JPS58195961U - イオン源装置 - Google Patents

イオン源装置

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JPS58195961U
JPS58195961U JP9340982U JP9340982U JPS58195961U JP S58195961 U JPS58195961 U JP S58195961U JP 9340982 U JP9340982 U JP 9340982U JP 9340982 U JP9340982 U JP 9340982U JP S58195961 U JPS58195961 U JP S58195961U
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JP
Japan
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ion source
oven
source device
ionization chamber
utility
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JP9340982U
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JPS6328515Y2 (ja
Inventor
勝男 内藤
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日新ハイボルテ−ジ株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図および第２図は従来のイオン源装置を示し、第１
図は切断側面図、第２図はイオン化チャンバーの前方斜
視図、第３図以下の図面はこの考案のイオン源装置の１
実施例を示し、第３図は切断側面図、第４図は外部加熱
ヒータの後方斜視図、第５図はイオン化チャンバーの切
断平面図である。 ３・・・イオン化室、７・・・オーブン、１３・・・外
部加熱ヒータ、１７．ｉ８・・・保温壁。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）イオン化室に連通して金属蒸気発生用のオーブン
    を設け５、該オニブンの外側のほぼ全周に間隔を介して
    、前記オーブンからの輻射熱放散抑制用の外部加熱ヒー
    タを設けたイオン源装置。 ■　イオン化室の内周面に保温壁婆内装した実用新案登
    録請求の範囲第１項に記載のイオン源装置。
JP9340982U 1982-06-21 1982-06-21 イオン源装置 Granted JPS58195961U (ja)

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JP9340982U JPS58195961U (ja) 1982-06-21 1982-06-21 イオン源装置

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JP9340982U JPS58195961U (ja) 1982-06-21 1982-06-21 イオン源装置

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Publication Number Publication Date
JPS58195961U true JPS58195961U (ja) 1983-12-26
JPS6328515Y2 JPS6328515Y2 (ja) 1988-08-01

Family

ID=30224211

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JP9340982U Granted JPS58195961U (ja) 1982-06-21 1982-06-21 イオン源装置

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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS513039A (ja) * 1974-06-27 1976-01-12 Shell Sekyu
JPS5125359A (ja) * 1974-08-24 1976-03-01 Genzaburo Toryama
JPS5193280A (ja) * 1975-02-14 1976-08-16

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS513039A (ja) * 1974-06-27 1976-01-12 Shell Sekyu
JPS5125359A (ja) * 1974-08-24 1976-03-01 Genzaburo Toryama
JPS5193280A (ja) * 1975-02-14 1976-08-16

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JPS6328515Y2 (ja) 1988-08-01

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