JPS5878642U - 位置決めステ−ジ - Google Patents
位置決めステ−ジInfo
- Publication number
- JPS5878642U JPS5878642U JP17511281U JP17511281U JPS5878642U JP S5878642 U JPS5878642 U JP S5878642U JP 17511281 U JP17511281 U JP 17511281U JP 17511281 U JP17511281 U JP 17511281U JP S5878642 U JPS5878642 U JP S5878642U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- positioning stage
- fine movement
- positioning
- view
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図、第２図は各々従来の位置決めステージの平面図
、正面図、第３図、第４図は各々本考案の一実施例の平
面図、正面図である。 なお図において、１・・・・・・基板、２・・・・・・
ワーク固定台、３・・・・・・基板ストッパー、４・・
・・・・基準ポイント、５・・・・・・ＸＹ微動ステー
ジ、６，７・・・・・・ＸＹ微動ステージ、調整ツマミ
、８・・・・・・微動θステージ、９・・・・・・ＸＹ
ポジショニングステージ、１０・・・・・・基板のポイ
ント、１１・・・・・・回転角微調整用ネジ、１２・・
・・・＝突当て棒、１３・・・・・・加圧スプリング部
、である。
、正面図、第３図、第４図は各々本考案の一実施例の平
面図、正面図である。 なお図において、１・・・・・・基板、２・・・・・・
ワーク固定台、３・・・・・・基板ストッパー、４・・
・・・・基準ポイント、５・・・・・・ＸＹ微動ステー
ジ、６，７・・・・・・ＸＹ微動ステージ、調整ツマミ
、８・・・・・・微動θステージ、９・・・・・・ＸＹ
ポジショニングステージ、１０・・・・・・基板のポイ
ント、１１・・・・・・回転角微調整用ネジ、１２・・
・・・＝突当て棒、１３・・・・・・加圧スプリング部
、である。
Claims (1)
- ＸＹポジショニングステージと、該ＸＹポジショニング
ステージ上の微動θステージと、該微動θステージ上の
ＸＹ微動ステージと、該ＸＹ微動ステージ上のワーク固
定台とを含んで構成されることを特徴とする位置決めス
テージ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17511281U JPS5878642U (ja) | 1981-11-25 | 1981-11-25 | 位置決めステ−ジ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17511281U JPS5878642U (ja) | 1981-11-25 | 1981-11-25 | 位置決めステ−ジ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5878642U true JPS5878642U (ja) | 1983-05-27 |
Family
ID=29967354
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17511281U Pending JPS5878642U (ja) | 1981-11-25 | 1981-11-25 | 位置決めステ−ジ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5878642U (ja) |
-
1981
- 1981-11-25 JP JP17511281U patent/JPS5878642U/ja active Pending
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