JPS58171288U - エア−シヤワ−室 - Google Patents
エア−シヤワ−室Info
- Publication number
- JPS58171288U JPS58171288U JP6619182U JP6619182U JPS58171288U JP S58171288 U JPS58171288 U JP S58171288U JP 6619182 U JP6619182 U JP 6619182U JP 6619182 U JP6619182 U JP 6619182U JP S58171288 U JPS58171288 U JP S58171288U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- room
- air shower
- shower room
- side door
- dust
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
- Devices For Use In Laboratory Experiments (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は、従来のエアーシャワー室の機能を説明する図
、第２図は、この考案によるエアーシャワー室の機能を
説明する図、第３図は、この考案によるエアーシャワー
室の具体例を説明する図である。図において、１は検知
器、２はタイマー、３はクリーン装置、４はダストカウ
ンタ、５は前室側扉、６はクリーンルーム側扉である。 なお、図中同一あるいは相当部分には同一符号を付して
示しである。
、第２図は、この考案によるエアーシャワー室の機能を
説明する図、第３図は、この考案によるエアーシャワー
室の具体例を説明する図である。図において、１は検知
器、２はタイマー、３はクリーン装置、４はダストカウ
ンタ、５は前室側扉、６はクリーンルーム側扉である。 なお、図中同一あるいは相当部分には同一符号を付して
示しである。
Claims (1)
- 清浄な環境を維持する区域の前室に設けられた一個室と
、この個室に取付けられた上記区域側扉及び上記前室側
扉と、この前室側扉の開閉を検知する検知器と、この検
知器からの信号により加圧された清浄な空気を上記個室
内に所定の時間噴射し循環させるように作用する装置と
からなるエアーシャワー室において、上記装置の作動中
、エアーシャワー室内の塵埃の濃度を測定し、濃度があ
る基準以下に達した時に上記装置の動作を停止させるよ
うに作用する塵埃測定器を備えたことを特徴とするエア
ーシャワー室。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6619182U JPS58171288U (ja) | 1982-05-07 | 1982-05-07 | エア−シヤワ−室 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6619182U JPS58171288U (ja) | 1982-05-07 | 1982-05-07 | エア−シヤワ−室 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58171288U true JPS58171288U (ja) | 1983-11-15 |
Family
ID=30076081
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6619182U Pending JPS58171288U (ja) | 1982-05-07 | 1982-05-07 | エア−シヤワ−室 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58171288U (ja) |
-
1982
- 1982-05-07 JP JP6619182U patent/JPS58171288U/ja active Pending
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