JPS5881934U - 自動連続式ベ−ク炉 - Google Patents

自動連続式ベ−ク炉

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Publication number
JPS5881934U
JPS5881934U JP17672081U JP17672081U JPS5881934U JP S5881934 U JPS5881934 U JP S5881934U JP 17672081 U JP17672081 U JP 17672081U JP 17672081 U JP17672081 U JP 17672081U JP S5881934 U JPS5881934 U JP S5881934U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
baking oven
automatic continuous
continuous baking
wafer
baking
Prior art date
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Pending
Application number
JP17672081U
Other languages
English (en)
Inventor
岡崎　文夫
誠一 小川
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は連続式自動ベルトベーク炉の基本構成を示す側
面図、第２図は第１図のウエノ１搬送部の平面図、第３
図は第１図のウエノ１搬送部の平面図、第４図は第１図
のウェハ搬送部、およびベーク炉の投入口を斜め前方か
ら見た図、第５図は現像後のパターン断面図である。 １・・・ウェハ供給部、２・・・ウェハ搬送部、３・・
・前原、４・・・ウェハ受取部、５・・・ウェハ、６・
・・ウェハ搬送金属短冊、７・・・ウェハ搬送金属網、
８・・−ＡＩ板、９・・・ベータ炉カバー、１０・・・
レジスト下底、１１・・・レジスト上底、１２・・・レ
ジスト、１３・・・Ａ１．１４・・・ウェハ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. フォトレジストのプリベークあるいはボストベークに用
    いる自動連続式ベーク炉において、ウェハ下面からの熱
    伝導によるフォトレジストを硬化させることを特徴とす
    る自動連続式ベーク炉。
JP17672081U 1981-11-30 1981-11-30 自動連続式ベ−ク炉 Pending JPS5881934U (ja)

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JP17672081U JPS5881934U (ja) 1981-11-30 1981-11-30 自動連続式ベ−ク炉

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JP17672081U JPS5881934U (ja) 1981-11-30 1981-11-30 自動連続式ベ−ク炉

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JPS5881934U true JPS5881934U (ja) 1983-06-03

Family

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JP17672081U Pending JPS5881934U (ja) 1981-11-30 1981-11-30 自動連続式ベ−ク炉

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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS484503U (ja) * 1971-06-15 1973-01-19
JPS51132772A (en) * 1975-05-14 1976-11-18 Hitachi Ltd Baking apparatus
JPS54158445A (en) * 1978-06-05 1979-12-14 Mitsubishi Electric Corp Sintering of photosensitive resin
JPS5572029A (en) * 1978-11-27 1980-05-30 Nec Corp Tray for semiconductor wafer

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS484503U (ja) * 1971-06-15 1973-01-19
JPS51132772A (en) * 1975-05-14 1976-11-18 Hitachi Ltd Baking apparatus
JPS54158445A (en) * 1978-06-05 1979-12-14 Mitsubishi Electric Corp Sintering of photosensitive resin
JPS5572029A (en) * 1978-11-27 1980-05-30 Nec Corp Tray for semiconductor wafer

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