JPS5881532U - ホトマスクの保管箱 - Google Patents

ホトマスクの保管箱

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Publication number
JPS5881532U
JPS5881532U JP1981178175U JP17817581U JPS5881532U JP S5881532 U JPS5881532 U JP S5881532U JP 1981178175 U JP1981178175 U JP 1981178175U JP 17817581 U JP17817581 U JP 17817581U JP S5881532 U JPS5881532 U JP S5881532U
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JP
Japan
Prior art keywords
storage box
photomasks
photomask storage
box
storing
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Pending
Application number
JP1981178175U
Other languages
English (en)
Inventor
江口　恵子
坂田　勇次郎
福山　誠一
Original Assignee
九州日本電気株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 九州日本電気株式会社 filed Critical 九州日本電気株式会社
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Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図ａは従来のホトマスク保管箱の正面図であり、第
１図すは側面図である。尚、第１図において、１・・・
・・・ホトマスク、２・・・・・・保管箱本体、３・・
・・・・該ふた、４・・・・・・案内溝である。 第２図ａは本考案の実施例によるホトマスク保管箱の正
面図、第２図すは側面図である。尚、第２図において、
５・・・・・・ホトマスク、６・・・・・・保管箱本体
、７・・・・・・該ふた、８・・・・・・蝶番、９・・
・・・・案内溝である。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 半導体製造工程の写真食刻技術において使用されるホト
    マスクを保管する直方体様の箱であって、厚さ５ｃｍ以
    下であり、５枚以内のホトマスクを保管するための案内
    溝を有し、箱のふたの一方の蝶番で固定されることを特
    徴とするホトマスクの保管箱。
JP1981178175U 1981-11-30 1981-11-30 ホトマスクの保管箱 Pending JPS5881532U (ja)

Priority Applications (1)

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JP1981178175U JPS5881532U (ja) 1981-11-30 1981-11-30 ホトマスクの保管箱

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1981178175U JPS5881532U (ja) 1981-11-30 1981-11-30 ホトマスクの保管箱

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5881532U true JPS5881532U (ja) 1983-06-02

Family

ID=29972732

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1981178175U Pending JPS5881532U (ja) 1981-11-30 1981-11-30 ホトマスクの保管箱

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