JPS5872838U - 露光用光源装置 - Google Patents

露光用光源装置

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Publication number
JPS5872838U
JPS5872838U JP16768981U JP16768981U JPS5872838U JP S5872838 U JPS5872838 U JP S5872838U JP 16768981 U JP16768981 U JP 16768981U JP 16768981 U JP16768981 U JP 16768981U JP S5872838 U JPS5872838 U JP S5872838U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
shielding member
light source
arc tube
elongated
Prior art date
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Pending
Application number
JP16768981U
Other languages
English (en)
Inventor
諸橋　勝栄
Original Assignee
株式会社東芝
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の露光用光源装置を示す概略図、第２図は
発光管近傍を示す部分拡大概略図、第３図及び第４図は
露光時の光照射範囲を説明するための模式図、第５図は
本考案の一実施例を示す部分拡大概略図である。 ２・・・カバーガラス、３・・・発光管、１３・・・発
光部、１４・・・光束、１５・・・第１の遮光部材、１
６・・・第２の遮光部材。

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）細長の発光部を内蔵する発光管と、この発光管を
    取り囲む水冷部を備えた外包器と前記発光管と前記外包
    器の間にあって前記発光部からの光を部分的に遮光し前
    記外包器外から見た光源を一つに制限し且つ前記光源の
    大きさをも制限する遮光部材とからなる露光用光源装置
    において、前記遮光部材が前記発光管に近接して配置さ
    れた第１の遮光部材と、前記第１の遮光部材の前記発光
    管の反対側に配置された第２の遮光部材とからなること
    を特徴とする露光用光源装置。
  2. （２）第１の遮光部材の前記発光部の細長方向と平行な
    方向の長さが、前記発光部から前記第１の遮光部材と前
    記第２の遮光部材の前記細長発光部中央側の端部最外周
    を通過する光と前記発光部の端部最外周から前記第２の
    遮光部材の前記細長発光部中央側の端部最外周を通過す
    る光とで形成される光線の範囲内の前記発光部の細長方
    向と平行な方向の長さよりも長いことを特徴とする実用
    新案登録請求の範囲第１項記載の露光用光源装置。
JP16768981U 1981-11-12 1981-11-12 露光用光源装置 Pending JPS5872838U (ja)

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JP16768981U JPS5872838U (ja) 1981-11-12 1981-11-12 露光用光源装置

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