JPS58136258U - 研摩装置 - Google Patents

研摩装置

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Publication number
JPS58136258U
JPS58136258U JP1982033503U JP3350382U JPS58136258U JP S58136258 U JPS58136258 U JP S58136258U JP 1982033503 U JP1982033503 U JP 1982033503U JP 3350382 U JP3350382 U JP 3350382U JP S58136258 U JPS58136258 U JP S58136258U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
adhesive
workpiece
bonded
polishing equipment
leached
Prior art date
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Pending
Application number
JP1982033503U
Other languages
English (en)
Inventor
鈴木　成和
Original Assignee
株式会社東芝
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の治具部材の接着部の構造を示す断面図、
第２図はこの考案の一実施例の研摩装置を示す構成図、
第３図はその加圧加熱装置を示す構成図、第４図ａ、　
　ｂは同じ（その加圧加熱装置および研摩装置に用いら
れる治具部材を示す平面図および断面図である。 ４・・・ウェーハ（被加工物）、５・・・研摩治具（治
具部材）、６・・・接着部、８・・・加圧加熱装置、１
゜・・・多孔質金属（多孔質部材）。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 治具部材の表面に薄板状の被加工物を接着剤を用い加圧
    ・加熱装置によって接着し、この接着された被加工物の
    表面を研摩加工するようにしまた研摩装置において、上
    記治具部材の被加工物が接着される接着部を、上記接着
    剤が含浸され、上記加圧・加熱装置による加熱により上
    記含浸された接着剤を浸出させこの浸出した接着剤によ
    り上記被加工物を接着する多孔質部材で構成したことを
    特徴とする研摩装置。
JP1982033503U 1982-03-10 1982-03-10 研摩装置 Pending JPS58136258U (ja)

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JP1982033503U JPS58136258U (ja) 1982-03-10 1982-03-10 研摩装置

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JPS58136258U true JPS58136258U (ja) 1983-09-13

Family

ID=30045048

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JP1982033503U Pending JPS58136258U (ja) 1982-03-10 1982-03-10 研摩装置

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