JPS59103219U - 圧力温度複合センサ - Google Patents

圧力温度複合センサ

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Publication number
JPS59103219U
JPS59103219U JP20148082U JP20148082U JPS59103219U JP S59103219 U JPS59103219 U JP S59103219U JP 20148082 U JP20148082 U JP 20148082U JP 20148082 U JP20148082 U JP 20148082U JP S59103219 U JPS59103219 U JP S59103219U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pressure temperature
combined sensor
temperature combined
piezoelectric vibrator
sensor
Prior art date
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Pending
Application number
JP20148082U
Other languages
English (en)
Inventor
龍田　正隆
Original Assignee
東北金属工業株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 東北金属工業株式会社 filed Critical 東北金属工業株式会社
Priority to JP20148082U priority Critical patent/JPS59103219U/ja
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  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Testing Or Calibration Of Command Recording Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一例を示す断面図、第２図は圧電振動
子の特性図、第３図は圧電振動子の等価回路図、第４図
は第３図例の特性図、第５図は圧電振動子の特性たる常
温付近の周波数と温度との関係を示す図、第６図は同じ
く圧力とインピータンスとの関係を示す図、第７図はシ
リコン素子の一例を示す構造図、第８図は第７図例の回
路図、第９図は第７図例の特性図、第１０図及び第１１
図は本案センサの支持構造の−１・−例及び他の例を示
す図、第１２図は本案センサの特性曲線図である。 １・・・複合センサ、３・・・圧電振動子、４・・・シ
リコン圧力センサ。 第６図 第７図　　　　　　　第８図

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 薄板状圧電振動子とシリコン圧力センサとを一体に貼合
    せ、上記圧電振動子を駆動することにより上記シリコン
    圧力センサから出力を得るようにしたことを特徴とする
    圧力温度複合センサ。
JP20148082U 1982-12-27 1982-12-27 圧力温度複合センサ Pending JPS59103219U (ja)

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JP20148082U JPS59103219U (ja) 1982-12-27 1982-12-27 圧力温度複合センサ

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JP20148082U JPS59103219U (ja) 1982-12-27 1982-12-27 圧力温度複合センサ

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JPS59103219U true JPS59103219U (ja) 1984-07-11

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JP20148082U Pending JPS59103219U (ja) 1982-12-27 1982-12-27 圧力温度複合センサ

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