JPS59131235U - 気化装置 - Google Patents
気化装置Info
- Publication number
- JPS59131235U JPS59131235U JP2384883U JP2384883U JPS59131235U JP S59131235 U JPS59131235 U JP S59131235U JP 2384883 U JP2384883 U JP 2384883U JP 2384883 U JP2384883 U JP 2384883U JP S59131235 U JPS59131235 U JP S59131235U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vaporizer
- container
- gas
- reaction chamber
- source liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の反応装置の概略説明図、第２図は本考案
に係る気化装置の組み込まれた反応装置の概略説明図で
ある。 １１・・・ガス源液、１２・・・容器、１５・・・反応
室、１６・・・フレキシブルチューブ、１７・・・導入
径路。
に係る気化装置の組み込まれた反応装置の概略説明図で
ある。 １１・・・ガス源液、１２・・・容器、１５・・・反応
室、１６・・・フレキシブルチューブ、１７・・・導入
径路。
Claims (1)
- 反応室にガスとして供給される容器中のガス源液の蒸発
面積を変えられるよう前記容器を構成したことを特徴と
する気化装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2384883U JPS59131235U (ja) | 1983-02-22 | 1983-02-22 | 気化装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2384883U JPS59131235U (ja) | 1983-02-22 | 1983-02-22 | 気化装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59131235U true JPS59131235U (ja) | 1984-09-03 |
Family
ID=30154918
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2384883U Pending JPS59131235U (ja) | 1983-02-22 | 1983-02-22 | 気化装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59131235U (ja) |
-
1983
- 1983-02-22 JP JP2384883U patent/JPS59131235U/ja active Pending
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