JPS5841570U - 電子線装置の対物レンズ - Google Patents
電子線装置の対物レンズInfo
- Publication number
- JPS5841570U JPS5841570U JP13429581U JP13429581U JPS5841570U JP S5841570 U JPS5841570 U JP S5841570U JP 13429581 U JP13429581 U JP 13429581U JP 13429581 U JP13429581 U JP 13429581U JP S5841570 U JPS5841570 U JP S5841570U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic pole
- objective lens
- electron beam
- lens
- pole piece
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
、 第１図は、本考案の一実施例に係る電子線装置
° の対物レンズの構造を示す断面図である。第２図
′ は本考案の実施例において、上下側磁極片の移動
・ 量に対する球面収差及び色収差の変化を示すグラ
： フ図である。 ） １・・・・・・継鉄、２・・・・・・上側磁極
コイル、３・・・・・・下： 側磁極コイル、７・・
・・・・上側磁極片、８・・・・・・上側磁二 極外
部筒、９・・・・・・上側磁極内部筒（可動部分）、−
１５・・・・・・連結片、３１・・・・・・下側磁極片
、３２・・・・・・−下側磁極外部筒、３３・・・・・
・下側磁極内部筒（可動部分）。
° の対物レンズの構造を示す断面図である。第２図
′ は本考案の実施例において、上下側磁極片の移動
・ 量に対する球面収差及び色収差の変化を示すグラ
： フ図である。 ） １・・・・・・継鉄、２・・・・・・上側磁極
コイル、３・・・・・・下： 側磁極コイル、７・・
・・・・上側磁極片、８・・・・・・上側磁二 極外
部筒、９・・・・・・上側磁極内部筒（可動部分）、−
１５・・・・・・連結片、３１・・・・・・下側磁極片
、３２・・・・・・−下側磁極外部筒、３３・・・・・
・下側磁極内部筒（可動部分）。
Claims (1)
- レンズ本体部と、このレンズ本体部に取付けられ、上下
方向に所定のギャップを置いて対向している一対の磁極
片と、これらの磁極片間のギャップ内に配置された試料
ステージとを有する対物レンズにおいて、前記一対の磁
極片をいずれも上１方向に移動可能に構成する一方、各
磁極片の可動部を互いに一体的に結合すると共にこの可
動部に駆動機構を連結し、当該駆動機構の操作によりＪ
下側の磁極片を一体的に上下動させ試料と磁極片との間
の距離を可変にしたことを特ｉとする電７線装置の対物
レンズ。 ・
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13429581U JPS5841570U (ja) | 1981-09-11 | 1981-09-11 | 電子線装置の対物レンズ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13429581U JPS5841570U (ja) | 1981-09-11 | 1981-09-11 | 電子線装置の対物レンズ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5841570U true JPS5841570U (ja) | 1983-03-18 |
| JPS6342456Y2 JPS6342456Y2 (ja) | 1988-11-07 |
Family
ID=29927723
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13429581U Granted JPS5841570U (ja) | 1981-09-11 | 1981-09-11 | 電子線装置の対物レンズ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5841570U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007519191A (ja) * | 2004-01-21 | 2007-07-12 | イツェーテー インテグレイテッド サーキット テスティング ゲゼルシャフト フュール ハルブライタープリュッフテヒニク ミット ベシュレンクテル ハフツング | 荷電粒子レンズを備えたビーム光学コンポーネント |
-
1981
- 1981-09-11 JP JP13429581U patent/JPS5841570U/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007519191A (ja) * | 2004-01-21 | 2007-07-12 | イツェーテー インテグレイテッド サーキット テスティング ゲゼルシャフト フュール ハルブライタープリュッフテヒニク ミット ベシュレンクテル ハフツング | 荷電粒子レンズを備えたビーム光学コンポーネント |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6342456Y2 (ja) | 1988-11-07 |
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