JPS59138907A - Shape defect detector - Google Patents

Shape defect detector

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Publication number
JPS59138907A
JPS59138907A JP1353183A JP1353183A JPS59138907A JP S59138907 A JPS59138907 A JP S59138907A JP 1353183 A JP1353183 A JP 1353183A JP 1353183 A JP1353183 A JP 1353183A JP S59138907 A JPS59138907 A JP S59138907A
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JP
Japan
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binary
inspected
image
units
shape defect
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JP1353183A
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Japanese (ja)
Inventor
Satoshi Furukawa
聡 古川
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Panasonic Electric Works Co Ltd
Original Assignee
Matsushita Electric Works Ltd
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Publication date
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Publication of JPS59138907A publication Critical patent/JPS59138907A/en
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures

Abstract

PURPOSE:To detect a fine shape defect easily and precisely by converting the output of an image pickup telecamera for a body to be inspected into binary picture signals successively on the basis of plural different slice levels, and storing it in a memory. CONSTITUTION:An image of the body 1 to be inspected is picked up by the ITV camera 2, whose output is converted into binary signals by N units of comparators 31-3N which have relatively close slice levels VS1-VSN. Outputs of the N units of comparators are stored as binary pictures in N units of binary picture memories 41-4N. Then, a defect detecting processor 6 consisting of a microcomputer, etc., operates switches S1-SN to access the binary pictures in the N units of binary picture memories 41-4N, deciding on a fine shape defect of the inspected body 1.

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 この発明は物体表面の微小な形状欠陥を検出する形状欠
陥検出器に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Technical Field] The present invention relates to a shape defect detector for detecting minute shape defects on the surface of an object.

〔背景技術〕[Background technology]

従来の形状欠陥検出器は、第1図に示1−ように被検査
物体] 全ITVカメラ2で撮像し、このITVカメラ
2の出力信号全比較回路3において適当なスライスレベ
ルと比較することにより2値化し、この2値化信号を2
値画、像メモリ4に格納し、形状測定装置5Vこより2
値画像メモリ4の2値画像における幅、長さ等の特徴を
抽出して良品のそれと比較することにより、被検査物体
Jの良否を判定するようになっていた。
The conventional shape defect detector detects the object to be inspected as shown in FIG. Binarize and convert this binary signal into 2
The value image is stored in the image memory 4, and the shape measuring device 5V is connected to the 2
The quality of the inspected object J is determined by extracting characteristics such as width and length from the binary image in the value image memory 4 and comparing them with those of a non-defective item.

このような形状欠陥検出器では、被検査物体】のエツジ
付近の欠陥が微小な場合、2値化のためのスライスレベ
ルの設定が非常に困難に7z、!:l、照明光の増減な
らびに被検査物体]の色および反射率等の変化により平
均的な明るざが変化し、それに対応して欠陥のもつ明る
さ付近で2値化することは不可能であp、検出精度が低
かった。また、欠陥部にスライスレベル勿合わせるため
に目視JCよるレベル詞整作業が必要であって欠陥検出
が容易でなかった。
With such a shape defect detector, if the defects near the edges of the object to be inspected are minute, it is extremely difficult to set the slice level for binarization7z,! The average brightness changes due to changes in the color and reflectance of the object to be inspected (increase or decrease in illumination light, etc.), and correspondingly, it is impossible to binarize around the brightness of the defect. Ap, detection accuracy was low. Further, in order to match the slice level to the defective portion, leveling work by visual inspection JC was required, making it difficult to detect the defect.

〔発明の目的〕[Purpose of the invention]

この発明は微小な形状欠陥を容易にかつ′!′II度良
く検出することができる形状欠陥検出器全提供すること
全目的とする。
This invention makes it easy to remove minute shape defects! The object of the present invention is to provide a shape defect detector capable of detecting defects with high accuracy.

〔発明の開示〕[Disclosure of the invention]

この発明の形状欠陥検出器は、被検食物体を撮像するテ
レビカメラと、このテレビカメラの出力を順次異なる比
較的接近した複数のスライスレベルで2値化する軸数の
比較器と、この軸数の比較器の出力音それぞれ2値化画
像として格納する複数の2値画像メモリと、この複数の
2値画像メモリに格納された2値化画像の各々をアクセ
スしてA+]記被検査物体に対する欠陥検出処理を行う
欠陥検出処理装置とを備える構成シてしたことを特徴と
するっ このように、近接した′?)i数のスライスレベルで2
値化して複数の2値化画像を得ることにより、複数の2
値化画像のうちのいずれかは欠陥のもつ明るき付近のス
ライスレベルで必ず2値化されたものとなるため、欠陥
検出を梢夏良く行える。また、被検査物体1の欠陥や照
明光の増減ならびに被検査物体1の色および反射率が変
化しても欠陥のもつ明るさ付近でスライスしfc 2値
化画像が得られることになる。また、従来例のような被
検査物体に対応したスライスレベルの調整が不要である
ため、微小形状欠陥全容易に検出することができる。
The shape defect detector of the present invention includes: a television camera that images a food object to be inspected; A plurality of binary image memories each storing the output sound of the numerical comparator as a binary image, and each of the binary images stored in the plurality of binary image memories is accessed to generate the object to be inspected. A defect detection processing device that performs defect detection processing for the ) 2 at i number of slice levels
By digitizing and obtaining multiple binarized images, multiple
Since any of the digitized images will always be binarized at a slice level near the brightness of the defect, defect detection can be performed easily. Furthermore, even if the defect in the object 1 to be inspected, the increase or decrease in illumination light, and the color and reflectance of the object 1 to be inspected change, an fc binarized image can be obtained by slicing around the brightness of the defect. Further, since there is no need to adjust the slice level according to the object to be inspected as in the conventional example, all microscopic defects can be easily detected.

以−F、この発明の実施例を第2図ないし第4図に基づ
いて説明する。
Embodiments of the present invention will now be described with reference to FIGS. 2 to 4.

この形状欠陥検出器は、M2図に示すように、被検食物
体JをITVカメラ2で撮像し、このITVカメラ2の
出力を順次異なる比較的接近した複数のスライスレベル
VS□〜VB□を有するN個の比較器3]〜3Nで同時
に2値化し、このN個の比較器31〜3Nの出力をN個
の2値画像メモリ41〜4Nにそれぞれ2値画像として
格納している。
As shown in Fig. M2, this shape defect detector images the test food object J with an ITV camera 2, and sequentially outputs the output of the ITV camera 2 into a plurality of relatively close slice levels VS□ to VB□. The outputs of the N comparators 31-3N are stored as binary images in N binary image memories 41-4N, respectively.

−tして、マイクロコンビーータ等で構成される欠陥検
出処理装置6がスイッチS□〜へを切換えてN個の2値
画像メモリ41〜4Nの2値画像をそれぞれアクセスし
て被検査物体】の微小形状欠陥全判別処理するようにな
っている。
-t, the defect detection processing device 6 consisting of a microconbeater etc. switches the switch S□~ to access each of the binary images in the N binary image memories 41 to 4N to detect the object to be inspected. ] All micro-shaped defects can be identified.

つき゛に、この形状欠陥検出器の動作を、N=4の場合
VCついて第3図および第4図によジ説明する。
The operation of this shape defect detector will now be explained with reference to FIGS. 3 and 4 for VC in the case of N=4.

第3図は、この形状欠陥検出器において、直方体の被検
査物体] 全ITVカメラ2で撮像してスライスレベル
vS1 ”82 ”S3 ”S4 (VS2 > VS
2VC3) V8. ) kWする比較!a31〜34
で2値化して得られる2値画像の輪郭線L□、 L2.
 L3. L、’e皿ねで描いたものである。欠除には
輪郭線L工〜L4を抽出する必要は全くない。
FIG. 3 shows a rectangular parallelepiped object to be inspected in this shape defect detector] Imaged by all ITV cameras 2, slice level vS1 ``82''S3 ''S4 (VS2 > VS
2VC3) V8. ) kW comparison! a31-34
The contour line L□ of the binary image obtained by binarizing with L2.
L3. L, 'e It was drawn on a flat plate. There is no need to extract the contour lines L-L4 for deletion.

上記4個の2値画像は、それぞれ輪郭線L□〜L4の内
部は白レベル(「1」状態)となり、輪郭線L□〜L4
の外部は黒レベル(1−OJ状態)となっているうこの
第3図の輪郭線りよ〜L4が順次大きくなっているのは
、被検介物体】のエツジにアールがついていてこのアー
ル部で明るさが変化していることにを因している。輪郭
線I、2. L3において、底辺が凹んでいるのは、被
検査物体1の底辺に欠陥があってその部分の明るさが他
の部分と異なるために生じる。なお、輪11s線L□、
L4では底辺の対応する部分に凹みがないのはスライス
レベルの不JIによるものである。
In the above four binary images, the inside of the contour lines L□ to L4 has a white level (state of "1"), and the inside of the contour lines L□ to L4
The outside of the object is at a black level (1-OJ state). The contour line in Figure 3 ~L4 is getting larger sequentially because the edge of the object to be inspected has a radius, and this rounded part This is due to the fact that the brightness changes. Contour line I, 2. In L3, the bottom side is concave because there is a defect on the bottom side of the object to be inspected 1 and the brightness of that part is different from other parts. In addition, the ring 11s line L□,
In L4, the reason why there is no dent in the corresponding part of the bottom is due to non-JI at the slice level.

L f?:、7)Kっで、輪郭線り3.L3中の凹みを
検出する必要がある。この凹みを検出するのが、欠陥検
出処理装置6である。この欠陥検出処理装置6は、瞬接
する2個のスライスレベルで2値化した2個の2値画像
を比較判別することにより被検介物体】の微小形状欠陥
を検出するようになっている。
L f? :, 7) K, outline 3. It is necessary to detect the depression in L3. The defect detection processing device 6 detects this dent. This defect detection processing device 6 is designed to detect minute defects in the object to be inspected by comparing and discriminating two binary images that are binarized at the slice level of two pieces that are in instant contact with each other.

具体的に説明すると、例えは輪郭線りよ、L2でそれぞ
れ囲まれる2値画像を比較判別する場合、まず第4図^
に示t、、r、うに、内側の輪郭線りよで囲まれる2値
画像の境界のまわりの黒レベル(rOJ )の部分を白
レベル(1’−IJ )に変更して輪郭線L2で囲まれ
る2値画像と同じ大きさまで拡大し、輪郭線L□′で囲
まれた拡大2値画像と第4図(B)に示す輪郭aL2で
囲まれた2値画像とを比較し、その差を抽出すれば第4
図(C)のように正常な部分は消えて欠陥8ilPのみ
が残った2値画像が得らゎることになる。
To explain concretely, for example, when comparing and determining binary images surrounded by contour lines L2 and L2, first, Figure 4 is used.
As shown in t, , r, the part of the black level (rOJ) around the boundary of the binary image surrounded by the inner contour line is changed to the white level (1'-IJ) and surrounded by the contour line L2. The enlarged binary image surrounded by the contour line L□′ is compared with the binary image surrounded by the contour aL2 shown in FIG. 4(B), and the difference is calculated. If extracted, the fourth
As shown in Figure (C), a binary image is obtained in which the normal portion disappears and only the defect 8ilP remains.

欠陥検出処理装置6Vi、、上記と同様の処理を輪郭a
 L3. L3でそれぞれ囲まれる2値画像および輪郭
線L3. L4でそれぞれ囲まれる2値画像について行
う。
Defect detection processing device 6Vi, performs the same processing as above on contour a
L3. A binary image and a contour line L3. This is performed for the binary images each surrounded by L4.

このように、この実施例は、被検査物体1〒ITVカメ
ラ2で撮像し、このITVカメラ2の出力を順次具なる
比較的近接した複数のレベルでスライスして2値化する
ことにより複数の2値画18!金得るようにしたため、
スライスレベル全目視により調整することなく自動的に
微小な形状欠陥を精度良く検出することができる。
As described above, in this embodiment, the object to be inspected 1 is imaged by the ITV camera 2, and the output of the ITV camera 2 is sequentially sliced and binarized at a plurality of relatively close levels. Binary painting 18! Because I wanted to get money,
By visual inspection of the entire slice level, minute shape defects can be automatically and accurately detected without adjustment.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

この発明の形状欠陥検出器によれば、スライスレベル全
目視Vcより調整する必要なく容易に微小な形状欠陥を
検出することができる。
According to the shape defect detector of the present invention, minute shape defects can be easily detected without the need for adjustment from slice level full visual observation Vc.

つき°に、開示技術を第5図ないし第11図に基づいて
説明する。
The disclosed technique will now be explained based on FIGS. 5 to 11.

第5図は従来のシート状物体検査装置の構成全示してい
る。このシート状物体検査装置は、光源]]の照明光か
スリン)12に入り、このスリフト12を通過した光は
結像レンズ13全通して移送されるシート状物体】4の
表面にライン光Hとして結像される。ITVカメラ15
d、スリフト12の反対側よジン ト秋物体14の表面
に結像されたライン光Hを撮像する。シート状物体】4
の表面が平坦な場合、ライン光Hに直線となるが、第5
図のように凹凸部14aがあれば、ライン光Hがその部
分でカーブし、第6図に示すように直線の一部がカーブ
した像Jが得られることになる。
FIG. 5 shows the entire configuration of a conventional sheet-like object inspection device. This sheet-like object inspection device uses illumination light from a light source]] which enters the thrift 12, and the light that has passed through the thrift 12 is transported through the entire imaging lens 13. imaged as. ITV camera 15
d. From the opposite side of the thrift 12, the line light H formed on the surface of the falling object 14 is imaged. Sheet-like object】4
If the surface of is flat, the line light H will be straight, but the fifth
If there is an uneven portion 14a as shown in the figure, the line light H is curved at that portion, and an image J in which a part of a straight line is curved is obtained as shown in FIG.

ITVカメラj5よりのビデオ信号はフレームメモリ1
6に1画面分記録される。今、第6図の像がフレームメ
モリ】6上に記録された像とすると、この像Jのカーブ
の高さAが凹凸部14aの変位に対応するが、このカー
ブをマイクロコンピータ17の命令により抄すには多く
の処理時間を要し、シー 1−状物体14の検査のオン
ライン化が困難であった。舊た。フレームメモリ16を
使用しているため、非常にコスト高であった。
The video signal from ITV camera j5 is stored in frame memory 1.
6, one screen is recorded. Now, assuming that the image in FIG. 6 is an image recorded on the frame memory 6, the height A of the curve of this image J corresponds to the displacement of the uneven portion 14a. Paper cutting requires a lot of processing time, and it has been difficult to inspect the sheet 1-shaped object 14 online. It was abandoned. Since the frame memory 16 is used, the cost is extremely high.

第7図および第8図は上記のような欠点を解消すること
ができ、オンライン化が容易で安価なシート状物体検査
装置の斜視図およびブロック図を示している。
FIGS. 7 and 8 show a perspective view and a block diagram of a sheet-like object inspection device that can eliminate the above-mentioned drawbacks, can be easily put online, and is inexpensive.

このシート状物体検査装置は、第7図に示すように、光
源2】の照明光を拡散板(例えば、すりカラス)22V
′CJニジある程度拡散させた状態でシート状物体23
の表面に照射し、光1j1.2】と反対側に設置したI
TVカメラ24でシート状物体23の表面全撮像するよ
うにしている。すなわち、ITVカメラ24Irr、、
光源2Jの正反射像を撮像することになるが、拡散板2
2のために光源2】は中心相開るく径方同に漸次暗くな
る楕円形の光度分布をもつことになる。
As shown in FIG. 7, this sheet-like object inspection device uses a diffuser plate (for example, a frosted glass) to direct illumination light from a light source 2 to a 22V
'The sheet-like object 23 with the CJ rainbow dispersed to some extent.
1j1.2] and installed on the opposite side of the
The entire surface of the sheet-like object 23 is imaged by the TV camera 24. That is, ITV camera 24Irr,...
The specular reflection image of the light source 2J will be captured, but the diffuser plate 2
2, the light source 2] has an elliptical luminous intensity distribution whose central phase is open and gradually darkens in the radial direction.

そして、ITVカメラ24から上記のような光源21の
光度分布に対応した明るさをもつ画像が得られる。この
画像に対応したビデオ信号を、第8図に示すように、順
次具なるスライスレベルUS□〜U85 ’C有する5
個の2値化回路25〜29で2値化すれば、第9図に示
すような輪郭線LL□〜LL5の内側が白レベル(rl
J )で外側が黒レベルC「OJ)の2値画像(正常な
場合)に対応する5個の2値ii!11像伯号が得られ
ることになろうこの5個の2値化回路25〜29から出
力される2値画像信号全第10図に示すような2値画像
の標準パターンPP(斜a都は黒「0」レベル)の反転
パターンを記憶したパターンメモリ30から出力される
標準2値画像信号でInされる排他的論理和ゲート31
〜35に加え、排他的論理和ゲート31〜35から出力
される「1」レベルの2値信号の個数全カウンタ36〜
40でそれぞれカウントさせることにより、5個の2値
化回路25〜29から得られる2値画像と標準パターン
との相関、すなわち両者が一致している部分の画素数を
求め、上記相関の程度、すなわちカウンタ36〜40の
カウ7ト値Yeマイクロコ/ピユータ4Jで判断するこ
とによりシート状物体の表面の平坦度および反射率等全
検査するようになっている。
Then, an image having brightness corresponding to the luminous intensity distribution of the light source 21 as described above is obtained from the ITV camera 24. As shown in FIG. 8, the video signal corresponding to this image is sequentially divided into slice levels US
If the binarization circuits 25 to 29 perform binarization, the inside of the contour lines LL□ to LL5 as shown in FIG.
These five binarization circuits 25 will yield five binary ii!11 image numbers corresponding to a binary image (in a normal case) with black level C (J) on the outside (normal case). The standard pattern output from the pattern memory 30 which stores an inverted pattern of the standard pattern PP of the binary image (the diagonal is the black "0" level) as shown in FIG. Exclusive OR gate 31 inputted with binary image signal
~35, a total counter 36~ for the number of "1" level binary signals output from the exclusive OR gates 31~35.
40, respectively, to find the correlation between the binary image obtained from the five binarization circuits 25 to 29 and the standard pattern, that is, the number of pixels in the portion where both match, and determine the degree of the correlation, That is, the flatness, reflectance, etc. of the surface of the sheet-like object are all inspected by determining the count values of the counters 36 to 40 using the microcomputer 4J.

2値化回路25〜29のスライスレベルU8□〜US2
を順次低叫隔となるように設定しておけば、シート状物
体23の表面が正常である場合、第9図に示したような
同心の相似な楕円形よりなる輪郭線LL工〜LL5で白
部分が囲まれる2値画像が得うレ、パターンメモ’)3
0に第10図の標準ハj’−ンの反転パターンが記憶さ
れておれば、輪郭線LL、で示される2値画像と標準パ
ターンとの相関が最も高くなシ、カウンタ39のカウン
ト値が最も大きくなりかつその値が設定値を越えること
にナル。マイクロコンピュータ41は、カウンタ39の
カウント値が最も大きく力・つ設定値を越えていること
を検出し一〇シート状物体23の表面が正常であると判
断する。
Slice levels U8□-US2 of binarization circuits 25-29
If the surface of the sheet-like object 23 is normal, the contour line LL~LL5 consisting of concentric similar ellipses as shown in FIG. A binary image with the white part surrounded is obtained, pattern memo') 3
0 stores the inverted pattern of the standard Hahn shown in FIG. Null that it becomes the largest and its value exceeds the set value. The microcomputer 41 detects that the count value of the counter 39 is the largest and exceeds the force setting value, and determines that the surface of the sheet-like object 23 is normal.

ところが、シート状物体23の表面に凹凸があって輪郭
HLLユ〜Ll−5が第11図囚に示すように歪んでい
る場合、輪郭線LL  −LL5で示される2値画像の
どれも標準パターンに対して低い相関しか示さず、カウ
ンタ36〜40のカウント値がすべて設定値以下上なり
、マイクロコンビ−1−夕41は、これを検出してシー
ト状物体23の表面に凹凸かあると判断する。
However, if the surface of the sheet-like object 23 is uneven and the contours HLL-LL-5 are distorted as shown in FIG. The count values of the counters 36 to 40 all exceed the set value, and the microcombi-1-2 detects this and determines that the surface of the sheet-like object 23 is uneven. do.

また、シート状物体23の表面の反射率が小石ぐ、第1
1図(■りに示すように輪郭線LL  −LL5が全体
的Vこ小さくなった場合、例えば輪郭線LL2で示δi
Lる2値画像と標準パターンとの相関が最も犬すくすり
、カウンタ37のカウント値が最モ大きくなりかつその
値が設定値を越えることになる。
Moreover, the reflectance of the surface of the sheet-like object 23 is
As shown in Figure 1 (■), if the overall V of the contour line LL - LL5 becomes smaller, for example, the contour line LL2 indicates δi.
When the correlation between the L binary image and the standard pattern is the strongest, the count value of the counter 37 becomes the largest and exceeds the set value.

マイクロコンピュータ41は、正常な場合のカウンタ3
9とは異なるカウンタ37のカウント値が最も犬きくか
つその値が設定値を越えることを検出して、すなわちカ
ウント値が最も犬きくかつその値か設定値を越えるカウ
ンタが39ではないことを検出してシート状物体23の
表面の反射率が異なると判断する。
The microcomputer 41 controls the counter 3 in the normal case.
It is detected that the count value of the counter 37 different from 9 is the closest and exceeds the set value, that is, it is detected that the counter 37 whose count value is the closest and exceeds that value or the set value is not 39. Thus, it is determined that the reflectance of the surface of the sheet-like object 23 is different.

このように構成した結果、フレームメモリを必要とせず
簡単かつ安価にシート状物体23の表面状態を検査する
ことができる。また、マイクロコンビー、−夕41の処
理も簡単であって処理時間が知く、オンライン検査(シ
ート状物体23を移送しながらの検査)が可能となる。
As a result of this configuration, the surface condition of the sheet-like object 23 can be easily and inexpensively inspected without requiring a frame memory. Furthermore, the processing of the microconveyor 41 is simple, the processing time is known, and online inspection (inspection while transporting the sheet-like object 23) is possible.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は従来の形状欠陥検出器の構成図、第2図はこの
発明の一実施例の構成図、第3図は2値画像の輪郭線を
示す説明図、第4図囚、■)、(Qは欠陥検出処理方法
を説明するための説明図、M5図は開示技術の従来例の
構成図、第6図は第5図■装置(lこよって得られる画
像を示す説明図、第7図は改善例の構成図、M8図は同
じくブoンク図、M9図、第10図および第11図(イ
)、(匂は検査方法の説明図である。 ] 被検査物体、2・・ITVカメラ、3J〜3N・・
比較器、4」〜4N・・・2値画像メモリ、6・・欠陥
検出処理装置 下 1 図 第2図 73図 (A)           (B) /−−−−−−−) 1 1    ] \−−−7モー□−−−ノ ′P (C) /       ) 14a        14 第5図
Fig. 1 is a block diagram of a conventional shape defect detector, Fig. 2 is a block diagram of an embodiment of the present invention, Fig. 3 is an explanatory diagram showing the outline of a binary image, and Fig. 4 is a diagram showing the outline of a binary image. , (Q is an explanatory diagram for explaining the defect detection processing method, M5 is a configuration diagram of a conventional example of the disclosed technology, FIG. 6 is an explanatory diagram showing the image obtained by this method, Figure 7 is a configuration diagram of an improved example, Figure M8 is also a Bunk diagram, Figure M9, Figures 10 and 11 (A), (The odor is an explanatory diagram of the inspection method.) Object to be inspected, 2.・ITV camera, 3J~3N...
Comparator, 4'' to 4N... Binary image memory, 6... Below defect detection processing device 1 Figure 2 Figure 73 (A) (B) /---------) 1 1 ] \- --7Mo□---ノ'P (C) / ) 14a 14 Fig. 5

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 被検査物体を撮像するテレビカメラと、このテレビカメ
ラの出力を順次異なる比較的接近した複数のスライスレ
ベルで2値化する複数の比較器と、この板数の比較器の
出力をそれぞれ2値化画像として格納するfj!数の2
値画像メモリと、この複数の2値II!II像メモリに
格納された2値化画像の各々全アクセスして前記級検査
物体に対する欠陥検出処理全行う欠陥検出処理装置とを
備えた形状欠陥検出器。
A television camera that images the object to be inspected, multiple comparators that sequentially binarize the output of the television camera at different relatively close slice levels, and each of the outputs of this number of comparators is binarized. fj to be stored as an image! number 2
Value image memory and this plurality of binary values II! A shape defect detector comprising a defect detection processing device which accesses each of the binarized images stored in a II image memory and performs all defect detection processing for the above class inspection object.
JP1353183A 1983-01-28 1983-01-28 Shape defect detector Pending JPS59138907A (en)

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JP1353183A JPS59138907A (en) 1983-01-28 1983-01-28 Shape defect detector

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JP1353183A JPS59138907A (en) 1983-01-28 1983-01-28 Shape defect detector

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JPS59138907A true JPS59138907A (en) 1984-08-09

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JP1353183A Pending JPS59138907A (en) 1983-01-28 1983-01-28 Shape defect detector

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JP (1) JPS59138907A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62263403A (en) * 1986-05-12 1987-11-16 Tokyo Optical Co Ltd Apparatus for measuring minute dimension

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62263403A (en) * 1986-05-12 1987-11-16 Tokyo Optical Co Ltd Apparatus for measuring minute dimension

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