JPS5821885A - ガスレ−ザ−装置 - Google Patents
ガスレ−ザ−装置Info
- Publication number
- JPS5821885A JPS5821885A JP56119364A JP11936481A JPS5821885A JP S5821885 A JPS5821885 A JP S5821885A JP 56119364 A JP56119364 A JP 56119364A JP 11936481 A JP11936481 A JP 11936481A JP S5821885 A JPS5821885 A JP S5821885A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical axis
- plate
- hole
- light
- laser
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/086—One or more reflectors having variable properties or positions for initial adjustment of the resonator
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明はレーザー発振のだめの共振器の光軸調整を容
易にしたガスレーザー装置に関する。
易にしたガスレーザー装置に関する。
ガスレーザー装置において、レーザー光を取出すには、
共振器を構成する各鏡の光軸調整を正しく行なう必要が
ある。このため、第１図に示すように、Ｈｅ−Ｎｅレー
ザー光を用いて光軸合わせが行なわれる。すなわち、第
１図中ａは光軸調整用Ｈｅ−Ｎｅレーザーでこの光軸調
整用レーザーａから出るレーザー光をＺｎ５ｅ出力鏡す
で受け、このＺｎ５ｅ出力鏡すから出るレーザー光を折
返えし鏡ｅにおいて折返えさせたのち、さらに、第２の
折返えし鏡ｄにおいて折返えさせ、高反射鏡ｅに反射さ
せる。大出力のレーザーは普通共振器の鏡の直径が大き
くなシ、光軸調整を正確に行なうためには鏡のセンタ出
しのための治具が必要である。従来、光軸調整を行なう
時は共振器を大気圧に開放し、センタ治具を取付け、そ
のまま大気圧中で光軸調整を行なった。光軸調整の完了
後、上記センタ治具を取外し、レーザー装置本体を気密
に保ったのち排気し、真空たれる。したがって、大気圧
中において光軸調整された共振器はレーザー発振時の減
圧によシ、大気圧との差圧の北気圧すなわち０．９に、
Ｆ／（？／の力０ を受けることとなシ、程度の差はあるが大気圧中におい
てした光軸調整が狂いを生ずるという欠点があった。と
のような光軸の狂いは大出力のガスレーザー装置に多く
見られる多重折近見し形の共振器の場合に特に重大な問
題であシ、発振後において光軸調整に２〜３時間もの長
い時間が費されているのが実情である。
共振器を構成する各鏡の光軸調整を正しく行なう必要が
ある。このため、第１図に示すように、Ｈｅ−Ｎｅレー
ザー光を用いて光軸合わせが行なわれる。すなわち、第
１図中ａは光軸調整用Ｈｅ−Ｎｅレーザーでこの光軸調
整用レーザーａから出るレーザー光をＺｎ５ｅ出力鏡す
で受け、このＺｎ５ｅ出力鏡すから出るレーザー光を折
返えし鏡ｅにおいて折返えさせたのち、さらに、第２の
折返えし鏡ｄにおいて折返えさせ、高反射鏡ｅに反射さ
せる。大出力のレーザーは普通共振器の鏡の直径が大き
くなシ、光軸調整を正確に行なうためには鏡のセンタ出
しのための治具が必要である。従来、光軸調整を行なう
時は共振器を大気圧に開放し、センタ治具を取付け、そ
のまま大気圧中で光軸調整を行なった。光軸調整の完了
後、上記センタ治具を取外し、レーザー装置本体を気密
に保ったのち排気し、真空たれる。したがって、大気圧
中において光軸調整された共振器はレーザー発振時の減
圧によシ、大気圧との差圧の北気圧すなわち０．９に、
Ｆ／（？／の力０ を受けることとなシ、程度の差はあるが大気圧中におい
てした光軸調整が狂いを生ずるという欠点があった。と
のような光軸の狂いは大出力のガスレーザー装置に多く
見られる多重折近見し形の共振器の場合に特に重大な問
題であシ、発振後において光軸調整に２〜３時間もの長
い時間が費されているのが実情である。
この発明は上記の事情を考慮してなされたもので、その
目的とするところは、移動自在の中心出し板を気密を保
持してガスレーザー装置の本体内に設け、光軸調整を容
易にしたガスレーザー装置を提供しようとするものであ
る。
目的とするところは、移動自在の中心出し板を気密を保
持してガスレーザー装置の本体内に設け、光軸調整を容
易にしたガスレーザー装置を提供しようとするものであ
る。
以下、この発明の一実施例を添付図面を参照して説明す
る。第２図および第３図中１は本体で、この本体１の内
部には第１の折返えし鏡２．１第２の折返えし鏡３およ
び高反射鏡４からなる６が設けられている。つぎに、本
体１の光軸に沿う両外壁の左右両側には、中心出し板７
，７が固定された軸８，８がこの軸方向に摺動自在にか
つ、回転自在に軸受筒９・・・によシ支持されている。
る。第２図および第３図中１は本体で、この本体１の内
部には第１の折返えし鏡２．１第２の折返えし鏡３およ
び高反射鏡４からなる６が設けられている。つぎに、本
体１の光軸に沿う両外壁の左右両側には、中心出し板７
，７が固定された軸８，８がこの軸方向に摺動自在にか
つ、回転自在に軸受筒９・・・によシ支持されている。
そして、軸８と軸受筒９との間にはそれぞれＯＩＪング
１０が嵌装され、本体１を気密にしている。また、中心
出し板７，７には第３図に示すように細径の２ケの透孔
１１がレーザー光軸に合致して設けられるとともに、照
準線１２が設けられている。中心出し板７はＨｅ −Ｎ
ｅ光の位置を認識し易くするため白色系のプラスチック
または金属の厚さｌ ｔｍｎ程度の薄板が用いられる。
１０が嵌装され、本体１を気密にしている。また、中心
出し板７，７には第３図に示すように細径の２ケの透孔
１１がレーザー光軸に合致して設けられるとともに、照
準線１２が設けられている。中心出し板７はＨｅ −Ｎ
ｅ光の位置を認識し易くするため白色系のプラスチック
または金属の厚さｌ ｔｍｎ程度の薄板が用いられる。
また透孔１１は光軸を決めるために用いられるＨｅ−Ｎ
ｅレーザー光を通過させるためのものであって、直径３
〜５簡で、共振器長が長くなれば、これに応じて大きく
なる）（ｅ−Ｎｅレーザー光のビーム径に応じて大きく
する必要がある。
ｅレーザー光を通過させるためのものであって、直径３
〜５簡で、共振器長が長くなれば、これに応じて大きく
なる）（ｅ−Ｎｅレーザー光のビーム径に応じて大きく
する必要がある。
また、本体１の外壁には上記軸受筒９の近傍に覗き窓１
３が設けられている。
３が設けられている。
つぎ釦、上記のように構成されたこの発明の作用につい
て説明する。光軸調整を行なうには中心出し板７の透孔
１１が共振器を構成する各鏡２，３および４の中心すな
わち光軸と合致す慝ように本体１の外部から軸８を回動
または軸方向に摺動させる。透孔１１を光軸と合致させ
る方法としては、最初に大気中で光軸を実測し、□透孔
１１を合致させた時に軸８に目盛を設けるか、適当なス
トッパを設けておく。そして、Ｈｅ−Ｎ１ル−ザー光を
可視光を透過させるＺｎ−８ｅ出力鈍５から本体１内に
導き、覗き窓１３から観察しながら、中心出し板７の透
孔１１が工■ｅ−Ｎｏレーザー光を通過するように各鏡
２，３および４の角度を調整する。光軸調整が完了し、
レーザー発振を開始する時は、軸８を操作して中心出し
板７を第３図の破線建水すようにレーデ−光路から退避
させる。
て説明する。光軸調整を行なうには中心出し板７の透孔
１１が共振器を構成する各鏡２，３および４の中心すな
わち光軸と合致す慝ように本体１の外部から軸８を回動
または軸方向に摺動させる。透孔１１を光軸と合致させ
る方法としては、最初に大気中で光軸を実測し、□透孔
１１を合致させた時に軸８に目盛を設けるか、適当なス
トッパを設けておく。そして、Ｈｅ−Ｎ１ル−ザー光を
可視光を透過させるＺｎ−８ｅ出力鈍５から本体１内に
導き、覗き窓１３から観察しながら、中心出し板７の透
孔１１が工■ｅ−Ｎｏレーザー光を通過するように各鏡
２，３および４の角度を調整する。光軸調整が完了し、
レーザー発振を開始する時は、軸８を操作して中心出し
板７を第３図の破線建水すようにレーデ−光路から退避
させる。
つぎに、この発明の詳細な説明する。中心出し板７を取
付けるための軸８を金属・ぐイブ８で構成し、この金属
パイプ８中に水を流通させ５− る。さらに、この金属・やイブ８に熱伝導を良くした状
態で黒色アルマイト処理を施した厚さ２〜３＃Ｉｌｌ＋
のモードセレクタ１４を取付ける。そして、とのモード
セレクタ１４にレーザー光軸と同心の透孔１５を穿設し
、との透孔１５の直径の大きさによシレーデー光のモー
ドを選ぶことができる。すなわち、このモードセレクタ
１４を外部から中心出し板によシアラインメントされた
レーザー光軸にさし込むことによシ、レーザー切断に有
利なシングルモード発振をさせるなお、上記実施例にお
いては、覗き窓１３を設けて、レーザー光が中心出し板
７の透孔１１と合致する状況を目視により判定したが、
光電素子たとえばシリコン太陽電池を用いて電気的に判
定させるようにしてもよい。
付けるための軸８を金属・ぐイブ８で構成し、この金属
パイプ８中に水を流通させ５− る。さらに、この金属・やイブ８に熱伝導を良くした状
態で黒色アルマイト処理を施した厚さ２〜３＃Ｉｌｌ＋
のモードセレクタ１４を取付ける。そして、とのモード
セレクタ１４にレーザー光軸と同心の透孔１５を穿設し
、との透孔１５の直径の大きさによシレーデー光のモー
ドを選ぶことができる。すなわち、このモードセレクタ
１４を外部から中心出し板によシアラインメントされた
レーザー光軸にさし込むことによシ、レーザー切断に有
利なシングルモード発振をさせるなお、上記実施例にお
いては、覗き窓１３を設けて、レーザー光が中心出し板
７の透孔１１と合致する状況を目視により判定したが、
光電素子たとえばシリコン太陽電池を用いて電気的に判
定させるようにしてもよい。
以上説明したように、この発明においては、６−
本体内部に光軸に合致させた透孔を有する中心出し板を
移動自在に設けるとともに、本体内部を観察する覗き窓
を設け、本体内部の気圧を発振時の状態において光軸調
整をできるようにしたので、光軸の狂いが防止される。
移動自在に設けるとともに、本体内部を観察する覗き窓
を設け、本体内部の気圧を発振時の状態において光軸調
整をできるようにしたので、光軸の狂いが防止される。
壕だ、光軸調整完了後、真空ポンプによる排気作業の必
要がないので光軸調整による作業時間は従来の２〜３時
間から２０分程度七大幅に短縮された。
要がないので光軸調整による作業時間は従来の２〜３時
間から２０分程度七大幅に短縮された。
第１図は従来のガスレーザー装置の構成を示１・・・本
体、２．３．４・・・共振器、７・・・中心出し板、１
１・・・透孔、１３・・・覗き窓、１４・・・モードセ
レクタ。 出願人 工業技術院長 石 坂 誠 −７−
体、２．３．４・・・共振器、７・・・中心出し板、１
１・・・透孔、１３・・・覗き窓、１４・・・モードセ
レクタ。 出願人 工業技術院長 石 坂 誠 −７−
Claims (1)
- 本体内部に設けられた共振器と、この共振器の光軸に直
交して移動自在にかつ、気密に本体り部に設けられ、発
振時には上記共振器の光路外に退避自在に設けられた中
心出し板と、上記中心出し板に設けられた上記共振器の
光軸と合致する透孔と、本体外壁に設けられた覗き窓と
からなる光軸調整装置を具備したことを特徴とするがス
レーザー装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56119364A JPS5840350B2 (ja) | 1981-07-31 | 1981-07-31 | ガスレ−ザ−装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56119364A JPS5840350B2 (ja) | 1981-07-31 | 1981-07-31 | ガスレ−ザ−装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5821885A true JPS5821885A (ja) | 1983-02-08 |
| JPS5840350B2 JPS5840350B2 (ja) | 1983-09-05 |
Family
ID=14759661
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56119364A Expired JPS5840350B2 (ja) | 1981-07-31 | 1981-07-31 | ガスレ−ザ−装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5840350B2 (ja) |
-
1981
- 1981-07-31 JP JP56119364A patent/JPS5840350B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5840350B2 (ja) | 1983-09-05 |
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