JPS58213285A - Method of controlling plasma - Google Patents

Method of controlling plasma

Info

Publication number
JPS58213285A
JPS58213285A JP57096222A JP9622282A JPS58213285A JP S58213285 A JPS58213285 A JP S58213285A JP 57096222 A JP57096222 A JP 57096222A JP 9622282 A JP9622282 A JP 9622282A JP S58213285 A JPS58213285 A JP S58213285A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
plasma
control
model
data
optimization
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP57096222A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPS6244234B2 (en
Inventor
健 吉岡
充志 阿部
小林 朋文
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP57096222A priority Critical patent/JPS58213285A/en
Publication of JPS58213285A publication Critical patent/JPS58213285A/en
Publication of JPS6244234B2 publication Critical patent/JPS6244234B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E30/00Energy generation of nuclear origin
    • Y02E30/10Nuclear fusion reactors

Landscapes

  • Plasma Technology (AREA)
  • Discharge Heating (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、トカマク型核融&装置におけるプラズマの制
御方法に関し、特にプラズマの放電データよりプラズマ
の動特性モデルを同定したうえこのモデルにもとづき制
御パラメータを最適化するようにしてプラズマを制御す
る方法に関するものである。
[Detailed Description of the Invention] The present invention relates to a plasma control method in a tokamak-type nuclear fusion device, and in particular, a method for identifying a plasma dynamic characteristic model from plasma discharge data and optimizing control parameters based on this model. The present invention relates to a method for controlling a plasma by using the following method.

従来よりトカマク型核融合装置においては、ブ2ズマ位
置制御やプラズマ密度制御、電流分布といった具合に各
種のフィードバック制御がプラズマの安定閉じ込めに必
要となっている。しかしながら、プラズマの動特性には
例えばプラズマとリミタ(zitni ter )との
間の相互作用や不純物挙動、加熱機構といった点に未だ
解明されていない部分があって正確な動特性モデルが得
られず、フィードバック制御系での制御パラメータを一
義的に定め得ないのが実状である。即ち、従来にあって
は最適な制御パラメータを探索すべく放電実験を試行錯
誤的に多数回行なう必要があったものである。
Conventionally, in tokamak-type fusion devices, various feedback controls such as plasma position control, plasma density control, and current distribution have been necessary for stable plasma confinement. However, some parts of the dynamic characteristics of the plasma, such as the interaction between the plasma and the limiter (zitniter), the behavior of impurities, and the heating mechanism, are still unclear, making it difficult to obtain an accurate dynamic characteristics model. The reality is that control parameters in a feedback control system cannot be uniquely determined. That is, in the past, it was necessary to conduct discharge experiments many times by trial and error in order to search for optimal control parameters.

例えば2fIl類の制御パラメータを最適化する場合、
放電実験は数十回に亘って繰シ返されるようになってい
る。更に核融合装置の運転条件(例えばプラズマ電流レ
ベル)が変更される度に放電実験は繰り返し行なわれる
が、このように−して制御パラメータを最適化する場合
は最適化を経済的に行ない得ないというものである。核
融合装置の大型化に伴れ1回当りの放電実験に要される
費用は美大なものとなっているからである。また、その
ようにして最適化する場合には、最適化までに多くの時
間が要されるという不具合がある。
For example, when optimizing the control parameters of 2fIl,
The discharge experiment is repeated several dozen times. Furthermore, discharge experiments are repeated every time the operating conditions of the fusion device (e.g., plasma current level) are changed, and when optimizing control parameters in this way, optimization cannot be performed economically. That is what it is. This is because, as nuclear fusion devices become larger, the cost required for one discharge experiment is becoming prohibitive. Further, when optimizing in this way, there is a problem that a lot of time is required until optimization.

よって本発明の目的は、放電実験回数少なくして速やか
に制御パラメータを最適化し得、最適化後tよその制御
パラメータを用いプラズマを制御する方法を供するにあ
る。
Therefore, an object of the present invention is to provide a method of quickly optimizing control parameters by reducing the number of discharge experiments, and controlling plasma using control parameters other than t after optimization.

この目的のため本発明は、核融合装置本体への制御入力
に人為的に各種のパルス外乱を与え、その外乱を印加し
た場合の応答と外乱を印加しない場合での応答との差を
求めるようにして入出力放電データを集収し、これら集
収された多数の放電データを一系列の時系列データと着
像してモデル同定を行ないこのモデルにもとづき制御パ
ラメータを最適化するようにしたものである。従来にあ
ってVよ、例えば小型のトカマク型核融合装置でのプラ
ズマ位置に関しては26%程度のバラツキがあるといっ
た具合に放電データの再現性は良好でなく、放電の度に
異なった放電データが得られることからモデル同定は困
難であったが、本発明の如くにする場合は一精度良好ヒ
してモデル同定全行なうことが可能となるものである。
For this purpose, the present invention artificially applies various pulse disturbances to the control input to the fusion device main body, and calculates the difference between the response when the disturbance is applied and the response when no disturbance is applied. In this system, input and output discharge data are collected using the same method, and a large number of collected discharge data are combined into a series of time-series data to perform model identification, and control parameters are optimized based on this model. . In the past, V, for example, the reproducibility of discharge data was not good, as there was a variation of about 26% in the plasma position in a small tokamak type fusion device, and the discharge data was different every time there was a discharge. However, in the case of the present invention, it is possible to perform complete model identification with high accuracy.

また、制御パラメータの最適化においても従来にあって
は最適化操作には必然的に運転者の経験判断を伴ない多
くの時間を要する傾向にある。トカマク型核融合装置に
おいては規則的に、例えば10分間隔で放電(持続時間
;1〜10秒)を繰り返すといった運転形態がとられる
が、運転者の経験判断を伴う最適化操作はその時間間隔
の中で終えるようにする必要がある。しかしながら、同
定されたモデルにもとづき制御パラメータを対話形式で
最適化する場合には、最適化操作を効率的に行なうこと
が可能となる。
Furthermore, in the conventional optimization of control parameters, the optimization operation necessarily involves the driver's empirical judgment and tends to take a lot of time. Tokamak-type fusion devices operate regularly, for example, by repeating electrical discharge (duration: 1 to 10 seconds) at 10-minute intervals, but optimization operations that involve the driver's empirical judgment are performed at intervals of 10 minutes. You need to make sure that it ends within. However, when the control parameters are interactively optimized based on the identified model, the optimization operation can be performed efficiently.

以下、本発明を第1図から第4図によシ説明する。The present invention will be explained below with reference to FIGS. 1 to 4.

先ず第1図により本発明に係るプラズマ制御系について
説明する。−示の如くトカマク型核融合装置5には一体
的にプラズマの位置や密度、電流分布などを制御するた
めの計測データ処理装置(図示せず)がハ備されており
、n1測データはこの開側データ処理装置によって適当
に処理された形でプラズマ制御装[6にフィードバック
されるようにしてなる。フィードバックされた計測デー
タにもとづきプラズマ制御装置6はトカマク型核融合装
置5をフィードバック制御しているわけである、 本発明に係るプラズマ制御系には更に外乱印加装置7お
よびモデル同定・制御パラメータ最適化用の演算装置8
が付加されるようになっている。
First, a plasma control system according to the present invention will be explained with reference to FIG. - As shown, the tokamak-type fusion device 5 is integrally equipped with a measurement data processing device (not shown) for controlling the plasma position, density, current distribution, etc. The data is fed back to the plasma control device [6] in a suitably processed form by the open side data processing device. Based on the fed-back measurement data, the plasma control device 6 performs feedback control of the tokamak-type fusion device 5. The plasma control system according to the present invention further includes a disturbance application device 7 and model identification/control parameter optimization. computing device 8
is now added.

このうち外乱印加装置7I/ま文字通、9)カマク型核
融合装置5への制御入力に各種外乱を印加するためのも
のである。また、演算装置8.は言)測データ処理装置
からの計測データ(放電データ)Xh(結果)、Llh
(原因)を取シ込み集収された放電データにもとづきモ
デル同定部2によってプラズマの動特性モデルが同定さ
れるようになっている。
Among these, the disturbance applying device 7I/Majitsu 9) is for applying various disturbances to the control input to the Kamak type nuclear fusion device 5. Further, the arithmetic device 8. Measurement data (discharge data) from the measurement data processing device Xh (result), Llh
Based on the collected discharge data, the plasma dynamic characteristic model is identified by the model identification unit 2.

同定された動特性モデルはパラメータ最適化部3に送ら
れるが、このパラメータ最適化部3で制御パラメータは
最適化されるものである。この場合最適化操作を効率的
に行なうべく制御ノくラノータの最適化はキーボード人
力撮部をもったCltT表示装置4を用い対話形式で行
なわれる。このようにして#L適化された制御ノζラノ
ータはプラズマ制御装gi、6にセットされ、プラズマ
の最適制うルに供されるところとなるわけである。
The identified dynamic characteristic model is sent to the parameter optimization section 3, where the control parameters are optimized. In this case, in order to efficiently perform the optimization operation, the optimization of the control node is performed in an interactive manner using the CLT display device 4 having a keyboard manual imaging section. In this way, the #L-optimized control node ζ is set in the plasma control device gi, 6, and is used for optimal control of the plasma.

次にモデル同定部2における演羽について説明すれば以
−トのようである。
Next, the performance in the model identification section 2 will be explained as follows.

月1jち、フ゛ラズマのt−H目のショット(放電1、
)における放電データ(人出力データ)(Jh、λに間
の動特性的関係は線形回帰モデルとして以下のように表
わされる。
Month 1j, t-H shot of plasma (discharge 1,
The dynamic relationship between discharge data (human output data) (Jh, λ) in ) is expressed as a linear regression model as follows.

Xb’+1 =a、)’l 3 +・””・十a*Xh
’−8+ I)I  Ll e −トーー十 b、um
乙+ e :   ・・(1)但し、kは離散的時刻t
kにおけるkをt、吐する。また、εにはノイズを示し
ている。ところで式(1)中におけるモデルパラメータ
Φモ(a+、・・・・・・Ha@ + b+・・・・・
・、b、)は以下の式(2)のfi&が最小となるよう
に定められる。
Xb'+1 = a, )'l 3 +・””・10a*Xh
'-8+ I) I Ll e -to-ten b, um
Otsu + e: ... (1) However, k is discrete time t
Discharge k at k to t. Further, ε indicates noise. By the way, the model parameter Φmo(a+,...Ha@+b+...
·, b, ) are determined so that fi& in the following equation (2) is minimized.

σt == 、r、Σ 〔st〕1      ・・・
(2)k+l 但し、Nは1ショット当りのサンプル数を、まfr−1
Lはショツト数を示している。
σt == , r, Σ [st]1...
(2)k+l However, N is the number of samples per shot, and fr-1
L indicates the number of shots.

残差二乗和が最小となるように定められるわけであるが
、モデルパラメータΦは以下の式(3)、 (4)を解
くことによって求められる、 Φに+1=Φ、 + Ph ah 〔Xk+1− a kΦh)/ CI
+a b Pka k)・・・(3) P k41 == P b −Pkak[Pbak]”/[i+aJPham)  
・・・(4)但し、a k=(XI’ 、・・・・・・
、Xごm、LIkl・・・・・・。
The residual sum of squares is determined to be the minimum, and the model parameter Φ is obtained by solving the following equations (3) and (4). a kΦh) / CI
+a b Pka k)...(3) P k41 == P b -Pkak[Pbak]"/[i+aJPham)
...(4) However, a k=(XI',...
,X, LIkl...

LJbζ)である。LJbζ).

モデルパラメータΦを求めることによってモデルが同定
されるわけであるが、次にパラメータ最適化部3での演
舞について説明する。
The model is identified by determining the model parameters Φ.Next, the performance performed by the parameter optimization section 3 will be explained.

パラメータ最適化部3では2稗類の制御パラメータが最
適化されるようになっている。−人力−出力の一般的な
制御方式であるPID(比例・積分・微分)制御におけ
る制御パラメータ(比例ゲイン、積分ゲイン、微分ゲイ
ン〕と、多入力多出力系の一般的な制御方式である最適
制御における制御パラメータ(フィードバックゲインマ
トリクス1とかに+A化されるようになっているもので
ある。
In the parameter optimization section 3, two types of control parameters are optimized. - Human power - Control parameters (proportional gain, integral gain, differential gain) in PID (proportional/integral/derivative) control, which is a general control method for output, and optimization, which is a general control method for multi-input, multi-output systems. Control parameters in control (such as feedback gain matrix 1 are set to +A).

先ずP I l)制御における制御パラメータの最適化
は以下の手順によって行なわれる。
First, optimization of control parameters in P I l) control is performed by the following procedure.

1)同定したモデル(式(1))より次式(5)によっ
て周波数応答スペクトルA (f)を求める。
1) From the identified model (formula (1)), calculate the frequency response spectrum A (f) using the following formula (5).

A(f)=  Σ Cm exp(j :2r fm 
)・・・(5) 世し、C7は式(1)のインパルス応答系列であυ、f
は周波数を示す。
A(f) = Σ Cm exp(j :2r fm
)...(5) Then, C7 is the impulse response series of equation (1), υ, f
indicates the frequency.

2) 周波数応答スペクトルA (f)と以斗の式(6
)に示すプラズマ制御装置6の伝達関数Gc(81と’
を掛け、これによって得られる一巡伝達開数のスペクト
ルG(S) = G c(S) A(81’fc C’
H,T表示装に4に表示させる。なお、式(6)におい
て5=jzπfである。
2) Frequency response spectrum A (f) and Ito's equation (6
) of the plasma control device 6 shown in the transfer function Gc (81 and'
The spectrum of open-loop transfer numerical aperture obtained by this is G(S) = G c(S) A(81'fc C'
4 on the H and T displays. Note that in equation (6), 5=jzπf.

Gc(8) = C+p +0w / ’ + Go 
8・・・(6) これによシ運転者は位相全格、ゲイン余裕切ヲ評価基準
に比例ゲイン(]P、積分ゲイ。
Gc(8) = C+p +0w/' + Go
8...(6) Accordingly, the driver uses proportional gain (P) and integral gain as the evaluation criteria for overall phase and gain margin.

(j!、微分ゲインGoを決定するところとなるもので
ある。
(j!, which determines the differential gain Go.

次に九勇制御における制御パラメータの最適化の手順は
以斗のようである。
Next, the procedure for optimizing control parameters in Kuyu control is as follows.

1)式(1)に示すモデルを式(7)として示す状態方
程式に袈換する。
1) The model shown in equation (1) is transformed into a state equation shown as equation (7).

Y=CX X =AX+B U           ・・・(7
)但し、Y、X、IJはそれぞれ出力ベクトル。
Y=CX X=AX+B U...(7
) However, Y, X, and IJ are each output vectors.

状態ベクトル、入力ベクトルであり、XはXの時間微分
を示−す。
They are a state vector and an input vector, and X indicates the time differential of X.

2)式(8)に示す最適jf価基準′fc最小にする制
御バ2ノータ行列F−i式(9) e lWf <こと
によって求める。
2) The optimum jf value criterion 'fc shown in Equation (8) is determined by the control bar 2 notor matrix F-i Equation (9) e lWf <.

Cm(1/2)  ・/;  (Y TPY−t−Ll
”RU ) d t   ・・・(8ン式(8)は入力
の変動が可能な限り小さいという条件−Fで、最も効率
よく出力を一定値に制御するということに対応するもの
である。
Cm (1/2) ・/; (Y TPY-t-Ll
"RU) dt...(8) Equation (8) corresponds to the most efficient control of the output to a constant value under the condition -F that the input fluctuation is as small as possible.

3)最適制御パラメータ行列Fを用いたときの閉ループ
の時間応答をシミュレートしてCI?T表示装置4に表
示する。この結果より運転者はルみ行列P、l(、を調
整しステツブ2)繰シ返す。
3) Simulate the closed-loop time response when using the optimal control parameter matrix F and calculate CI? It is displayed on the T display device 4. Based on this result, the driver adjusts the lookup matrices P, l(,) and repeats Step 2.

さて、最後に本発明による効果の程について考察する。Now, finally, we will discuss the extent of the effects of the present invention.

先ず第2図はプラズマ位if測定データ(1)および垂
直磁場コイル電流測定データ(n)を示したものである
。図示の如く式(1)〜(4)によって同定されたモデ
ルを用いて応答をシミュレートした計算ブ2ズマ位置デ
ータ(III)もが併せてボされている。一般プラズマ
位置はプラズマ環の真空中心からの水平方向ずれて以て
表わされ、その位置は垂直磁場コイルに流される電流に
よって発生される垂直磁場により零を保つよう制御され
るが、図からも判るようにプラズマ位置測定データ(1
)と計瀞グラメマ位置データ(III)との差は0.5
 cm以内に抑えられておυ、モデル同定が良好に行な
われていることが判る。なお、この例でのリング状真空
容器のリング外径、リング内径はそれぞれ70cyr+
、30crnであり、また、プラズマ断面直径は約14
crriであった。この条件は後述する第4図において
も同様である。
First, FIG. 2 shows plasma position if measurement data (1) and vertical magnetic field coil current measurement data (n). As shown, the calculated buzzer position data (III) whose response was simulated using the model identified by equations (1) to (4) are also shown. In general, the plasma position is expressed as a horizontal shift from the vacuum center of the plasma ring, and the position is controlled to maintain zero by the vertical magnetic field generated by the current flowing in the vertical magnetic field coil. As you can see, the plasma position measurement data (1
) and the Keito Gramema position data (III) is 0.5
It can be seen that the model identification is carried out well as it is suppressed to within υ cm. In addition, the ring outer diameter and ring inner diameter of the ring-shaped vacuum container in this example are each 70 cyr+
, 30crn, and the plasma cross-sectional diameter is approximately 14
It was crri. This condition also applies to FIG. 4, which will be described later.

第3図(a)、(bンはCRT表示装置に表示される一
巡伝達関数G (8) = G c (S) A (S
)の周波数応答を一例として示したものである。既述し
た如く運転渚は位相全格、ゲイン余裕などを評価基準に
比例ゲインGpや積分ゲインGl、微分ゲインG。
Figures 3(a) and (b) show the open-loop transfer function G (8) = G c (S) A (S
) is shown as an example. As mentioned above, the driving force is the proportional gain Gp, the integral gain Gl, and the differential gain G based on the overall phase, gain margin, etc. as evaluation criteria.

を決定するが、表示されたボード線図に従い決定する場
合は最適化操作が極めて容易になるというものである。
However, if the determination is made according to the displayed Bode diagram, the optimization operation becomes extremely easy.

因みに本例では位相余裕2π/3を評価基準として最適
化が行なわ終ており、Gs=0.0. (3F =1.
0に係るスペクトルは最適化前のもの會、また、Gx=
10.0 、 Gp =6.8に係るものは最適化後の
ものを示している。
Incidentally, in this example, optimization has been completed using a phase margin of 2π/3 as an evaluation criterion, and Gs=0.0. (3F = 1.
The spectrum related to 0 is the one before optimization, and Gx=
10.0 and Gp = 6.8 are those after optimization.

第4図はステップ外乱を印加した場合でのプラズマ位置
の変化2ボしたものである。最適化前のグ2ズマ位fM
、(IV)は図示の如くに変化するが、最適化後のプラ
ズマ位置(V)はそれ相変化しなく制御1特性が著1−
<改善されていることが判る。
FIG. 4 shows the change in plasma position when a step disturbance is applied. Guzma position fM before optimization
, (IV) change as shown in the figure, but the plasma position (V) after optimization does not change in phase and the control 1 characteristic is significantly 1-
<I can see that it has been improved.

以上散切したように本発明は、外乱を印加した場合の応
答と外乱を印加しない場合での応答との差を求めるよう
にして多くの入出力放電データを集収したうえ、これら
集収された放電データを一系列の時系列データと不敏し
モデル同定を行ない、このモデルにもとづき制御パラメ
ータの最適化を行なった抜は、最適化された制御パラメ
ータにもとづき核融合装置におけるプラズマをフィード
バック制御するようにしたものである。従来にあっては
プラズマの理論的動特性が不明でめったことから、核融
合装置の大型化に伴れ制御パラメータの最適化に多くの
時間と美大な費用を要していたが、本発明による揚台は
その理論的動特性が不明であっても速やかに、しかも費
用少なくして制御バラメータを最適化し得、プラズマを
良好に制御し得るという効果がある。
As discussed above, the present invention collects a lot of input/output discharge data by finding the difference between the response when a disturbance is applied and the response when no disturbance is applied, and then The data was combined with a series of time-series data to perform model identification, and the control parameters were optimized based on this model.The plasma in the fusion device was then feedback-controlled based on the optimized control parameters. This is what I did. In the past, the theoretical dynamic characteristics of plasma were unknown and it took a lot of time and cost to optimize control parameters as nuclear fusion devices became larger. Even if the theoretical dynamic characteristics of the platform are unknown, the control parameters can be optimized quickly and at low cost, and the plasma can be controlled well.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は、本発明に係るプラズマ制御系の構成を示す図
、第2図、第4図は、本発明による効果の程を説明する
ための図、第3図(a)、(b)は、最適化操作の際C
RT表示装置上に表示される一巡伝達関数の周波数応答
例を示す図である。 1・・・(モデル同定・制御パラメータ最適化用)演算
装置、2・・・モデル同定部、3・・・パラメータ最適
化部、5・・・トカマク型核融合装置、6・・・プラズ
マ制御装置、7・・・外乱印加装置。 代理人 弁理士 秋本正実 /¥2 図 $3 目 (久) (、b)
Figure 1 is a diagram showing the configuration of a plasma control system according to the present invention, Figures 2 and 4 are diagrams for explaining the extent of the effects of the present invention, and Figures 3 (a) and (b). is C during the optimization operation.
FIG. 3 is a diagram illustrating an example of the frequency response of a one-loop transfer function displayed on an RT display device. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Arithmetic device (for model identification/control parameter optimization), 2... Model identification section, 3... Parameter optimization section, 5... Tokamak type nuclear fusion device, 6... Plasma control Device, 7... Disturbance application device. Agent Patent attorney Masami Akimoto / ¥2 Figure $3 Eye (ku) (, b)

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1、  トカマク脚核融合装置におけるプラズマをフィ
ードバック制御するプラズマ制御方法にして、プラズマ
制御入力に外乱を印加した場合の応答と外乱を印加しな
い場合での応答との差を求めるようにして多くの入出力
放電データを集収したうえ、該データを一系列の時系列
データと看做しプラズマの動特性モデルを同定し、該モ
デルにもとづき制御パラメータの最適化を行なった後は
、最適化された市1」何1パ2メータにもとづきプラズ
マをフィードバック制御すること全特徴とするプラズマ
制御方法。
1. A plasma control method that performs feedback control of the plasma in a tokamak legged fusion device is used to calculate the difference between the response when a disturbance is applied to the plasma control input and the response when no disturbance is applied. After collecting the output discharge data, identifying the plasma dynamic characteristic model by considering the data as a series of time series data, and optimizing the control parameters based on the model, the optimized city 1. A plasma control method characterized by feedback control of plasma based on several parameters.
JP57096222A 1982-06-07 1982-06-07 Method of controlling plasma Granted JPS58213285A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP57096222A JPS58213285A (en) 1982-06-07 1982-06-07 Method of controlling plasma

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP57096222A JPS58213285A (en) 1982-06-07 1982-06-07 Method of controlling plasma

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS58213285A true JPS58213285A (en) 1983-12-12
JPS6244234B2 JPS6244234B2 (en) 1987-09-18

Family

ID=14159203

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP57096222A Granted JPS58213285A (en) 1982-06-07 1982-06-07 Method of controlling plasma

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS58213285A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60150109A (en) * 1984-01-18 1985-08-07 Hitachi Ltd Identifying method of parameter

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60150109A (en) * 1984-01-18 1985-08-07 Hitachi Ltd Identifying method of parameter

Also Published As

Publication number Publication date
JPS6244234B2 (en) 1987-09-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3328742B2 (en) Neuro PID controller
Kokame et al. Robust H/sub/spl infin//performance for linear delay-differential systems with time-varying uncertainties
Loeblein et al. Structural design for on‐line process optimization: I. Dynamic economics of MPC
GB2603064A (en) Improved machine learning for technical systems
Dressler An approach to model-referenced adaptive control systems
Annaswamy Adaptive control and intersections with reinforcement learning
US6768927B2 (en) Control system
US5034312A (en) Method of controlling photographic emulsion manufacturing process by non-linear approximation
JPS58213285A (en) Method of controlling plasma
JPH0535309A (en) Model prediction control device
Tzafestas et al. Design and stability analysis of a new sliding-mode fuzzy logic controller of reduced complexity
Hamdy State observer based dynamic fuzzy logic system for a class of SISO nonlinear systems
Babaie et al. Design of a switching controller for unstable systems under variable disturbance
WO1996005541A1 (en) Cascade tuning controller and method of use therefor
EP0474492A2 (en) Two degrees of freedom type control system
JP3121628B2 (en) 2-DOF control device
Bailey et al. Problems in the design of multilayer, multiechelon control structures
JPH04256102A (en) Model estimation controller
Jamshidi Three-stage near-optimum design of nonlinear-control processes
Westcott et al. A control theory framework for policy analysis
JPH04326402A (en) Fuzzy controller
Kilic AL? vy Flight Based BAT Optimization Algorithm for Block-based Image Compression br
JPH06348305A (en) Parameter adjusting device of pid controller
Chong Nonlinear dynamic system identification using recurrent neural networks
JP2517616B2 (en) Parameter adaptation method in fuzzy feedback control.