JPS59106557U - 真空槽内の磁性粉体の集塵装置 - Google Patents

真空槽内の磁性粉体の集塵装置

Info

Publication number
JPS59106557U
JPS59106557U JP73083U JP73083U JPS59106557U JP S59106557 U JPS59106557 U JP S59106557U JP 73083 U JP73083 U JP 73083U JP 73083 U JP73083 U JP 73083U JP S59106557 U JPS59106557 U JP S59106557U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vacuum chamber
dust collector
magnetic powder
magnetic
magnet
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP73083U
Other languages
English (en)
Other versions
JPS6326191Y2 (ja
Inventor
横山　一隆
Original Assignee
アルバツク成膜株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by アルバツク成膜株式会社 filed Critical アルバツク成膜株式会社
Priority to JP73083U priority Critical patent/JPS59106557U/ja
Publication of JPS59106557U publication Critical patent/JPS59106557U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPS6326191Y2 publication Critical patent/JPS6326191Y2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案装置の１例の截断平面図、第２図乃至第
６図はその変形例の截断平面図である。 １・・・真空槽、２・・・磁性部材、３・・・摩耗部分
、４・・・磁石。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 真空槽１内の磁性部材２の摩耗部分３に臨ませて磁石４
    を設けて成る真空槽内の磁性粉体の集塵装置。
JP73083U 1983-01-10 1983-01-10 真空槽内の磁性粉体の集塵装置 Granted JPS59106557U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP73083U JPS59106557U (ja) 1983-01-10 1983-01-10 真空槽内の磁性粉体の集塵装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP73083U JPS59106557U (ja) 1983-01-10 1983-01-10 真空槽内の磁性粉体の集塵装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS59106557U true JPS59106557U (ja) 1984-07-18
JPS6326191Y2 JPS6326191Y2 (ja) 1988-07-15

Family

ID=30132473

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP73083U Granted JPS59106557U (ja) 1983-01-10 1983-01-10 真空槽内の磁性粉体の集塵装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS59106557U (ja)

Also Published As

Publication number Publication date
JPS6326191Y2 (ja) 1988-07-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS58165789U (ja) 磁気テ−プカセツト
JPS58134704U (ja) 磁性巻き尺
JPS59106557U (ja) 真空槽内の磁性粉体の集塵装置
JPS5914166U (ja) フロツピ−デイスク保護用磁気遮断ケ−ス
JPS59138096U (ja) 密閉型磁気デイスク装置
JPS5897161U (ja) マスク保持用治具
JPS5839249U (ja) マグネツト枕カバ−
JPS6078282U (ja) 定盤
JPS59103570U (ja) 同極着磁磁石
JPS58134702U (ja) 磁性巻き尺
JPS58169989U (ja) 磁気脱着装置
JPS5950781U (ja) クリツプ
JPS58183948U (ja) ガスケツト
JPS6116392U (ja) 磁石付テ−プ
JPS5834917U (ja) 磁石入り肩当てパッド
JPS606208U (ja) マグネツト・ホルダ−
JPS59162294U (ja) 磁石付消しゴム
JPS5856394U (ja) レコ−ドプレ−ヤ
JPS59162282U (ja) 筆記用具
JPS5824279U (ja) マグネツト箸
JPS5964116U (ja) コンド−ム
JPS5815309U (ja) 磁気チヤツク
JPS595397U (ja) 曲線自在定規
JPS58144203U (ja) マグネツト応用メジヤ−
JPS58134703U (ja) 磁性巻き尺