JPS5841571U - 電子線装置の対物レンズ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は、□本考案の一実施例に係る電子線装置の対物
レンズの構造を示す断面図である。第２図は、本考案の
上記実施例において、下側磁極片における駆動機構を拡
大しそ示す断面図である。 １・・・・・・継鉄、２・・・・・・上側磁極コイル、
３・・・・・・下側磁極コイル、７・・・・・・上側磁
極片、８・・・・・・上側磁極外部筒、９・・・・・・
上側磁極内部筒（可動部）、１７．４１・・・・・・ク
ラウンギア、１８．４２・・・・・・駆動棒、３１・・
・・・・下側磁極片、３２・・・・・・下側磁極外部筒
、３３・・・・・・下側磁極内部筒（可動部）。

Claims (5)

【実用新案登録請求の範囲】
1. （１）レンズ本体部と、このレンズ本体部に取付けられ
   、上下方向に所定のギャップを置いて対向している一対
   の磁極片とを有する対物レンズにおいて、前記一対の磁
   極片のうち少なくとも一方の磁極片を上下方向に移動可
   能に構成する一方、当該移動可能な磁極片について、可
   動部を駆動機構に連結し、この駆動機構の作動によって
   可動型の磁極片を上下動させるようにしたことを特徴と
   する電子線装置の対物レンズ。
2. （２）駆動機構は磁極片の可動部にねじ係合するクラウ
   ンギア左、このクラウンギアに作動連結する駆動棒とか
   ら成り、クラウンギアの回転作動に伴って可動部分をね
   じ送りすることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第
   １項記載の電子線装置の対物レンズ。
3. （３）クラウンギアと磁極片可動部とのねじ係合部にお
   いてクラウンギアに形成したネジ径は磁極片可動部の外
   径にほぼ等しいことを特徴とする実用新案登録請求の範
   囲第２項記載の電子線装置の対物レンズ。
4. （４）クラウンギアは磁極片に対して重なり合って配置
   される一方、当該クラウンギアの外周部は磁極片のほぼ
   外周部まで延びており、且つこの外周部において一駆動
   棒と係合していることを特徴とする実用新案登録請求の
   範囲第２項又は第３項記載の電子線装置の対物レンズ。
5. （５）磁極片及び駆動機構は、双方同一の材質から出来
   ていることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項
   乃至第３項のいずれかに記載の電子線装置の対物レンズ
   。