JPS5881935U - アニ−ル容器 - Google Patents

アニ−ル容器

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Publication number
JPS5881935U
JPS5881935U JP17716481U JP17716481U JPS5881935U JP S5881935 U JPS5881935 U JP S5881935U JP 17716481 U JP17716481 U JP 17716481U JP 17716481 U JP17716481 U JP 17716481U JP S5881935 U JPS5881935 U JP S5881935U
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JP
Japan
Prior art keywords
annealing
annealing container
container
arsenic
gallium arsenide
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP17716481U
Other languages
English (en)
Inventor
靖友 梶川
Original Assignee
三菱電機株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 三菱電機株式会社 filed Critical 三菱電機株式会社
Priority to JP17716481U priority Critical patent/JPS5881935U/ja
Publication of JPS5881935U publication Critical patent/JPS5881935U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は一本発明の一実施例を示すアニール容器の概観
図、第２図は、第１図の容器にスライド式のふたをつけ
た改良例の概観図である。第・３図は１、第２図の容器
の使用状態における断面図である。　　　１はガリウム
砒素ウェハを入れる凹部、２は砒素で飽和したガリウム
をいれるための凹部、３はスライド式のふた、４はガリ
ウム砒素ウェハ、５は砒素で飽和されたガリウムである
。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ガリウム砒素ウェハのアニール時に、砒素雰囲気をつく
    るため、ガリウム砒素ウェハと同時に、砒素で飽和した
    ガリウムを入れることが可能な形状を有するアニール容
    器。
JP17716481U 1981-11-27 1981-11-27 アニ−ル容器 Pending JPS5881935U (ja)

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JP17716481U JPS5881935U (ja) 1981-11-27 1981-11-27 アニ−ル容器

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JP17716481U JPS5881935U (ja) 1981-11-27 1981-11-27 アニ−ル容器

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JPS5881935U true JPS5881935U (ja) 1983-06-03

Family

ID=29970799

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JP17716481U Pending JPS5881935U (ja) 1981-11-27 1981-11-27 アニ−ル容器

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JP (1) JPS5881935U (ja)

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