面１ａを流動砥粒を摩擦流動させること
によって行なわれ、研磨加工をすることができる。砥粒
１１の往復移動距離は被加工体の研磨面１ａの長さノ程
度に制御し高速度で往復運動させる。
行なわせ被研磨面１ａを流動砥粒を摩擦流動させること
によって行なわれ、研磨加工をすることができる。砥粒
１１の往復移動距離は被加工体の研磨面１ａの長さノ程
度に制御し高速度で往復運動させる。
加圧ピストン４，５による内部流動砥粒１１の加圧力は
通常５〜１００ｋｓ ／ ｃｍ ２程度の圧力で加圧し
た状態にして砥粒の固定を行ない、その状態を維持しな
がら約 １０〜５００ｍ ／ｍｉｎ程度の速度で移動し
ながら研削加工する。弾性体もしくは高粘体マトリック
ス内の砥粒は加圧によってマトリックスに固定され、固
定状態で被研磨面１ａに沿って膨張収縮しながら移動し
摩擦するから極めて効率の高い能率の良い研磨加工がで
き全体均一な加工をすることができる。
通常５〜１００ｋｓ ／ ｃｍ ２程度の圧力で加圧し
た状態にして砥粒の固定を行ない、その状態を維持しな
がら約 １０〜５００ｍ ／ｍｉｎ程度の速度で移動し
ながら研削加工する。弾性体もしくは高粘体マトリック
ス内の砥粒は加圧によってマトリックスに固定され、固
定状態で被研磨面１ａに沿って膨張収縮しながら移動し
摩擦するから極めて効率の高い能率の良い研磨加工がで
き全体均一な加工をすることができる。
なお被加工体の研磨面が外表面である場合は、その研磨
面に他の物体を対向して所要の狭窄路を形成し、そこに
流動性研磨粒を充填して流動させればよい。被研磨面が
平面でも凹凸でも容易に均一に研磨することができる。
面に他の物体を対向して所要の狭窄路を形成し、そこに
流動性研磨粒を充填して流動させればよい。被研磨面が
平面でも凹凸でも容易に均一に研磨することができる。
また前記実施例においては、加圧体を所定に加圧制御す
る装置と相対性＊ｉ動させる駆動制御装置とを兼用させ
たが別々に設けることができ、相対往復運動は被加工体
側に与えることができる。
る装置と相対性＊ｉ動させる駆動制御装置とを兼用させ
たが別々に設けることができ、相対往復運動は被加工体
側に与えることができる。
以上のように本発明は流動性砥粒を対向する加圧体で加
圧して加圧挟持状態を維持しながら相対往復運動させて
研磨加工するようにしたから流動性砥粒による？ｉＩｌ
磨効果を高め能率の高い研磨加工することができ、外表
面または内部の凹凸面等を均一に容易に研磨することが
できる効宋がある。
圧して加圧挟持状態を維持しながら相対往復運動させて
研磨加工するようにしたから流動性砥粒による？ｉＩｌ
磨効果を高め能率の高い研磨加工することができ、外表
面または内部の凹凸面等を均一に容易に研磨することが
できる効宋がある。
５−
図は本発明の一実施例構成図である。
１・・・・・・・・・被加工体
１ａ・・・・・・・・・被研磨面
４．５・・・・・・・・・加圧体ピストン８．９・・・
・・・・・・駆動モータ １０・・・・・・・・・制御装置 １１・・・・・・・・・流動性砥粒 １２．１３・・・・・・・・・弾性膜 性 許 出 願 人 ６一
・・・・・・駆動モータ １０・・・・・・・・・制御装置 １１・・・・・・・・・流動性砥粒 １２．１３・・・・・・・・・弾性膜 性 許 出 願 人 ６一
Claims (1)
- 砥粒を弾性体もしくは高粘体に混合した流動性砥粒に加
圧して被研磨面を摩擦流動通過させて研磨する装置にａ
３いて、被加工体研磨面を間に挾／ｕで加圧体を対向し
、該加圧体間に前記流動性砥粒を充填し、前記加圧体間
に流動性砥粒を加圧挟持させる加圧制御装置を設けると
共にその加圧挟持状態を維持しながら前記被加工体との
間に相対往復運動させる駆動制御装置を設けて成ること
を特徴とする研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3351983A JPS59156661A (ja) | 1983-02-26 | 1983-02-26 | 研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3351983A JPS59156661A (ja) | 1983-02-26 | 1983-02-26 | 研磨装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59156661A true JPS59156661A (ja) | 1984-09-05 |
Family
ID=12388787
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3351983A Pending JPS59156661A (ja) | 1983-02-26 | 1983-02-26 | 研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59156661A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4996796A (en) * | 1987-12-17 | 1991-03-05 | Extrude Hone Corporation | Process and apparatus of abrading by extrusion |
| US5076027A (en) * | 1987-12-17 | 1991-12-31 | Extrude Hone Corporation | Process for abrasive flow machining using multiple cylinders |
| EP1588801A1 (de) * | 2004-04-21 | 2005-10-26 | Sonplas GmbH | Verfahren und Vorrichtung zum Bearbeiten einer Durchgangsöffnung mit einem Abtragungsfluid |
| US7390241B2 (en) * | 2002-06-20 | 2008-06-24 | Nsk Ltd. | Linear motion apparatus and method for manufacturing thereof |
| CN103659619A (zh) * | 2013-12-18 | 2014-03-26 | 中航力源液压股份有限公司 | 一种清理深孔环槽处尖边及毛刺磨粒流加工装置 |
| EP2996840A1 (en) * | 2013-05-14 | 2016-03-23 | University of Ljubljana | Arrangements and methods for abrasive flow machining |
-
1983
- 1983-02-26 JP JP3351983A patent/JPS59156661A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4996796A (en) * | 1987-12-17 | 1991-03-05 | Extrude Hone Corporation | Process and apparatus of abrading by extrusion |
| US5076027A (en) * | 1987-12-17 | 1991-12-31 | Extrude Hone Corporation | Process for abrasive flow machining using multiple cylinders |
| US7390241B2 (en) * | 2002-06-20 | 2008-06-24 | Nsk Ltd. | Linear motion apparatus and method for manufacturing thereof |
| EP1588801A1 (de) * | 2004-04-21 | 2005-10-26 | Sonplas GmbH | Verfahren und Vorrichtung zum Bearbeiten einer Durchgangsöffnung mit einem Abtragungsfluid |
| EP2996840A1 (en) * | 2013-05-14 | 2016-03-23 | University of Ljubljana | Arrangements and methods for abrasive flow machining |
| US20160082565A1 (en) * | 2013-05-14 | 2016-03-24 | University Of Ljubljana | Arrangements and methods for abrasive flow machining |
| EP2996840B1 (en) * | 2013-05-14 | 2021-10-06 | University of Ljubljana | Arrangements and methods for abrasive flow machining |
| CN103659619A (zh) * | 2013-12-18 | 2014-03-26 | 中航力源液压股份有限公司 | 一种清理深孔环槽处尖边及毛刺磨粒流加工装置 |
| CN103659619B (zh) * | 2013-12-18 | 2016-04-06 | 中航力源液压股份有限公司 | 一种清理深孔环槽处尖边及毛刺磨粒流加工装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5125191A (en) | Abrasive flow machining with an in situ viscous plastic medium | |
| CN111716158B (zh) | 一种内表面的抛光方法及装置 | |
| US5193316A (en) | Semiconductor wafer polishing using a hydrostatic medium | |
| US3906678A (en) | Automatic specimen polishing machine and method | |
| JPS58114857A (ja) | 表面研磨方法 | |
| JPS59156661A (ja) | 研磨装置 | |
| CN111716159B (zh) | 一种自由曲面的抛光方法及装置 | |
| JP2000158324A (ja) | 半導体ウェ―ハの化学機械的平坦化を行うための装置及び方法 | |
| CA1250146A (en) | Means and methods for abrading a work surface | |
| CN113770818A (zh) | 一种二维超声振动磁流变液精密光整加工装置及方法 | |
| JPS59209755A (ja) | 磨き装置 | |
| CN116000792A (zh) | 振动珩磨设备和振动珩磨方法 | |
| JPS59156662A (ja) | 研磨加工方法 | |
| JPH03196964A (ja) | 加工物の研磨方法および研磨装置 | |
| US2384164A (en) | Burring machine | |
| CN109759905A (zh) | 一种磁流变抛光加工系统 | |
| CN212496826U (zh) | 一种小型圆棒晶体滚圆抛光机 | |
| EP0441865A1 (en) | Orbital and/or reciprocal machining with a viscous plastic medium | |
| US4517768A (en) | Orbital polisher | |
| CN217648175U (zh) | 振动珩磨设备 | |
| US4493165A (en) | Orbital polisher with elastic abrasive | |
| CN215967894U (zh) | 一种活塞环磨角装置 | |
| JPS5890457A (ja) | 木工用ワイドベルトサンダ | |
| CN217668689U (zh) | 振动珩磨设备 | |
| CN1138510A (zh) | 粘弹性流体变频变压振动研磨机床与技术 |