JPS5873186A - Mandrel and electroforming using same or method of producing printed circuit - Google Patents

Mandrel and electroforming using same or method of producing printed circuit

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Publication number
JPS5873186A
JPS5873186A JP17250181A JP17250181A JPS5873186A JP S5873186 A JPS5873186 A JP S5873186A JP 17250181 A JP17250181 A JP 17250181A JP 17250181 A JP17250181 A JP 17250181A JP S5873186 A JPS5873186 A JP S5873186A
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JP
Japan
Prior art keywords
resist
mandrel
pattern
aluminum
plating
Prior art date
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Pending
Application number
JP17250181A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
悟 高野
東川 正
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Electric Industries Ltd
Original Assignee
Sumitomo Electric Industries Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Electric Industries Ltd filed Critical Sumitomo Electric Industries Ltd
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Publication of JPS5873186A publication Critical patent/JPS5873186A/en
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  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、電鋳等に使用するマンドレルおよびこれを使
用した電鋳方法又は印刷配線板の製造方法に関するもの
である。なお、本明細書で使用するアルミニウムなる用
語はアルミニウムおよびアルミニウム合金を意味するも
のである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a mandrel used for electroforming, etc., and an electroforming method using the same, or a method for manufacturing a printed wiring board. Note that the term aluminum used herein means aluminum and aluminum alloys.

従来、半導体製造用金属蒸着マスク、ビジコンなどの電
子管用ファインメツシー、電気かみそりの外刃、スクリ
ーン等の一定のパターンを有する製品を製造する場合、
ステンレス鋼等の金型やノートに、樹脂インクの印刷ま
たはフォトレジストを施したマンドレルが使用されてき
た。また、ステンレス鋼板等にレジストを形成し、レジ
ストを有さない部分にめっきを施し、次いで接着剤を介
してめっき層を基材に圧着するか、または接着力を有す
る未硬化基材に圧着するかして、めっき層を基材に転写
することにより回路パターンを基材上に形成する印刷配
線板の製造方法(以下転写法ト記ス)でも、マンドレル
上のレジストは樹脂インクの印刷またはフォトレジスト
法によって施されていた。レジスト用印刷インクとして
は、数多くのものが市販されているが、エポキシ樹脂、
ポリアミド変性エポキシ樹脂等の変性エポキシ樹脂、ニ
トリル変性フェノール樹脂等の変性フェノール樹脂、エ
ポキシ変性アルキド樹脂等の樹脂を主制とし、黒鉛、酸
化チタン等の顔料、シンナー等の溶剤等を混合したもの
が使用される。またフォトレジストとしては、カゼイン
、グレー、アラビアゴム、またはポリビニルアルコール
等の水溶性高分子−化合物と爪クロム酸塩、水溶性ビス
アジド、またはジアゾ化合物を混合した水溶性フォトレ
ジスト、環fヒゴムとビスアジドを混合したゴム系フォ
トレジスト、ポリビニルアルコールとケイ皮酸クロライ
ドとの縮合生成物または、ビニルモノマーとケイ皮酸基
との反応生成物の重合化合物であるポリケイ皮酸系フォ
トレジスト、キノンジアジドとノボラック樹脂等からな
るキノンジアジド系フォトレジスト等が使用されている
Conventionally, when manufacturing products with a certain pattern such as metal vapor deposition masks for semiconductor manufacturing, fine mesh for electron tubes such as vidicon, outer blades of electric shavers, and screens,
Mandrels printed with resin ink or photoresist have been used for molds and notebooks made of stainless steel and other materials. Alternatively, a resist is formed on a stainless steel plate, etc., the areas without resist are plated, and the plating layer is then pressure-bonded to the base material via an adhesive, or to an uncured base material that has adhesive strength. Even in the printed wiring board manufacturing method (hereinafter referred to as transfer method) in which a circuit pattern is formed on a substrate by transferring a plating layer to the substrate, the resist on the mandrel is printed with resin ink or photosensitive. It was applied using the resist method. There are many types of resist printing inks on the market, including epoxy resin,
Mainly resins such as modified epoxy resins such as polyamide-modified epoxy resins, modified phenol resins such as nitrile-modified phenolic resins, and epoxy-modified alkyd resins, mixed with pigments such as graphite and titanium oxide, and solvents such as thinners. used. In addition, photoresists include water-soluble photoresists prepared by mixing a water-soluble polymer compound such as casein, gray, gum arabic, or polyvinyl alcohol with nail chromate, water-soluble bisazide, or diazo compound; rubber-based photoresists that are a mixture of polyvinyl alcohol and cinnamic acid chloride, or polycinnamic acid-based photoresists that are polymerized compounds of the reaction products of vinyl monomers and cinnamic acid groups, quinonediazide and novolac resins. Quinonediazide photoresists, etc., are used.

電鋳用レジストは、めっきとめっき層の剥離の繰返しに
耐える必要である。転写法では、さらにめっき層と、接
着剤または接着力を有する未硬化基板との十分な接着を
行うために、圧着が必要になる。精密な電鋳や転写では
、精密なレジスト画像を得るために、元板の表面はモ滑
にする必要がアリ、レジストとマンドレルの密着を得る
ための表面粗化は不可能である。したがって、レジスト
とマンドレル表面は化学的に結合していることが必要で
ある。さらに、レジストが厚いとめっきの剥離が困難に
なり易い。転写では、マンドレルと接着剤または接着力
を有する未硬化基材を圧着した時に、接着剤または未硬
化基剤に粘着するという問題がある。これらの問題から
、電鋳用レジストまたは転写用レジスト、特に転写用レ
ジストとして5〜10回以上の繰返し使用に耐えるもの
は、従来の上記レジストには存在しなかった。
Electroforming resists must be able to withstand repeated plating and peeling of the plating layer. The transfer method further requires pressure bonding in order to achieve sufficient adhesion between the plating layer and an adhesive or an uncured substrate having adhesive strength. In precision electroforming and transfer, in order to obtain a precise resist image, the surface of the original plate must be made smooth, and it is impossible to roughen the surface to obtain close contact between the resist and the mandrel. Therefore, it is necessary that the resist and the mandrel surface be chemically bonded. Furthermore, if the resist is thick, it tends to be difficult to remove the plating. In transfer, there is a problem in that when a mandrel and an adhesive or an uncured base material having adhesive strength are pressed together, the mandrel sticks to the adhesive or the uncured base material. Due to these problems, there has been no existing resist for electroforming or transfer, especially one that can withstand repeated use of 5 to 10 times or more as a transfer resist.

本発明は、アルミニウムの陽極酸化皮膜に簡単な処理を
施すことにより、電鋳または転写用レジストとして極め
て優れた特性を得ることができることからなされたもの
である。これにより、薄くて、平滑な表面に対しても優
れた密着性を有し、しかも、転写法で圧着した時に、接
着剤または未硬化基材に粘着せず、機械的にも充分な強
度を有し、耐熱性に優れたレジストを容易に得ることが
できる。
The present invention was made based on the fact that extremely excellent properties as a resist for electroforming or transfer can be obtained by subjecting an anodic oxide film of aluminum to a simple treatment. As a result, it has excellent adhesion even to thin and smooth surfaces, and when pressure-bonded using the transfer method, it does not stick to adhesives or uncured substrates and has sufficient mechanical strength. Therefore, a resist with excellent heat resistance can be easily obtained.

アルミニウムの陽極酸化皮膜はそのままでも使用可能で
あるが、そのままでは微細な孔やクラックを有しやすく
、めっき液におかされる場合があり、長期にわたってレ
ジストとして使用する侍史に工夫が必要である。陽極酸
化皮膜上に樹脂等の薄い皮膜を設けると、樹脂等は微細
な孔やクラックに入り込んで密着し優れた密着が得られ
レジストとして長期にわたって十分に使用できる。本発
明の陽極酸化皮膜の処理法として最も簡便な方法は、シ
リコン樹脂、エポキシ樹脂、ポリアミド樹脂等を塗付後
、布等で軽く拭い取ることにより達成される。この時、
アルミニウムの露出したパターン上にも樹脂が付着する
が、布等で拭い取ることによってめっきに対して何ら影
響がない程度に容易に除去できる。これに対し陽極酸化
皮膜上の樹脂は、陽極酸化皮膜上の四部、微細な孔また
はクラックに入り込み゛拭い去ることは不可能となる。
Aluminum anodic oxide films can be used as is, but they tend to have minute pores and cracks and may be exposed to plating solutions, so it is necessary to devise ways to use them as resists over long periods of time. When a thin film of resin or the like is provided on the anodic oxide film, the resin or the like penetrates into minute pores and cracks and adheres closely, resulting in excellent adhesion and can be used satisfactorily as a resist for a long period of time. The simplest method for treating the anodic oxide film of the present invention is to apply a silicone resin, epoxy resin, polyamide resin, etc. and then wipe it gently with a cloth or the like. At this time,
Resin also adheres to the exposed aluminum pattern, but it can be easily removed by wiping it with a cloth or the like to the extent that it does not affect the plating in any way. On the other hand, the resin on the anodic oxide film gets into the four parts, minute pores or cracks on the anodic oxide film and becomes impossible to wipe away.

陽極酸化皮膜上の樹脂の欠陥は陽極酸化皮膜が補−うの
で部分的に樹脂のない部分があったとしても、大きな影
響は与えない。金属または合金に密着しない物質でも陽
極酸化皮膜には密着する場合が多いので、転写法の圧着
でも接着剤または未硬化基材に粘着しない常温硬化型シ
リコンゴム等を塗付しておけば、転写用レジストとして
十分使用できる。陽極酸化皮膜は耐摩耗性に優れほとん
ど剥落することはないので、本発明のレジストの補修は
、上述の簡単な樹脂等の再塗付で行える。本発明の陽極
酸化皮膜の処理法の詳細は後述するが、本発明は、アル
ミニウムの陽極酸化皮膜に簡単な処理を施すことにより
、上述のように優れた特徴を有する電鋳用または転写用
レジストとして好適なことからなされたものである。
Since defects in the resin on the anodic oxide film are compensated for by the anodic oxide film, even if there are some areas where there is no resin, it does not have a large effect. Substances that do not adhere to metals or alloys often adhere to anodized films, so if you apply an adhesive or a room-temperature-curing silicone rubber that does not adhere to uncured substrates, it will be easier to transfer. It can be fully used as a photoresist. Since the anodic oxide film has excellent abrasion resistance and hardly peels off, the resist of the present invention can be repaired by simply recoating with the above-mentioned resin or the like. The details of the treatment method of the anodic oxide film of the present invention will be described later, but the present invention provides a resist for electroforming or transfer having the excellent characteristics as described above by applying a simple treatment to the anodic oxide film of aluminum. This was done because it was suitable for

本発明のマンドレルの材質は、めっき液に対する耐食性
に優れ、良好な陽極酸化皮膜の得られるアルミニウムま
たはアルミニウム合金なら特に限定されない。例えば工
業用純アルミニウム、JIS5056アルミニウム合金
等が好適である。また、マンドレルの形状は箔または板
材の他、鋳造、鍛造、機械加工またはプレス等による成
型品も使用できる。
The material of the mandrel of the present invention is not particularly limited, as long as it is aluminum or an aluminum alloy that has excellent corrosion resistance against plating solutions and provides a good anodic oxide film. For example, industrial pure aluminum, JIS5056 aluminum alloy, etc. are suitable. Further, as for the shape of the mandrel, in addition to foil or plate material, a molded product by casting, forging, machining, pressing, etc. can be used.

本発明の陽極酸化皮膜のパターンを形成するには、アル
ミニウム表面全体に陽極酸化皮膜を施し通常のエツチン
グレジストによる画像を形成した後、陽極酸化皮膜の不
要な部分の陽極酸化皮膜を溶解する方法と、アルミニウ
ム表面に通常のレジストを形成した後、レジストのない
部分に陽極酸化皮膜を施す方法とがある。両者ともに、
元板側面や裏面に陽極酸1ヒ皮膜を残すか否かは任意で
あるが、特に支障のない限り側面や裏面も本発明の方法
でレジストを形成することができる。
In order to form the pattern of the anodic oxide film of the present invention, the anodic oxide film is applied to the entire aluminum surface, an image is formed using a normal etching resist, and then unnecessary parts of the anodic oxide film are dissolved. Another method is to form a regular resist on the aluminum surface and then apply an anodic oxide film to the areas where there is no resist. Both,
It is optional whether or not to leave the anodic acid 1 arsenic film on the side and back surfaces of the original plate, but as long as there is no particular problem, a resist can be formed on the side and back surfaces as well by the method of the present invention.

陽極酸化皮膜を部分的に溶解してパターンを形成する方
法では、陽極酸化皮膜の溶解にフッ酸または水酸化ナト
リウムを使用するので、これらに耐えるエツチングレジ
ストを使用しなければならない。米国ナノッダール社の
16935 PCや、西独プロトコート社の340C等
溶剤除去タイプのエポキシ系樹脂インクによる印刷が好
適である。また、フォトレジストとしては東京応用化学
(株)のTPR等が好適である。フッ酸や水酸化ナトリ
ウム水溶液は陽極酸化皮膜のみならずアルミニウム自体
をも溶解するので、深いエツチングを行うとサイドエッ
チXを生じ、陽極酸化皮膜上に樹脂等を塗付した時にサ
イドエッチX内に残ってめっき中に剥離したり、めっき
がアンダーカットに入り込んで剥離が不可能となる。陽
極酸化皮膜が厚いと不均一溶解を生じ易くこれを避ける
ためにエツチングが深くなりがちであり、陽極酸化皮膜
は? /i以下、好ましくは5μ以下にするのがよい。
In the method of forming a pattern by partially dissolving the anodic oxide film, hydrofluoric acid or sodium hydroxide is used to dissolve the anodic oxide film, so an etching resist that can withstand these must be used. Printing with a solvent-removable epoxy resin ink such as 16935 PC manufactured by Nanodahl in the United States or 340C manufactured by Protocoat in West Germany is suitable. Further, as the photoresist, TPR manufactured by Tokyo Applied Chemical Co., Ltd., etc. is suitable. Hydrofluoric acid and sodium hydroxide aqueous solution dissolve not only the anodic oxide film but also the aluminum itself, so deep etching will cause side etch If it remains, it will peel off during plating, or the plating will get into the undercut, making it impossible to peel it off. If the anodic oxide film is thick, uneven dissolution tends to occur, and to avoid this, etching tends to be deep.What about the anodic oxide film? /i or less, preferably 5μ or less.

通常のレジストによるパターンを形成した後、部分的に
陽極酸化を行う方法では、レジストが陽極酸化工程に耐
える必要があり、印刷インクとしては米国ナッツダール
社のソルダーレジスト240.241.242フオトレ
ジストとしては、富士薬品(株)のPPPPR,米国コ
ダノク社のKPR;米国ダイナーケム社DCR−341
0等が好適である。この方法では、陽極酸化条件にアル
ミニウムが一部溶解して、陽極酸化皮膜を施さない表面
が陽極酸化皮膜の表面より突出した状態となりサイドエ
ッチもない状態にできるが、陽極酸化処理時間が長くな
ると、樹脂レジストが剥離し、レジスト下部の陽極酸化
皮膜がやけた状態となるので通常IOμ以下、好ましく
は7μ以下にするのが良い。
In the conventional method of forming a resist pattern and then partially anodizing it, the resist needs to withstand the anodizing process, and the printing ink is solder resist 240, 241, 242 photoresist by Knuts Dahl Co., Ltd. PPPPR from Fuji Pharmaceutical Co., Ltd., KPR from Kodanok, USA; DCR-341 from Dinerchem, USA
A value such as 0 is preferable. In this method, part of the aluminum dissolves under the anodizing conditions, and the surface without the anodized film protrudes from the surface of the anodized film, making it possible to avoid side etching, but as the anodizing time becomes longer, Since the resin resist will peel off and the anodic oxide film under the resist will become burnt, it is usually better to set it to IOμ or less, preferably 7μ or less.

いずれの方法でも、適宜、常法により研摩、脱脂、エツ
チング等により表面を清浄にすることができる。通常は
、予備処理としてパフ研摩または電解研摩による平滑化
、アセトン等による溶剤脱脂またはリン酸ナトリウム−
炭酸ナトリウム水溶液による電解脱脂を行う程度で、通
常のレジストは、陽極酸化皮膜の生成害たは溶解に耐え
る程度の密着を示す。さらに通常のレジストの密着を向
上させ、均一な陽極酸化皮膜を得るために、水酸化ナト
リウム水溶液等で軽くエツチングを行うのも良い。これ
らの処理は、陽極酸化皮膜を部分的に溶解する方法にお
いて、陽極酸化皮膜溶解後の平滑化処理として電解研摩
を使用したり、通常のレジストを使用して部分的に陽極
酸化皮膜を生成させる方法において、陽極酸化皮膜を施
さない表面と陽極酸化皮膜表面に大きな段差をつけるた
めに陽極酸化皮膜生成前に深いエツチングを行う等広汎
に使用できる。また、陽極酸化皮膜によるパターンを形
成し樹脂の塗付等を行った後、めっき前の清浄としても
これらの方法が使えるが、この処理については後述する
In either method, the surface can be cleaned by polishing, degreasing, etching, etc., as appropriate using conventional methods. Normally, preliminary treatments include smoothing by puff polishing or electrolytic polishing, solvent degreasing with acetone, etc., or sodium phosphate degreasing.
When electrolytically degreased using an aqueous sodium carbonate solution, a normal resist exhibits adhesion to the extent that it can withstand the formation or dissolution of an anodic oxide film. Furthermore, in order to improve the adhesion of ordinary resists and obtain a uniform anodic oxide film, it is also good to perform light etching with an aqueous sodium hydroxide solution or the like. These treatments include methods of partially dissolving the anodic oxide film, such as using electrolytic polishing as a smoothing treatment after dissolving the anodic oxide film, or using a normal resist to partially generate the anodic oxide film. The method can be used in a wide variety of ways, including performing deep etching before forming the anodic oxide film in order to create a large step between the surface without the anodized film and the surface of the anodized film. These methods can also be used for cleaning before plating after forming a pattern with an anodic oxide film and applying a resin, but this process will be described later.

陽極酸化皮膜を部分的に溶解してパターンを得る方法で
は、本発明の樹脂等の塗付として、陽極酸化皮膜のエツ
チングレジストをそのまま残してもよいが、転写法では
、陽極酸fヒ皮膜の部分的な溶解に使用するレジストは
厚く、めっきが剥れ難い等の問題があり、溶解除去する
のが良い場合が多い。アルカリ除去タイプのレジストは
、アルカリで溶解する時にアルミニウムおよび陽極酸化
皮膜もおかされるのでキジロール等の溶剤で除去できる
タイプのレジストを使用し、溶剤除去を行うのが好まし
い。
In the method of obtaining a pattern by partially dissolving the anodic oxide film, the etching resist of the anodic oxide film may be left as is when applying the resin of the present invention, but in the transfer method, the etching resist of the anodic oxide film may be left as is. The resist used for partial dissolution is thick and has problems such as the plating being difficult to peel off, so it is often better to remove it by dissolving it. Since the alkali-removable type resist also destroys the aluminum and anodic oxide film when dissolved with an alkali, it is preferable to use a type of resist that can be removed with a solvent such as Kijirol and perform the solvent removal.

陽極酸化処理としては、硫酸浴、しゆう酸浴、クロム酸
浴等での直流電解、交流電解、交直重畳電解等いずれで
も良い。特に、微細な孔を大きくするためにりん酸浴に
よる直流電解を行った・す、通常の陽極酸化処理後水酸
化ナトリウム水溶液で軽いエツチングを行ったり、陽極
酸化処理後200°C〜500°Cに加熱してクランク
を増加させたりすることは、その上に被覆する樹脂等の
密着を向上させる上で効果がある。
The anodizing treatment may be performed by direct current electrolysis, alternating current electrolysis, alternating current electrolysis, etc. in a sulfuric acid bath, an oxalic acid bath, a chromic acid bath, or the like. In particular, in order to enlarge the fine pores, we performed direct current electrolysis using a phosphoric acid bath.After the normal anodizing treatment, we performed light etching with a sodium hydroxide aqueous solution, and after the anodizing treatment, we applied a temperature of 200°C to 500°C. Heating it to increase the crankshaft is effective in improving the adhesion of the resin etc. coated thereon.

陽極酸化皮膜はそのままでは電鋳または転写用レジスト
として長期の使用に耐えるには不十分な点もあるので、
樹脂の塗付等が必要なことはすでに述べた。この処理方
法としては多くの方法が適用できるが、塗付法と電解法
に分けることができる。塗付法としては前述のようにシ
リコン樹fJM等を塗付する方法が適用できる。塗付方
法としては、浸漬、スプレー、刷毛塗り、へらによる塗
付のいずれでもよい。めっきを行う部分の樹脂等は除去
しなければならないが、この方法としては前述の拭い去
る方法が最も簡便である。レジストを形成し部分的に陽
極酸化を施す方法ではこのレジストを除去する前に樹脂
等を塗付し、レジストの溶解によりレジスト上の樹脂等
を除去することも可能である。塗付法としては、この他
フッ素樹脂、7ノ化黒鉛のエマルジョンを塗付し焼付け
れば、転写法で、接着剤または接着力を有する未硬化基
材に粘着しないレジストを得ることもできる。電解法と
しては、例えばアクリル樹脂またはエポキン変性アクリ
ル樹脂等の電気泳動塗装や、チオモリブデン酸アンモニ
ウム中での電解による二硫化モリブデンの塗付も可能で
ある。電解法では、最初にレジストを形成し部分的に陽
極酸化を行う方法で、このレジストは電解時のレジスト
として利用する。
The anodic oxide film as it is is not sufficient to withstand long-term use as an electroforming or transfer resist.
As already mentioned, it is necessary to apply resin. Many methods can be applied to this treatment, but they can be divided into coating methods and electrolytic methods. As the coating method, the method of coating silicone resin fJM etc. as described above can be applied. The application method may be dipping, spraying, brushing, or using a spatula. It is necessary to remove the resin and the like from the area to be plated, but the above-mentioned wiping method is the simplest method for this. In the method of forming a resist and subjecting it to partial anodic oxidation, it is also possible to apply a resin or the like before removing the resist and remove the resin or the like on the resist by dissolving the resist. As another application method, by applying an emulsion of fluororesin or heptad graphite and baking it, it is also possible to obtain a resist that does not adhere to an adhesive or an uncured base material having adhesive strength using a transfer method. As the electrolytic method, for example, electrophoretic coating of acrylic resin or Epoquin-modified acrylic resin, or coating of molybdenum disulfide by electrolysis in ammonium thiomolybdate is also possible. In the electrolytic method, a resist is first formed and then partially anodized, and this resist is used as a resist during electrolysis.

塗付の場合の樹脂は極めて多くのものが適用できるが、
特に転写法では、接着剤または未硬化基材との離型性、
塗付の容易さ、陽極酸化皮膜に対する保護性の点からシ
リコン樹脂が最も有用である。シリコン樹脂としては市
販の室温硬化型シリコンゴム(信越化学(株)のKE−
42RTV、KE−441RTV、 KE−471RT
V ) カ取扱い易いが、耐スクラッチ性等の点でシリ
コンの初期の樹脂状化合物をドルオール、セルソルブ等
に溶解したシリコンゴムスを塗付し、150°C−16
0°Cで焼付けた硬い塗膜の方が優れている。鉄、コバ
ルト、亜鉛等の塩類を乾燥剤として使用してもよい。黒
鉛等の顔料の添加は任意であるが、アルミニウム粉の添
加はレジストの寿命を短くする。純シリコン樹脂の代り
にフロロシリコンゴムを使用すれば耐溶剤性が向上する
が、アルキド変性シリコン樹脂、フェノール変性シリコ
ン樹脂等の変性シリコン樹脂は接着剤または未硬化基材
によっては粘着する場合がある。室温硬化型シリコンゴ
ムの場合、例えば通常の溶剤除去型エポキシ系樹脂イン
クでレジストを形成し、部分的に陽極酸化皮膜を形成し
、そのままシリコン樹脂を塗付し、紙または布等でシリ
コンゴムを絞り取り、その後溶剤中でインクレジストの
溶解とともにその上層のシリコンゴムを剥落させること
により、めっきすべき表面への付着を防止する方法が適
用できる。溶剤中でのレジストの溶解は、超音波をかけ
ることで促進されるが、陽極酸(ヒ皮膜」二のシリコン
ゴムは保持できる。
A wide variety of resins can be used for painting, but
In particular, in the transfer method, releasability from the adhesive or uncured base material,
Silicone resin is the most useful in terms of ease of application and protection against anodic oxide films. As the silicone resin, commercially available room temperature curing silicone rubber (KE- from Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) is used.
42RTV, KE-441RTV, KE-471RT
V) Although it is easy to handle, from the point of view of scratch resistance etc., a silicone rubber made by dissolving the initial resinous compound of silicone in Doruol, Celsolve, etc. is applied and heated at 150°C-16.
A hard coating film baked at 0°C is better. Salts such as iron, cobalt, zinc, etc. may be used as desiccant agents. Addition of pigments such as graphite is optional, but addition of aluminum powder shortens the life of the resist. Using fluorosilicone rubber instead of pure silicone resin improves solvent resistance, but modified silicone resins such as alkyd-modified silicone resins and phenol-modified silicone resins may stick to some adhesives or uncured substrates. . In the case of room-temperature curing silicone rubber, for example, a resist is formed using ordinary solvent-removable epoxy resin ink, a partially anodized film is formed, the silicone resin is applied as is, and the silicone rubber is coated with paper or cloth. A method of preventing adhesion to the surface to be plated can be applied by squeezing the ink resist and then dissolving the ink resist in a solvent and peeling off the silicone rubber layer above it. Dissolution of the resist in a solvent is promoted by applying ultrasonic waves, but the silicone rubber in the anodic acid (arsenic film) can be maintained.

インクレジストまたはフォトレジストの溶解とともに塗
付した樹脂を溶解させる方法ではめっきの前処理は不要
である。しかしながら、7ノ素樹脂のように高温での焼
付けを必要とする場合や、インクレジストやフォトレジ
ストを溶解する溶剤が、塗付した樹脂等をおかす場合に
は、レジストを除去した後樹脂を塗付することになるの
で、めっきすべき表面に樹脂が残存する。拭き取りが部
分であれば、この場合でも前処理は不要であるが水酸化
ナトリウム等で軽くエツチングを行えば、アルミニウム
が溶解しその上の残存樹脂分も剥落する。
A method in which the applied resin is dissolved at the same time as the ink resist or photoresist is dissolved does not require pretreatment for plating. However, in cases where high-temperature baking is required, such as with 7-base resin, or where the solvent that dissolves the ink resist or photoresist disturbs the applied resin, the resin may be applied after removing the resist. Since the resin will be attached to the surface to be plated, the resin will remain on the surface to be plated. If the area is to be wiped off, pretreatment is not necessary in this case either, but if the area is lightly etched with sodium hydroxide or the like, the aluminum will dissolve and the remaining resin will also come off.

アルミニウムの上に直接めっきし、このめっき層を剥離
または転写して製品とする場合には、アルミニウムに対
し腐食性の少ないめっき液を選定することが重要である
。例えば、銅めつきセあればピロリン酸銅めっき液が、
ニッケルめっきであれば、 のように塩化物の少ない浴が好ましい。また、めっき液
中で長時間放置することは避け、電圧を印加した状態で
めっき液に浸漬するべきである。
When plating directly onto aluminum and peeling or transferring this plating layer to produce a product, it is important to select a plating solution that is less corrosive to aluminum. For example, if you are using copper plating, use copper pyrophosphate plating solution.
For nickel plating, a bath with low chloride content, such as the one shown below, is preferable. Also, avoid leaving it in the plating solution for a long time, and immerse it in the plating solution with a voltage applied.

アルミニウムの腐食を防止する目的で、めっきを行う部
分に、あらかじめ防食のためのめっきを行うのも良い方
法である。クロムめっきを行えば、その上のめっきは容
易に剥離できるし、銅めっきやニッケルめっきも、クロ
ム酸処理等により、その上のめっきが剥離できるように
なる。
In order to prevent corrosion of aluminum, it is also a good method to apply anti-corrosion plating to the parts to be plated in advance. If chromium plating is performed, the plating on top of it can be easily peeled off, and the plating on top of copper plating or nickel plating can also be peeled off by treatment with chromic acid.

電鋳の場合にはめっき層は端部をナイフの先端で引剥し
、その部分を引き上げると、元板からめっき層が剥離で
きる。
In the case of electroforming, the end of the plating layer is peeled off with the tip of a knife, and by pulling up that part, the plating layer can be peeled off from the base plate.

転′ゲの場合は、フィルム状接着剤を介して基材に圧着
するか、接着剤を塗付した基材に圧着した後基材と元板
を引剥せば、めっき層を基材に転写することが可能であ
る。
In the case of transfer, the plating layer can be attached to the base material by pressing it to the base material through a film adhesive, or by pressing it to the base material coated with adhesive and then peeling off the base material and the base plate. It is possible to transfer.

以上述べてきたよフに、本発明のマ、ンドレルは平滑な
素材上に密着のよいレジストが形成され、特に転写法に
よる印刷配線板の形成への使用が好適である。
As described above, the matrix of the present invention forms a resist with good adhesion on a smooth material, and is particularly suitable for use in forming printed wiring boards by the transfer method.

以下、本発明の具体的実施例について説明する。Hereinafter, specific examples of the present invention will be described.

(実施例1) Q、 2m mのアルミニウム箔に、陽極酸化処理を施
した。陽極酸化処理条件は、硫酸30%、浴温15°C
で交流電圧15Vとし、1分間行った。この上に、熱硬
化性シリコン接着剤SE−[701(トーレ・シリコン
(株)製)をスクリーン印刷してレジストを形成した。
(Example 1) Q: A 2 mm aluminum foil was anodized. Anodizing treatment conditions: 30% sulfuric acid, bath temperature 15°C.
The AC voltage was set to 15 V and the test was carried out for 1 minute. On top of this, a thermosetting silicone adhesive SE-[701 (manufactured by Toray Silicone Co., Ltd.) was screen printed to form a resist.

レジストを120°Cで7分間硬化後、7ノ酸lO%の
溶液に2分間浸漬して、レジストの形成されていない部
分の陽極酸化皮膜を溶解した。その上に、ビロリン酸銅
めっき液から35ツノの銅めっきを施し、あらかじめエ
ポキシ系接着剤を塗付、半硬化させたポリイミドフィル
ムに転写した。転写条件を1 ’80°C140kf/
cm2.15分としたところ、良好な可撓性印刷配線板
が得られた。同一の条件で、5回めっきと転写を繰返し
たが、レジストに異常は見られなかった。
After curing the resist at 120° C. for 7 minutes, it was immersed in a solution of 10% 7-nitrogen acid for 2 minutes to dissolve the anodic oxide film in the areas where the resist was not formed. On top of that, 35 horns of copper plating was applied using a birophosphate copper plating solution, and an epoxy adhesive was applied in advance and transferred to a semi-cured polyimide film. Transfer conditions: 1'80°C140kf/
cm2.15 minutes, a good flexible printed wiring board was obtained. Plating and transfer were repeated five times under the same conditions, but no abnormality was observed in the resist.

(実施例2) 0、3 mmのJIS5056 アルミニウム箔を深絞
り加工して、半球状のマンドレルを得、これにニッケル
電鋳を施して、半球状のニッケルメツシュを作製した。
(Example 2) A hemispherical mandrel was obtained by deep drawing a 0.3 mm JIS5056 aluminum foil, and nickel electroforming was performed on this to produce a hemispherical nickel mesh.

深絞り前に、メツシーの孔に相当する部分に、レジスト
インクNn16935 (米国ナノッダール社製)をス
クリーン印刷し、深絞り加工後、陽極酸化処理を行った
。処理条件は、硫酸20%、浴温10’C1電圧20V
で、10分間行った。さらに、2・’ HNO36%の
水溶液中に5分間浸漬した後、1重量%の二硫化モリブ
デン溶液を含有するエフ/ −ル溶液中で、試料を陽極
とし、250Vで10分間、電着処理を行い、陽極酸化
皮膜上に二硫化モリブデンを沈着させた。アカトン中で
超音波振動をシーえることにより、レジストを除去し、
これをマンドレルとして、ワット浴より25μのニッケ
ル電鋳を行った。アルミニウム合金箔を、水酸化ナトリ
ウム6%の溶液中で溶解除去することにより、良好なメ
ツシーを得た。
Before deep drawing, resist ink Nn16935 (manufactured by Nanodahl, USA) was screen printed on the portions corresponding to the holes of the mesh, and after deep drawing, anodization treatment was performed. Processing conditions are 20% sulfuric acid, bath temperature 10'C, voltage 20V.
So I went for 10 minutes. Furthermore, after being immersed in a 36% aqueous solution of 2.' HNO for 5 minutes, the sample was used as an anode in an F/-R solution containing a 1% by weight molybdenum disulfide solution, and electrodeposition was performed at 250 V for 10 minutes. and deposited molybdenum disulfide on the anodized film. The resist is removed by applying ultrasonic vibration in Akaton,
Using this as a mandrel, 25μ nickel electroforming was performed in a Watt bath. A good mesh was obtained by dissolving and removing the aluminum alloy foil in a 6% sodium hydroxide solution.

1′1′

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)アルミニウムまたはアルミニウム合金上に陽極酸
化皮膜によるパターンを形成したことを特徴とするマン
ドレル。
(1) A mandrel characterized by having a pattern formed by an anodic oxide film on aluminum or an aluminum alloy.
(2)アルミニウムまたはアルミニウム合金上K 陽極
酸化皮膜によるパターンを形成し、更に該パターン上に
7ノ素樹脂、シリコン樹脂、フッ化黒鉛または二硫化黒
鉛の単独又は混合物の層を設けたことを特徴とするマン
ドレル。
(2) A pattern of K anodized film is formed on aluminum or an aluminum alloy, and a layer of 7-noresin, silicone resin, graphite fluoride, or graphite disulfide alone or in a mixture is further provided on the pattern. mandrel.
(3)アルミニウムまたはアルミニウム合金上に陽極酸
化皮膜によるパターンを形成し更に該パターン上にフッ
素樹脂、シリコン樹脂、フッ化黒鉛または二硫化黒鉛の
単独又は混合物の層を設けたマンドレルを用い、該マン
ドレルのパターンの形成されていない部分にめっきを施
し、該めっき部をはがすことを特徴とする電鋳方法。 (=1.)アルミニウムまたはアルミニウム合金上に陽
極酸化皮膜によるパターンを形成し更に該ノfクーン玉
にフッ素樹脂、シリコン樹脂、フッ化黒鉛または二硫化
黒鉛の単独または混合物の層を設けたマンドレルヲ用い
、該マンドレルのパターンの形成されていない部分にめ
っきを施し、次いで接着剤を介してめっき層を基材に圧
着するかまたは接着力を有する未硬化基材に圧着するか
して、めっき層を基材に転写することにより回路パター
ンを製造方法。
(3) Using a mandrel in which a pattern is formed by an anodized film on aluminum or an aluminum alloy, and a layer of fluororesin, silicone resin, fluorinated graphite, or graphite disulfide alone or in a mixture is provided on the pattern, the mandrel is An electroforming method characterized by applying plating to a portion where a pattern is not formed and peeling off the plated portion. (=1.) Using a mandrel in which a pattern is formed by an anodized film on aluminum or an aluminum alloy, and a layer of fluororesin, silicone resin, fluorinated graphite, or graphite disulfide alone or in a mixture is provided on the nofcoon ball. , Plating is applied to the part of the mandrel where the pattern is not formed, and then the plating layer is bonded to the base material via an adhesive or to an uncured base material having adhesive strength. A method of manufacturing a circuit pattern by transferring it to a substrate.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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