JPS5883255A - 電磁式超音波発生装置 - Google Patents
電磁式超音波発生装置Info
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- JPS5883255A JPS5883255A JP56181170A JP18117081A JPS5883255A JP S5883255 A JPS5883255 A JP S5883255A JP 56181170 A JP56181170 A JP 56181170A JP 18117081 A JP18117081 A JP 18117081A JP S5883255 A JPS5883255 A JP S5883255A
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- coils
- coil
- generator
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
- G01N29/24—Probes
- G01N29/2412—Probes using the magnetostrictive properties of the material to be examined, e.g. electromagnetic acoustic transducers [EMAT]
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- Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、電磁現象を利用して、被検査物体中に超音波
−を発生。伝播させる電磁式超音波発生装置に係り、特
に該物体の表面に超音波源を形成する渦電流の高電流密
度化に好適な送信コイルと信号発生器を備えた電磁式超
音波発生装置に関する。
−を発生。伝播させる電磁式超音波発生装置に係り、特
に該物体の表面に超音波源を形成する渦電流の高電流密
度化に好適な送信コイルと信号発生器を備えた電磁式超
音波発生装置に関する。
一般に、電磁式超音波発生装置は、3種類のタイプに大
別される。
別される。
第1のタイプは、第1図のように、被検物体2の導電性
表面21に近接して送信コイル1を配置し、信号発生器
3より該送信コイル1に流すパルス波・バースト波・交
流連続波等の変化電流によって、該導電性表面21に発
生される渦電流12と、上記変化電流によって生起され
る変化磁界11との相互作用によって、該導電性表面2
1から被検物体2内へ伝播する超音波(縦波)13を発
生させるものである(例えば、特許第569350号明
細書参照)。
表面21に近接して送信コイル1を配置し、信号発生器
3より該送信コイル1に流すパルス波・バースト波・交
流連続波等の変化電流によって、該導電性表面21に発
生される渦電流12と、上記変化電流によって生起され
る変化磁界11との相互作用によって、該導電性表面2
1から被検物体2内へ伝播する超音波(縦波)13を発
生させるものである(例えば、特許第569350号明
細書参照)。
第2のタイプは、第2図のように、励磁コイル41と磁
芯4から成る電磁石や、永久磁石等を用いた磁石によっ
て、上記導電性表面21に平行な磁界を与え、その磁界
と、第1図の場合と同様に、送信コイル1によって発生
される渦電流12との相互作用によって、被検物体2内
に伝播する超音波(縦波)13を発生するものである。
芯4から成る電磁石や、永久磁石等を用いた磁石によっ
て、上記導電性表面21に平行な磁界を与え、その磁界
と、第1図の場合と同様に、送信コイル1によって発生
される渦電流12との相互作用によって、被検物体2内
に伝播する超音波(縦波)13を発生するものである。
第3のタイプは、第3図のように、第2のタイプと同様
に磁石を用いて、導電性表面21に流れる渦電流12と
垂直な静磁界を与え、該静磁界と上記渦電流12との相
互作用で、被検物体2内に伝播する超音波(横波)13
を発生するものである。
に磁石を用いて、導電性表面21に流れる渦電流12と
垂直な静磁界を与え、該静磁界と上記渦電流12との相
互作用で、被検物体2内に伝播する超音波(横波)13
を発生するものである。
これらの電磁式超音波発生装置において、発生する超音
波の振幅は、第1のタイプでは、送信コイル1に流す変
化電流の2乗に比例し、また第2および第3のタイプで
は、該変化電流に比例する。
波の振幅は、第1のタイプでは、送信コイル1に流す変
化電流の2乗に比例し、また第2および第3のタイプで
は、該変化電流に比例する。
それ故に、倒れの場合でも、強力な超音波を発生させる
ためには、大きな変化電流を送信コイルに流す必要があ
る。
ためには、大きな変化電流を送信コイルに流す必要があ
る。
前記送信コイルに電流を供給する信号発生器の所要出力
電圧値は、該送信コイルに電流を流している状態で、そ
の電流値と送信コイルのインピーダンスとの積に等しい
値となる。現在、その値として数KV乃至十ffKVが
多く用いられているが、電気商品取締法妬則った厳しい
安全対策が必要である。
電圧値は、該送信コイルに電流を流している状態で、そ
の電流値と送信コイルのインピーダンスとの積に等しい
値となる。現在、その値として数KV乃至十ffKVが
多く用いられているが、電気商品取締法妬則った厳しい
安全対策が必要である。
一方、例えば特公昭56−4867号公報に示されるよ
うに、送信コイルとして複数個積層したコイルを用い、
これらを信号発生器に並列接続すること釦より、感度を
向上させる方法が知られている。
うに、送信コイルとして複数個積層したコイルを用い、
これらを信号発生器に並列接続すること釦より、感度を
向上させる方法が知られている。
その場合は、同じ送信電流を流すのに必要な信号発生器
出力電圧は下げることが可能である。
出力電圧は下げることが可能である。
しかし、この方法には、以下のような欠点がある。
1) 積層したコイルのうち、被検物体の導電性表面か
ら遠い位置にあるコイルは、超音波の発生に寄与する割
合が低く効率が悪い。
ら遠い位置にあるコイルは、超音波の発生に寄与する割
合が低く効率が悪い。
2) 複数のコ・イルに流す電流の振幅や位相を、各々
のコイル毎に調整することが難しい。
のコイル毎に調整することが難しい。
3) 前記1)、 2)から、感度向上のためには、前
記導電性表面に近いコイルに大電流を流すことが必要と
なり、このためには、結局信号発生器の出力電圧を高く
せざるを得ない。
記導電性表面に近いコイルに大電流を流すことが必要と
なり、このためには、結局信号発生器の出力電圧を高く
せざるを得ない。
4) 積層コイルの並列接続によ゛つて、送信コイルの
インピーダンスを下げると、信号発生回路の出力電圧の
引下げに反比例して、出力電流を大きくせねばならない
。
インピーダンスを下げると、信号発生回路の出力電圧の
引下げに反比例して、出力電流を大きくせねばならない
。
本発明の目的は、上記公知技術の欠点を無くし、感電等
、高電圧に伴う危険の少ない電磁式超音波発生装置を提
供することにある。
、高電圧に伴う危険の少ない電磁式超音波発生装置を提
供することにある。
本発明は、超音波を発生するだめの渦電流を流すのに必
要な、信号発生器の出力電圧が、送信コイルのインピー
ダンスに依存し、該送信コイルのインピーダンスを下げ
れば上記出力電圧が低くとも同じ渦電流を流せることに
着目し、送信コイルを分割して各分割コイルのインピー
ダンスを下げ、さらに該複数の分割コイルに複数の信号
発生器から電流を供給することにより、低い信号発生器
の出力電圧で、大きなしかも自由度の大きい渦電流密度
分布を得ることを可能にしたものである。
要な、信号発生器の出力電圧が、送信コイルのインピー
ダンスに依存し、該送信コイルのインピーダンスを下げ
れば上記出力電圧が低くとも同じ渦電流を流せることに
着目し、送信コイルを分割して各分割コイルのインピー
ダンスを下げ、さらに該複数の分割コイルに複数の信号
発生器から電流を供給することにより、低い信号発生器
の出力電圧で、大きなしかも自由度の大きい渦電流密度
分布を得ることを可能にしたものである。
以下、本発明の一実施例を、図面によって説明する。
第4図(a)において、送信コイルは1−1.1−2゜
・・・、l−n、!:n分割され、同期信号発生器6に
従ってはゾ同位相の信号電流を出力する信号発生回路3
−1.3−2.・・・、3−nの出力端に、1対1に対
応して接続されている。
・・・、l−n、!:n分割され、同期信号発生器6に
従ってはゾ同位相の信号電流を出力する信号発生回路3
−1.3−2.・・・、3−nの出力端に、1対1に対
応して接続されている。
分割された各々のコイル1−1〜l−nは、後述するよ
うに、互いに近接して配置されており、上記信号発生回
路3−1〜3−nの出力電流により、独立に駆動される
。そして、これらの各分割コイルは、全体として、分割
される以前の送信コイル(第1〜第3図における符号1
のコイル)のエリアをカバーする。
うに、互いに近接して配置されており、上記信号発生回
路3−1〜3−nの出力電流により、独立に駆動される
。そして、これらの各分割コイルは、全体として、分割
される以前の送信コイル(第1〜第3図における符号1
のコイル)のエリアをカバーする。
信号発生回路3−1〜3−nは、例えば第4図(b)の
ような半導体スイッチング素子32を用いたパルス発生
回路31によって実現できる。なお、第4図(b)にお
いて、33は高圧DC入力端子、34は同期入力端子、
35.37は抵抗、36はキャパシタである。
ような半導体スイッチング素子32を用いたパルス発生
回路31によって実現できる。なお、第4図(b)にお
いて、33は高圧DC入力端子、34は同期入力端子、
35.37は抵抗、36はキャパシタである。
送信コイルの分割方法の例を、第5図乃至第10図に示
す。
す。
第5図は、第1図〜第3図の渦巻き状送信コイル1を同
心円状に2分割した例で、同図(a)が平面形状を、ま
だ同図(b)が側面形状を示す。〔以下、第6〜第9図
において(a)及び(b)の記号は同様に使用される。
心円状に2分割した例で、同図(a)が平面形状を、ま
だ同図(b)が側面形状を示す。〔以下、第6〜第9図
において(a)及び(b)の記号は同様に使用される。
〕
この場合、夫々のコイル1−1および1−2の巻き数の
和が、元のコイルと同じで、かつ、流す電流値が同一で
あれば、導電性表面21に、第1図〜第3図の場合とほ
ぼ等価な超音波源が形成される。また、分割された各々
コイル1−1.1−2゜のインピーダンスは、元のコイ
ルのそれより小なので、信号発生回路のより低い出力電
圧でも、分割前と同じ電流を流すことができる。
和が、元のコイルと同じで、かつ、流す電流値が同一で
あれば、導電性表面21に、第1図〜第3図の場合とほ
ぼ等価な超音波源が形成される。また、分割された各々
コイル1−1.1−2゜のインピーダンスは、元のコイ
ルのそれより小なので、信号発生回路のより低い出力電
圧でも、分割前と同じ電流を流すことができる。
々お、この場合、同心円状に形成される渦電流の径方向
の分布を調整でき、超音波源に同様の重み付けができる
。さらに、第5図では、コイルを2分割した例を示した
が、最小1ターンまでのコイルに多分割することも可能
であることは、もちろんである。
の分布を調整でき、超音波源に同様の重み付けができる
。さらに、第5図では、コイルを2分割した例を示した
が、最小1ターンまでのコイルに多分割することも可能
であることは、もちろんである。
第6図と第7図は、第1図〜第3図の送信コイル1を、
小さな同様の形状のコイル1−1〜1−4の集合として
近似したもので、それぞれ4分割及び3分割の例である
。
小さな同様の形状のコイル1−1〜1−4の集合として
近似したもので、それぞれ4分割及び3分割の例である
。
前記第5図〜第7図に示したように、平面状に配置され
た分割コイルは、分割された個々の送信コイルと導電性
表面とが近接しているので、超音波への変換効率が高い
という利点がある。
た分割コイルは、分割された個々の送信コイルと導電性
表面とが近接しているので、超音波への変換効率が高い
という利点がある。
第8図は、第1図〜第3図の送信コイル1を、図様な形
状のコイル1−1と1−2に、上下に2分割して積層配
置したものである。この場合、各コイル1−1.1−2
には別々の信号発生器から電流を供給するので、導電性
表面21に近いコイル1−2に重み付けして電流を供給
することができ、効率を上げられる。
状のコイル1−1と1−2に、上下に2分割して積層配
置したものである。この場合、各コイル1−1.1−2
には別々の信号発生器から電流を供給するので、導電性
表面21に近いコイル1−2に重み付けして電流を供給
することができ、効率を上げられる。
第9図は、第1図〜第3図の送信コイル1が楕円形であ
る場合に、これを3つの円形コイル1−1〜1−3で置
換した例である。中央の分割コイル1−3は、中央付近
の渦電流を整形し、元のコイル1の作る楕円形の渦電流
に近くする働きをする。
る場合に、これを3つの円形コイル1−1〜1−3で置
換した例である。中央の分割コイル1−3は、中央付近
の渦電流を整形し、元のコイル1の作る楕円形の渦電流
に近くする働きをする。
第10図は、第1図〜第3図に示した円形の送信コイル
1を、3つの楕円形コイル1−1〜1−3で近似した例
で、第6図や第7図に関して前述したのと同様の効果が
ある。また、コイルを半分ずつ重ねて配置して、コイル
間隔をd/2にすれば、第9図の場合と同様の原理によ
り、より一層円形に近い渦電流を発生させることができ
る。
1を、3つの楕円形コイル1−1〜1−3で近似した例
で、第6図や第7図に関して前述したのと同様の効果が
ある。また、コイルを半分ずつ重ねて配置して、コイル
間隔をd/2にすれば、第9図の場合と同様の原理によ
り、より一層円形に近い渦電流を発生させることができ
る。
上記した本発明の実施例によれば、前記公知技術に較べ
、出力電圧の小さい信号発生器を用いても、高い渦電流
密度分布を得ることができる。
、出力電圧の小さい信号発生器を用いても、高い渦電流
密度分布を得ることができる。
また、分割形コイルは、絶縁基板上に、印刷・蒸着・ス
パッタ等の方法で形成することも可能で、この場合は複
雑な形状のコイルが得られ、それに応じた強度分布をも
つ超音波源の生成が可能である。
パッタ等の方法で形成することも可能で、この場合は複
雑な形状のコイルが得られ、それに応じた強度分布をも
つ超音波源の生成が可能である。
第11図は、本発明の他の実施例を示し、複数個のコイ
ル1−1〜1−nと直列に、インピーダンス5−1〜5
−nを接続したものである。この構成では、それぞれの
インピーダンス5−1〜5−nの値を調整することによ
り、各コイル1−1〜1−nを流れる電流のバランスを
とるのが容易であり、また周波数等も調節可能である。
ル1−1〜1−nと直列に、インピーダンス5−1〜5
−nを接続したものである。この構成では、それぞれの
インピーダンス5−1〜5−nの値を調整することによ
り、各コイル1−1〜1−nを流れる電流のバランスを
とるのが容易であり、また周波数等も調節可能である。
さらに、該コイル1−1〜l−nの1部を直列に接続す
ることによっても、同様の効果が得られる。まだ、上記
各インピーダンスは、上記各コイルと並列に接続しても
、同様の効果を得ることが可能である。
ることによっても、同様の効果が得られる。まだ、上記
各インピーダンスは、上記各コイルと並列に接続しても
、同様の効果を得ることが可能である。
第12図は、本発明の第3の実施例を示し、複数の信号
発生器3−1.3−2.・・・、3−nに、遅延回路等
によって構成される位相制御回路7−1゜7−2.・・
・、7−nがそれぞれ接続されたものである。この構成
では、それぞれの送信コイル1−1゜1−2.・・・、
1−nに流す電流の位相を調整することにより、被検物
体内に伝播される超音波ビームの状態を制御することが
可能である。
発生器3−1.3−2.・・・、3−nに、遅延回路等
によって構成される位相制御回路7−1゜7−2.・・
・、7−nがそれぞれ接続されたものである。この構成
では、それぞれの送信コイル1−1゜1−2.・・・、
1−nに流す電流の位相を調整することにより、被検物
体内に伝播される超音波ビームの状態を制御することが
可能である。
この場合、送信コイルの形状や配置によって効果または
拡散が可能であり、第6.7.9図のような配置した場
合には集束・拡散の他に偏向が可能である。
拡散が可能であり、第6.7.9図のような配置した場
合には集束・拡散の他に偏向が可能である。
また、第10図のように、楕円形コイルを周期的に配置
したり、あるいは第13図(a)のように、折返し電極
1−1〜l−nを、ピッチdで周期的に配置することに
よって、第13図(b)のように、表面波14や、表面
に対して斜め方向に進行する超音波13を発生させるこ
とも可能である。
したり、あるいは第13図(a)のように、折返し電極
1−1〜l−nを、ピッチdで周期的に配置することに
よって、第13図(b)のように、表面波14や、表面
に対して斜め方向に進行する超音波13を発生させるこ
とも可能である。
なお、第13図(a)(b)において、斜め方向への偏
向角θは、折返し電極1−1〜l−nの配列のピッチd
と、隣接のコイル下から発生する超音波のタイミングの
ずれΔTとによって、 sinθ=C0ΔT/d 但し、C:音速と表わされる。
向角θは、折返し電極1−1〜l−nの配列のピッチd
と、隣接のコイル下から発生する超音波のタイミングの
ずれΔTとによって、 sinθ=C0ΔT/d 但し、C:音速と表わされる。
この実施例においても、第11図の場合と同様に、各送
信コイルと直列または並列に、インピーダンスを挿入し
て、回路上のバランスや周波数・渦電流の分布等を調整
することが可能である。
信コイルと直列または並列に、インピーダンスを挿入し
て、回路上のバランスや周波数・渦電流の分布等を調整
することが可能である。
なお、以上の実施例において、前記複数のコイルは、必
らずしも信号発生回路と1対1に対応していなくとも良
く、数個ずつのコイルのグループ毎に駆動して、信号発
生器の出力インピーダンスト、該コイルのインピーダン
スのマツチングを計ることも可能である。
らずしも信号発生回路と1対1に対応していなくとも良
く、数個ずつのコイルのグループ毎に駆動して、信号発
生器の出力インピーダンスト、該コイルのインピーダン
スのマツチングを計ることも可能である。
また、信号発生回路にバースト波発生回路を用いれば、
受信時に位相検波等で8/Nの向上を計ることができる
。
受信時に位相検波等で8/Nの向上を計ることができる
。
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、送信
コイルの分割数に概ね反比例する低い電圧で、分割前と
同じ電流を該コイルに流せるので、信号発生回路の出力
電流を増さずに出力電圧を下げることができる。このこ
とにより、上記信号発生回路の出力段に、半導体素子等
のように、比較的低電圧定格で、小形の素子が使用でき
、かつ、絶縁距離も余裕が取れるので、安全な電磁式超
音波発生装置を提供できる。
コイルの分割数に概ね反比例する低い電圧で、分割前と
同じ電流を該コイルに流せるので、信号発生回路の出力
電流を増さずに出力電圧を下げることができる。このこ
とにより、上記信号発生回路の出力段に、半導体素子等
のように、比較的低電圧定格で、小形の素子が使用でき
、かつ、絶縁距離も余裕が取れるので、安全な電磁式超
音波発生装置を提供できる。
また、本発明の更に大きな効果として、被検物体の導電
性表面における渦電流の位相分布を制御できるので、超
音波ビームの偏向・集束等のコントロールが可能となる
。
性表面における渦電流の位相分布を制御できるので、超
音波ビームの偏向・集束等のコントロールが可能となる
。
第1図(a)は従来の電磁式超音波発生装置の要部ブロ
ック図、第1図(b)、第2図及び第3図は夫々該装置
の正面図、第4図(a)は本発明の一実施例を示す要部
ブロック図、第4図(b)はその一部の回路側図、第5
図(a)(b)乃至第9図(a)(Illへそれぞれ、
本発明において使用される送信コイルの平面図および側
面図、第10図は本発明に使用される送信コイルの平面
図、第11図は本発明の他の実施例を説明する要部ブロ
ック図、第12図は本発明の第3の実施例を説明する要
部ブロック図、第13図(a)は該第3実施例に使用さ
れる送信コイルの一例の平面図、第13図(b)はその
動作を説明するだめの側面図である。 1.1−1.1−2.・・・、1−n・・・送信コイル
、3・・・信号発生器、3−1.3−2.・・・、3−
n・・・信号発生回路、31・・・パルス発生回路、5
−1゜5−2.・・・、5−n・・・インピーダンス、
6・・・同期信号発生器、?−1.7−2.・・・、7
−n・・・位相 10 3 ゝ−−−−(〜13 第 30 −−−−てへ 3 宰牛図 (L) 第5図 (Cン [====ヨ====エコ(fA)
ロ=ロ=]ヨコ 第7図 (<) 口=よエコココ ′1g8(211 1) (a) 第 to 図 $12 図 第t3(21
ック図、第1図(b)、第2図及び第3図は夫々該装置
の正面図、第4図(a)は本発明の一実施例を示す要部
ブロック図、第4図(b)はその一部の回路側図、第5
図(a)(b)乃至第9図(a)(Illへそれぞれ、
本発明において使用される送信コイルの平面図および側
面図、第10図は本発明に使用される送信コイルの平面
図、第11図は本発明の他の実施例を説明する要部ブロ
ック図、第12図は本発明の第3の実施例を説明する要
部ブロック図、第13図(a)は該第3実施例に使用さ
れる送信コイルの一例の平面図、第13図(b)はその
動作を説明するだめの側面図である。 1.1−1.1−2.・・・、1−n・・・送信コイル
、3・・・信号発生器、3−1.3−2.・・・、3−
n・・・信号発生回路、31・・・パルス発生回路、5
−1゜5−2.・・・、5−n・・・インピーダンス、
6・・・同期信号発生器、?−1.7−2.・・・、7
−n・・・位相 10 3 ゝ−−−−(〜13 第 30 −−−−てへ 3 宰牛図 (L) 第5図 (Cン [====ヨ====エコ(fA)
ロ=ロ=]ヨコ 第7図 (<) 口=よエコココ ′1g8(211 1) (a) 第 to 図 $12 図 第t3(21
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、導電性表面を有する被検物体の表面に変化磁界を作
用させる送信コイルと、該コイルに変化電流を流す信号
発生器とから成り、上記変化磁界により上記被検物体の
表面に超音波源を発生させる電磁式超音波発生装置にお
いて、上記送信コイルは近接して配置された複数の分割
コイルよりなり、上記信号発生器は上記複数の分割コイ
ルに接続された複数の信号発生回路よりなり、これによ
って、上記被検物体の表面に、合成音場を形成する超音
波を発生させるように構成されたことを特徴とする電磁
式超音波発生装置。 2、特許請求の範囲第1項において、信号発生回路が、
バースト波発生回路により構成された電磁式超音波発生
装置。 3、特許請求の範囲第1項において、複数の分割コイル
がほぼ同一平面上に配置されたことを特徴とする電磁式
超音波発生方法及び装置。 4、特許請求の範囲第1項において、複数の分割コイル
の少なくとも一部が、互いに部分的に重ねられながら、
はソ同一平面上に配置されたことを特徴とする電磁式超
音波発生装置。 5、導電性表面を有する被検物体の表面に変化磁界を作
用させる送信コイルと、該コイルに、上記変化磁界を発
生させる変化電流を流す信号発生器とから成り、上記変
化磁界により上記被検物体の表面に超音波源を発生させ
る電磁式超音波発生装置において、上記送信コイルは、
近接して配置された複数の分割コイルよりなシ、また上
記信号発生器は上記複数の分割コイルに接続された複数
の信号発生回路よりなり、さらに上記複数の信号発生回
路の各出力信号の位相を調整する位相制御回路を備え、
上記複数の分割コイルで発生される超音波が、上記被検
物体の表面で合成音場を形成するように構成されたこと
を特徴とする電磁式超音波発生装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56181170A JPS5883255A (ja) | 1981-11-13 | 1981-11-13 | 電磁式超音波発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56181170A JPS5883255A (ja) | 1981-11-13 | 1981-11-13 | 電磁式超音波発生装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5883255A true JPS5883255A (ja) | 1983-05-19 |
JPH0254506B2 JPH0254506B2 (ja) | 1990-11-21 |
Family
ID=16096105
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP56181170A Granted JPS5883255A (ja) | 1981-11-13 | 1981-11-13 | 電磁式超音波発生装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5883255A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61144566A (ja) * | 1984-12-14 | 1986-07-02 | マンネスマン・アクチエンゲゼルシヤフト | 超音波発生用電磁音響トランスデユーサ |
JP2013090237A (ja) * | 2011-10-20 | 2013-05-13 | Mitsubishi Electric Corp | 電磁超音波探触子および電磁超音波探傷装置 |
JP2016121949A (ja) * | 2014-12-25 | 2016-07-07 | 株式会社神戸製鋼所 | 電磁超音波センサ |
-
1981
- 1981-11-13 JP JP56181170A patent/JPS5883255A/ja active Granted
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61144566A (ja) * | 1984-12-14 | 1986-07-02 | マンネスマン・アクチエンゲゼルシヤフト | 超音波発生用電磁音響トランスデユーサ |
JP2013090237A (ja) * | 2011-10-20 | 2013-05-13 | Mitsubishi Electric Corp | 電磁超音波探触子および電磁超音波探傷装置 |
JP2016121949A (ja) * | 2014-12-25 | 2016-07-07 | 株式会社神戸製鋼所 | 電磁超音波センサ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0254506B2 (ja) | 1990-11-21 |
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