JPS59131113A - 電子写真用感光体の感光層膜厚測定装置 - Google Patents
電子写真用感光体の感光層膜厚測定装置Info
- Publication number
- JPS59131113A JPS59131113A JP573183A JP573183A JPS59131113A JP S59131113 A JPS59131113 A JP S59131113A JP 573183 A JP573183 A JP 573183A JP 573183 A JP573183 A JP 573183A JP S59131113 A JPS59131113 A JP S59131113A
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- Japan
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- probe
- shaft
- photosensitive layer
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- Granted
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/02—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B5/06—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness
- G01B5/066—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness of coating
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電子写真用感光体の感光層膜厚を測定痕を残さ
ないで測定する装置に関する。
ないで測定する装置に関する。
電子写真、用感光体の特性制御のために感光層の膜厚を
測定する必要があるが、対象物が電子写真に用いられる
光導電性物質であることから、対象物表面に測定痕船残
すことは製品としての機能な損なうものであり、致命的
である。また電子写真用感光体は比較的広い表面積を有
するものであり、一般的には０．０５−から０．６．Ｊ
Ｋまで及んでおり、形状的にも円筒状の場合もありシー
ト状の場合もある。従って膜厚の測定は、各形状を有す
る個々の感光体の表面積内で、できるだけ多量の測定デ
ータをまんべんなく、高精度にしかも・短時間に測定す
ることが感光体の特性の信頼性向上のために必要である
。
測定する必要があるが、対象物が電子写真に用いられる
光導電性物質であることから、対象物表面に測定痕船残
すことは製品としての機能な損なうものであり、致命的
である。また電子写真用感光体は比較的広い表面積を有
するものであり、一般的には０．０５−から０．６．Ｊ
Ｋまで及んでおり、形状的にも円筒状の場合もありシー
ト状の場合もある。従って膜厚の測定は、各形状を有す
る個々の感光体の表面積内で、できるだけ多量の測定デ
ータをまんべんなく、高精度にしかも・短時間に測定す
ることが感光体の特性の信頼性向上のために必要である
。
感光層の膜厚測定法としては５ず電流式が知られている
がこれはｉ般的に測定プローブを感光層に接触さ、せて
測定するものであって測定者の人為的ミスによって製品
に損傷を与えるおそれのある上、接触圧力、接触角度を
一定和しなければならず１円筒状の場合はその曲率に対
する補正が必要であり、この点測定考量の差が生ずるこ
とがしばしばある。同時に多数のデータを得るｋけ長時
間を要するなど問題点が多い。また非接触式の光学干渉
法は測定が複軸であることに加え、装置が高価である。
がこれはｉ般的に測定プローブを感光層に接触さ、せて
測定するものであって測定者の人為的ミスによって製品
に損傷を与えるおそれのある上、接触圧力、接触角度を
一定和しなければならず１円筒状の場合はその曲率に対
する補正が必要であり、この点測定考量の差が生ずるこ
とがしばしばある。同時に多数のデータを得るｋけ長時
間を要するなど問題点が多い。また非接触式の光学干渉
法は測定が複軸であることに加え、装置が高価である。
本発明はこれに対し高価な装置を必要とせず、感光層に
測定痕を残すおそれな（、高精度圧しかも多量のデータ
を自動的に得ることのできる感光層膜厚測定装置を提供
することを目的とする。
測定痕を残すおそれな（、高精度圧しかも多量のデータ
を自動的に得ることのできる感光層膜厚測定装置を提供
することを目的とする。
この目的は感光体表面に平行に少なくとも一方向に移動
可能の支持体と、その支持体に支持され感光体の表面忙
垂直方向に移動可能な接触式膜厚測定プローブとを備え
、かつそのプローブが感光層に接触した際その感光層と
の接触圧力とつり合って接触圧を一定に保持する働きを
する重錘なプローブの移ｌｌ２ＩＫ応じて回動する軸上
に備えることによって達成される。
可能の支持体と、その支持体に支持され感光体の表面忙
垂直方向に移動可能な接触式膜厚測定プローブとを備え
、かつそのプローブが感光層に接触した際その感光層と
の接触圧力とつり合って接触圧を一定に保持する働きを
する重錘なプローブの移ｌｌ２ＩＫ応じて回動する軸上
に備えることによって達成される。
以下図を引用して本発明の実施例について説明する。第
１図において感光層膜厚の測定対象である円筒状感光体
１は駆動部２に支持された回転軸３に取り付けられてい
る。別に駆動部に支持された回転軸４の回転により感光
体１の軸方向に平行な矢印６の方向に移動するプローブ
支持体７には支持体７の移動方向６と垂直な矢印８０方
向に往復運動できるプローブ支持台９が取り付けられて
いる。第２図に示すようにこのプローブ支持台９の上に
取り付けられた回転円柱１０ Ｋはプローブ支持軸１１
と回動制限軸１２とおよびそれらに垂直な回動伝達軸１
３が固定されている。プローブ支持軸１１の先端には、
例えば西ドイツ国フィッシャ社製５ず電流式膜厚計（商
品名パーマスコープ）１４ Ｋ接続された測定プローブ
１５が保持されている。膜厚計１４および駆動部２には
制御部１６が接続されている、プローブ支持台９の矢印
８の方向（垂直方向）の移動によりプローブ１５が感光
体表面に近接し、感光層に接触すると支持軸１１は矢印
１７の方向に回動しようとする。これに伴ないストッパ
１８ Ｋ当接する回動制限軸１２は矢印１９の方向に動
き、同時に回動伝達軸１３の直角に折れ曲つた部分は、
支持台９に支持された垂直板２０に回転可能に支持され
る円柱２１ Ｋ固定された第二の回動伝達軸２２を矢印
器の方向に回動させる。同時に円柱加に固定された重錘
支持軸２４を矢印３の方向に回動させようとする。この
回動は重錘２６に加わる重力とプローブ１４の感光層と
の接触圧力とつり合ったところで止まる。この結果測定
プ１−プ１５の感光層との接触圧力は一定に保たれ、重
錘２６の重量および位置の調整により、プローブ１５を
測定精度の確保できる膜厚測定に必要な最小限の接触圧
（５〜１０？）で再現性良く当接させるものである。プ
ループ１５を感光層より離脱させ測定待轡の時にけ重錘
あの１さ゛で回転体２１およびｌＯは逆方向に回転する
が、その回転は軸１２がスト、パ１８ Ｋ当接すること
により制限され、プループ１５けプローブ支持体７の移
動あるいけ感光体１０着脱に支障のない位置に保持され
る。プローブ１５の接触方向は感光体１の軸と測定点を
含む直線と一致するように配置する。
１図において感光層膜厚の測定対象である円筒状感光体
１は駆動部２に支持された回転軸３に取り付けられてい
る。別に駆動部に支持された回転軸４の回転により感光
体１の軸方向に平行な矢印６の方向に移動するプローブ
支持体７には支持体７の移動方向６と垂直な矢印８０方
向に往復運動できるプローブ支持台９が取り付けられて
いる。第２図に示すようにこのプローブ支持台９の上に
取り付けられた回転円柱１０ Ｋはプローブ支持軸１１
と回動制限軸１２とおよびそれらに垂直な回動伝達軸１
３が固定されている。プローブ支持軸１１の先端には、
例えば西ドイツ国フィッシャ社製５ず電流式膜厚計（商
品名パーマスコープ）１４ Ｋ接続された測定プローブ
１５が保持されている。膜厚計１４および駆動部２には
制御部１６が接続されている、プローブ支持台９の矢印
８の方向（垂直方向）の移動によりプローブ１５が感光
体表面に近接し、感光層に接触すると支持軸１１は矢印
１７の方向に回動しようとする。これに伴ないストッパ
１８ Ｋ当接する回動制限軸１２は矢印１９の方向に動
き、同時に回動伝達軸１３の直角に折れ曲つた部分は、
支持台９に支持された垂直板２０に回転可能に支持され
る円柱２１ Ｋ固定された第二の回動伝達軸２２を矢印
器の方向に回動させる。同時に円柱加に固定された重錘
支持軸２４を矢印３の方向に回動させようとする。この
回動は重錘２６に加わる重力とプローブ１４の感光層と
の接触圧力とつり合ったところで止まる。この結果測定
プ１−プ１５の感光層との接触圧力は一定に保たれ、重
錘２６の重量および位置の調整により、プローブ１５を
測定精度の確保できる膜厚測定に必要な最小限の接触圧
（５〜１０？）で再現性良く当接させるものである。プ
ループ１５を感光層より離脱させ測定待轡の時にけ重錘
あの１さ゛で回転体２１およびｌＯは逆方向に回転する
が、その回転は軸１２がスト、パ１８ Ｋ当接すること
により制限され、プループ１５けプローブ支持体７の移
動あるいけ感光体１０着脱に支障のない位置に保持され
る。プローブ１５の接触方向は感光体１の軸と測定点を
含む直線と一致するように配置する。
次にこの装置を用いての測定動作について説明する。測
定スタート信号を受けて制御系１６ Ｋより測定プー−
プ１５を感光体表面に接触させ、第３図１ａｌ Ｋ示す
軸方向の位置ｐｔｏと第３図（ｂｌＫ示す周方向の位置
ｐｏｔから１１に示すｐＨの点の膜厚を（５） 第１表 次に感光体１が／３「１転して停止した後、前述と同様
の動作を繰り返しＰＩ３の位置の測定を行う。
定スタート信号を受けて制御系１６ Ｋより測定プー−
プ１５を感光体表面に接触させ、第３図１ａｌ Ｋ示す
軸方向の位置ｐｔｏと第３図（ｂｌＫ示す周方向の位置
ｐｏｔから１１に示すｐＨの点の膜厚を（５） 第１表 次に感光体１が／３「１転して停止した後、前述と同様
の動作を繰り返しＰＩ３の位置の測定を行う。
さらに１／３回転し、軸方向Ｉ’ＩＯの位置における円
周方向の３点を測定する。３点の測定が終了した後、プ
ローブ支持軸７を移動させ、軸方向の位置Ｐ２Ｏ１Ｃお
いて３点の測定を行う。このよ５に測定を繰り返すこと
ｋよって第１表に示す予め設定された９点の膜厚を逐次
測定し、データを自動的にプリントアウトして測定を終
了する。
周方向の３点を測定する。３点の測定が終了した後、プ
ローブ支持軸７を移動させ、軸方向の位置Ｐ２Ｏ１Ｃお
いて３点の測定を行う。このよ５に測定を繰り返すこと
ｋよって第１表に示す予め設定された９点の膜厚を逐次
測定し、データを自動的にプリントアウトして測定を終
了する。
このよ５Ｋして感光体ｌの感光層の膜厚は１表面全面に
分布した点で制御系１６により自動的に測定され、自動
的Ｋｌｅａされ、当該感光体の膜厚評価に対する信頼性
の高いデータを得ることができる。
分布した点で制御系１６により自動的に測定され、自動
的Ｋｌｅａされ、当該感光体の膜厚評価に対する信頼性
の高いデータを得ることができる。
（６）
測定点は必讐に応じて増加させることが可能であり、感
光体の形状、寸法に応じて設定が可能である。またプル
ーブの接触圧を適切に調整することＫより被測定感光体
への損傷を阻止することができる。シート状感光体の測
定の場合は円筒体に巻き付けて測定してもよく、また感
光体を平らに保持してプローブ支持体の移動方向と直角
［ｙ＃動させるかある（・はプローブ支持体を直交する
２方向に移動させ制御する。
光体の形状、寸法に応じて設定が可能である。またプル
ーブの接触圧を適切に調整することＫより被測定感光体
への損傷を阻止することができる。シート状感光体の測
定の場合は円筒体に巻き付けて測定してもよく、また感
光体を平らに保持してプローブ支持体の移動方向と直角
［ｙ＃動させるかある（・はプローブ支持体を直交する
２方向に移動させ制御する。
以上述べたように本発明は、例えばうず電流による接触
式膜厚測定プローブによりプローブ支持体の移動により
あるいけ感光体の運動との併用により任意の形状の感光
体について任意の数の測定点で験厚測定を行い、さらに
プμｍプの感光層との接触圧は感光層への損傷を４夾な
い微圧力に設定できるので、感光Ｗｌ＠厚に関する精度
の高いデータを市販の膜厚計を用いて容易に得ることが
できる。さらにデータ処理装置の付加によって測定、感
光体の特性評価の無人化が可能であることなど本発明に
より得られる効果はすこぶる大きい。
式膜厚測定プローブによりプローブ支持体の移動により
あるいけ感光体の運動との併用により任意の形状の感光
体について任意の数の測定点で験厚測定を行い、さらに
プμｍプの感光層との接触圧は感光層への損傷を４夾な
い微圧力に設定できるので、感光Ｗｌ＠厚に関する精度
の高いデータを市販の膜厚計を用いて容易に得ることが
できる。さらにデータ処理装置の付加によって測定、感
光体の特性評価の無人化が可能であることなど本発明に
より得られる効果はすこぶる大きい。
第１図は本発明による装置の一実施例の構成を示す説明
図、第２図はそのプローブ支持台部の拡大斜視図、虹３
図は本発明による装置を用いての測定点を示し、（ａｌ
け正面図、（ｂｌけ伸面図である。 １・・・被測定感光体、３・・・回転軸、７・・・プロ
ーブ支持体、８・・・プルーブ支持台、１５・・・測定
プローブ、Ｕ・・・重錘亥持軸、２６・・・重錘。 ｂθ ／）２θ ｆ’１０（久） ７３ 図 Ｐθ／ （ｂ） ７６−
図、第２図はそのプローブ支持台部の拡大斜視図、虹３
図は本発明による装置を用いての測定点を示し、（ａｌ
け正面図、（ｂｌけ伸面図である。 １・・・被測定感光体、３・・・回転軸、７・・・プロ
ーブ支持体、８・・・プルーブ支持台、１５・・・測定
プローブ、Ｕ・・・重錘亥持軸、２６・・・重錘。 ｂθ ／）２θ ｆ’１０（久） ７３ 図 Ｐθ／ （ｂ） ７６−
Claims (1)
- １）感光体表面に平行に少なくとも一方向に移動可能の
支持体と、該支持体に支持され前記感光体の表面に垂直
方向に移動可能の接触式膜厚測定プローブとを備え、か
つ該プループが感光層に接触した際その感光層との接触
圧の増大を制約して該接触圧を一定に保持する働きをす
る重錘を前記プループの移動Ｋｆ５じて回動する軸上に
備えることを特徴とする電子写真用感光体の感光層膜・
厚測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP573183A JPS59131113A (ja) | 1983-01-17 | 1983-01-17 | 電子写真用感光体の感光層膜厚測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP573183A JPS59131113A (ja) | 1983-01-17 | 1983-01-17 | 電子写真用感光体の感光層膜厚測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59131113A true JPS59131113A (ja) | 1984-07-27 |
| JPH029685B2 JPH029685B2 (ja) | 1990-03-05 |
Family
ID=11619251
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP573183A Granted JPS59131113A (ja) | 1983-01-17 | 1983-01-17 | 電子写真用感光体の感光層膜厚測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59131113A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102384733A (zh) * | 2011-08-25 | 2012-03-21 | 铜陵三佳山田科技有限公司 | 塑封体厚度区分检测装置 |
| CN105043210A (zh) * | 2015-05-07 | 2015-11-11 | 嘉兴斯达微电子有限公司 | 一种物体表面镀层厚度的检测装置及过程管控方法 |
-
1983
- 1983-01-17 JP JP573183A patent/JPS59131113A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102384733A (zh) * | 2011-08-25 | 2012-03-21 | 铜陵三佳山田科技有限公司 | 塑封体厚度区分检测装置 |
| CN105043210A (zh) * | 2015-05-07 | 2015-11-11 | 嘉兴斯达微电子有限公司 | 一种物体表面镀层厚度的检测装置及过程管控方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH029685B2 (ja) | 1990-03-05 |
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