JPS5888202A - Driving apparatus - Google Patents

Driving apparatus

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JPS5888202A
JPS5888202A JP18738481A JP18738481A JPS5888202A JP S5888202 A JPS5888202 A JP S5888202A JP 18738481 A JP18738481 A JP 18738481A JP 18738481 A JP18738481 A JP 18738481A JP S5888202 A JPS5888202 A JP S5888202A
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JP
Japan
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deviation
load
servo motor
input
line
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JP18738481A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Satoru Sasaki
悟 佐々木
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Original Assignee
Individual
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15BSYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B9/00Servomotors with follow-up action, e.g. obtained by feed-back control, i.e. in which the position of the actuated member conforms with that of the controlling member
    • F15B9/02Servomotors with follow-up action, e.g. obtained by feed-back control, i.e. in which the position of the actuated member conforms with that of the controlling member with servomotors of the reciprocatable or oscillatable type
    • F15B9/03Servomotors with follow-up action, e.g. obtained by feed-back control, i.e. in which the position of the actuated member conforms with that of the controlling member with servomotors of the reciprocatable or oscillatable type with electrical control means

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
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  • Actuator (AREA)

Abstract

PURPOSE:To obtain a driving apparatus with high thrust, high torque, and high accuracty by controlling a load driving servomotor so that the deviation between the detection signal for transfer of a load and the command signal becomes zero and controlling feeding of pressurized fluid to a load driving actuator according to the magnitude of said deviation. CONSTITUTION:As for an arm 4 which suspends a load 5 at the edge, the center part close to the rear edge is pivotally supported on a supporting base, and a cylinder 14 is installed between the supporting base and the part close to the top edge of the arm, and a screw rod 9 and a nut 10 are arranged between the supporting base and the rear edge part of the arm. The command pulse for positioning through turning of a screw rod 9 by a servomotor 10, is input into one input terminal 19 of a deviation counter 18, and the signal having the polarity corresponding to the normal and reverse revolution of the screw rod 9 is input into the other input terminal 20. The output signal of the deviation counter 18 drives the servomotor 10, and at the same time, drives the cylinder 14 by controlling valves 45 and 46 through an amplifier 30 and a zero-voltage relay 42.

Description

【発明の詳細な説明】 末完明け、負荷を駆動する装置に関する。[Detailed description of the invention] The present invention relates to a device for driving a load.

負荷を位置決めおよび追従制御するために、従来から、
サーボモータまたは油圧シリンダなどの流体圧アクチュ
エータが用いられている。サーボモータを用いれば、高
精度の制御を行なうことができるけれども、その出力容
量には限度があり、容量が大きくなるに従って応答性が
低下するという問題がある。このことは特にアームの上
下旋回などによってサーボモータが負の高荷重状態とな
ったときに著しい。しかるに、流体圧アクチュエ。−夕
を用いれば、大きい推力またはトルクを得ることはでき
るけれども、加工精度および流体圧の温度特性などに依
存して精度に限度がある。
Conventionally, in order to position and control the load,
Fluid pressure actuators such as servo motors or hydraulic cylinders are used. Although highly accurate control can be performed using a servo motor, there is a limit to its output capacity, and there is a problem in that as the capacity increases, responsiveness decreases. This is particularly noticeable when the servo motor is placed under a high negative load due to vertical rotation of the arm. However, fluid pressure actuators. Although it is possible to obtain a large thrust or torque by using a cylinder, there is a limit to the accuracy depending on machining accuracy and temperature characteristics of fluid pressure.

本発明の目的は、負荷を高推力または高トルクでかつ高
精度の位置決めおよび優れた応答性を得るようにした駆
動装置を提供することである。
An object of the present invention is to provide a drive device that can drive a load with high thrust or high torque, and achieves highly accurate positioning and excellent responsiveness.

第1図は本発明の一実施の正面図である。固定fsl上
には、支持台2が立設されており、この支持台2の上部
には水平軸線を有するピン3によってアーム4が回転自
在に枢支される。アーム4の一端部には、負荷5が連結
されている。アーム4の他端部には、ピン3と平行な水
平軸線を有するピン6によって、筒体7の端部が枢支さ
れている。
FIG. 1 is a front view of one implementation of the invention. A support stand 2 is erected on the fixed fsl, and an arm 4 is rotatably supported on the upper part of the support stand 2 by a pin 3 having a horizontal axis. A load 5 is connected to one end of the arm 4. At the other end of the arm 4, an end of a cylinder 7 is pivotally supported by a pin 6 having a horizontal axis parallel to the pin 3.

この筒体7の他端部には、ナツト8が固定されておりこ
のナツト8にはポールねじのねじ捧9が暉合する。この
ねじ捧9ii′筒体7内に挿入されることができる。ね
じ捧9け、サーボモーター0によって回転駆動される。
A nut 8 is fixed to the other end of the cylindrical body 7, and a screw stud 9 of a pole screw is screwed into the nut 8. This screw stud 9ii' can be inserted into the cylindrical body 7. It has nine screws and is rotationally driven by a servo motor.

サーボモーター0け、ピン3と平行な水平軸線を有する
トラニオン軸11によって、支持台2に固定されたプラ
ツク)12に支持される。ピン3に関してピン6とは反
対側には、そのピン3に平行な水平軸線を有するもう1
つのピン13によって油圧シリング−4のピストン棒1
5が枢支される。シリング−4#−t、クレビスビン1
6によって、支持台2に固定されたブラケット17に枢
支される。
It is supported by a trunnion shaft 11 with a servo motor and a horizontal axis parallel to the pin 3 on a plaque 12 fixed to the support base 2. On the opposite side of the pin 3 from the pin 6 is another one having a horizontal axis parallel to the pin 3.
Hydraulic sillage-4 piston rod 1 by two pins 13
5 is pivoted. Schilling-4#-t, clevis bottle 1
6, it is pivotally supported by a bracket 17 fixed to the support base 2.

第2図は、サーボモーター0およびシリング−4に関連
する回路図である。偏差力2ンタ18の一方の入力19
には、サーボモーター0による位置決めを行なうための
変位量を表わす指令パルスが入力される。偏差カウンタ
18のもう1つの入力20には、ね◆俸9の正回転捷た
け逆回転に対応した極性を有する信号が与えられる。こ
の偏差カウンタ18のさらにもう1つの入力21には、
サーボモータ10の変位量を検出する噴出器22からの
パルスが与えられる。λカ19.21からのパルスの差
を表わす偏差パルスは、ライン23からデジタル/アナ
ログ変換器24に与えられて電圧値に変換され、減算器
25の一方の久方に与えられる。減算器25の使方の入
力にけ、検出器22によって検出された速實を表わすデ
ジp /L74g号が、周波数/電圧変換器26から与
えられる。
FIG. 2 is a circuit diagram related to servo motor 0 and Schilling-4. One input 19 of the deviation force 2 terminal 18
A command pulse representing the amount of displacement for positioning by the servo motor 0 is input to the servo motor 0 . Another input 20 of the deviation counter 18 is supplied with a signal having a polarity corresponding to the forward rotation and reverse rotation of the payload 9. Yet another input 21 of this deviation counter 18 is
A pulse is provided from an ejector 22 that detects the amount of displacement of the servo motor 10. A deviation pulse representing the difference of the pulses from λ 19.21 is applied from line 23 to a digital/analog converter 24 where it is converted into a voltage value and applied to one side of a subtractor 25. At the input of the subtracter 25, a digital p/L74g signal representing the speed detected by the detector 22 is provided from the frequency/voltage converter 26.

減算器25からの偏差電圧は、ライン28から増幅器2
9を介してサーボモータ1oに与えられる。
The deviation voltage from the subtractor 25 is transferred from the line 28 to the amplifier 2.
9 to the servo motor 1o.

検出JJ22,1.ら入力21に与えられる信号および
周波数/電圧変換426からの出力は、負帰還され、ラ
イン28における偏差電圧が入力19から与えられる指
令パルスのパルス数に対応する速変を維持する様にサー
ボ卓−夕1oけねじ捧9を駆動する。
Detection JJ22,1. The signal applied to input 21 and the output from frequency/voltage converter 426 are negatively fed back to the servo console so that the deviation voltage in line 28 maintains a speed change corresponding to the number of command pulses applied from input 19. - Drive the screw 9 on the 1st floor.

ライン28からの偏差電圧はまた、増幅器30によって
増幅され、ライン31から零電圧リレー32に与えられ
る。この零電圧リレー32け、ライン31からの出力が
予め定めた個未満であるときに導通し、その予め定めた
値以上であるときに遮断する機能を有する。零電圧リレ
ー32からの出力は、絶対値回路33に与えられる。
The deviation voltage from line 28 is also amplified by amplifier 30 and provided to zero voltage relay 32 from line 31. This zero voltage relay 32 has a function of conducting when the output from the line 31 is less than a predetermined value and cutting off when the output is equal to or greater than the predetermined value. The output from zero voltage relay 32 is given to absolute value circuit 33.

絶対値回路33け、第3図に示されるように正負にわた
る入力電圧の絶対値に対応した出力を導出する。絶対値
回路33からの出力は、電圧/同波数変換器34によっ
て周波数に変換されて偏差カウンタ35の一方の入力3
6に与えられる。偏差カウンタ3゛5の他方の入力37
には、零電圧リレー32からの出力が与えられる。偏差
カウンタ35は、入力37に与えられる極性を有する入
力36からのパルスをライン38にJ0出しかつ保持す
る。デジタル/アナログ変換器39は、偏差カウンタ3
5からの出力を電圧値に変換する。この電圧値は、増幅
器40によって増幅され、加算器41の一方の入力に与
えられる。加算器41のもう1つの入力には、ライン3
1からの信号が零電圧リレー42を介して与えられる。
The absolute value circuit 33 derives an output corresponding to the absolute value of the input voltage ranging from positive to negative as shown in FIG. The output from the absolute value circuit 33 is converted into a frequency by the voltage/same wave number converter 34 and is input to one input 3 of the deviation counter 35.
given to 6. The other input 37 of the deviation counter 3'5
is provided with an output from zero voltage relay 32. Deviation counter 35 outputs and holds on line 38 J0 a pulse from input 36 having the polarity given to input 37. The digital/analog converter 39 converts the deviation counter 3
Convert the output from 5 to a voltage value. This voltage value is amplified by an amplifier 40 and applied to one input of an adder 41. Another input to adder 41 is line 3.
1 is applied via zero voltage relay 42.

零電圧リレー42は、ライン31の電圧が予め定めた個
未満であるとき遮断し、その予めボめた値以上であると
き導通する機能を有する。加算@41からの出力は、増
幅器43からライン44を介して圧力弁45.46に与
えられる。圧力弁45け、ライン44の電圧が負である
とき、ライン47を介する圧油をシリング14のヘッド
側のシリンダ室48に供給する。もう1つの圧力弁46
は、ライン44の電圧が正であるとき、ライン47から
の圧油をピストン棒15側のシリンダ室49に供給する
The zero voltage relay 42 has a function of cutting off when the voltage of the line 31 is less than a predetermined value and turning on when it is equal to or higher than the predetermined value. The output from the summing@41 is provided from the amplifier 43 via line 44 to the pressure valve 45.46. When the voltage of the pressure valve 45 and the line 44 is negative, pressure oil is supplied through the line 47 to the cylinder chamber 48 on the head side of the cylinder 14 . Another pressure valve 46
supplies pressure oil from line 47 to cylinder chamber 49 on the piston rod 15 side when the voltage on line 44 is positive.

シリンダ室48.49からの闇り泪1はライン50を介
して排出される。圧力弁45.46は、ライン44から
の電圧に比例し是圧力を有する圧油をシリンダ室48.
49にそれぞれ供給する。
The liquid from the cylinder chambers 48, 49 is discharged via line 50. Pressure valves 45 , 46 direct pressure oil having a pressure proportional to the voltage from line 44 to cylinder chamber 48 .
49 respectively.

第1図および第2図に示された実施例の動作をA9、川
する。負荷5が静止している状態では、アーム4には、
負荷5の自重によってピン3の軸線まわりにv;1図の
反時計方向の七′−メントが作用する。そのため筒体7
およびナツト8は、第1図の上方に引っ張られる。これ
によってボールねじのねじ棒9に回転力が作用する。そ
の゛ためサーボモータ10の出力軸がわずかに回転する
。したがって検出器22からパルスが発生し、このパル
スによってライン23には負の偏差パルスが発生する。
The operation of the embodiment shown in FIGS. 1 and 2 is explained in step A9. When the load 5 is stationary, the arm 4 has:
The weight of the load 5 acts around the axis of the pin 3 in a counterclockwise direction as shown in FIG. Therefore, the cylinder 7
and the nut 8 is pulled upwards in FIG. This causes a rotational force to act on the threaded rod 9 of the ball screw. Therefore, the output shaft of the servo motor 10 rotates slightly. Detector 22 thus generates a pulse, which generates a negative deviation pulse in line 23.

この偏差パルスによって、サーボモータ10け、負荷5
の自重に起因したねじ棒9のトルクに対抗する方向のト
ルクを発生する。ライン28における偏差電圧はまた増
幅器30によって増幅される。
This deviation pulse causes 10 servo motors and 5 loads.
generates a torque in a direction that opposes the torque of the threaded rod 9 due to its own weight. The deviation voltage on line 28 is also amplified by amplifier 30.

この増幅されたライン31における電圧は、前記予め定
めた値未満であるので、零電圧リレー32倉介して枦、
対値回路33に与えられて正の電圧となり、この電圧は
周波数に変換されて偏差カクンタ35において保持され
る。ライン28における偏差電圧は負であり、したがっ
て偏差カクンタ35の入力37には負極性の信号が与え
られる。
Since the voltage on this amplified line 31 is less than the predetermined value, the voltage on the amplified line 31 is
A positive voltage is applied to the counter value circuit 33, and this voltage is converted into a frequency and held in the deviation counter 35. The deviation voltage on line 28 is negative and therefore input 37 of deviation capunta 35 is provided with a signal of negative polarity.

そのためライン38における負のパルスは、デジタル/
アナログ変換器39によって負のアナログ信号に変換さ
れる。こうして増幅器40、加算器41および増幅器4
3を介してライン44に導出される電圧は負の導性とな
る。したがって圧力弁45が作幼し、ヘッド側のシリン
ダ室48に圧油が供給される。そのためピストン棒15
が伸長する方向に力が+p生じ、アーム4をピン3のl
ll1hlv!!まわりに時計方向にわずかに角変位す
る。これによって検出器22の出力が変化し、ライン2
8における偏差電圧が零に近づき、静的な釣り合いが保
たれる。
The negative pulse on line 38 is therefore
The analog converter 39 converts it into a negative analog signal. Thus, amplifier 40, adder 41 and amplifier 4
3 to line 44 will be of negative conductivity. Therefore, the pressure valve 45 is opened and pressure oil is supplied to the cylinder chamber 48 on the head side. Therefore, the piston rod 15
A force +p is generated in the direction of extension of the arm 4,
ll1hlv! ! A slight angular displacement in a clockwise direction. This changes the output of the detector 22, causing the line 2
The deviation voltage at 8 approaches zero and static balance is maintained.

このようにして負荷5が静1トしている状態においては
、シリンダ14の働きによって負荷5の自重に、起因し
た力を苧けてアーム4を静市したままに保つことが可能
となる。そのためサーボモータ10ノ’4炉を小さくす
ることができる。また負荷5の上下の位置け、サーボモ
ータ10による変位量を検出する検出器22からの出力
が負帰還されるので、位置決めおよび追従用a1が高精
度で行なわれることになる。
In this manner, when the load 5 is in a stationary state, the force caused by the load 5's own weight is overcome by the action of the cylinder 14, and the arm 4 can be kept stationary. Therefore, the servo motor 10/4 furnace can be made smaller. Further, since the output from the detector 22 which detects the upper and lower positions of the load 5 and the amount of displacement by the servo motor 10 is fed back negative feedback, positioning and tracking a1 can be performed with high precision.

アーム4をピン3の軸線まわりに時計方向に持ち上げて
上下に旋[川する動作を説明する。この場合、変位量を
表わす指令パルスが偏差カクンタ18の入力19に与え
られ、入力20には負の信号が与えられる。これによっ
てライン28には負の偏差電子が発生する。こうしてサ
ーボモータ10けねじ棒9を回転駆動して筒体7および
ナンド8を下方、に変位するようにねじ棒9を回転駆動
する。
The operation of lifting the arm 4 clockwise around the axis of the pin 3 and rotating it up and down will be explained. In this case, a command pulse representing the amount of displacement is applied to the input 19 of the deviation capacitor 18, and a negative signal is applied to the input 20. As a result, negative deviation electrons are generated in the line 28. In this way, the servo motor 10 rotates the threaded rod 9 to rotate the threaded rod 9 so as to displace the cylinder 7 and the NAND 8 downward.

これと同時に、ライン28の偏差電圧は増幅器30によ
って増幅され、そのためライン31における電圧は零電
圧リレー42の前記予め定める値を超える。したがって
零電圧リレー42が導通する。
At the same time, the deviation voltage in line 28 is amplified by amplifier 30 so that the voltage in line 31 exceeds the predetermined value of zero voltage relay 42. Therefore, zero voltage relay 42 becomes conductive.

そのため増幅器43の出力はライン44から午力弁45
に与えられ、これによってヘッド側のシリンダ室48に
圧油が供給される。そのためピストン棒15はアーム4
に上向きの加速力を発揮する。
Therefore, the output of the amplifier 43 is transferred from the line 44 to the power valve 45.
This supplies pressure oil to the cylinder chamber 48 on the head side. Therefore, the piston rod 15 is
exerts upward acceleration force.

負荷5を第1図の下方に変位するためにアーム4をピン
3の軸線まわりに反時計方向に角変位するにあたっては
、偏差カクンタ18の入力19にその変位量に対応した
指令パルスを与えるとともに、入力20を正極性とする
。これによってライン28には正の偏差電圧が発生し、
サーボモータ10け、筒体7およびナツト8を上方に変
位するようにねじ棒9を回転駆動するとともに、増幅器
30からライン31を介する電圧け、零電圧リレー42
から加算@41、増幅器43およびライン44を介して
圧力弁46に与えられる。そのためピストン捧15側の
シリンダ室49に圧油が供給され、ピストン棒15が縮
小される。サーボモータ10の駆動によって検出器22
の出力が発生され、ライン28における偏差電子が零と
なるまでサーボモータ10およびシリンダ14が1動さ
れる。
In order to angularly displace the arm 4 in a counterclockwise direction around the axis of the pin 3 in order to displace the load 5 downward in FIG. , the input 20 is of positive polarity. This generates a positive deviation voltage in line 28,
The servo motor 10 rotates the threaded rod 9 so as to displace the cylinder 7 and the nut 8 upward, and also outputs a voltage from the amplifier 30 via the line 31 to a zero voltage relay 42.
from summing@41, amplifier 43 and via line 44 to pressure valve 46. Therefore, pressure oil is supplied to the cylinder chamber 49 on the piston rod 15 side, and the piston rod 15 is reduced. The detector 22 is driven by the servo motor 10.
output is generated, and the servo motor 10 and cylinder 14 are moved one time until the deviation electron in line 28 becomes zero.

第4図は、本発明の伸の実施例の一部の断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view of a portion of an elongated embodiment of the present invention.

ねじ* 9u ’−歯車51.52によってサーボモー
タ10に連結されており、このねじ棒9けスラスト軸受
け53.54によって支持体2に固定されたブラケット
55に支持される。このブラケット55には、ラジアル
軸受け56が設けられている。スラスト軸受け53.5
4とブラケット55との間には、ねじ棒9に作用するス
ラスト荷重を検出するた・めの圧力検出器57.58が
それぞれ介在されている。本発明の考え方によれば、圧
力検出器57.58からの出力をライン59に与えるよ
うにしてもよい。このとき、ライン31゜59間に介在
された零電圧リレー32は省略される。
It is connected to the servo motor 10 by a screw*9u'-gear 51.52 and is supported by a bracket 55 fixed to the support 2 by a thrust bearing 53.54 of this threaded rod. This bracket 55 is provided with a radial bearing 56. Thrust bearing 53.5
Pressure detectors 57 and 58 for detecting the thrust load acting on the threaded rod 9 are interposed between the screw rod 4 and the bracket 55, respectively. According to the idea of the invention, the output from pressure detectors 57,58 may be provided on line 59. At this time, the zero voltage relay 32 interposed between the lines 31 and 59 is omitted.

本発明の他の実権例として、シリンダ14に代えて流体
圧で動作するロータリアクチュエータなどであってもよ
い。サーボモータ10#−j、前述の実施例でけねじ捧
9を駆動したけれども、本発明の他の実施例としてサー
ボモータ10からノ仙力は減速機に伝えられ、この減速
機によって負荷5を躯勅するようにしてもよい。
As another practical example of the present invention, the cylinder 14 may be replaced with a rotary actuator operated by fluid pressure. Although the servo motor 10#-j drives the locking screw 9 in the above-described embodiment, in another embodiment of the present invention, the force from the servo motor 10 is transmitted to a reduction gear, and the load 5 is transmitted to the reduction gear by this reduction gear. You may also try to force yourself to do so.

以上のように本発明によれば、負荷の位置決めおよび追
従制御はサーボモータによって負帰還ループで行なわれ
、高精度の位置決めおよび追従制御が可能になる。また
負荷の静止時および移動のためには流体圧アクチュエー
タが併せて用いられ、これによって負荷を大きい推力ま
たはトルりで移動することができるとともに、サーボモ
ータを小形化することが可能になる。サーボモータの小
形化によって、応答性の低下を防ぐことができる。
As described above, according to the present invention, load positioning and follow-up control are performed by a servo motor in a negative feedback loop, making it possible to perform highly accurate positioning and follow-up control. Further, a fluid pressure actuator is also used when the load is stationary and for moving the load, which allows the load to be moved with a large thrust or torque, and also allows the servo motor to be downsized. By downsizing the servo motor, it is possible to prevent a decrease in responsiveness.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明の一実施例の正面図、第2図は第1図に
示された実施例の回路図、第3図は絶対値回路33の特
性を示すグラフ、第4図は本発明の他Ω実施例の一部の
断面図であ妬。 2・・・支持台、3,6,11,13.16・・・ピン
、4・・・アーム、5・・・負荷、7・・・筒体、8・
・・ナツト、9・・・ねじ捧、10・・・サーボモータ
、14・・・シリング、18.35・・・偏差カクンタ
、22・・・検出器、24.39・・・デジタル/アナ
ログ変換器、25・・・減算器、29,30,40.4
3・・・増幅型、32゜42・・・零電圧リレー、33
・・・絶対値回路、34・・・電圧/周波数変換器、4
5.46・・・圧力弁代理人   弁理士 西教圭一部 lペク泊〃すZ◇ZククSt’/AX乞汐乞lぺt心第
3図 第4図
FIG. 1 is a front view of an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a circuit diagram of the embodiment shown in FIG. 1, FIG. 3 is a graph showing the characteristics of the absolute value circuit 33, and FIG. This is a cross-sectional view of a part of an embodiment of the invention. 2... Support stand, 3, 6, 11, 13. 16... Pin, 4... Arm, 5... Load, 7... Cylindrical body, 8...
... Nut, 9 ... Screw head, 10 ... Servo motor, 14 ... Schilling, 18.35 ... Deviation kakunta, 22 ... Detector, 24.39 ... Digital/analog conversion Container, 25... Subtractor, 29, 30, 40.4
3...Amplification type, 32゜42...Zero voltage relay, 33
... Absolute value circuit, 34 ... Voltage/frequency converter, 4
5.46...Pressure valve agent Patent attorney Kei Nishikyo part l pekku stay Z◇Zkuku St'/AX begging l pet heart Figure 3 Figure 4

Claims (1)

【特許請求の範囲】 負荷を駆動するサーボモータと、 負荷の移動を検出する検出器と、 指令信号と噴出器からの検出出力との偏差を求めて、〜
その偏差が零となるようにサーボモータを制御する負帰
還ループを構成する回路と、負荷を駆動する流体圧アク
チュエータと、流体圧アクチュエータへの圧力流体供給
手段と、前記偏差が予め定めた値以上であるとき、流体
圧アクチュエータが前記偏差に対応した力を発生するよ
うに圧力流体供給手段を制御する回路と、前記偏差が予
め定めた値未満であるとき、流体圧アクチュエータがサ
ーボモータに作用する力に抗する偏差に対応した力を発
生するように圧力流体°供給手段を制御する回路とを含
むことを特徴とする駆動装置。
[Claims] A servo motor that drives a load, a detector that detects movement of the load, and a deviation between a command signal and a detection output from an injector,
A circuit constituting a negative feedback loop that controls a servo motor so that the deviation becomes zero, a fluid pressure actuator that drives a load, a means for supplying pressure fluid to the fluid pressure actuator, and a circuit that controls a servo motor so that the deviation becomes zero. a circuit for controlling a pressure fluid supply means such that the fluid pressure actuator generates a force corresponding to the deviation; and when the deviation is less than a predetermined value, the fluid pressure actuator acts on the servo motor. A drive device comprising: a circuit for controlling a pressure fluid supply means to generate a force corresponding to a deviation resisting the force.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5590580A (en) * 1994-02-03 1997-01-07 Smc Corporation Loading positioning apparatus
US7784952B2 (en) 2004-03-10 2010-08-31 Kiwa Chemical Industry Co., Ltd. Enclosed lens type retroreflective sheet with wide-angle reflective performance and external illumination system

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