JPS5817344A - 炭化水素燃料油添加用エチレン−酢酸ビニル共重合体の製造方法 - Google Patents
炭化水素燃料油添加用エチレン−酢酸ビニル共重合体の製造方法Info
- Publication number
- JPS5817344A JPS5817344A JP11553381A JP11553381A JPS5817344A JP S5817344 A JPS5817344 A JP S5817344A JP 11553381 A JP11553381 A JP 11553381A JP 11553381 A JP11553381 A JP 11553381A JP S5817344 A JPS5817344 A JP S5817344A
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- Japan
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- transmitting
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/27—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands using photo-electric detection ; circuits for computing concentration
- G01N21/274—Calibration, base line adjustment, drift correction
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は液体流通管たとえば水道管中を流れる液体例え
ば水の検査装置ＫｇＡ、１１、特に＊時間で上記液体流
通管中の液中に含まれる有害物質の濃度を検出する装置
に関する。
ば水の検査装置ＫｇＡ、１１、特に＊時間で上記液体流
通管中の液中に含まれる有害物質の濃度を検出する装置
に関する。
例えば半導体素子の製造工程においては液体すなわち水
、特に純水を頻繁に使用するが、この液体としての純水
中には上記半導体の製造上に有害な物質が混入すること
があシ、該物質の濃度がある一走値を越えると、製品と
しての半導体素子の歩留りは低下する。
、特に純水を頻繁に使用するが、この液体としての純水
中には上記半導体の製造上に有害な物質が混入すること
があシ、該物質の濃度がある一走値を越えると、製品と
しての半導体素子の歩留りは低下する。
従来の液体検査例えば水質検査の方法はいわゆるポイン
トサンプリング方式であって液体流通管すなわち水道管
の蛇口を介して例えばビー力に採取された純液体すなわ
ち純水を化学的手法によって検査していた。このような
方法では上記液体つｔ）純水中に含まれる有害物質の濃
度の測定に時間を費やしてしまい、有害物質の工程中へ
の流入を即時に防止することは困難であ一″）た。
トサンプリング方式であって液体流通管すなわち水道管
の蛇口を介して例えばビー力に採取された純液体すなわ
ち純水を化学的手法によって検査していた。このような
方法では上記液体つｔ）純水中に含まれる有害物質の濃
度の測定に時間を費やしてしまい、有害物質の工程中へ
の流入を即時に防止することは困難であ一″）た。
本発明はこうした点に鑑みてなされたもので、液体流通
管の途中に２枚の平行した赤外透過窓を有する偏平な測
定部を設け、該測定部の一方の透過窓の外方に光源とし
ての赤外線レーザを、ｔた上記測定部の他の透過窓の外
方に、前記赤外線レーザから放射され、測定部中の液体
の流路を通過した赤外線を検知するための赤外線検知器
をそれぞれ配置した構成の液体検査装置を提供せんとす
るもので、以下図面を用いて詳述する。
管の途中に２枚の平行した赤外透過窓を有する偏平な測
定部を設け、該測定部の一方の透過窓の外方に光源とし
ての赤外線レーザを、ｔた上記測定部の他の透過窓の外
方に、前記赤外線レーザから放射され、測定部中の液体
の流路を通過した赤外線を検知するための赤外線検知器
をそれぞれ配置した構成の液体検査装置を提供せんとす
るもので、以下図面を用いて詳述する。
図面は本発明に係る液体検査装置りｔ）水質検査装置の
一実施例の構造を示す模式図であって、純液体すなわち
純水を流して来る液体流通管りまシ水道管１の途中には
例えばステンレス製の、厚みｄが１０■程度の偏平な液
体検査室すなわち測定部２が設けられている。この測定
部２０両側には赤外線を透過する材料すなわちクエーハ
状のＶす：ｘン（Ｓｉ）′Ｉりるいはゲｔｖ−ｑ ＝
ラム（ｏｅ） ｏｎ光窓８ａが垂直にかつ液体の流路と
平行して設けられておシ、上記測定部２に設けられたこ
のような赤外線透光窓８の一方の外方には光源としての
赤外線レーザ４が、また測定部の他の側の赤外線透光窓
の他方の外方には、前記赤外線レーザかも放射されかつ
測定部２内を例えば矢印イ方肉に流通する液体つｔｂ純
純水管矢印口方向に通過しえ赤外線を受光検知する九め
の赤外ｉ検知器６が、それぞれ支持部材６によって固定
配置されている。
一実施例の構造を示す模式図であって、純液体すなわち
純水を流して来る液体流通管りまシ水道管１の途中には
例えばステンレス製の、厚みｄが１０■程度の偏平な液
体検査室すなわち測定部２が設けられている。この測定
部２０両側には赤外線を透過する材料すなわちクエーハ
状のＶす：ｘン（Ｓｉ）′Ｉりるいはゲｔｖ−ｑ ＝
ラム（ｏｅ） ｏｎ光窓８ａが垂直にかつ液体の流路と
平行して設けられておシ、上記測定部２に設けられたこ
のような赤外線透光窓８の一方の外方には光源としての
赤外線レーザ４が、また測定部の他の側の赤外線透光窓
の他方の外方には、前記赤外線レーザかも放射されかつ
測定部２内を例えば矢印イ方肉に流通する液体つｔｂ純
純水管矢印口方向に通過しえ赤外線を受光検知する九め
の赤外ｉ検知器６が、それぞれ支持部材６によって固定
配置されている。
一方、上記測定部の上方には液体りまシ純水を封入し、
同じく一対の対向する赤外線透光窓８ｂを備えた第１の
較正用規準上Ｎ’ｌが、また、そのさらに上方には既知
濃度の有害物質を液体つｔｂ純純水管含み、上記規準セ
Ｉｖ７と同じく一対の対向する赤外線透光窓８０を備え
た第２の較正用規準上μｓが配置されている。
同じく一対の対向する赤外線透光窓８ｂを備えた第１の
較正用規準上Ｎ’ｌが、また、そのさらに上方には既知
濃度の有害物質を液体つｔｂ純純水管含み、上記規準セ
Ｉｖ７と同じく一対の対向する赤外線透光窓８０を備え
た第２の較正用規準上μｓが配置されている。
なお９は赤外線レーザ４と赤外線検知器６との組を共通
して載置する支持台、ｌＯは該支持台９、したがって赤
外線レーザ４と赤外線検知器６との組を上下方向に平行
移動させる可動機構すなわちジヤツキである。
して載置する支持台、ｌＯは該支持台９、したがって赤
外線レーザ４と赤外線検知器６との組を上下方向に平行
移動させる可動機構すなわちジヤツキである。
またｌｌａ赤外線レーザ４を駆動する電流電源で、赤外
線レーザ４かも放射される光を断続するように駆動電流
工の断続を行う。なお点線ハで示したものは電流電源１
１からロックイン増幅器１８へ伝えられる参照信号の経
路である。
線レーザ４かも放射される光を断続するように駆動電流
工の断続を行う。なお点線ハで示したものは電流電源１
１からロックイン増幅器１８へ伝えられる参照信号の経
路である。
次に同図の動作について設問する。
液体流通管すなわち水道管ｌ中を流通する液体りま〕純
水中に含まれる有害物質の測定に際し、まず赤外線レー
ザ４からの放射光が純水だけを封入した第１の規準セ／
Ｉ／７の透光窓８′ｂを通シ、赤外線検知器５で検出さ
れるように可動機構１０を！イコン１４からの指令で動
作する屹−タＭｍの回転によって操作してこの場合の赤
外線透過強度ＩＯを測定し、その値を増幅ｌ１１２で増
幅し、ロックイン増幅器１Ｂを介したｖｋＫマイクロコ
ンピュータ（以下マイコンと略称する）１４に記憶させ
る。
水中に含まれる有害物質の測定に際し、まず赤外線レー
ザ４からの放射光が純水だけを封入した第１の規準セ／
Ｉ／７の透光窓８′ｂを通シ、赤外線検知器５で検出さ
れるように可動機構１０を！イコン１４からの指令で動
作する屹−タＭｍの回転によって操作してこの場合の赤
外線透過強度ＩＯを測定し、その値を増幅ｌ１１２で増
幅し、ロックイン増幅器１Ｂを介したｖｋＫマイクロコ
ンピュータ（以下マイコンと略称する）１４に記憶させ
る。
次に赤外線Ｖ−ザ４から放射され、赤外線検知器６で検
出されるレーザ光が有害物質を含んだ第２の規準セ／Ｉ
／８の透光窓８Ｃを通るように、上記赤外線レーザ４と
赤外線検知器６の組を移動させる。そしてこの場合に測
定される有害物質の濃度Ｃ８に対応する赤外線透過強度
工８をやは〉マイコン１４に記憶させる。これについで
赤外線レーザ４と赤外線検知器６の組を下に下げ、Ｖ−
ザ光が測定部２の透光窓８ａを通過するようにして、透
過光強度工ｒを測定する。
出されるレーザ光が有害物質を含んだ第２の規準セ／Ｉ
／８の透光窓８Ｃを通るように、上記赤外線レーザ４と
赤外線検知器６の組を移動させる。そしてこの場合に測
定される有害物質の濃度Ｃ８に対応する赤外線透過強度
工８をやは〉マイコン１４に記憶させる。これについで
赤外線レーザ４と赤外線検知器６の組を下に下げ、Ｖ−
ザ光が測定部２の透光窓８ａを通過するようにして、透
過光強度工ｒを測定する。
そしてこの場合の測定部２中に含有されている。
有害物質の未知濃度をｃｒとすると次式が成立する。
すなわち、
工８冨工ｏ”ｅｘｐ （−ａｃｓ） −−−−−（ｌａ
）Ｉｒ ｍ工ｏ ｅｘｐ （−ａｃｒ） −−−−−（
ｌｂ）ただし、上式（ｌａ）、 （ｌｂ）中のａは定
数である。
）Ｉｒ ｍ工ｏ ｅｘｐ （−ａｃｒ） −−−−−（
ｌｂ）ただし、上式（ｌａ）、 （ｌｂ）中のａは定
数である。
上記（１ａ）式、（ｌｂ）式を変形整理すれば、液体流
通管つｔｂｂ道管１中を流れる純液体つｔシ純水中の未
知なる有害物の含有量Ｏｒが次式を用いることによって
求められる。
通管つｔｂｂ道管１中を流れる純液体つｔシ純水中の未
知なる有害物の含有量Ｏｒが次式を用いることによって
求められる。
このＣ）式を使用して検出される純液体つまり純水中の
有害物質の濃度Ｏｒが所定の許容値を越えれば、マイコ
ン１４から指令を出してモータＭｌを自動的に回転せし
め、マグネティックパルプ１６を閉じるようにしておく
。かくすれば液体流通管りまシボ道管ｌ中を流通して例
えば半導体素子の製造工程中で使用される純液体つまル
純水中の有害物質は爽時間で測定でき、上記製造工程中
に有害物質が高い濃度で混入してしまうことが直ちに防
止できる。なお上記の液体検査装置は半導体素子の製造
工程以外のたとえば飲料用水道にも適用できる。
有害物質の濃度Ｏｒが所定の許容値を越えれば、マイコ
ン１４から指令を出してモータＭｌを自動的に回転せし
め、マグネティックパルプ１６を閉じるようにしておく
。かくすれば液体流通管りまシボ道管ｌ中を流通して例
えば半導体素子の製造工程中で使用される純液体つまル
純水中の有害物質は爽時間で測定でき、上記製造工程中
に有害物質が高い濃度で混入してしまうことが直ちに防
止できる。なお上記の液体検査装置は半導体素子の製造
工程以外のたとえば飲料用水道にも適用できる。
以上に述べた本発明に係る液体検査装置つｔシボ質検査
装置を用いれば、たとえは製造される半導体素子の歩留
シは大匙く向上するために実用上多大の効果が期待で色
る。
装置を用いれば、たとえは製造される半導体素子の歩留
シは大匙く向上するために実用上多大の効果が期待で色
る。
図面は本発明に係る液体検査装置の構造を示す模式図で
ある。 １：液体流通管、２：測定部、８ａ、 ８ｂ、 ８゜：
赤外線透過窓、４：赤外線レーザ、６：赤外線検知器、
６：支持部材、７；純液体つｔ、ｔｔ純水だけを封入し
た第１の規準上μ、８：有害物質を既知濃度で含有した
液体つｔ＃）純水を封入した第２の規準セル、９：支持
台、１０：可動＋１１構、１１：電流電源、１２：増幅
器、１８；ロックイン増幅器、１４：マイコン、１６：
マグネティックパルプ。
ある。 １：液体流通管、２：測定部、８ａ、 ８ｂ、 ８゜：
赤外線透過窓、４：赤外線レーザ、６：赤外線検知器、
６：支持部材、７；純液体つｔ、ｔｔ純水だけを封入し
た第１の規準上μ、８：有害物質を既知濃度で含有した
液体つｔ＃）純水を封入した第２の規準セル、９：支持
台、１０：可動＋１１構、１１：電流電源、１２：増幅
器、１８；ロックイン増幅器、１４：マイコン、１６：
マグネティックパルプ。
Claims (2)
- （１）液体流通管の途中に２枚の平行した赤外線透過窓
を有する偏平な測定部を設け、該測定部の一方の透過窓
の外方に光源としての赤外線Ｖ−ザを、また上記測定部
の他の透過窓の外方に、前記赤外線レーザから放射され
測定部内の液体の流路を通過した赤外線を検出するため
Ｏ赤外線検知器を、それぞれ配置したことを特徴とする
液体検査装置。 - （２）上記液体流通管の前記測定部と隣接して規準上μ
を配置し、かつ前記赤外線レーザと赤外線検知器との組
を、前記測定部と規準上〜との間で平行に移動可能に支
持したことを特徴とする特許請求の範囲第（１）項に記
載の液体検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11553381A JPS5817344A (ja) | 1981-07-22 | 1981-07-22 | 炭化水素燃料油添加用エチレン−酢酸ビニル共重合体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11553381A JPS5817344A (ja) | 1981-07-22 | 1981-07-22 | 炭化水素燃料油添加用エチレン−酢酸ビニル共重合体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5817344A true JPS5817344A (ja) | 1983-02-01 |
Family
ID=14664882
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11553381A Pending JPS5817344A (ja) | 1981-07-22 | 1981-07-22 | 炭化水素燃料油添加用エチレン−酢酸ビニル共重合体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5817344A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6240254U (ja) * | 1985-08-29 | 1987-03-10 | ||
| US5275895A (en) * | 1991-06-18 | 1994-01-04 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing phase-shifting mask |
| EP1916513A1 (de) | 2006-10-27 | 2008-04-30 | optek-Danulat GmbH | Inline-Photometervorrichtung und Kalibrierverfahren |
| WO2008049484A1 (de) * | 2006-10-27 | 2008-05-02 | Optek-Danulat Gmbh | Inline-photometervorrichtung und kalibrierverfahren |
-
1981
- 1981-07-22 JP JP11553381A patent/JPS5817344A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6240254U (ja) * | 1985-08-29 | 1987-03-10 | ||
| JPH0424132Y2 (ja) * | 1985-08-29 | 1992-06-05 | ||
| US5275895A (en) * | 1991-06-18 | 1994-01-04 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing phase-shifting mask |
| EP1916513A1 (de) | 2006-10-27 | 2008-04-30 | optek-Danulat GmbH | Inline-Photometervorrichtung und Kalibrierverfahren |
| WO2008049484A1 (de) * | 2006-10-27 | 2008-05-02 | Optek-Danulat Gmbh | Inline-photometervorrichtung und kalibrierverfahren |
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