JPS5898191U - 強制離脱型真空チヤツク - Google Patents

強制離脱型真空チヤツク

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JPS5898191U
JPS5898191U JP19827881U JP19827881U JPS5898191U JP S5898191 U JPS5898191 U JP S5898191U JP 19827881 U JP19827881 U JP 19827881U JP 19827881 U JP19827881 U JP 19827881U JP S5898191 U JPS5898191 U JP S5898191U
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JP
Japan
Prior art keywords
vacuum
vacuum chuck
cylinder part
diameter cylinder
forced release
Prior art date
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Pending
Application number
JP19827881U
Other languages
English (en)
Inventor
山浦　三夫
Original Assignee
日本ビクター株式会社
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Filing date
Publication date
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Publication of JPS5898191U publication Critical patent/JPS5898191U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１−Ａ図と第１−Ｂ図はこの考案に係る強制離脱型真
空チャックの真空吸引状態と真空破壊状態とを示す縦断
面図で、第１−０図は、第ｉ−Ａ図の矢視Ａ−Ａ断面図
、第２−Ａ図と第２−Ｂ図および第３−Ａ図と第３−Ｂ
図は使用例を示す縦断　　、面図である。 １・・・真空チャック本体、２・・・ハウジング、２ｂ
・・・開口、３・・・キャップ、４・・・大径シリンダ
部、５・・・小径シリンダ部、６・・・連絡孔、７・・
・ピストン、　　′７ａ・・・ピストンの頭部、７ｂ・
・・ピストンの押棒部、８・・・連通溝、矢印・・・空
気の流れ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 吸着用真空系および真空破壊兼強制離脱用圧縮空気系と
    連絡きれる真空チャック本体の内部空間を大径シリンダ
    部と下端を開口とした小径シリンダ部とで形成し、上記
    大径シリンダ部の内側に摺動自在にピストンの頭部を嵌
    合し、この頭部の下方に形成した押棒部を小径シリンダ
    部の内側に遊嵌し、上記した開口より押棒部の下端が真
    空吸引時には没入し真空破壊時には突出することを特徴
    とする強制離脱型真空チャック。
JP19827881U 1981-12-24 1981-12-24 強制離脱型真空チヤツク Pending JPS5898191U (ja)

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JPS5898191U true JPS5898191U (ja) 1983-07-04

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