JPS5868034U - 超音波ボンデイング装置 - Google Patents
超音波ボンデイング装置Info
- Publication number
- JPS5868034U JPS5868034U JP1981163193U JP16319381U JPS5868034U JP S5868034 U JPS5868034 U JP S5868034U JP 1981163193 U JP1981163193 U JP 1981163193U JP 16319381 U JP16319381 U JP 16319381U JP S5868034 U JPS5868034 U JP S5868034U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnet
- ultrasonic bonding
- bonding equipment
- horn
- bonding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H10W72/0711—
-
- H10W72/07141—
-
- H10W72/075—
-
- H10W72/07521—
-
- H10W72/884—
-
- H10W90/736—
-
- H10W90/756—
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の超音波ボンディング装置の概略側面図、
第２図及び第３図は本考案の二実施例を示す概略側面図
である。 １・・・ホーン、２二・・ボンディングツ−ル、４・・
・超音波振動源、１０・・・被ボンデイング物、１４・
・・荷重調整部。
第２図及び第３図は本考案の二実施例を示す概略側面図
である。 １・・・ホーン、２二・・ボンディングツ−ル、４・・
・超音波振動源、１０・・・被ボンデイング物、１４・
・・荷重調整部。
Claims (1)
- 先端にボンディングツールを、後端に超音波振動源を装
着し、揺動自在に支持されたホーンと、ホーンの上下面
に固定した第１の磁石と、第１の磁石の上下の対向する
位置に配置され第１の磁石との間の磁気吸引力及び１又
は磁気排斥力の調整でボンディング位置での荷重を調整
する第２の磁石とで構成された荷重調整部とを具備した
ことを特徴とする超音波ボンディング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1981163193U JPS5868034U (ja) | 1981-10-31 | 1981-10-31 | 超音波ボンデイング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1981163193U JPS5868034U (ja) | 1981-10-31 | 1981-10-31 | 超音波ボンデイング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5868034U true JPS5868034U (ja) | 1983-05-09 |
Family
ID=29955494
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1981163193U Pending JPS5868034U (ja) | 1981-10-31 | 1981-10-31 | 超音波ボンデイング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5868034U (ja) |
-
1981
- 1981-10-31 JP JP1981163193U patent/JPS5868034U/ja active Pending
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