JPS59111043U - マスク欠陥検査装置 - Google Patents

マスク欠陥検査装置

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JPS59111043U
JPS59111043U JP584683U JP584683U JPS59111043U JP S59111043 U JPS59111043 U JP S59111043U JP 584683 U JP584683 U JP 584683U JP 584683 U JP584683 U JP 584683U JP S59111043 U JPS59111043 U JP S59111043U
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JP
Japan
Prior art keywords
mask
defect inspection
box
inspection equipment
mask defect
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Pending
Application number
JP584683U
Other languages
English (en)
Inventor
柴崎　四郎
Original Assignee
三菱電機株式会社
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Publication date
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  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のマスク欠陥検査装置を示す斜視図、第２
図はこの考案に係るマスク欠陥検査装置の一実施例を示
す斜視図、第３図は第２図のマスクホルダーアームの詳
細な斜視図である。 １・・・投光器、２・・・スタンド、３川ガラスマスク
、４・・・マスクホルダースタンド、５・・・ねじ、６
・・・箱、７・・・投光器、８・・・マスクホルダーア
ーム、８ａ・・・枠体、８ｂ・・・ホルダーアーム、９
川窓、１０・・・ガイド溝。なお、図中、同一符号は同
一または相当部分を示す。 補正　昭５８．　６．　３ 図面の簡単な説明を次のよ−うに補正する＝−明細書第
６頁第９〜１０行の「７・・・投光器、」を　　　−削
除する。　　−

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）クロムあるいは酸化クロムなどによりパターン形
    成されたガラスマスクを支持する枠体およびこの枠体の
    両側に固定され一体に回転させるためのホルダーアーム
    からなるマスクホルダーアームと、このマスクホルダー
    アームを回転可能に支持すると共にマスク欠陥検査時の
    覗き窓になる窓を前面に形成した中空の箱と、この箱の
    下部に上向きに設置された集合レンズ付きの投光器とを
    備えたことを特徴とするマスク欠陥検査装置。
  2. （２）前記箱の内側を黒色のつや消し塗装にしたことを
    特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載のマスク
    欠陥検査装置。
JP584683U 1983-01-17 1983-01-17 マスク欠陥検査装置 Pending JPS59111043U (ja)

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JP584683U JPS59111043U (ja) 1983-01-17 1983-01-17 マスク欠陥検査装置

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JP584683U JPS59111043U (ja) 1983-01-17 1983-01-17 マスク欠陥検査装置

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JPS59111043U true JPS59111043U (ja) 1984-07-26

Family

ID=30137421

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JP584683U Pending JPS59111043U (ja) 1983-01-17 1983-01-17 マスク欠陥検査装置

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