JPS5834735U - ウエ−ハ検出回路 - Google Patents
ウエ−ハ検出回路Info
- Publication number
- JPS5834735U JPS5834735U JP12798881U JP12798881U JPS5834735U JP S5834735 U JPS5834735 U JP S5834735U JP 12798881 U JP12798881 U JP 12798881U JP 12798881 U JP12798881 U JP 12798881U JP S5834735 U JPS5834735 U JP S5834735U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- detection circuit
- wafer detection
- wafer
- light source
- optical sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図はウェーハ検出回路の動作説明図、第２図はウェ
ーハ検出回路の従来例図、第３図は本考案の具体的実施
例図、第４図は第３図を説明図、第５図はウェーハ検出
機能を説明するための他の実施例図である。 １′・・・光源、３′・・・光センサ、５・・・コンパ
レータ、７・・・一致検出回路。
ーハ検出回路の従来例図、第３図は本考案の具体的実施
例図、第４図は第３図を説明図、第５図はウェーハ検出
機能を説明するための他の実施例図である。 １′・・・光源、３′・・・光センサ、５・・・コンパ
レータ、７・・・一致検出回路。
Claims (1)
- 光源と光センサを対向配置し、該対向配置間を通過する
ウェーハにより光源からの光が遮断されたことを光セン
サで検出するウェーハ検出回路において、ウェーハが光
源と光センサの対向配置間に存在しないときに光源をオ
ン−オフし、前記ウェーハ検出回路が正常動作をなしう
るか否かを診断する診断機能を具備したことを特徴とす
るウェーハ検出回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12798881U JPS5834735U (ja) | 1981-08-31 | 1981-08-31 | ウエ−ハ検出回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12798881U JPS5834735U (ja) | 1981-08-31 | 1981-08-31 | ウエ−ハ検出回路 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5834735U true JPS5834735U (ja) | 1983-03-07 |
Family
ID=29921702
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12798881U Pending JPS5834735U (ja) | 1981-08-31 | 1981-08-31 | ウエ−ハ検出回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5834735U (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6181117U (ja) * | 1984-11-01 | 1986-05-29 | ||
| JPS61104534U (ja) * | 1984-12-13 | 1986-07-03 | ||
| JPS6350117U (ja) * | 1986-09-19 | 1988-04-05 |
-
1981
- 1981-08-31 JP JP12798881U patent/JPS5834735U/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6181117U (ja) * | 1984-11-01 | 1986-05-29 | ||
| JPS61104534U (ja) * | 1984-12-13 | 1986-07-03 | ||
| JPS6350117U (ja) * | 1986-09-19 | 1988-04-05 |
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