JPS58165896U - イオン源磁気シ−ルド - Google Patents

イオン源磁気シ−ルド

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JPS58165896U
JPS58165896U JP6121882U JP6121882U JPS58165896U JP S58165896 U JPS58165896 U JP S58165896U JP 6121882 U JP6121882 U JP 6121882U JP 6121882 U JP6121882 U JP 6121882U JP S58165896 U JPS58165896 U JP S58165896U
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JP
Japan
Prior art keywords
magnetic shield
ion source
source magnetic
opening
roller
Prior art date
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Pending
Application number
JP6121882U
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English (en)
Inventor
成田 章司
Original Assignee
株式会社日立製作所
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Filing date
Publication date
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  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は磁気シールド開閉移動の機構部の断面図、第2
図はイオン源とイオン源磁気シールドを配置した従来の
平面図、第3図は本考案の開閉機構部の断面図である。 ・ 14・・・ユニバーサル軸受、15・・・止め金具、1
6“・・ローラー、17・・・ユニバーサル軸受の収納
金具。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. イオン源に磁気シールドを設けた中性粒子入射装置にお
    いて、イオン源磁気シールドの底面にローラーを設け、
    ユニバーサル軸受を用いた開閉ボルトを備えたことを特
    徴とするイすン源磁気シールド。
JP6121882U 1982-04-28 1982-04-28 イオン源磁気シ−ルド Pending JPS58165896U (ja)

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JP6121882U JPS58165896U (ja) 1982-04-28 1982-04-28 イオン源磁気シ−ルド

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6121882U JPS58165896U (ja) 1982-04-28 1982-04-28 イオン源磁気シ−ルド

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JPS58165896U true JPS58165896U (ja) 1983-11-04

Family

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JP6121882U Pending JPS58165896U (ja) 1982-04-28 1982-04-28 イオン源磁気シ−ルド

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