JPS5897546U - 高周波プラズマ分析装置 - Google Patents
高周波プラズマ分析装置Info
- Publication number
- JPS5897546U JPS5897546U JP19354181U JP19354181U JPS5897546U JP S5897546 U JPS5897546 U JP S5897546U JP 19354181 U JP19354181 U JP 19354181U JP 19354181 U JP19354181 U JP 19354181U JP S5897546 U JPS5897546 U JP S5897546U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- frequency plasma
- high frequency
- plasma analyzer
- forming device
- flame forming
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の一実施例装置の全体を示す側面図、第
２図は同じく熱交換器の縦断側面図であり・・・・・・
グローブボックス、７・・曲プラズマ炎形成装置スタン
ド、９・・・・・・冷却用熱交換器、１ｏ・・・・・・
ファン。
２図は同じく熱交換器の縦断側面図であり・・・・・・
グローブボックス、７・・曲プラズマ炎形成装置スタン
ド、９・・・・・・冷却用熱交換器、１ｏ・・・・・・
ファン。
Claims (1)
- 高周波プラズマ炎形成装置と冷却用熱交換器とをボーツ
クス内に設置して高周波プラズマ炎形成装置を外部から
遮蔽した高周波プラズマ分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19354181U JPS5897546U (ja) | 1981-12-25 | 1981-12-25 | 高周波プラズマ分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19354181U JPS5897546U (ja) | 1981-12-25 | 1981-12-25 | 高周波プラズマ分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5897546U true JPS5897546U (ja) | 1983-07-02 |
| JPS626527Y2 JPS626527Y2 (ja) | 1987-02-14 |
Family
ID=30106893
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19354181U Granted JPS5897546U (ja) | 1981-12-25 | 1981-12-25 | 高周波プラズマ分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5897546U (ja) |
-
1981
- 1981-12-25 JP JP19354181U patent/JPS5897546U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS626527Y2 (ja) | 1987-02-14 |
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