JPS5878481A - Metal vapor laser - Google Patents
Metal vapor laserInfo
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- JPS5878481A JPS5878481A JP17684881A JP17684881A JPS5878481A JP S5878481 A JPS5878481 A JP S5878481A JP 17684881 A JP17684881 A JP 17684881A JP 17684881 A JP17684881 A JP 17684881A JP S5878481 A JPS5878481 A JP S5878481A
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/031—Metal vapour lasers, e.g. metal vapour generation
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、金属蒸気レーザーに係り、特に低ノイズを
図るための金属蒸気レーザーに関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a metal vapor laser, and particularly to a metal vapor laser for achieving low noise.
従来、アノード及びカソード間C二生じた放電によって
レーデ媒体即ち、金属分子を励起して光発振出力を得る
ことができる金属蒸気レーザーにおいては、レーザー出
力光にノイズが発生し実用上問題があることが指摘され
ている。特にH,−Cdレーザーは、そのノイズが大き
いことから種々の実用上の制限を受け、そのノイズの低
減が望まれている。Conventionally, in metal vapor lasers in which optical oscillation output can be obtained by exciting the Rede medium, that is, metal molecules, by the discharge generated between the anode and the cathode, noise occurs in the laser output light, which poses a practical problem. has been pointed out. In particular, H, -Cd lasers are subject to various practical limitations due to their large noise, and it is desired to reduce the noise.
従来* He −Cdレーデ、−のノイズを低減させる
方法としてレーデ−研qVoL、8.ム2(1980年
)P2O3−414に記載されるようにH,ガス圧力を
小さく保つ方法があるが。Conventional* He-Cd Radhe, - as a method for reducing noise, Radheken qVoL, 8. There is a method of keeping the H gas pressure low, as described in M2 (1980) P2O3-414.
この方法では、レーザー出力光のAlクワ−低下してし
まうという問題がある。This method has a problem in that the Al density of the laser output light decreases.
この発明は上述したような事情に鑑みなされたものであ
って、レーデ−出力光のノ臂ワーの低下を招くことなく
レーザー出力光のノイズを低減させることができる金属
蒸気レーザーを提供するにある。The present invention has been made in view of the above-mentioned circumstances, and it is an object of the present invention to provide a metal vapor laser that can reduce the noise of the laser output light without causing a decrease in the power of the laser output light. .
この発明によれば、放電気体が充填され、金属蒸気が供
給されているアノード及びカソード間の放電路を規定す
るキャピラリーの開口端からカソードに至る放電路の空
間は、キャピラリー内の金属イオン、金属原子と放電気
体であるバッファガスとの混合割合に実質的に等しく保
持されている金属蒸気レーザーが提供される。According to this invention, the space of the discharge path from the open end of the capillary to the cathode, which defines the discharge path between the anode and the cathode filled with a discharge material and supplied with metal vapor, is defined by the space between the metal ions in the capillary and the metal vapor. A metal vapor laser is provided that maintains a substantially equal mixing ratio of atoms and a discharge gas, a buffer gas.
この混合割合がキャピラリー内の混合割合に維持される
ことによってレーザー出力光中に含まれるノイズは、低
減される。By maintaining this mixing ratio within the capillary, noise contained in the laser output light is reduced.
また、キャピラリー開口端とカソード間の金属イオンと
金属原子の密度の混合割合の興なる領域で金属イオンか
ら金属胞子に戻る密度勾配をゆるやかにすることによっ
てレーザー出力光中に含まれるノイズは低減される。In addition, the noise contained in the laser output light is reduced by making the density gradient returning from metal ions to metal spores gentler in the region where the mixing ratio of metal ions and metal atoms between the capillary opening end and the cathode increases. Ru.
以下図面を参照しながら、この発明の実施例について説
明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
第1図は、この発明の一実施例に係る外部ミラー1!I
He −cdレーザー装置を示し、オプティカル・キ
ャビティを形成する1対の反射鏡2.4間に所定圧力の
Heが充填されているHo−Cdレーザー放電管6が配
置されている。このレーザー放電管6の放電容器8は、
図に示すようにH,ガス及びCd蒸気の混合放電が生ず
るキャピラリー10及びこのキャピラリー10両端にプ
リュウスター・ウィンド1:l、14を気密に取り付け
る為のプリュウスター−ウインド取り付は部16.II
Iから構成されている。FIG. 1 shows an external mirror 1 according to an embodiment of the present invention! I
This figure shows a He-Cd laser device, in which a Ho-Cd laser discharge tube 6 filled with He at a predetermined pressure is placed between a pair of reflecting mirrors 2.4 forming an optical cavity. The discharge vessel 8 of this laser discharge tube 6 is
As shown in the figure, a capillary 10 in which a mixed discharge of H, gas, and Cd vapor occurs, and a Pryuster window 1:l, 14 for airtightly mounting the capillary 10 on both ends of this capillary 10 are shown in section 16. II
It is composed of I.
一方のプリュウスター・ウィンド取り付は部1#には、
アノード20が固定された第1の枝管22が設けられて
いる。キャピラリー10には、キャピラリー10のアノ
ード側開口端から略5傷以内にc4薫気を供給する為の
金属溜24が取り付けられ、この金属溜24(二は、金
属溜j4中のCd金属28を加熱する為のヒーター16
が設けられている。On the other hand, the Prewster window installation is in part 1#,
A first branch pipe 22 to which an anode 20 is fixed is provided. A metal reservoir 24 is attached to the capillary 10 for supplying C4 fumes within about 5 scratches from the anode-side open end of the capillary 10. Heater 16 for heating
is provided.
この発明の一実施例においては、他方のブリュウスター
・ウィンド取り付は部18は、カソードjOを収納する
為の拡張部32を介してキャピラリー10に連結され、
この拡張部32内に配置されたカソード30は、コイル
状に形成され、このカソード30は、キャピラリー10
の開口端から5国以内に位置され、キャピラリー10の
開口端からカソード30までの放電距離長が5em以内
に維持されている。また、この拡張部32には、他の部
分よりもその内径が拡げられたCd蒸気凝固部34が設
けられている。In one embodiment of the invention, the other Brewster window fitting 18 is connected to the capillary 10 via an extension 32 for housing the cathode jO;
A cathode 30 disposed within this extension 32 is formed in a coil shape, and this cathode 30 is connected to the capillary 10.
The discharge distance from the open end of the capillary 10 to the cathode 30 is maintained within 5 em. Further, this expanded portion 32 is provided with a Cd vapor coagulation portion 34 whose inner diameter is larger than that of other portions.
上述したこの発明の実施例によれば、H8気体を介して
アノード20及びカソード30間で放電が生じ、金員蒸
気が金属溜24から供給されると、アノード20先端及
び金属溜24の開口間においては、実質的なH6気体放
電が生じ。According to the embodiment of the present invention described above, when a discharge occurs between the anode 20 and the cathode 30 via the H8 gas and metal vapor is supplied from the metal reservoir 24, the discharge occurs between the tip of the anode 20 and the opening of the metal reservoir 24. At , a substantial H6 gas discharge occurs.
金属溜24の開口及びカソード30間においてブリュウ
スター・ウィンド12.14からはレーザー出力光が発
生され、いずれかの反射鏡4.2からレーザー出力光が
導出される。レーザー出力光中に含まれるノイズは、第
2A図の従来のレーザーに比べて第2B図に示すように
大幅1−低減される。Laser output light is generated from the Brewster window 12.14 between the opening of the metal reservoir 24 and the cathode 30, and is led out from one of the reflecting mirrors 4.2. The noise contained in the laser output light is significantly reduced by 1- as shown in FIG. 2B compared to the conventional laser of FIG. 2A.
即ち、従来のレーザーから得られるレーデ−出力光中に
は、ピーク対ピークで17憾ものノイズが含まれていた
のに対して本−のレーザーから得られるレーザー出力光
には、ピーク対ピークで2憾〜8優のノイズに留めるこ
とができる。このようにこの発明の実施例によってノイ
ズが低減される理由は1次のような事実6;基くと推測
される。キャピラリー10内をカタフオレシス効果によ
って移送されるCd蒸気は、キIJ) ”Ill
ヤビラリ−10の開口端から大きな空間を有する拡張部
32内に流入され、Cd蒸気凝固部34に付着される。In other words, the radar output light obtained from a conventional laser contained as much as 17 peak-to-peak noises, whereas the laser output light obtained from this laser contained as much as 17 peak-to-peak noises. It is possible to keep the noise to between 2 and 8. The reason why the noise is reduced by the embodiments of the present invention is presumed to be based on the following fact. The Cd vapor transferred within the capillary 10 by the cataphoresis effect flows into the expanded portion 32 having a large space from the open end of the capillary 10, and is deposited on the Cd vapor coagulation portion 34.
連続的にCam気が流入される拡張部32は、それ自体
が大きな空間を備えることから、その内のCd蒸気濃度
が大きくならず、またこの空間に流入したCd蒸気は、
Cd蒸気が凝固しやすいようにその内径が拡げられてそ
の表面温度が他の表面領域に比べて低く保れている凝固
部34に凝固されることから、そのキャビラ9−10の
開口端から略5aI以内の望間は、略キャピラリー10
内の金属蒸気濃度に維持され、キャピラリー10内のH
8気体及び金属蒸気の混合割合に保れている。このキャ
ピラリー10の開口端から略5傷以内の空間にカソード
30が設けられていることから、キャピラリー10内に
生ずる混合放電がそのままキャピラリー10の開口端か
らカソード30までの放電経路に生じ、その結果、レー
ザー出力光中のノイズが低減されると推測される。Since the expansion part 32 into which Cam air is continuously introduced has a large space itself, the Cd vapor concentration therein does not increase, and the Cd vapor that flows into this space is
Since the inner diameter of the Cd vapor is expanded to make it easier to solidify, and the surface temperature is kept lower than that of other surface areas, the Cd vapor is solidified in the solidified part 34, so that the Cd vapor is solidified from the open end of the cavity 9-10. Mochima within 5aI is approximately capillary 10
H within the capillary 10 is maintained at a metal vapor concentration within
The mixing ratio of 8 gases and metal vapors is maintained. Since the cathode 30 is provided within approximately 5 scratches from the open end of the capillary 10, the mixed discharge generated within the capillary 10 is directly generated in the discharge path from the open end of the capillary 10 to the cathode 30, resulting in , it is assumed that the noise in the laser output light is reduced.
上記実施例におい□゛ては、金属溜24がキャビラ9−
10に直接連結され、金属蒸気が直接キャピラリ、−1
0の途中から供給されている。しかも、この金属蒸気供
給位置がアノード側のキャピラリー10の開口端から略
5es以内に留められている。このように金属溜24を
キャピラリー10に取り付けることによって金属112
4のキャピラリ−10内開口とアノード20先端間には
、“実質的なH1!気体放電が生ずるに拘らず実質的に
レーザー光出力中のノイズ低減をより図ることができる
。In the above embodiment, the metal reservoir 24 is connected to the cabinet 9-
10 and the metal vapor directly connects to the capillary, -1
It is supplied from the middle of 0. Furthermore, the metal vapor supply position is kept within approximately 5 es from the open end of the capillary 10 on the anode side. By attaching the metal reservoir 24 to the capillary 10 in this way, the metal 112
Between the opening in the capillary 10 of No. 4 and the tip of the anode 20, it is possible to substantially reduce noise during laser light output even though a substantial H1! gas discharge occurs.
第3図は、第1図の変形実施例を示し、キャピラリー1
0が長く、1つのカソード30に対して2つのアノード
20a、20b及び2つの金属溜j4a、j4bが設け
られたレーデ−を示している。この第3図の実施例にお
いては。FIG. 3 shows a modified embodiment of FIG. 1, in which the capillary 1
0 is long, indicating a radar in which two anodes 20a, 20b and two metal reservoirs j4a, j4b are provided for one cathode 30. In this embodiment of FIG.
拡張部32がキャピラリー10に取り付けられているが
、その開口から5m以内に同様にカソード30が位置さ
れている。従って、この変形実施例1:あっても同様に
レーザー出力光中のノイズを低減させることができる。An extension 32 is attached to the capillary 10, with the cathode 30 also located within 5 meters from its opening. Therefore, even with this modification example 1, noise in the laser output light can be reduced in the same way.
尚1図中第1図に示したと同一箇所については、同−符
号及び同一符号に付加記号m、bを付してその説明を省
略する。1, the same parts as shown in FIG. 1 are given the same reference numerals and additional symbols m and b, and the explanation thereof will be omitted.
第4図は、この発明の他の実施例を示し、拡張部32に
は、枝管S6を介してカソード30を収納するカソード
収納部38が連結されている。キャピラリー10の拡張
部32内開口端は。FIG. 4 shows another embodiment of the present invention, in which a cathode accommodating section 38 for accommodating the cathode 30 is connected to the expanded section 32 via a branch pipe S6. The open end inside the expanded portion 32 of the capillary 10 is as follows.
枝管36の拡張部32内の開口部の中心線40上或は、
その開口部の中心線40とブリュウスター・ウィンド取
り付は部18間の空間音まで延び出している。On the centerline 40 of the opening in the extension 32 of the branch pipe 36 or
The centerline 40 of the opening and the Brewster window mount extend into the space between sections 18.
この実施例においては、キャピラリー10の開口端から
カソード10に至る放電路は、屈曲され、しかも、キャ
ピラリー10の開口端から枝管36の開口部に至る放電
経路は、キャピラリー10の開口端からプリュウスター
参つィンド取り付は部18に向い、その後折り曲って枝
管J6の開口部に向って戻るような経路を描くこととな
る。また、キャビクリ−10内をカタフオレシス効果に
よって移送された金属蒸気は。In this embodiment, the discharge path from the open end of the capillary 10 to the cathode 10 is bent, and the discharge path from the open end of the capillary 10 to the opening of the branch pipe 36 is bent. The Worcestershire wind installation will follow a path that points toward section 18 and then bends back toward the opening of branch pipe J6. In addition, the metal vapor transferred within the cavity 10 due to the cataphoresis effect.
キャピラリー10の開口端から拡張部32内に流入して
停滞することなく拡張部32内の凝固部34及び枝管3
6から突出して設けられた凝固部42に向って流れ、こ
の表′面に凝固される。The solidified portion 34 and branch pipe 3 within the expanded portion 32 flow into the expanded portion 32 from the open end of the capillary 10 without stagnation.
The liquid flows toward the coagulation section 42 provided protruding from the surface of the coagulation section 6, and is coagulated on the surface thereof.
従って、放電路中の全脂イオンが放電による自己加熱の
熱の作用により金属原子に戻るときの密°度勾配をゆる
やかにするためレーデ−出力光中のノイズが低減される
。Therefore, the noise in the radar output light is reduced because the density gradient when the fat ions in the discharge path return to metal atoms due to the action of heat generated by self-heating due to the discharge is made gentler.
更に、第5図に示されるように拡張部S2のキャピラリ
ー外周部分44は、他の部分に比べて疾手に形成され、
その断面W、が他の部分の断面Wlに比べて面積が小さ
いことが好ましい。Furthermore, as shown in FIG. 5, the capillary outer peripheral portion 44 of the extended portion S2 is formed more quickly than other portions,
It is preferable that the area of the cross section W is smaller than that of the cross section Wl of other parts.
外周部分44が疾手であることから、この外周部分44
内の温度が他の部分に比べて高く、従って、Cdのイオ
ンがゆるやかに凝固部j4に付着し、イオンとCd原子
の密度勾配をゆるやかにすることができる。また、上述
した外周部分44の端部とキャピラリー10の開口端と
の間10の開口端と中心線40との間の距1111*は
5m以上に保れることか、好ましい効果を得る上で望ま
しいことが実験的に確認されている。Since the outer circumferential portion 44 is fast, this outer circumferential portion 44
The temperature inside is higher than that in other parts, therefore, Cd ions are gently attached to the solidified part j4, and the density gradient of ions and Cd atoms can be made gentle. In addition, it is desirable that the distance 1111* between the end of the outer circumferential portion 44 and the open end of the capillary 10 and the center line 40 be kept at 5 m or more to obtain a favorable effect. This has been experimentally confirmed.
以上のようにこの発明のレーザーによれば、金属蒸気の
むらが生じないようにしている為レーデー元中のノイズ
を低減させることができる。As described above, according to the laser of the present invention, noise in the radar source can be reduced because unevenness of metal vapor is prevented from occurring.
尚、上述した実施例においてはm H@ −cdレーザ
ーを一例として説明したが、この発明は。Incidentally, in the above-mentioned embodiment, the m H@-cd laser was explained as an example, but this invention.
H・−c、ル−ザーに限らず、If、−8,レーザー及
びHc−Cuレーザー等の他の金属レーザーにも適用で
きることは、明らかである。更にバッファガスをコント
ロールする金属蒸気レーデ−等を組合せて用いるレーザ
ーにも適用できることは明らかである。It is clear that the present invention is applicable not only to H.-c and loser but also to other metal lasers such as If, -8, and Hc-Cu lasers. Furthermore, it is clear that the present invention can also be applied to lasers that use a combination of metal vapor radar and the like to control the buffer gas.
第1図は、この発明の金属蒸気レーザーの一実施例を概
略的に示す断面図、第2A図及び第2B図は、夫々この
発明及び従来の金属蒸気レーザーからのレーザー出力光
の特性を示すグラフ、第3図、第一回及び第5図は、夫
々他の実施例を示す断面図である。
2.4・・・反射鋺、6・・・レーザー放電管、8・・
・放電容器、10・・・キャピラリー、12.14・・
・プリュウスター・ウィンド、20・・・アノード。
21.36・・・枝管、24・・・金属溜、SO・・・
カソード、32・・・拡張部、34.42・・・凝固部
。
38・・・カソード収納部
出−人代理人 弁理士 鈴江武彦
昭和 年 月 日
1.事件の表示
特軸昭!56−176848号
2、発明の名称
金属蒸気レーザー
3、補正をする者
事件との関係 特許出願人
金門電気株式会社
4、代理人
5、自発補正
7、補正の内容
明細112頁第8行目[He −Cu L/−デー」v
[l(e −Cuレーザー」6二訂正する。FIG. 1 is a cross-sectional view schematically showing an embodiment of the metal vapor laser of the present invention, and FIGS. 2A and 2B show the characteristics of laser output light from the present invention and the conventional metal vapor laser, respectively. The graph, FIG. 3, first time, and FIG. 5 are cross-sectional views showing other embodiments. 2.4...Reflector, 6...Laser discharge tube, 8...
・Discharge vessel, 10... Capillary, 12.14...
・Prewster Wind, 20...Anode. 21.36...Branch pipe, 24...Metal reservoir, SO...
Cathode, 32... Expansion part, 34.42... Coagulation part. 38...Cathode Storage Department Representative Patent Attorney Takehiko Suzue Showa Year Month Day 1. Incident display special axis Akira! 56-176848 No. 2, Name of the invention Metal vapor laser 3, Person making the amendment Relationship to the case Patent applicant Kinmen Electric Co., Ltd. 4, Agent 5, Spontaneous amendment 7, Details of the amendment, page 112, line 8 [ He -Cu L/-day'v
[l(e-Cu laser) 62 Correct.
Claims (1)
ド収納部並びにカソード収納部とを連結し。 放電路を規定するキャピラリーとから成る放電容器と、
前記゛アノード収納部内に設けられたアノードと、前記
カソード収納部内に設けられたカソードと、前記放電容
器に充填された気体と、及び前記放電容器内に金属蒸気
を供給する手段とから成る金属蒸気レーザーにおいて、
III記アノアノードカソード間に放電が生じた際キャ
ピラリ一端からカッーVζ;至る放電路中の金属イオン
と金属原子密度が不均一な領域を減少することを特徴と
する金属蒸気レーデ− (2) 前記カソードは、前記キャピラリ一端から放
電路長で5am以内に設けられていることを特徴とする
特許請求の範囲第1項記載の金属蒸気レーデ− +31 Illllツカソード収納部、金属蒸気の主
たる凝固する領域を含むことを特徴とする特許請求の範
囲第1項又は、第2項記載の金属蒸気レーザー 14) 前記カソード収納部は、キャピラリーに取り
付けられた拡張部に枝管な介して連結されていることを
特徴とする特許請求の範囲第1項から第3項までのいず
れかに記載の金属蒸気レーデ− (5) 前記拡張部には、金属蒸気が主に凝固する領
域を含むことを特徴とする特許請求の範囲第4項記載の
金属蒸気レーザー (6)前記キャピラリーは、前記拡張部内に延び出し、
前記枝管の連結開口上を横切ることを特徴とする特許請
求の範囲第4項又は第5項記載の金属蒸気レーザー 171 前記キャピラリーの先端と前幅枝管の連結開
口の中心軸との間は、5−以上に設定されていることを
特徴とする特許請求の範囲第6項記載の金属蒸気レーデ
− (8) 前記拡張部は、キャピラリーが取り付けられ
た基部内の断面が他の部分に比べて小さいことを特徴と
する特許請求の範囲第6項又は第7項記載の金属蒸気レ
ーザー[Claims] fil An anode storage part, a cathode storage part, and an anode storage part and a cathode storage part are connected. a discharge vessel comprising a capillary defining a discharge path;
A metal vapor comprising the anode provided in the anode housing, the cathode provided in the cathode housing, gas filled in the discharge vessel, and means for supplying metal vapor into the discharge vessel. In laser,
III. A metal vapor radar characterized in that when a discharge occurs between an anode and a cathode, a region where metal ion and metal atom density is non-uniform in the discharge path from one end of the capillary to Vζ is reduced. (2) Said The metal vapor radar according to claim 1, wherein the cathode is provided within 5 am in terms of discharge path length from one end of the capillary. (14) The metal vapor laser according to claim 1 or 2, characterized in that the cathode storage section is connected to an expansion section attached to a capillary via a branch pipe. Metal vapor radar according to any one of claims 1 to 3 (5) A patent characterized in that the expanded portion includes a region where metal vapor mainly solidifies. Metal vapor laser (6) according to claim 4, wherein the capillary extends into the expansion part,
A metal vapor laser 171 according to claim 4 or 5, characterized in that the metal vapor laser 171 crosses over the connecting opening of the branch pipe. Between the tip of the capillary and the central axis of the connecting opening of the front wide branch pipe is , 5- or more. The metal vapor laser according to claim 6 or 7, characterized in that the metal vapor laser is small in size.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17684881A JPS5878481A (en) | 1981-11-04 | 1981-11-04 | Metal vapor laser |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17684881A JPS5878481A (en) | 1981-11-04 | 1981-11-04 | Metal vapor laser |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5878481A true JPS5878481A (en) | 1983-05-12 |
JPH053154B2 JPH053154B2 (en) | 1993-01-14 |
Family
ID=16020883
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17684881A Granted JPS5878481A (en) | 1981-11-04 | 1981-11-04 | Metal vapor laser |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5878481A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US4821280A (en) * | 1984-10-12 | 1989-04-11 | Hiromi Kawase | Hollow-cathode type metal ion laser |
US6661499B2 (en) | 1998-06-12 | 2003-12-09 | Nikon Corporation | Projection exposure apparatus with a catadioptric projection optical system |
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JPS4825830A (en) * | 1971-08-09 | 1973-04-04 | ||
JPS5262085U (en) * | 1975-10-31 | 1977-05-07 |
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1981
- 1981-11-04 JP JP17684881A patent/JPS5878481A/en active Granted
Patent Citations (2)
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH053154B2 (en) | 1993-01-14 |
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