JPS5881431A - 固気混相流体の希釈方法および装置 - Google Patents
固気混相流体の希釈方法および装置Info
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Classifications
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- B01F35/00—Accessories for mixers; Auxiliary operations or auxiliary devices; Parts or details of general application
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- B01F23/483—Mixing liquids with liquids; Emulsifying characterised by the nature of the liquids using water for diluting a liquid ingredient, obtaining a predetermined concentration or making an aqueous solution of a concentrate
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はボイラ、焼却炉、セメント製造装置等固気混相
流体を取扱うプラントの固気混相流体中の粗粒チを除去
した後の比較的微細な固体粒子の濃度・粒径分布を計測
するための固気混相流体の希釈方法及び装置に関するも
のである。
流体を取扱うプラントの固気混相流体中の粗粒チを除去
した後の比較的微細な固体粒子の濃度・粒径分布を計測
するための固気混相流体の希釈方法及び装置に関するも
のである。
上記のような固気混相流体中における固体粒子の計測は
環境保持、研究改善、装置性能把握及び連続状態、監視
等の観点から正確な濃度及び粒径分布の実体把握を行う
必要がある。
環境保持、研究改善、装置性能把握及び連続状態、監視
等の観点から正確な濃度及び粒径分布の実体把握を行う
必要がある。
高精度の濃度及び粒径分布の計測を期するには、固体粒
子の状態変化(濃度及び粒径分布の変化)をさせること
なく固気混相流体本流から計測器まで固気混相流体を導
入することが必要である。
子の状態変化(濃度及び粒径分布の変化)をさせること
なく固気混相流体本流から計測器まで固気混相流体を導
入することが必要である。
しかしながら1粒子本来の特性として「ブラウン拡散」
「衝突」があり、また「粒子が帯電している場合には静
電気」などの原因により粒子間の凝縮及び導入管内壁へ
の沈着現象が生じこれらの現象により計測精度が著るし
く低下する。
「衝突」があり、また「粒子が帯電している場合には静
電気」などの原因により粒子間の凝縮及び導入管内壁へ
の沈着現象が生じこれらの現象により計測精度が著るし
く低下する。
特に上記現象は一般に固体粒子濃度が高くなる程、また
粒子が微粒化する程顕著となる傾向にあり2例えば石炭
焚きボイラ排ガス(濃度xOf/m”)のような高濃度
の場合や、*境計測の目的で大気浮遊粒子と呼ばれるよ
うな微粒子を対象とする場合には特に対策が必要である
。
粒子が微粒化する程顕著となる傾向にあり2例えば石炭
焚きボイラ排ガス(濃度xOf/m”)のような高濃度
の場合や、*境計測の目的で大気浮遊粒子と呼ばれるよ
うな微粒子を対象とする場合には特に対策が必要である
。
一方、固気混相流体中の固体粒子を計測する計測器の一
般的特性として。
般的特性として。
゛(1) 通常前記のような高濃度下では計測精度が
著るしく低下する。
著るしく低下する。
(11) 計測可能なサンプリングガス温度が大気温
度に近似していることが多く、サンプリングガス温度を
低下させる必要がある。
度に近似していることが多く、サンプリングガス温度を
低下させる必要がある。
(iiil サンシリングガス中に水分、三酸化硫黄
(SOs)ガスが含有されている場合、ガス温度をその
まま低下すると計測対象の固体粒子が凝集し粒径分布及
び濃度に変化を生ずる等の問題がある。
(SOs)ガスが含有されている場合、ガス温度をその
まま低下すると計測対象の固体粒子が凝集し粒径分布及
び濃度に変化を生ずる等の問題がある。
そこで本発明は前記の問題点を解消し計測対象の固体粒
子が高濃度かつ微粒子の場合でも高精度にその粒径分布
及び濃度の計測が可能となる固気混相流体の希釈方法を
提供するものであって、濃密な固気混相流体の一部をサ
ンプリングし、低温の不活性・低湿かつ無じんな希釈ガ
スを混合することによってこれらの流体を計測可能な濃
度及び温度まで低下せしめて前記固気混相流体中の微細
な固体粒子の濃度及び粒径分布を計測するに当り、前記
混相流体に希釈ガスを混入させたとき混合ガスの濃度及
び温度が計測器の計測範囲内に入り、該混合ガス中に含
有される凝縮成分の濃度がその温度における飽和濃度未
満となり、かつ微細な固体粒子の個数濃度が該粒子の凝
集沈着による減少によって計測精度に与えない程度に希
釈ガスによって希釈するようにしたものである。
子が高濃度かつ微粒子の場合でも高精度にその粒径分布
及び濃度の計測が可能となる固気混相流体の希釈方法を
提供するものであって、濃密な固気混相流体の一部をサ
ンプリングし、低温の不活性・低湿かつ無じんな希釈ガ
スを混合することによってこれらの流体を計測可能な濃
度及び温度まで低下せしめて前記固気混相流体中の微細
な固体粒子の濃度及び粒径分布を計測するに当り、前記
混相流体に希釈ガスを混入させたとき混合ガスの濃度及
び温度が計測器の計測範囲内に入り、該混合ガス中に含
有される凝縮成分の濃度がその温度における飽和濃度未
満となり、かつ微細な固体粒子の個数濃度が該粒子の凝
集沈着による減少によって計測精度に与えない程度に希
釈ガスによって希釈するようにしたものである。
また、この方法を具現化するものとして本発明は両端部
と胴部とを外壁で囲まれた管状の混合室と、該混合室の
一方の端部中心位置に開口する固気混相流体の入口ノズ
ルと、希釈ガス供給管に接続され前記入口ノズルを取り
囲むようにして一方の端部に配置された多数の細孔また
は環状噴孔を備えてなる希釈ガス吹出口と、前・ 記混
合室の他方の端部近傍の胴部を貫通して蚊混合室の中心
部まで挿入されその先端に前記入6ノズルに対向する開
口を設けてなり他端部を計測器に接続された計測用配管
と前記混合室の他方の端部あるいは近傍の胴部に開口す
る排出口とを備えて氷る装置を提供する。
と胴部とを外壁で囲まれた管状の混合室と、該混合室の
一方の端部中心位置に開口する固気混相流体の入口ノズ
ルと、希釈ガス供給管に接続され前記入口ノズルを取り
囲むようにして一方の端部に配置された多数の細孔また
は環状噴孔を備えてなる希釈ガス吹出口と、前・ 記混
合室の他方の端部近傍の胴部を貫通して蚊混合室の中心
部まで挿入されその先端に前記入6ノズルに対向する開
口を設けてなり他端部を計測器に接続された計測用配管
と前記混合室の他方の端部あるいは近傍の胴部に開口す
る排出口とを備えて氷る装置を提供する。
すなわち本発明は、固気混相流体本流から計測の目的で
採取された固気混相流体を清浄かつ脱湿された不活性ガ
ス(以下単に希釈ガスと称す)により、先に列記した問
題点が生じない所定の固体粒子濃度、計測温度、凝縮成
分濃度以下となる迄所定の固気混相流体の滞留時間、容
量を有する希釈容器内で希釈するものであるから該希釈
容器から固体粒子濃度・温度・凝縮成分濃度の調整され
た希釈後の固気混相流体の一部若しくは全部は固体粒子
計測器にて計測することが可能となる。
採取された固気混相流体を清浄かつ脱湿された不活性ガ
ス(以下単に希釈ガスと称す)により、先に列記した問
題点が生じない所定の固体粒子濃度、計測温度、凝縮成
分濃度以下となる迄所定の固気混相流体の滞留時間、容
量を有する希釈容器内で希釈するものであるから該希釈
容器から固体粒子濃度・温度・凝縮成分濃度の調整され
た希釈後の固気混相流体の一部若しくは全部は固体粒子
計測器にて計測することが可能となる。
まず、第1図に於いて本発明の方法の希釈の原理を説明
する。
する。
lはダクト内を流れる固気混相流体本流、2は前記固気
混相流体1を次に説明する希釈容器3に導入する配管、
3は配管2により送り込まれる固気混相流体1を希釈ガ
スにより所定の濃度まで固体粒子の粒径分布及び濃度の
状態変化を起こすことなく希釈する希釈容器、4は清浄
かつ脱湿された不活性な希釈ガスを希釈容器3に供給す
る配管、5は希釈容器3内の希釈後の固気混相流体を次
て説明する固体粒子計測器6に供給する配管、6は固気
混相流体中の固体粒子の粒径分布及び濃度を計測する固
体粒子計測器(以下単に計測器と称す)、7は希釈容器
3から配管ζ及び5を介して計測器6に固気混相流体を
吸引するだめの吸引ポンプ、8は希釈容器3内の計測器
6に供給する固気混相流体を除いた残りの希釈後の固気
混相流体を系外へ排出、若しくは他の固体粒子計測器等
の処理装置へ供給する配管である。
混相流体1を次に説明する希釈容器3に導入する配管、
3は配管2により送り込まれる固気混相流体1を希釈ガ
スにより所定の濃度まで固体粒子の粒径分布及び濃度の
状態変化を起こすことなく希釈する希釈容器、4は清浄
かつ脱湿された不活性な希釈ガスを希釈容器3に供給す
る配管、5は希釈容器3内の希釈後の固気混相流体を次
て説明する固体粒子計測器6に供給する配管、6は固気
混相流体中の固体粒子の粒径分布及び濃度を計測する固
体粒子計測器(以下単に計測器と称す)、7は希釈容器
3から配管ζ及び5を介して計測器6に固気混相流体を
吸引するだめの吸引ポンプ、8は希釈容器3内の計測器
6に供給する固気混相流体を除いた残りの希釈後の固気
混相流体を系外へ排出、若しくは他の固体粒子計測器等
の処理装置へ供給する配管である。
固気混相流体本流1は配管2”を介し1本発明による希
釈容器3に導入される。この希釈容器3では先に述べた
粒子自体の特性及び計測器の本発明において用いる希釈
容器を第2図および第3図に示す一実施例について説明
する。
釈容器3に導入される。この希釈容器3では先に述べた
粒子自体の特性及び計測器の本発明において用いる希釈
容器を第2図および第3図に示す一実施例について説明
する。
9は希釈容器3の混合室、10は第1図中の配管2によ
り供給される固気混相流体の入口ノズル、11は第1図
中の配管4により供給される希釈ガスの入口ノズル、1
2は入口ノズル11より送られる希釈ガスを所定の速度
にて入口ノズル1・よシ混合室9に入り込む固希混相“
流体中へ吹き出す希釈ガス吹出口、13は希釈ガスによ
ジ希釈された固気混相流体を固体粒子の計測器へ供給す
る配管、14は希釈容器内の計測器に供給する固気混相
流体を除いた残りの希釈後の固気混相流体の排出口であ
る。
り供給される固気混相流体の入口ノズル、11は第1図
中の配管4により供給される希釈ガスの入口ノズル、1
2は入口ノズル11より送られる希釈ガスを所定の速度
にて入口ノズル1・よシ混合室9に入り込む固希混相“
流体中へ吹き出す希釈ガス吹出口、13は希釈ガスによ
ジ希釈された固気混相流体を固体粒子の計測器へ供給す
る配管、14は希釈容器内の計測器に供給する固気混相
流体を除いた残りの希釈後の固気混相流体の排出口であ
る。
希釈ガス吹出口12より吹き出す希釈ガスの流量は前記
計測器6及び固体粒子本来の特性に係る問題点を考慮し
て下記条件を満足するように設定する。
計測器6及び固体粒子本来の特性に係る問題点を考慮し
て下記条件を満足するように設定する。
(1+ 高濃度固気混相流体下に於ける計測器自体の
、精度の低下を防止するよう該計測器6の所定(最も精
度良く計測出来る)固気混相流体濃度まで希釈する。つ
まり希釈ガス流量Q、は(11式にて求める。
、精度の低下を防止するよう該計測器6の所定(最も精
度良く計測出来る)固気混相流体濃度まで希釈する。つ
まり希釈ガス流量Q、は(11式にて求める。
Ql〉C8・nm
但しQ、:希釈ガス流量(tri/ see )Qs:
固気混相流本流からのサンプリン 。
固気混相流本流からのサンプリン 。
グ流量(crtl/ see )
(入口ノズルlOより流入する固
気混相流体の流量)
n8=概略の固気混相流体濃度(個/−)nm:計測器
の上限固気混相流体濃度 (個/cJ) (2) 固気混相流体の大気温度附近までの冷却に伴
う凝縮成分の凝縮による濃度9粒径分布及び形態の変化
を防止するため、イ却後でも凝縮を起こさないまで希釈
することにより凝縮成分濃度を低下させる。
の上限固気混相流体濃度 (個/cJ) (2) 固気混相流体の大気温度附近までの冷却に伴
う凝縮成分の凝縮による濃度9粒径分布及び形態の変化
を防止するため、イ却後でも凝縮を起こさないまで希釈
することにより凝縮成分濃度を低下させる。
つまり9本項の場合の希釈ガス流量Q、は(2)式にて
求める。
求める。
Q茸〉Qs 7品
但しC2:希釈ガス流量(t/M)
Qm:固気混相流体からのサンプリング流電C1/m>
C8:サンプリングする固気混相流体中の凝縮成分濃度
(vat%) Coo :冷却後の固気混相流体の温度(周囲大気温度
)における凝縮成分の 飽和濃度(vo1%) COOは各種文献にて調査できるが2例えば燃焼排ガス
中によく含有゛されろ水分の場合、湿度図表により簡単
に求めることが出来る。
(vat%) Coo :冷却後の固気混相流体の温度(周囲大気温度
)における凝縮成分の 飽和濃度(vo1%) COOは各種文献にて調査できるが2例えば燃焼排ガス
中によく含有゛されろ水分の場合、湿度図表により簡単
に求めることが出来る。
(3) ブラウン拡散及び衝突による固体粒子本来
−集、沈着を防止するよう希釈ガスにて希釈するO 粒子の凝集・沈着はフィック(Fick)の法則により
理論解とC1求められる。例えば凝集。
−集、沈着を防止するよう希釈ガスにて希釈するO 粒子の凝集・沈着はフィック(Fick)の法則により
理論解とC1求められる。例えば凝集。
沈着による数子数の変化は(3)、 +43式に1計算
できる。
できる。
no −]1つ1.1 ””
但しno=最初の状態(4=o)における粒子数濃度(
個/d) nt:を秒後 における粒子数濃度(個、/
cd> k:定数(ctIl/個’5ee) t:経過時間< see > 侶=〆e″′ 但しno:最初の状態(t=o)における粒子数濃度(
個/−) nt:を秒後 における粒子数濃度(個/c
I/I) η:定数(−)− (3)及び(4)式はnOが大なる程nt/nO’が小
さくなるので、 nt/nQが計測精度に影−しない程
度(一般的に計測器並び−計測全体の精度を考慮し5%
未満)まで60を小さくする。つまり希釈する必要があ
る。
個/d) nt:を秒後 における粒子数濃度(個、/
cd> k:定数(ctIl/個’5ee) t:経過時間< see > 侶=〆e″′ 但しno:最初の状態(t=o)における粒子数濃度(
個/−) nt:を秒後 における粒子数濃度(個/c
I/I) η:定数(−)− (3)及び(4)式はnOが大なる程nt/nO’が小
さくなるので、 nt/nQが計測精度に影−しない程
度(一般的に計測器並び−計測全体の精度を考慮し5%
未満)まで60を小さくする。つまり希釈する必要があ
る。
従っ又希釈ガス流量Qsは(5)式により求められる。
Qs>Qs−不一
但1.Qs :希釈ガス流量(cpl/ see )Q
s:固気混相流体からのサンプリング流量(di/ s
ee ) ns:概略の固気混相流体濃度(個/m)n’o :
(31及び(4)式中のnt/’nc1が計測精゛度に
影響を及ぼざない程度の希釈後の 固気混相流体濃度(個/ct/l) 以上(11,(2+及び(5)式を満足す仝よ・4うな
希釈ガス流量に設定する。
s:固気混相流体からのサンプリング流量(di/ s
ee ) ns:概略の固気混相流体濃度(個/m)n’o :
(31及び(4)式中のnt/’nc1が計測精゛度に
影響を及ぼざない程度の希釈後の 固気混相流体濃度(個/ct/l) 以上(11,(2+及び(5)式を満足す仝よ・4うな
希釈ガス流量に設定する。
ところで(1)及び(5)式中の概略の固気混相流体濃
度n1は同固気混相流体を誉有する該流体の本流中の中
間ないし粗粒子の濃度及び粒径分布をJIS等の公に知
られている計測法(例えばJISに規定されている1排
ガス中のダスト濃度の測定方法″等)の計測値より、ま
た従来頻繁に用いられるサイクロン等の慣性法により中
間ないし粗粒子を除去後微細な粒子だけをF紙フィルタ
ーに捕集し、該フィルターに付着した粒子重量により前
記の微細な粒子の濃度を求める計測法の計測値等により
予め求める。
度n1は同固気混相流体を誉有する該流体の本流中の中
間ないし粗粒子の濃度及び粒径分布をJIS等の公に知
られている計測法(例えばJISに規定されている1排
ガス中のダスト濃度の測定方法″等)の計測値より、ま
た従来頻繁に用いられるサイクロン等の慣性法により中
間ないし粗粒子を除去後微細な粒子だけをF紙フィルタ
ーに捕集し、該フィルターに付着した粒子重量により前
記の微細な粒子の濃度を求める計測法の計測値等により
予め求める。
なお、濃度の計測法に関しては上記に述べた2つの例以
外にも本計測の目的に適する方法であればいずれの計測
方法でも差し支えない。
外にも本計測の目的に適する方法であればいずれの計測
方法でも差し支えない。
一方希釈答器3の構造に関しては
+11 希釈ガスを吹き出す吹出口12は固気混相流
体1の入口ノズルlOから流入する固気混相流体と充分
に混合させるものであるがら。
体1の入口ノズルlOから流入する固気混相流体と充分
に混合させるものであるがら。
混合室9の一方の端部中心に入口ノズル10を配設し、
その周囲に希釈ユガスの入口ノズル11を設けるととも
に微小多孔板よりなる吹田口12で希釈ガスを混合室9
内に導入させるようにする。
その周囲に希釈ユガスの入口ノズル11を設けるととも
に微小多孔板よりなる吹田口12で希釈ガスを混合室9
内に導入させるようにする。
゛ 従って、吹出口12より吹き出す希釈カスの流速は
混合性を考慮し1約3〜30 ml@eCとし、この流
速となるよう吹出口12の面積。
混合性を考慮し1約3〜30 ml@eCとし、この流
速となるよう吹出口12の面積。
孔数等の設計を行う。
(2) 混合室3の内径は、その中を流れる固気混相
流体および希釈カスの混合性を考慮し、固体粒子の位置
的濃度分布が生じない程度の乱流箋態なるに設計する。
流体および希釈カスの混合性を考慮し、固体粒子の位置
的濃度分布が生じない程度の乱流箋態なるに設計する。
(3) また混合室3の長さは希釈後の固気混相流体
の帯留時間、これハ(3)式中のもの経過時間とほぼ比
!シてセりこれを長くする。(3)式より明らかなよう
にn’t/旧が小きくなると計測精度に影響を及ばず可
能性がある、ので(3)式を考慮1−て設計を行う。
の帯留時間、これハ(3)式中のもの経過時間とほぼ比
!シてセりこれを長くする。(3)式より明らかなよう
にn’t/旧が小きくなると計測精度に影響を及ばず可
能性がある、ので(3)式を考慮1−て設計を行う。
(4) 希釈後の固気混相流体を計、測器に供給する
配管13t′1基本的には後方に位置し、同配管13の
内径等の寸法は、同配管13内での凝・集・沈着を考慮
するため、(3)及び(4)式を参考に設計する。
配管13t′1基本的には後方に位置し、同配管13の
内径等の寸法は、同配管13内での凝・集・沈着を考慮
するため、(3)及び(4)式を参考に設計する。
(5) 希釈後の固気混相流体の排出口14は、同部
分にて大きな圧力損失が生じない形状・寸法とする。
分にて大きな圧力損失が生じない形状・寸法とする。
第2図および第3図に示した希釈容器3では。
上記5項目を満すように設計されているが、構造はその
実施例に限られるものでなく、たとえば第4図および第
5図に示すようなものも考えられる。
実施例に限られるものでなく、たとえば第4図および第
5図に示すようなものも考えられる。
符号は第2図と同様に付しであるが、希釈ガスの吹出口
12が入口ノズル10の周囲に環状に配設し1あるの特
徴的である。
12が入口ノズル10の周囲に環状に配設し1あるの特
徴的である。
第】図は本発明の原理を示す概略説明図、第2亀本発明
希戦装置の一実施例を示す縦断面図。 第3図は第2図のIII−III線に沿う横断面図、第
4図は本発明希釈装置の異なる実施例と示す縦断面図、
第5図は第4図の■−■線に沿う横断面図である。 1:固気混相流体、2:配管、3:希釈容器。 45:配管、6:計測器、?=吸引ボング、8:配管、
9:混合室、10:固気混相流体の入日ノズル、11:
希釈ガスの入口ノズル、12:吹出口、13:配管、1
4:排出口
希戦装置の一実施例を示す縦断面図。 第3図は第2図のIII−III線に沿う横断面図、第
4図は本発明希釈装置の異なる実施例と示す縦断面図、
第5図は第4図の■−■線に沿う横断面図である。 1:固気混相流体、2:配管、3:希釈容器。 45:配管、6:計測器、?=吸引ボング、8:配管、
9:混合室、10:固気混相流体の入日ノズル、11:
希釈ガスの入口ノズル、12:吹出口、13:配管、1
4:排出口
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 fil 濃密な固気混相流体の一部をサンプリングし
低温の不活性・低湿かつ無じんな希釈ガスを混゛合する
ことによってこれらの流体を計測可能な濃度及び温度ま
で低下せしめて前記固気混相流体中の微細な固体粒子の
濃度及び粒径分布を計測するに当り、前記混相流体に希
釈ガスを混入させたとき混合ガスの濃度及び温度が計測
器の計測範囲内に入り、該混合ガス中に含有される凝縮
成分の濃度がその温度 3゜における飽和濃度未満と
なり、かつ微細な固体粒子の個数濃度が該粒子の凝集沈
着による減少によって計測精度に与えない程度に希釈す
るよしにしたことを特徴とする固気混相流体の希釈方法
。 (2) 両端部と胴部とを外壁で囲まれた管状の混合
室と、該混合室の一方の端部中心位置に開口する固気混
相流体の入口ノズルと、希釈ガス供給管に接続され前記
入口ノズルを取シ囲むようにして一方の端部に配置され
た多数の細孔または環状噴孔を備えてなる希釈ガス吹出
口と、前記混合室の他方の端部近傍の胴部を貫通して蚊
混合室の中心部まで挿入され。 その先端に前記入口ノズルに対向する開口を設けてなり
他端部を計測器に接続された計測用配管と、前記混合室
の他方の端部あるいは近傍の胴部に開口する排出口とを
備えてなることを特徴とする固気混相流体の希釈装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56180659A JPS5881431A (ja) | 1981-11-11 | 1981-11-11 | 固気混相流体の希釈方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56180659A JPS5881431A (ja) | 1981-11-11 | 1981-11-11 | 固気混相流体の希釈方法および装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63004059A Division JPS63214326A (ja) | 1988-01-12 | 1988-01-12 | 固気混相流体の希釈装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5881431A true JPS5881431A (ja) | 1983-05-16 |
JPS6210685B2 JPS6210685B2 (ja) | 1987-03-07 |
Family
ID=16087064
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP56180659A Granted JPS5881431A (ja) | 1981-11-11 | 1981-11-11 | 固気混相流体の希釈方法および装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5881431A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100462136B1 (ko) * | 2001-09-25 | 2004-12-17 | 가부시끼가이샤 도시바 | 미립자를 제조하는 방법 및 장치 |
-
1981
- 1981-11-11 JP JP56180659A patent/JPS5881431A/ja active Granted
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100462136B1 (ko) * | 2001-09-25 | 2004-12-17 | 가부시끼가이샤 도시바 | 미립자를 제조하는 방법 및 장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6210685B2 (ja) | 1987-03-07 |
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