JPS5856412B2 - displacement detection device - Google Patents

displacement detection device

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JPS5856412B2
JPS5856412B2 JP53140621A JP14062178A JPS5856412B2 JP S5856412 B2 JPS5856412 B2 JP S5856412B2 JP 53140621 A JP53140621 A JP 53140621A JP 14062178 A JP14062178 A JP 14062178A JP S5856412 B2 JPS5856412 B2 JP S5856412B2
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JP
Japan
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receiving means
magnetostrictive wire
signal
magnetostrictive
flip
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JP53140621A
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敏嗣 植田
昌徳 野口
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Yokogawa Electric Corp
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Yokogawa Hokushin Electric Corp
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、機械的な変位、あるいは機械的位置を磁歪線
を用いて電気信号に変換する変位検出装置に関するもの
である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a displacement detection device that converts mechanical displacement or mechanical position into an electrical signal using magnetostrictive wires.

本発明の目的は、構造が簡単で、磁歪線内を伝播する超
音波信号の伝播速度の影響や、超音波信号を発生させる
ための励振手段に励振パルス電流を印加してから磁歪線
内に超音波信号が発生するまでの時間遅れ等の影響を受
けず高精度で変位検出ができるこの種の装置を実現しよ
うとするものである。
The purpose of the present invention is to have a simple structure, to avoid the influence of the propagation speed of an ultrasonic signal propagating within a magnetostrictive wire, and to apply an excitation pulse current to an excitation means for generating an ultrasonic signal before transmitting the ultrasonic signal within the magnetostrictive wire. The present invention aims to realize this type of device that can detect displacement with high accuracy without being affected by time delays until ultrasonic signals are generated.

また、本発明の他の目的は、周囲温度の変化など環境変
化の影響を受けず、常に高精度の変位検出ができる装置
を実現しようとするものである。
Another object of the present invention is to realize a device that is not affected by environmental changes such as changes in ambient temperature and can always detect displacement with high accuracy.

第1図は本発明の一実施例を示す構成ブロック図である
FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention.

図において、1は例えばNi−8PANC。Ni等の磁
歪材料を線状にして構成した磁歪線、2は磁歪線1の一
方の端に配置した第1の受信手段・3は磁歪線の他方の
端に配置した第2の受信手段で、ここではいずれも磁歪
線に巻回されたコイルで構成した例を示す。
In the figure, 1 is, for example, Ni-8PANC. A magnetostrictive wire made of a linear magnetostrictive material such as Ni, 2 is a first receiving means placed at one end of the magnetostrictive wire 1, and 3 is a second receiving means placed at the other end of the magnetostrictive wire. , here we show examples in which both are constructed from coils wound around magnetostrictive wires.

4は磁歪線1にその磁界が交差しながら動く永久磁石で
、この永久磁石4に機械的変位が与えられる。
4 is a permanent magnet that moves while its magnetic field intersects with the magnetostrictive wire 1, and mechanical displacement is applied to this permanent magnet 4.

O8は励振パルス発生器で、その出力パルス電流ipは
、磁歪線1に供給されている。
O8 is an excitation pulse generator whose output pulse current ip is supplied to the magnetostrictive wire 1.

FF1.FF2はフリップフロップ回路で、励振パルス
信号ipがセント端子Sにそれぞれ印加されている。
FF1. FF2 is a flip-flop circuit, and an excitation pulse signal ip is applied to the cent terminal S of each flip-flop circuit.

また、フリップフロップ回路FF1のリセット端子Rに
第1の受信手段2からの信号e1が印加され、フリップ
フロップ回路FF2のリセット端子Rに第2の受信手段
3からの信号e2が印加されている。
Further, a signal e1 from the first receiving means 2 is applied to the reset terminal R of the flip-flop circuit FF1, and a signal e2 from the second receiving means 3 is applied to the reset terminal R of the flip-flop circuit FF2.

CKはフリップフロップ回路FF1.FF2から得られ
る時間幅信号PW1.PW2を入力とする演算回路であ
る。
CK is a flip-flop circuit FF1. Time width signal PW1. obtained from FF2. This is an arithmetic circuit that receives PW2 as an input.

このように構成した装置の動作を次に第2図および第3
図を参照しながら説明する。
The operation of the device configured in this way is shown in Figures 2 and 3 below.
This will be explained with reference to the figures.

まず、はじめに励振パルス発生器O8から第3図イに示
すように励振パルス電流ipを磁歪線1に供給する。
First, an excitation pulse current ip is supplied from the excitation pulse generator O8 to the magnetostrictive wire 1 as shown in FIG. 3A.

ここで磁歪線1に励振パルス電流が流れると、この励振
パルス電流による磁界と永久磁石4の磁界の相互作用に
よって磁歪線1内には永久磁石4の存在する位置で捩り
モーメントが与えられ、ここで超音波信号(捩り弾性波
信号)が発生する。
Here, when an excitation pulse current flows through the magnetostrictive wire 1, a torsional moment is given in the magnetostrictive wire 1 at the position where the permanent magnet 4 is present due to the interaction between the magnetic field caused by this excitation pulse current and the magnetic field of the permanent magnet 4. An ultrasonic signal (torsional elastic wave signal) is generated.

すなわち、第2図において、磁歪線1にパルス電流が流
れると、この電流による磁界F2が永久磁石4による磁
界F□に作用し、磁歪線1の右側の磁界が左側の磁界よ
り大きくなる。
That is, in FIG. 2, when a pulse current flows through the magnetostrictive wire 1, the magnetic field F2 due to this current acts on the magnetic field F□ caused by the permanent magnet 4, and the magnetic field on the right side of the magnetostrictive wire 1 becomes larger than the magnetic field on the left side.

このため、磁歪線1の断面における磁界分布にアンバラ
ンスが生じ、超音波信号が発生することとなる。
Therefore, an imbalance occurs in the magnetic field distribution in the cross section of the magnetostrictive wire 1, and an ultrasonic signal is generated.

このようにして永久磁石4の場所で発生した超音波信号
は、磁歪線1の両端に向けて伝播し、第1の受信手段2
および第2の受信手段3によって検出される。
The ultrasonic signal thus generated at the location of the permanent magnet 4 propagates toward both ends of the magnetostrictive wire 1 and reaches the first receiving means 2.
and detected by the second receiving means 3.

いま、励振パルス電流ipを磁歪線1に供給すると同時
に磁歪線1内に超音波信号が発生するものとすれば、こ
の超音波信号が各受信手段2および3によって検出され
るまでの時間t1およびt2は、(1)式および(2)
式で表わすことができる。
Now, if it is assumed that an ultrasonic signal is generated in the magnetostrictive wire 1 at the same time as the excitation pulse current ip is supplied to the magnetostrictive wire 1, the time t1 and t2 is expressed by equation (1) and (2)
It can be expressed by the formula.

励振パルスipは、磁歪線1に印加されると同時にフリ
ップフロップ回路FF1.FF2のセント端子Sにそれ
ぞれ印加されており、各フリップフロップ回路FF□、
FF2を第2図二、ホに示すようにセット状態にする。
The excitation pulse ip is applied to the magnetostrictive wire 1 and the flip-flop circuit FF1. It is applied to the cent terminal S of FF2, and each flip-flop circuit FF□,
Set the FF2 as shown in FIG. 2, 2 and E.

また、励振パルスipを与えてからt、、t2後に第1
受信手段2、第2受信手段3によって得られたパルス状
の電圧信号e1.e2は、フリップフロップ回路FF1
.FF2のリセット端子にそれぞれ印加され、これらを
第2図二、ホに示すようにリセット状態にする。
Also, after t, t2 after applying the excitation pulse ip, the first
The pulsed voltage signal e1. obtained by the receiving means 2 and the second receiving means 3. e2 is a flip-flop circuit FF1
.. The voltage is applied to the reset terminals of FF2, respectively, and these are put into a reset state as shown in FIG.

したがって、フリップフロップ回路FF□、FF2の出
力端から、第2図二、ホに示すように、tl。
Therefore, from the output ends of the flip-flop circuits FF□ and FF2, as shown in FIG. 2, tl.

t2に比例する時間幅t1 、 t2をもった時間幅信
号PW1.PW2が得られる。
A time width signal PW1. having time widths t1 and t2 proportional to t2. PW2 is obtained.

演算回路CKは、各フリップフロップ回路FF1゜FF
2からの時間幅信号PWよ、PW2を入力とし。
The arithmetic circuit CK includes each flip-flop circuit FF1゜FF.
As for the time width signal PW from 2, let PW2 be the input.

例えば時間幅t1.t2を検出して(3)式の演算を行
なうことにより永久磁石4、すなわち機械的変位に関連
した信号Eoを出力端子OUTから得ることができる。
For example, time width t1. By detecting t2 and calculating equation (3), a signal Eo related to the permanent magnet 4, that is, the mechanical displacement, can be obtained from the output terminal OUT.

(3)式において、t1+t2は第1の受信手段2と第
2の受信手段3との距離であって、永久磁石4の変位位
置Xにかかわらず一定な値であるから、出力信号Eoは
、機械的変位位置Xに正確に比例したものとなる。
In equation (3), t1+t2 is the distance between the first receiving means 2 and the second receiving means 3, and is a constant value regardless of the displacement position X of the permanent magnet 4, so the output signal Eo is It is exactly proportional to the mechanical displacement position X.

なお、演算回路CKをディジタル演算回路で構成すれば
、出力信号Eoをディジタル信号で、またアナログ回路
で構成するEoをアナログ信号で容易に得られる。
Note that if the arithmetic circuit CK is configured with a digital arithmetic circuit, the output signal Eo can be easily obtained as a digital signal, and the output signal Eo can be easily obtained as an analog signal if the arithmetic circuit CK is configured with an analog circuit.

このようにして得られた永久磁石4の位置Xに関連する
信号Eoは、磁歪線1内の超音波信号の伝播速度v8の
影響を受けず、また、機械的接触部を介さずして得られ
るという特長をもっている。
The signal Eo related to the position It has the feature of being able to

このように構成した装置は、磁歪線1内に超音波信号を
発生させるための永久磁石4を2つの受信手段2と3の
間に配置した点に特徴のひとつがあるもので、このよう
に配置させたことによって、超音波信号が永久磁石4か
ら左右同一の条件で伝播することとなり、tl t2
を演算することによって磁歪線1に励振パルスipを印
加してから磁歪線1内に実際に超音波信号が発生する窯
での時間遅れ等による誤差を容易に除去できるという効
果がある。
One of the features of the device configured in this way is that a permanent magnet 4 for generating an ultrasonic signal within the magnetostrictive wire 1 is placed between the two receiving means 2 and 3. Due to this arrangement, the ultrasonic signal propagates from the permanent magnet 4 under the same conditions on the left and right sides, and tl t2
By calculating , it is possible to easily eliminate errors caused by time delays in the oven where an ultrasonic signal is actually generated within the magnetostrictive wire 1 after the excitation pulse ip is applied to the magnetostrictive wire 1.

すなわち、この時間遅れをαとすると、例えば(4)式
はEo=(t1+α)(t2+α)=t1−t2となっ
てαの影響がなくなる。
That is, if this time delay is α, then, for example, equation (4) becomes Eo=(t1+α)(t2+α)=t1−t2, and the influence of α disappears.

また、第1図の装置においては、第1受信手段2、第2
受信手段3をいずれも磁歪線1に固定することができる
ので、これらの手段をシールドケース等に収納すること
によって、外部からのノイズ等の影響をなくすることが
できる効果がある。
Further, in the apparatus shown in FIG. 1, the first receiving means 2, the second
Since all of the receiving means 3 can be fixed to the magnetostrictive wire 1, by housing these means in a shield case or the like, there is an effect that the influence of external noise etc. can be eliminated.

また、温度変化等による磁歪線1自身の線膨張による長
さ変化の影響をも受げないという特長がある。
It also has the advantage of not being affected by changes in length due to linear expansion of the magnetostrictive wire 1 itself due to temperature changes or the like.

すなわち、磁歪線10線膨張係数をα、温度変化をAt
とし、これを考慮して(3)式を書き改めると(4)式
の通りとなり、 また、このように構成した装置は、永久磁石4の移動や
、磁歪線1自身の変位に伴って生ずる永久磁石と磁歪線
との結合度の変化による影響を除去することができる。
That is, α is the linear expansion coefficient of magnetostrictive wire 10, and At is the temperature change.
If we rewrite equation (3) taking this into account, we get equation (4), and the device configured in this way has the following characteristics: The influence of changes in the degree of coupling between the permanent magnet and the magnetostrictive wire can be removed.

すなわち、永久磁石4の位置で磁歪線1内に発生し、そ
れぞれ左右に伝播する超音波信号は、磁歪線1と永久磁
石4との結合度にかかわらずほぼ同一振幅の信号であっ
て、各受信手段2,3がこれを受信し、各フリツプフロ
ツプをリセツトする。
That is, the ultrasonic signals generated within the magnetostrictive wire 1 at the position of the permanent magnet 4 and propagated to the left and right are signals with approximately the same amplitude regardless of the degree of coupling between the magnetostrictive wire 1 and the permanent magnet 4, and each Receiving means 2 and 3 receive this and reset each flip-flop.

このことから、各フリップフロツプからの信号の時間幅
t1.t2には、それぞれ、伝播信号の振幅値の変化(
振幅値の変化は永久磁石4と磁歪線1との結合度変化に
よって変わる)による誤差も同じ様に介入することとな
る。
From this, the time width t1. of the signal from each flip-flop. At t2, the change in the amplitude value of the propagation signal (
Errors due to variations in the amplitude value (which vary depending on changes in the degree of coupling between the permanent magnet 4 and the magnetostrictive wire 1) also intervene in the same way.

それ故に、tl−t2の演算を含む(3)式の演算を行
なうことにより、この誤差をキャンセルすることができ
る。
Therefore, this error can be canceled by performing the calculation of equation (3) including the calculation of tl-t2.

従って、本発明に係る装置によれば、環境変化の影響を
受けず、高い精度で変位位置の測定を行なうことができ
る。
Therefore, according to the device according to the present invention, the displacement position can be measured with high accuracy without being affected by environmental changes.

演算を含む演算を行なって変位位置Xに対応した信号を
得るもので、この出力信号は、磁歪線1内を伝播する超
音波信号の伝播速度VS (この伝播速度v8は周囲温
度変化等の環境変化の影響を受ける)が演算によってキ
ャンセルされることとなり、周囲温度変化等の環境変化
の影響を受げないものとなる。
A signal corresponding to the displacement position X is obtained by performing calculations including calculations. (affected by changes) will be canceled by calculation, and will not be affected by environmental changes such as changes in ambient temperature.

第4図は本発明を自動平衡計器に適用させた場合の構成
ブロック図である。
FIG. 4 is a block diagram of the configuration when the present invention is applied to an automatic balance meter.

第1図と対応する部分には同一符号を付して示す。Components corresponding to those in FIG. 1 are designated by the same reference numerals.

図において、Eiは測定、記録すべき入力信号、AMは
入力信号Eiと後述する演算回路CKからの帰還信号E
fとの偏差信号εを入力とする増幅器で、偏差εに応じ
て平衡電動機BMを駆動する。
In the figure, Ei is the input signal to be measured and recorded, and AM is the input signal Ei and the feedback signal E from the arithmetic circuit CK, which will be described later.
An amplifier that receives a deviation signal ε from f and drives the balanced motor BM according to the deviation ε.

平衡電動機BMは記録紙5上を移動する記録ペンPNに
連結されるとともに、永久磁石4に連結している。
The balance motor BM is connected to the recording pen PN that moves on the recording paper 5 and is also connected to the permanent magnet 4.

受信手段2および受信手段3からの受信信号e1 。Received signal e1 from receiving means 2 and receiving means 3.

e2は、比較増幅器OP工、OP2を介して、フリンプ
フロンプ回路FF1.FF2のリセツト端子Rに印加さ
れている。
e2 is connected to the flip-flop circuit FF1 through the comparator amplifier OP2. It is applied to the reset terminal R of FF2.

これらの比較増幅器OP 1 yOP2は各受信手段2
,3に混入するノイズを基準電圧Esと比較することに
よって除去する役目をしている。
These comparison amplifiers OP1 yOP2 are connected to each receiving means 2.
, 3 by comparing it with the reference voltage Es.

演算回路CKから得られる永久磁石4の位置(記録ペン
PNの位置に対応)に関連した信号Efは、偏差検出回
路EAに与えられており、増幅器AM、平衡電動機BM
、磁歪線1および演算回路CKを含む回路ループは、E
f=Eiとなるように永久磁石4(記録ペンPN)が移
動し、そこで自動平衡する。
A signal Ef related to the position of the permanent magnet 4 (corresponding to the position of the recording pen PN) obtained from the arithmetic circuit CK is given to the deviation detection circuit EA, and is sent to the amplifier AM and the balanced motor BM.
, the circuit loop including the magnetostrictive wire 1 and the arithmetic circuit CK is E
The permanent magnet 4 (recording pen PN) moves so that f=Ei, and is automatically balanced there.

したがって、永久磁石4、すなわち記録ペンPNを入力
信号Eiに正確に追従させることができ、その記録位置
から入力信号Eiの大きさを知ることができる。
Therefore, the permanent magnet 4, that is, the recording pen PN, can be made to accurately follow the input signal Ei, and the magnitude of the input signal Ei can be determined from the recording position.

第5図および第6図は本発明装置の応用例を示す構成図
である。
FIGS. 5 and 6 are configuration diagrams showing an example of application of the device of the present invention.

第5図はレベル計に適用した場合であって、永久磁石4
はフロート6に結合されており、タンク内の液面変位に
対応し、磁歪線1に沿って上下する。
Figure 5 shows the case where the permanent magnet 4 is applied to a level meter.
is coupled to a float 6 and moves up and down along the magnetostrictive line 1 in response to the displacement of the liquid level in the tank.

第6図は差圧変換器に適用した場合で、ダイヤ7ラム7
1,72を結ぶ連結棒を磁歪線1で構成し、との磁歪線
1の両端に第1受信手段2および第2受信手段3を固定
配置させ、また、永久磁石4を第1受信手段2と第2受
信手段3との間に挾まれるようにボディ8に固定したも
のである。
Figure 6 shows the case where it is applied to a differential pressure converter.
The connecting rod connecting the magnetostrictive wires 1 and 72 is made of the magnetostrictive wire 1, and the first receiving means 2 and the second receiving means 3 are fixedly arranged at both ends of the magnetostrictive wire 1. It is fixed to the body 8 so as to be sandwiched between the receiving means 3 and the second receiving means 3.

なお、ボディ8は磁歪線1にパルス電流ipを流すうえ
から絶縁材80を介して2つの部分81.82で構成さ
れており、ダイヤフラム71,72を介してパルス電流
ipが磁歪線1に供給される。
The body 8 is composed of two parts 81 and 82 with an insulating material 80 in between, and the pulse current ip is supplied to the magnetostrictive wire 1 through diaphragms 71 and 72. be done.

ダイヤフラム71.72はその一方の面に導入される圧
力P□、P2の差に応じて変位し、磁歪線1.第1受信
手段2および第2受信手段3がともに変位する。
The diaphragms 71, 72 are displaced according to the difference between the pressures P□ and P2 introduced on one side thereof, and the magnetostrictive lines 1. Both the first receiving means 2 and the second receiving means 3 are displaced.

なお、上記の各実施例において、2つの時間幅信号を入
力とする演算回路は、ディジタル的手法によって(3)
式の演算を行なうようにしてもよいし、アナログ的手法
によってこれらの演算を行なうようにしてもよい。
Note that in each of the above embodiments, the arithmetic circuit that receives two time width signals as input uses (3) a digital method.
These calculations may be performed using formulas, or may be performed using an analog method.

以上説明したように、本発明によれば構造が簡単でかつ
、周囲温度変化等の環境変化の影響を受けず精度の高い
変位検出装置が実現できる。
As described above, according to the present invention, it is possible to realize a highly accurate displacement detection device that has a simple structure and is not affected by environmental changes such as changes in ambient temperature.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の一実施例を示す構成ブロック図\第2
図は磁歪線内に超音波信号が発生する動作原理を説明す
るための説明図、第3図は第1図装置の動作波形図、第
4図は本発明を自動平衡計器に適用させた場合の構成ブ
ロック図、第5図および第6図は本発明装置の応用例を
示す構成図である。 1・・・・・・磁歪線、2,3・・・・・・受信手段、
4・・・・・・永久磁石、O8・・・・・・励振パルス
発生器、FF1.FF2・・・・・・フリンプフロツプ
回路、CK・°・・・・演算回路。
Figure 1 is a configuration block diagram showing one embodiment of the present invention.
The figure is an explanatory diagram for explaining the operating principle in which ultrasonic signals are generated in magnetostrictive wires, Figure 3 is an operating waveform diagram of the device shown in Figure 1, and Figure 4 is when the present invention is applied to an automatic balance instrument. FIGS. 5 and 6 are block diagrams showing application examples of the apparatus of the present invention. 1... Magnetostrictive wire, 2, 3... Receiving means,
4... Permanent magnet, O8... Excitation pulse generator, FF1. FF2...Flip flop circuit, CK/°...Arithmetic circuit.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1 磁歪材料で構成した磁歪線、この磁歪線に結合する
第1受信手段および第2受信手段、機械的変位が与えら
れその磁界が前記磁歪線を交差するように磁歪線に沿っ
て移動するとともに前記磁歪線を介して前記第1.第2
の受信手段に挾まれて配置された永久磁石、前記磁歪線
に励振パルス電流を供給する励振パルス発生器、この励
振パルス発生器からの励振パルスによってセットされ前
記第1の受信手段からのパルスによってリセットされる
第1のフリップフロップ回路、前記励振パルスによって
セットされ前記第2の受信手段からのパルスによってリ
セットされる第2のフリップフロップ回路、前記第1.
第2のフリップフロップ回路から出力される時間幅t1
.t2の信号を入力し少なくとも(t□−tz )/
(tt + tz)なる演算を行なって前記機械的変位
に対応する信号を得る演算回路手段を具備した変位検出
装置。
1. A magnetostrictive wire made of a magnetostrictive material, a first receiving means and a second receiving means coupled to the magnetostrictive wire, and a mechanical displacement is applied to move along the magnetostrictive wire so that the magnetic field intersects the magnetostrictive wire. through the magnetostrictive wire. Second
a permanent magnet placed between the receiving means, an excitation pulse generator for supplying an excitation pulse current to the magnetostrictive wire, set by the excitation pulse from the excitation pulse generator and set by the pulse from the first receiving means; a first flip-flop circuit that is reset; a second flip-flop circuit that is set by the excitation pulse and reset by a pulse from the second receiving means;
Time width t1 output from the second flip-flop circuit
.. Input the signal of t2 and at least (t□-tz)/
A displacement detection device comprising an arithmetic circuit means for performing an arithmetic operation (tt + tz) to obtain a signal corresponding to the mechanical displacement.
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JPS5112148A (en) * 1974-07-22 1976-01-30 Kokusai Electric Co Ltd Idotaino ichisokuteihoho

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