JPS59100856U - 基板の加工装置 - Google Patents
基板の加工装置Info
- Publication number
- JPS59100856U JPS59100856U JP19399882U JP19399882U JPS59100856U JP S59100856 U JPS59100856 U JP S59100856U JP 19399882 U JP19399882 U JP 19399882U JP 19399882 U JP19399882 U JP 19399882U JP S59100856 U JPS59100856 U JP S59100856U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate processing
- container
- processing equipment
- outer periphery
- eddy current
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の装置を示す簡略断面図、第２図は本考案
の実施例を示す簡略断面図である。 １・・・ホットプレート、２・・・ゴ、ツチング液、３
−・・容器、４・・・載置台、５・・・高周波誘導コイ
ル、６・・・被加熱体。
の実施例を示す簡略断面図である。 １・・・ホットプレート、２・・・ゴ、ツチング液、３
−・・容器、４・・・載置台、５・・・高周波誘導コイ
ル、６・・・被加熱体。
Claims (1)
- 耐薬品性でかつ渦電流損の少ない材質で作られた容器に
エツチング液を満たし、この容器内中央部に定められた
渦電流損を有する部材で作られかつ耐薬品性材料で被覆
された被加熱体を立設するとともに、この被加熱体外周
に近接して被加工基板を支持し、かつ前記容器外周に高
周波誘導コイルを設けたことを特徴とする基板の加工装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19399882U JPS59100856U (ja) | 1982-12-23 | 1982-12-23 | 基板の加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19399882U JPS59100856U (ja) | 1982-12-23 | 1982-12-23 | 基板の加工装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59100856U true JPS59100856U (ja) | 1984-07-07 |
| JPS6217484Y2 JPS6217484Y2 (ja) | 1987-05-06 |
Family
ID=30417111
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19399882U Granted JPS59100856U (ja) | 1982-12-23 | 1982-12-23 | 基板の加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59100856U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02228486A (ja) * | 1989-03-01 | 1990-09-11 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | エッチング方法 |
-
1982
- 1982-12-23 JP JP19399882U patent/JPS59100856U/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02228486A (ja) * | 1989-03-01 | 1990-09-11 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | エッチング方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6217484Y2 (ja) | 1987-05-06 |
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