JPS5888190A - Non-oxide ceramics - Google Patents

Non-oxide ceramics

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Publication number
JPS5888190A
JPS5888190A JP18731681A JP18731681A JPS5888190A JP S5888190 A JPS5888190 A JP S5888190A JP 18731681 A JP18731681 A JP 18731681A JP 18731681 A JP18731681 A JP 18731681A JP S5888190 A JPS5888190 A JP S5888190A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ceramic
ceramics
oxide
coating
sintered body
Prior art date
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Pending
Application number
JP18731681A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
正明 本多
栄治 上條
西本 達也
樋口 松夫
塚田 博
修 小村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Electric Industries Ltd
Original Assignee
Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Electric Industries Ltd filed Critical Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority to JP18731681A priority Critical patent/JPS5888190A/en
Publication of JPS5888190A publication Critical patent/JPS5888190A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 この究明は非酸化#IIJ糸竜うミックスに係シ、評し
くのべると、iltl加削後の非絃化物系セラミックス
焼結体表面に!に貿する鋭利な@耐傷による曲率を諷少
させて焼結体としての破壊−直管向上させる丸めに%前
記斬削加工後の非敵化物系セラミックス決鮎体表山にセ
ラミックスコーティング層′に形成δせたことを特徴と
する非酸化物系セラミックスに圓するものである。
[Detailed Description of the Invention] This investigation is related to the non-oxidized #IIJ yarn mix, and can be summarized as follows. To reduce the curvature due to sharp scratch resistance and fracture as a sintered body - to improve straight pipe rounding, the non-fog based ceramics after the cutting process are applied to the ceramic coating layer on the surface of the body. It is a round of non-oxide ceramics characterized by having a reduced formation δ.

セラミックスは本来脆性材料であり、殆んど塑性良形せ
ずに破壊に生るものである。
Ceramics are inherently brittle materials, and tend to break without forming well.

卸ら、セラミックス中の孔、不純物、′Jic向傷など
の欠1111sから亀裂が発生すると、同一応力状塾下
では亀裂の進展が止まらず、従ってそのまま破栖へと至
るのである。
When cracks occur due to defects such as pores, impurities, and defects in ceramics, the cracks do not stop growing under the same stress condition, and therefore lead to failure.

互いかえれば、セラミックス中の欠陥による応力来中度
がセラミックスの強WKを決定するということである。
In other words, the degree of stress induced by defects in the ceramic determines the strong WK of the ceramic.

またセラミックス構造体の一般的な使用条件下ではセラ
ミックスの表向で垣大厄ツノになることが多く、これは
特Km造体弐面の欠陥即ち孔や−が輛這体の強皺を支配
するということにつながるのである。
In addition, under the general usage conditions of ceramic structures, the surface of the ceramic often becomes hard to form, and this is because defects such as pores and holes on the second side of the structure dominate the strong wrinkles of the structure. This leads to this.

一カセラミックスは硬kが犬であるため、一般1C鉱石
による統制によって最終仕土げ加工t−打っている。こ
のため次面に鋭利な他制が残−しやすく、これが機械的
破壊強&を低下させる最大の欠陥とちれている。
Since the hardness of Ichika ceramics is very high, the final finishing process is done under the control of general 1C ore. For this reason, sharp edges tend to remain on the next surface, and this is the biggest defect that reduces mechanical fracture strength.

本晃明者らは非改化物糸セラミックス炭鮎体の加工次曲
における上記の欠陥を解消すべく樵tIシた結果、非敵
化物系セラミックス焼給体の加工表面に残貿する鋭利な
傷tμ表面にセラミックスのコーティング層を形成せし
めるととKよって消滅あるいは滑らかにするならは、応
力集中度を減少させることができ、これによって該表面
の破麺強度のバラツキを小さくできることを見出し九〇
である。
In order to eliminate the above-mentioned defects in the processing of non-modified yarn ceramic charcoal bodies, the present authors worked with woodworkers, and as a result, sharp scratches tμ remained on the processed surface of non-modified ceramic yarn bodies. It was discovered that if a ceramic coating layer is formed on the surface and it is eliminated or smoothed by K, the degree of stress concentration can be reduced, and thereby the variation in the strength of broken noodles on the surface can be reduced.90. .

以Fこυ発明の詳細な説明する。The invention will now be described in detail.

陣b1こO発明において、非酸化−系セラミックス焼結
体の〃ね工表向に厖すセラミックスのコーティング層が
上記の目的を達成するためには、(1)  m軸体とセ
ラミックスコーティング層との密着性がよいこと (2J  m軸体とセラミックスコーティング層の熱鯵
張詠畝が近い−を示すこと が擬木もれる。
In the invention, in order for the ceramic coating layer to be removed on the surface of the non-oxidized ceramic sintered body to achieve the above object, (1) the m-axis body and the ceramic coating layer; Good adhesion (the ridges of the 2J m shaft and the ceramic coating layer are close to each other) is a sign of pseudo-wood leakage.

これt;L (1)については、セラミックスコーティ
ング層と焼結体とが連M応力場におかれていないとコー
ティングの効果が発揮されないためであり、(2)祉こ
のようなコーティングmt−形成させた非酸化−禾セラ
ミックス焼結体が?ib温雰温気囲気いられるとき、で
の外囲に熱応力を生じさせないようにするためである。
This is because (1) the coating effect cannot be exhibited unless the ceramic coating layer and the sintered body are placed in a continuous M stress field, and (2) the coating mt-formation is What about the non-oxidized ceramic sintered body? This is to prevent thermal stress from occurring in the outer enclosure when exposed to a warm atmosphere.

上記のような見地からコーティング層を形成するコーテ
ィング材料としては非酸化物系セラミックス焼結体に榊
成する材料と同一のものを用いるのがm1ltIfまし
い。
From the above point of view, it is preferable to use the same coating material for forming the coating layer as the material used to form the non-oxide ceramic sintered body.

但し、熱応力を問題としない時には必すしも両者10」
−でなく、!A柚材料であっても渣支えない。
However, if thermal stress is not an issue, both must be 10.
-Not! Even if it is a yuzu material, it will not support the residue.

従ってこの%明で用いる非販化−系セラミックスkm体
が5ilN、、SiCなどからなるものとすると、コー
ティング材料としては513N4 、blCやM2O3
などのセラミックスが鳩当である。
Therefore, if the non-commercial ceramic km body used in this % light is made of 5ilN, SiC, etc., the coating material may be 513N4, blC or M2O3.
Ceramics such as these are pigeon stops.

このようなコーティング阿科を焼結体にコーティングす
るKに、2a1當のcvDa、プラズマCVD法、Pv
D法などの何れのコーテイ/り区t−採用してもよいが
、焼結体とコーティングMeとの密愈性がX景となるか
ら、この点からある極度^温、例えは800℃以上にて
コーティングすることが好ましく、またつきまわシ性か
らみてCVD法が電も好ましい。
To coat the sintered body with such a coating, 2a1 cvDa, plasma CVD method, Pv
Any coating method such as the D method may be used, but since the tightness between the sintered body and the coating Me becomes X-dimensional, from this point on, it is necessary to use a certain extreme temperature, for example, 800℃ or higher. It is preferable to coat the film using a chemical vapor deposition method, and from the viewpoint of throw-through properties, a CVD method is also preferable.

さらKより密着性を向上せしめるためには、上記のコー
ティングののちに熱処理によって焼結する方法あるいは
コーティング前に焼結体01111にあらかじめ該焼結
体の焼結助剤となる例えばMgO1Y203などのよう
な酸化物をバインダーノーとしてコーティングし、その
後に焼結体と同一材料によるコーティングを行って熱処
理cmiim結)させる方法t−竹ってもよい。
Furthermore, in order to further improve the adhesion, it is possible to sinter it by heat treatment after the above-mentioned coating, or to add a sintering aid such as MgO1Y203 to the sintered body 01111 before coating. Alternatively, the sintered body may be coated with a similar oxide as a binder, and then coated with the same material as the sintered body, followed by heat treatment.

このようにして形成せしめるセラミックスコーティング
層の廖みは、あまり厚いとコーティング層の1性が低く
なって該コーティング層からの亀kk生がおこりやすく
なりコーティング階形成の効果が得られないので、せい
ぜい8μ禽以下が追歯である。
If the thickness of the ceramic coating layer formed in this way is too thick, the uniformity of the coating layer will be low, making it easy for turtle kk growth to occur from the coating layer, making it impossible to obtain the effect of forming coating layers. A bird of 8μ or less is an additional tooth.

なお非酸化物系セラミックス焼結体は常圧焼結、ホット
プレス焼結、反応焼結などの何れの方法によるものであ
ってもよい。
The non-oxide ceramic sintered body may be produced by any method such as normal pressure sintering, hot press sintering, or reaction sintering.

次に夾り例により、この発明の詳細な説明する。Next, the present invention will be explained in detail using an example of contamination.

真り例 常圧焼結やホットプレス焼結によって得九引INJ腕軸
体、 SiC焼結体の表iiDを4400ダイヤ砥石で
研削したのち、CVDあるいはプラズマCVDKて5I
BN4 、StCs Al2O□をコーティングし、得
られたセラミックスの抗折力、ワイプル係数を測定し九
O コーティングの条件や紬定給来はall六Kまとめて不
した。
After grinding the surface IID of the INJ arm shaft body obtained by normal pressure sintering or hot press sintering, and the SiC sintered body using a 4400 diamond grindstone, it is then processed using CVD or plasma CVDK.
The ceramics were coated with BN4, StCs, Al2O□, and the transverse rupture strength and Wipul coefficient of the obtained ceramics were measured, and the coating conditions and tsumugi constant supply were all 6K.

第1表 注:ム6は常圧焼結による5sjN414結体t◆40
0ダイヤ憾石で研pA依、パインダーツ曽としてMgO
’1CV1)汰、1000℃で0゜2μsMtコーティ
ングしたOちSi、N4kCVDmで1000℃にて1
.5μ構コーテイングし、七Q 犠N、中V(て170
0C,80分熱処理したものである。
Table 1 Note: Mu6 is 5sjN414 compact t◆40 by pressureless sintering
0 diamond stone is sharpened by MgO as pine dart so
'1CV1) 0° at 1000°C Mt coated Si, N4kCVDm at 1000°C
.. 5μ structure coating, 7Q sacrifice N, medium V (Te170
It was heat treated at 0C for 80 minutes.

h:&からこり発明における表面にセラミックスコーテ
ィングtm t wする非敵化物系竜うミックスがmm
viにおいてすぐれていることが実りされた。
h: Non-enemy compound type mix with ceramic coating tm t w on the surface in & Karakori invention mm
Excellent results have been achieved in vi.

特許出願人           住友電気工業株式会
社同 代理人       弁理士和1) 唱第1頁の
続き 0発 明 者 小村修 伊丹市昆陽北1丁目1番1号住 友電気工業株式会社伊丹製作所
Patent Applicant: Sumitomo Electric Industries, Ltd. Agent: Patent Attorney Kazu 1) Continuation of page 1 0 Inventor: Komura Shuu Itami Works, Sumitomo Electric Industries, Ltd., 1-1-1 Konyo Kita, Itami City

Claims (1)

【特許請求の範囲】 (υ 非酸化物系セラミックス焼結体の加工表面にセラ
ミックコーティングを施して、該焼結体加工表向の応力
集中部の曲率半径を減少させたことを特徴とする非酸化
物糸セラミックス0 (2)非酸化物系セラミックスが電化けい木であること
t−%徴とする特許請求の範囲aii積記執の非酸化物
系セラミックス。 (3)非酸化物系セラミックスが炭化けい素であること
を特徴とする特許請求の範囲第1塊配躯の非販化物糸セ
ラミックス。 (4)  −にラミックスコーティング材料が電化けい
素であることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の
非絃化物糸セラミックス。 (リ セラミックスコーティング材料が炭化けい素であ
ることt−特徴とする特許請求の範囲第1Jjl配叡の
非酸化物系セラミックス。 (tl)  セラミックスコーティング材料がアルミナ
でおること′に4f黴とする特許請求の範囲第1塊配躯
の非は化物系セラミックス。
[Scope of claims] Oxide thread ceramics 0 (2) Non-oxide ceramics according to claim aiii characterized in that the non-oxide ceramics are electrified silicon. (3) The non-oxide ceramics are electrified silicon. Claims characterized in that the material is silicon carbide Non-saleable yarn ceramics of the first mass arrangement. Claims characterized in (4) - that the ramix coating material is silicon carbide. The non-oxide ceramic according to claim 1, characterized in that the ceramic coating material is silicon carbide. Claims 1. A non-metallic ceramic having a first lump structure, which is coated with alumina and coated with 4F mold.
JP18731681A 1981-11-20 1981-11-20 Non-oxide ceramics Pending JPS5888190A (en)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0310343A2 (en) * 1987-09-29 1989-04-05 Ngk Insulators, Ltd. Silicon nitride sintered members
JP2008086047A (en) * 2007-12-07 2008-04-10 Mitsubishi Electric Corp Portable device

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