JPS5864063U - 電子的分析装置における試料装置 - Google Patents
電子的分析装置における試料装置Info
- Publication number
- JPS5864063U JPS5864063U JP15977781U JP15977781U JPS5864063U JP S5864063 U JPS5864063 U JP S5864063U JP 15977781 U JP15977781 U JP 15977781U JP 15977781 U JP15977781 U JP 15977781U JP S5864063 U JPS5864063 U JP S5864063U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- sample device
- electronic analyzer
- optical axis
- electronic
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- Pending
Links
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の一実施例装置の側面図、第２図は同装
置の別の用法を示す側面図、第３図はアダプターの斜視
図である。 １・・・試料ホルダー、２・・・固定用ねじ、３・・・
２軸微動台、４・・・摺動台、５・・・ガイド、６・・
・横管、Ｗ・・・真空器壁、■・・・バルブ。
置の別の用法を示す側面図、第３図はアダプターの斜視
図である。 １・・・試料ホルダー、２・・・固定用ねじ、３・・・
２軸微動台、４・・・摺動台、５・・・ガイド、６・・
・横管、Ｗ・・・真空器壁、■・・・バルブ。
Claims (1)
- 試料照射線の試料位置を通る光軸の側方に配置され、３
次元的移動及び回転等が可能で、上記光軸上に試料を突
出させた固定できる試料ホルダーを備えた電子的分析装
置における試料装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15977781U JPS5864063U (ja) | 1981-10-26 | 1981-10-26 | 電子的分析装置における試料装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15977781U JPS5864063U (ja) | 1981-10-26 | 1981-10-26 | 電子的分析装置における試料装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5864063U true JPS5864063U (ja) | 1983-04-30 |
Family
ID=29952222
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15977781U Pending JPS5864063U (ja) | 1981-10-26 | 1981-10-26 | 電子的分析装置における試料装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5864063U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5566848A (en) * | 1978-11-14 | 1980-05-20 | Nichidenshi Tekunikusu:Kk | Sample apparatus of scanning electron microscope |
-
1981
- 1981-10-26 JP JP15977781U patent/JPS5864063U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5566848A (en) * | 1978-11-14 | 1980-05-20 | Nichidenshi Tekunikusu:Kk | Sample apparatus of scanning electron microscope |
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