JPS5814177U - 半導体装置の電気的特性測定装置 - Google Patents
半導体装置の電気的特性測定装置Info
- Publication number
- JPS5814177U JPS5814177U JP10835881U JP10835881U JPS5814177U JP S5814177 U JPS5814177 U JP S5814177U JP 10835881 U JP10835881 U JP 10835881U JP 10835881 U JP10835881 U JP 10835881U JP S5814177 U JPS5814177 U JP S5814177U
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- JP
- Japan
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- electrical characteristics
- equipment
- measuring electrical
- semiconductor devices
- semiconductor device
- Prior art date
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- Pending
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は、従来の半導体装置の測定法を示すブロック図
である。第２図は、本考案の一実施例による半導体装置
の測定装置の一例を示すブロック図である。 １・・・・・・被測定半導体装置、２・・・・・・バッ
ファ、３・・・・・・ＡＤ変換器、４・・・・・・リフ
ァレンス、５・・・・・・デルタリファレンス、６・・
・・・・比較器、７・・・・・・判定表示、８・・・・
・・交流特性が既知なる半導体装置、９・・・・・・バ
イパスフィルタ、１０・・・・・・バンドパスフィルタ
、１１・・・・・・ローパスフィルタ、１２・・・・・
・符号変換器、１３・・・・・・加算器、１４・・・・
・・外的要因、１５・・・・・・ＡＤ変換器、１６・・
・・・・ＡＤ変換器、１７・・・・・・ＡＤ変換器。
である。第２図は、本考案の一実施例による半導体装置
の測定装置の一例を示すブロック図である。 １・・・・・・被測定半導体装置、２・・・・・・バッ
ファ、３・・・・・・ＡＤ変換器、４・・・・・・リフ
ァレンス、５・・・・・・デルタリファレンス、６・・
・・・・比較器、７・・・・・・判定表示、８・・・・
・・交流特性が既知なる半導体装置、９・・・・・・バ
イパスフィルタ、１０・・・・・・バンドパスフィルタ
、１１・・・・・・ローパスフィルタ、１２・・・・・
・符号変換器、１３・・・・・・加算器、１４・・・・
・・外的要因、１５・・・・・・ＡＤ変換器、１６・・
・・・・ＡＤ変換器、１７・・・・・・ＡＤ変換器。
Claims (1)
- 電気的特性が既知なる半導体装置の出力に、電気的変換
を施こした信号を、比較回路のリファレンス制御用信号
として用いることにより、被測定半導体装置に対する外
的要因を除去するということを特徴として有する半導体
装置の電気的特性測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10835881U JPS5814177U (ja) | 1981-07-21 | 1981-07-21 | 半導体装置の電気的特性測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10835881U JPS5814177U (ja) | 1981-07-21 | 1981-07-21 | 半導体装置の電気的特性測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5814177U true JPS5814177U (ja) | 1983-01-28 |
Family
ID=29902766
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10835881U Pending JPS5814177U (ja) | 1981-07-21 | 1981-07-21 | 半導体装置の電気的特性測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5814177U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62124131U (ja) * | 1986-01-29 | 1987-08-06 |
-
1981
- 1981-07-21 JP JP10835881U patent/JPS5814177U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62124131U (ja) * | 1986-01-29 | 1987-08-06 |
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