JPS5862509A - 除振台の制御方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は横掘をｇ置したデープルを空気バネ装置によっ
て支持し、この空気バネ装置に９気を出入させてテーブ
ルを：Ｎ５＄位式に保つ味振鉄直の制Ｖ中力法に関する
。

元写憬器、稍筐測定器、ＩＣの製逍鉄直、１子―値婉等
の機械は、その使用時きわめて倣少な倣動や及位が生じ
てもその作業に支障をさたし、あるいは絞品が不良品と
なる恐れかめる、このような振動等の影響からａ械を保
護するために、第１図のように機械１を除振台２に賊せ
ることが付なわ１１．ている。

この除振台のうちでも蛾も除伽幼釆の搬Ｉしているもの
の一つとして、仝気バ２４ｔによつ、て１ｍ台２の上聞
のテーブル３を天性したものかめる。

このような除振台は、デープルを立付する位差バネ装置
に堕気を出入させる升を妓ける一万、アーブル下ｌＫ接
触するテーブル質位慣知用プシンジャーによって基準位
置からのテーブルの位置ずれＪｆｔＫ応じて弁の開閉を
行なう。これによって、空気バネ装置が上下に移動しレ
ベルのＦ４！Ｉが行なわれて、テーブルが基準位置に復
帰するというもので、丙えは米国特許第３，７３０，４
７３号明ｍ４Ｋ記躯されている。

このような従来の除振台は、テーブル下ＥＩＩＩ　Ｋｍ
してテーブルの位置ずれ菫を検出するプランジャーに対
して床面からの振動が伝わらないような横線な愼構を必
要とする。しかも、振動の性買によっては、このような
対策をとってもプランジャーを遡じて振動がテーブルに
伝わるという欠点がめった。

１几、＆準位置からのテーブルの位置ずれ賞が大きいと
きはプランジ黴二が人きく移動し１５ｆに大量。、、ｊ
！いヵＥｆｉオ、皐く￥ニブ７、。い６，３□、正。

るよう作動するが□、位置ずれ電が微少になるにつれて
弁の開ｋが小さくなり、取糾的に２！ｌ！、阜位置ヘテ
ーブルが復帰する１でには和尚の負時間を資するという
離点がめ′うた。

本発明は上す己の点に着目してなされたもので、次のよ
うな目的を達成するものでりる。

本発明の第１の目的は、テーブルの位置すれ電を非汝触
状態でぜ出して、空気バネ装置を適切に駆動する除振台
の制御方法を提供することに必る。

本発明の第２の目的は、テーブル上の横機の皿−プバ叢
動したとさもそれに対応して沫振合に破過のレベル−螢
愼能を付与する除振台の１−制御方法な提供−Ｃること
にある、 本発明の第３の目的は味遁萱のレベル１１）精度を十分
に尚くするＶ、振合の制一方法を提供することにある。

本発明の′＠４０目的は尚速で赫革位賦に復帰する泳伽
台の制一方法を提供することにおる。

第２図は本発明の方法を実施した味偉台を１−プル２１
の上方〃１ら見たもので、テーブル２１の四隅に空気バ
ネ装置２２．２３．２４．２５がそｒしそれ自己ｄされ
テーフ゛ル２１を支う寺している。−ｆた、この１−プ
ル２１の基準位置からの位置ずれ頁を測定するための３
個のセンサ２６．２１．２８がチー７”ル２１の下方に
配置されている。

構図である。

図において、テーブル３１は空気バネ装置３２により支
持されている。この空気バネ襞＊　３２は、テーブル下
面Ｋｍするダイヤフラム３２１と、これを支える空気室
′３２２と、脚６２３とを有している。そして、９気室
３２２にはそこへ加圧空気を吸入するための吸気口３２
４とそこから空気を掛出するための排気口３２５とが設
けられている、また、空気室３２２の上部のダイヤフラ
ム６２１との境界壁３２６にｒｉｆｆｉ定口住の貫通孔
を有するオリフィス３２１が取り付けら扛ている。

−万、空気バネ！ｉ［３２の真方に懺り出したアーム３
３上部には、テーブル３１のＴｌと轡定間隔を開けてセ
ンサ３４が取り付けられている。このセンサ３４は伏込
するようにセンサ３４の上聞とテーブル３１０下圓との
閾−を精密に側だし、この清報を制御装置［３！＊に送
る。制御装置に３ｂでは、この情報に基つきテーブル３
１な上昇させるべきか下降させるべきかを判断し、排気
ｆｆ３ｔｉもしくは吸気弁３７を作動させる。排気口６
２５には排気弁３６が漣結されているので、排気５ｆ３
６が開放動作すれば空気室３２２内の空気は研出され、
これに伴ってダイヤフラム３２１が顛みテーブル３１／
Ｉ′ｉ下神する。また、吸気弁３７が開放動作すると、
コ／グレッサ３８内に蓄積された加圧空気が吸気口３２
４を通じて空気室３２２に流人し、オリフィス３２７を
通じてダイヤフラム３２１を仲良させるので、テーブル
３１ｒｉ上昇する。

このような動作をテーブルを支持する４８０も空気バネ
装置によって？Ｔなうことにより、テーブルを尿ｌから
所定のレベルに常に維持することができる。

第４図は、第２図に不したよう生噂台のｇ！、気バネ装
置を３個のセンサによってｗｉｌｌ＃する方法をかイフ
ロソク図である。この凶ｔ！謔２図とλ４嘉すさせるた
め、対応するセンサや空気バネ＃ｔｋには１Ｅｋｊ　−
の符号を付し友。

図において、センサ２１はテーブルの位置すれ菫に対応
する情報Ａを制御装置４１に送り、ここでレベル１１１
４！Ｉに必要な上昇パルスＡ＋あるいは下降パルス人−
を発する。これによって吸気弁４２めるいは榊気弁４３
が開放作動し、空気バネ装置２４のレベルを調整する。

センサ２８についても１１！１様である。一方、センナ
２６は空気バネ鉄［２２と２３との中間においてテーブ
ルの位置すれ童な検出するので、その情報に基〈上昇パ
ルスＣ十めるいは下降パルスＣ−は、２台の墾気バネ袈
−を同時にレベルｖ４！１するようにする。これは、２
曾の＠櫨の空気室をパイプ等で遵粕して、各１個の吸気
弁と排気弁をとりつけることによ）構成される。

さ１、それでは具体的に上ｍｌのセンナがテーブルの位
置ずれ菫をとのよ（うに恒知し、またこのよ・−・。

つな除振台によれば、テーブルはどの、１１嵐の変位に
対してレベル復Ｈ＃機耗をセするかを以下に説明する。

第５図はセンサの作製原理を不すブロック図で弗る、 凶に２いて、ｔフサ５１は発振回路５１１　と、この％
振１１Ｌ流が供給されるコイル５１２ふ・よひコン１／
サロ１３との共振ＵＯ＊と、この共振回路にＩＡＬれる
電流な取り出して斃流し直流に一供する豊九回繕５１４
とから構成されている。１だ、七／ｖｂ１の！１随回蹟
５１４からの出力は、１６−サゲーブル５２を介して制
御装置５３内のＡ／がコンパ〕 一タ５３１　に送られる。

コ（／−Ｊ　センサ５１は実際に例えはへのよりに作動
する。

兄鍾回路５１１を約２００　ＫＨｚの周波畝で発掘場ぜ
、２５０μＨのコイル５１２と０．０１μに゛のコン１
ンサ５１３とを並列接続した共振ｔｇＩ鮎にその屍愼゛
龜υ’＋１．を供給する。そして、例えは第６図のより
にＪイル６２Ｆｉｔｋｌ性体のテープルート１１１６１
に、？４いばアープル下聞に設けた４ａａ体板）に点滅
し又とり付けられている。第６図のような状賭で、デー
プル６１が上昇または下降をすると、コイルｂ２のイン
ピーダンスが変化する。従って、第７図に示すように上
記共振回路のインピーダンスｚＨコイルのインダクタン
スもの変化に応じて、２００Ｋｆｉｚに対する共振点１
１を極大１１とする圧右対家の面側となる。ここで、コ
イル６２とテーブル６１と＆）ｍｗカｌ０ＩＩＩＬ　（
１）ときインダクタンスＬが第７図のＡ点での１１にな
るように回路定畝を設定すれは、共振回路のインピーダ
ンスは、テーブル６１が上昇すると上がり、下降すると
下がるようになる。

従って、この共振回路に２ＬＩＯＫｌｉｚの一定の発堀
′電圧が加わっていればここに流扛る電流がＩＪ　ニア
に質化し、これを電流した信号はテーブルのレベルと対
応した値となる。上記例示したセンサによれは、チーフ
ルとコイルとの間−が１０箇諺のとき姫流回路の直流出
方電圧は２．５■で、これが１５．。

になったときは出力電圧は０．５Ｖというように良好に
テーブルのレベルの検出なすることができた。

シカモ第５図のように制偽鉄直５３へ延長される１１１
勺／ｙ−７’ル５２には直流′電圧が加わるのみでノイ
ズに対して非常に強い利点を有する。

除振台に！！ｅ氷される性能はその用途に応じて休々で
あるが、上自己の方法によりセンサから偕られたＯ〜５
ｖ程役の直流電圧をＡ１０震侠してｉｔ徂１ｊなおこな
えば２０μ程腋の位置丁れ菫も６１１１足が口」１］じ
でめる。

以上のようなセンサの出力を処理して升の開閉なボ１ｊ
御する市す御装置を第８図によって欣明す心。

第６図は、１ｔｉｌｌ（２）装置のプロソクダイヤグフ
ムでめる。このｔｂｌＪｉＱＩ装置Ｉｔは、センサａｕ
ｉからの直に出力゛電圧信号ＡをＡ／ｉ）コンバータ８
ｕ２によってデジタル変挾しその佃号をＣＰＵ　　８０
３　　の節令によってパスライン８０４に送り出す。こ
のパスラインにはプログラム等が誉き込まれたルＯＭ　
ｂＬ１５−？１ｉｌｊ＃定数等を配惜するＲＡＭ　　１
ｓ（Ｈや、升の市１ｊ４卸出力を発するＩ１０ボー）１
０７が恢枕されている、ＣＰＵ　　８０３　Ｆｉ、セン
サ８０１により得たデータと、本来テーブルが位置すべ
Ｉ４蕪早鼠−（こ対応するデータとを比軟し１．排気升
ｂｕ場を開くべきか吸気弁ｌ５（３９を開くぺさかｔｔ
刊萌し、上昇パルスＡ＋りるいは下眸パルス人−を出カ
スる。この上昇パルスＡ十ｌるいは下呻パルス人−によ
って、ドライブ回路ｆｉ１０．８１１が作動する。

このドライブ回路１１１０．８１１は、排気弁１１０８
や吸気弁８０９の作動する例えば２４Ｖの電圧をＯＮ、
ＵＦｌ’−１−ル。ソシテ、と４７）　）”　５４プ回
ｗ！１８１Ｇ、１１１　　Ｕ燭知のトランジスタを用い
たスイッチ回路で構成することができる、 第９図および第１Ｏ図は、拍準位［９１よりＴ１Ｉ； するレベル調整不要の執城即ち基準領域９５まで引上け
る方法を説明するための、それぞれチーフルのレベルと
、吸気バルブを作動させる上昇パルスの時間変化を示し
ている、 ８９図において、テーブルははじめ、位置９２にあるが
、第１０図のように＠気升な１秒間開放させると、尚速
慣域９３の上端９４まで上昇する。

；） これｆより上方の″低速領域９６では、テーブルのハン
チングを抑えるために上昇速度を低下させる。

このため、吸気弁の１［！２１の開放時間を短＜１０閲
とし、これを用足時間に１回づつ作動させて、基準領域
９５にテーブルのレベルが復帰したときに作ＩＩＪＪを
停止させるようにする。

以上のように、２檀の上昇速ｉ領域を設けることにより
、テーブルＩ／ｉ目的とする・基準領域にすみやかにか
つ。ハンチングなく上昇する。なお後述するように基準
領域の上側にも２１ｍの下呻違に構成を設けることが好
ましいことはいうまでもない。

ここで、具体的にｖＬ気弁や排気弁の作動とテーブルの
上下動について爽−の数値を用いてａ１！明す小。

実験によれば、テーブル上の′ＪＦＩＡ様の１菫が１２
０鴎のとき、窒気バネ装置の空気室の空気圧を３時／ｄ
とした場合、吸気弁を第１１図のように上昇パルスＡ十
によって２００ｍ５ｅｃ開放させるとテーブルが４００
μ濯上昇し、排気弁を下廃パルスＡ−によって５６　ｍ
５ｅｃ開放させると同様にテーブルが４００μｍ　下降
した。

この↓うに、テーブルの上の愼律の電菫が望Ａバネ装置
に１１：　接２１１１わっているので、テープＡ／に同
じ量の変位を行なわ嘔せようとした場合、必胃な吸気弁
と排気弁の作動時間は大きく相違する。そして、テーブ
ルの荷Ｉが変化すれはそれぞれの蝋もこれに伴って変化
する。

るテーブルの単位上昇量め勾いは単位下降量即ち単位駆
動量は一短でるることが好ましい一本発明においては、
テーブルの使用状態でテストパルスを吸気弁や排気弁に
加えてそれに伴なうテーブルの上昇るるいは下降菫を測
定する。そして、これによって得たデータから単位駆動
菫に対応する弁の作動時間−を算出しニー是認として帛
８図の制御ｌ装置ＯＫＡＭ　魯０６　等にと憶するとい
う方法によって上記の間鴎ｔｍ次している。

第１２図はこの定値の決定性１に時のテーブルのレベル
変化な懺わすものでおる。

基準領域１２１内にテーブルが靜止している除にＡ十で
示す上昇パルス１２２によりテーブルをｌｌＩ巌Ｈで示
すように一攻階上昇させてそのレベル変化音を飼定する
。このパルスの時間−とレベル変化音とから回定の単位
上昇室を得る上昇パルスの幅を算出する。仄にＡ−で示
す下−パルス１２３を同様にして力ｌえ、単位下呻重を
倚る一ト呻パルスの幅を算出する。これらの関係を第８
図のｔＬＡｍ８０６　に収容し、テーブルの上昇めるい
は下呻節令がＵＰＵ　　８０３　　から出力されるたび
にｌ／（Ｊポートから単位駆動量に相当する上昇パルス
りるいは下降パルスが発せられる。

このような矩畝次定拝兼を、テーブルの丈用時塩亘イ丁
なえば、テーブル上に蛎−したｄｌ！休の崖瀘に応じて
、侠百すれはテーブルの使用法線に応じて堰切な足畝を
設定することができる。

さて、上述のようにすれば上昇パルスと下−パルスとに
よって吸気弁めるいは併″Ａ升を作動させてテーブルを
上下させることができるが、−献にソレノイドを用いた
弁はソレノイドＫｆｉ足時間以上のパルスｔ′加えなけ
ればこれが赫鯛しない。ガえは、不発明省号の便用した
一ｊｆは、υｅｚ４Ｖで５ＱＩｌＩＳｅＣ以上の鴨のパ
ルスな刃口えなけ才しは１乍鯛しない。ところが、５０
ｍ臓のパルスにより升が５０ｍｍ開放されれば、テーブ
ル上のＪａｖＡの重重か大きいと例えば上昇時は１００
μｍ、下一時は４００縄のレベル変化が生じ、基１ｓ霞
職の−が２００μｍ＃４度である場合には、テーブルを
この執域内に安定に保持することが不可能になる。

七〇で本発明においては、第１３図に示すように、上昇
パルスと下降パルスとを組み合せて発するととＫより上
述の問題を解決している。

図において、上昇パルス人＋を２０６ｍ５ｅｃ発して吸
気弁を２００ｍ戚開放し、その５００ｍ＃Ｃ恢に下降パ
ルスを５９ｍ５ｅｃ発して！＃気升な５０ｆｆ１減作製
させる。制＃装置がこのようなパルスを発してから弁が
作動を開始するまでは約１０ｍ露でめり、この応答時間
のすれは図上大きなものでないから谷パルスのみ＆表示
し弁の開閉作動の表示は′４略す６・　　　　　　　、
１ ところが、１気升めるいはＩＩＰ気弁のいずれの場合も
、これが作動してからそれによって！Ｆ！気バネ鰻瀘の
空気蓋内の空気が等脚してテーブルを東除に上下動させ
るまでは約３秒間を資するので、吸気弁およびまたは侠
気弁の作動開始以後テーブルが実際に上昇または下降を
開始する以前に、吸気弁ｈ・よびまたは侠気弁を同５！
ＩＩＫめるいは所定間−をΦけて作動させると、これら
の作動を合計した菫の空気の流入おるいは流出が行なわ
れたと同様の結果が生じる。即ち、この鮎米第１３図の
ｍ−１３１のように、テーブルＦｉ例えば準Ｈによ昇を
し、吸気弁めるいは侠気弁のいずれか一方のみの作動に
よっては得られない値少な上昇菫を僧ることができる。

これによって上述の単位駆ｌｊｂ菫を得るようにすれば
、きわめて＾槓にのレベル調量が＃ｊｈヒとなる。

第１３図に示したような制御方法を休出するにわたって
は、組み合せて健する上昇パルスと下降パルスの暢なめ
らかしめ決定して、最適なｌ１１ｉ酋せを兄つける作業
を必費とする。この方法を第１４図によって説明する。

−まず、除振台の使用状態において、テーブルが趙単填
城にめるとき、図のように一２００ｍ式の上昇パルスを
発する。仄に例えは３ＱＱｍＭＣ遅れて暢５０ｍ５ｅｃ
の下ｙ４　パルスを発する。そして１．ＩｆＪ３秒依に
生じるテーブルのレベル変化を測定する。仄に上昇パル
スの輪は変えずに下降パルスの−を飄Ｋ　（ｉＱｆｆｍ
９．７Ｑ、ｍ旗と広げていき、テーブルのレベル変化と
下降パルスの輪との関係を第１５図のようにプロットす
る。埋−的には、この関係を利用し′ｔ％Ｉ！に気弁と
排気弁な第１３図のように組合せて作動させることによ
って、弁の応答性能に左右されすにテーブルのきわめ′
ＣｖＩＬ少な変位の修正も＝ｊｔｘｂとなる。

さて、本発明者等の試作した第６図で説明したようなセ
ンサによれは、テーブルのレベル便化の―ｊ定の限界は
約２０μｍでめったため、２ＱＱｍｓｅｃの上昇パルス
と６５ｍ５ｅｃの下降パルスの組合せによって３０μｍ
の単位上昇室を得、また、２０６ｍ５ｅｃ＋２）　上昇
／＜ルスと１１０ｍ５ｅｃの下降パルスとを組合せて３
０μｍの単位下眸量を待て、テーブルの基準領域のＩＩ
’Ｓ慟の低速領域用として設定した。なお、この一連の
作条は、第８図のｗ０４装置の凡（ＪＭ　　１１ロ５に
記憶させたパルス幅〇択定用プログラムによって、例え
ば＝尼の幅の上昇パルスなバフメータトして下降パルス
暢を所定範囲で胴に／Ｒ史し、七のときのテーブルのレ
ベル変化をめらかじめｅ屋しｉｔ（ＪＭ　　８０ｂ　　
に記憶嘔せた率位鮎鯛菫と比軟して、逸切なパルス輌を
逃足し、この１１をＲＡＭ　　１ｕ６に記憶させるとい
う方法により行なう。

第１６図は、このような処理を含む１Ｉ１１１Ｉ４１鉄
直のプログラム７）Ｐ−チャートでめる。

この方法はまず、除伽台のテーブル上に％梼憬械を躯せ
て使用を開始するために制御装置の電算を入れた仮、味
掘台が使用される＠前に上述の処理を行なうようにした
ものでりる。

なお、本図は、第８図のブロッククイヤグラムをｂ照し
ながら説明する。

図において、制御４１装電の’ａｉｍを入れると、　ｋ
ｔＡＪＭ６０５　に誓き込１れたプログラムがスタート
し、ます、ｋＬ（ＪＭ　　８０５　　から、悔早データ
としてろしかしめここに誉き込筐れた準位上昇１１Ｌν
Ｌひ早侃下呻電に対応する上昇パルスと下降パルスの負
芒データがＲＡＭ　Ｋ転送される。、仄に、ＣＰＵはセ
／す８０１のデータＡを絖みテーブルの基準位置と比較
して位置ずれ賃を算出する。そして、通常空気バネＷＲ
ｗ上のテーブルは、不使用時最下−位置にあるので、−
その位置が賜連執職にめるか低速領域にめるかを判断す
る。そして、これが尚連執域にあると判定して吸気弁を
（ＪＮとしプログラムはり、ＯＯＰ点にもどる。仄に、
別のセ／すからくるデータＢｔｌ−絖み上記とｌＷ３様
の処理を行ない、さらにデータＣの処理を行った恢書び
データＡ１ｋＷＰｔむ。

このとき、先の処理の精米を調べて、テーブルが低速慣
域に入ったところで吸気弁を−たん０　ト’　ｋ’とし
、医に単位上昇量を得る上昇パルスを１つ晃する、この
パルス幅ｒｉ樟準データを使用して決定する。以下同様
に上記のような位置ずれ菫の検出と上昇パルス発生のサ
イクルをくり返してテーブルを基準領域にまで引き上け
る。

この状寒になったとき、率位駆鯛墓、即ち単位上昇量と
単位下神霊を設定する処理を何ったかどうかを判足し、
この処理に入る。

第９，１６図のプログラムの８Ｗ’ｌ［’息以下ではテ
ーブルが基準領域にわる場合にのみ、第１２図で７トし
たように上昇パルス人＋と下降パルスＡ−とを組み会ぜ
て発し、これによって生じるデープルの＊　ｂＺ　ＩＩ
ＩＡ動菫が進上かどうかを判にする。

釣えｔよ上昇パルス２ＬｌＯｕｎｓｅｃで、下降パルス
１１０１１１　Ｓｅｃのときテーブルが３５μｍ下師し
下降合、早位ｌＩＡ！１１１ＩｊＩｌを３０μｍと設定
している場合は下降パルス幅を１ｍ５ｅｃ減少させて丹
びテーブルの裟位＊　ｆ：ｃｍ足するゎこのようにして
単位駆ｗＪｉ１１に倚るための上昇パルスと下降パルス
の−の組み合せのデータが決鼠したら、スタート当初Ｒ
ＡＭＫｄき込まれた保革データな★き換える、そして、
坐位ｌＩＡ鯛夏決冗循みとし、丹びプログラムが８８１
点へ入ることを防止する。

この仮は、テーブルが基準領域がら外れたがと９かを谷
センサ毎にチェックして、そのつと必責な畝たけ上昇パ
ルスめるいは下降パルスを覚してチーフルを＃準積載に
復帰させる。通常、マイクロコンピュータを用いたこの
ようなｍｍｒｉ窒気バネ装重の応答に比べてきわめて線
速に行なわれるので、センサの畝がさらに多くめった場
合も児がけ上ｒｉ各空気バネ装置がほとんど同時に上昇
わるいは下降動作することとなる。

第１７図は、蕪ｒｓ憤域１７１の上下に瞬接する低連領
域１７２．１１３のレベル１１４．１１５にめるテーブ
ルを、それぞれ５回の率位駆鯛によって基準領域１１１
へ復帰させたところを不す６また、第１８図は、例えば
基準−城１８１の下−の低運寥域１８２　ヲサラＫ　２
つ（Ｄ：ｉ１ＭｊＪｔ懺ＪｊＫ　１８３．１８４に区分
し、それぞれ準位ｉｍｍ菫な異ならせた場合を示す。

第１８図においては、単位上昇量’に２４′ｌｌ１９け
１いるので、第１の低速積載１１４にまで下降し７たテ
ーブルを第２の低連狽域１６３まで比幀的尚迷で復帰さ
せ、かり＠２の低速電域１８３の−を十分に挾くして全
体としてデープルのめをを運くすることができる。

第Ｉ％＃図は本発明の方法に使用するセンサの震形？ｌ
Ｊな示し、こｔＬ４元？的にテーブルの位置な慣出する
ものでめる。

この例においては、発光索子ｍ動回細１日７により兄元
素子１９５，１９６を作動させて九′Ｉｔ兄剖延せ、テ
ーブル１９０の下回にとり付けたＶ１９３．１９４　に
よりＩ５Ｌ剤した党をまず２次フ〔イメー７セン！／”
　１１１で父げる。これからチーフル１９０の＋山１の
傾さを知ることができる。２次元イメー／センサはテー
ブルが水平状態からど才Ｌ７ｃけ丁れ１い小かのアーク
を匍Ｊ１１ｉ４１装置１９Ｂに送り、テーブル１９０　
ｌｔ水平に復Ｖ４姑せる。水平になったチーノルド面の
睨１９３にバｆ足位置から所定用度で晃九糸子１９６に
よって九を白て一医ルのイメージセンサ１９２で受けれ
ば、その父九位μのずれからテーブルのレベルを検出す
ることができる。

以上の本うに本発明の方法によ７Ｌは、チーフルと非接
触な状態でテーブルの位匝を尚梢肢で恒出し１、デープ
ルを基阜位置に復帰嘔せることができる。セして、その
仮頌に資１−名時：：間も従来の愼憔式のものに比べて
はるかに短軸することが−Ｃ＠　ｂ。

さらに本発明の方体によれば、此式的藺早なフログラム
によって除振台のレベル制御１をコンピュータ処理する
ことが−できる。

なお、本発明は上述の実施例に限定されることなく例え
ば次のように変形することができる。

１）センｆはＷ寛容菫の変化を利用する方法等、近接物
の距陰を非接触で構出するものに直きかえることができ
る。

２）空気バネ装置ｔｔｉ、つり下は弐寺に叢史すること
ができる。

３）制御装置は迩宜そのプログラムを変更し、−ｊえは
オペレータが指示したとき随時率位躯動量を設定する処
理を行なったり、各処ｊｌ！ｉ！円費を表示する装置を
付加することができる。

４）また、上昇時と下神時の阜位駆動菫を必女に応じて
相違させることもできる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の方法の失地に針通する除振台の斜視図
、第２図ｉ本発明の方法を実施した泳堀台の上面図、継
３図は空気バネ装置周辺の愼栴図、謝４図は空気バネ鉄
直の劃一方法をボすブロック図、第５凶はセンサのブロ
ック図、＃ｂ、７図はセンサの作動原理祝明図、第８図
は制御装置Ｃ１）７Ｃ２ツク図、第９図はデープルのレ
ベル叢化凶、第１０図はこれに対応する上昇パルスをボ
し、第１１図は同−躯鯛菫を侍るための上昇パルスト下
？　パルス’ｌ：　示し、＠１２図は上昇パルスと１眸
パルスによるテーブルのレベル変化をｍだする祝明凶、
１ｔｔ４１３図は上昇パルスと１呻パルスを組付せ　□
た帖米生じるテーブルのレベル貧化をボし、第１４゜１
５図は上昇パルスと１呻パルスの比を決める作業の絖明
図、ｔＡ１６図は制御回路のレベル側御フローチャート
、第１７，１８図は単位ＩＩＡ鯛パルスによるテーブル
のレベル変化をボし、第１９図はセンサの酸形ガをボし
ている。 ２１．３１・・・テーブル ２２．２３．２４．２５．３２・・・空気バネ鉄直２ｔ
ｉ、２７．２８．３４．５１・・・センサａ２４　　・
・・・・・吸気口 ３２５　・・・・・・併気口 ３７、４２．４４．４ｂ　・・・吸気弁３６．４３．４
５．４１　・・・薪気弁３５．４１．５３　・・・制御
装置 ０　・・・・・・ｉＩｋ卑位置 ９５．１２１，１１８，１８１・・・詰＊領域人＋　・
・・上昇パルス Ａ−・・・下降パルス 弔７図 コイルのインゲ′／７グンス 篤９図 単１２図　　Ｂ今問

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、　レベル制御をされるべきテーブルと、このテーブ
   ルを支持する気気バネ装置と、６１１配チーグルの基準
   位置からの位置ずれ菫を非＆−触状悪で法用するセンサ
   ーと、前に窒気バネ鉄証に加圧免気を送９込む吸気口に
   連軸された吸気弁と、８１１配仝気バネ鋏直の併気口に
   連結された排気弁とを壱する除振台において、前記基準
   位置にテーブルを復帰させるための前配収気弁＆↓ひま
   た１１併気弁を作動させる時間幅を前記位置ずれ楓から
   算出し、６１１配収気升およびまた／ｆｉ併気升をｎｉ
   ｌ記時開時間動作させ、前ｂｄ受気気バネ装置よるテー
   ブルのレベルな―整することを軸位とする除振６の制御
   方法＠ ２、　　ｉ＃：餉酋の便用状態で、ＷＪＬ気升２工ひ排
   気弁の演疋の作動時間に対応するテーブルの上奸臘゛゛
   または下呻菫ｔｔｍ１足し、両省の刈心に係に譲りき単
   位上昇量および単位下降皺を侍るための上昇パルスおよ
   び下降パルネの暢を１１１１１１４１装置に記憶させ、
   この上昇パルスを断続的に発して前−吸気弁な作動させ
   、めるいは前ｍｌ下師パルスな断続的に発して前記排気
   弁を作動させてテーブルをＷＩａ記率位上昇ｔｈるいに
   単位下降輩毎に震位させることを特徴とする特許ｄ求の
   範囲第１積記鎮の除氷台の制御方法。 ３、特許請求の範囲第２項記−の作業を、除振台の使用
   直前にのみ実施することを特徴とする特許請求のｍ囲＠
   ２項配鎮の除振台の制−力泳、４、　１ｉｌｋ気弁およ
   びまた！ｆｉ併気升の作ｍ１ｌｌ開釦以依テーブルが実
   際に上昇または下降を開縮する以―■に、吸気弁および
   または排気弁を同＃Ｉ＆＆ｃめ心いは所定時間間隔を開
   けて作動させ□ることを特徴とする特許請求の軛囲第Ｉ
   ＪＪＬ紀−の除振台の制御方法Ｃ ５、テーブルの基準位置に対する位置すれ電に応じて２
   以上の上昇または下降運駄京域を定め、率位上昇菫２よ
   びまたは単位下呻りを前記ζ域ごとに相違壊せ、前＠ｄ
   基準位置に点い粗域はと