JPS58101873U - 真空蒸着装置 - Google Patents

真空蒸着装置

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JPS58101873U
JPS58101873U JP19862081U JP19862081U JPS58101873U JP S58101873 U JPS58101873 U JP S58101873U JP 19862081 U JP19862081 U JP 19862081U JP 19862081 U JP19862081 U JP 19862081U JP S58101873 U JPS58101873 U JP S58101873U
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JP
Japan
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chamber
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vacuum deposition
deposition equipment
side terminal
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JP19862081U
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JPS599007Y2 (ja
Inventor
佐野　久義
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株式会社島津製作所
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
図面は、本考案の一実施例を示し、第１図は正面図、第
２図は一部切欠した拡大平面図、第３図は第２図におけ
る■−■線断面図、第４図は第３図におけるＡ部拡大説
明図、第５図は作用説明図である。 ２・・・チャンバ、３・・・扉、１２・・・電極、１５
゜１６・・・蒸発源、１７・・・電源、１８・・・チャ
ンバ側端子、１９・・・扉側端子。 −／′＼気ＩＡ鏝 ＋、　　／ ｊ　　　　　−ｊ＞ｄ（胡 ／２ｅ　　　　　　　　　　　　　　　３ｅＪＣ″′

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 蒸発源を加熱するための電極を、チャンバの開口部に蝶
    着した扉に支持させてなる真空蒸着装置において、前記
    チャンバの開口部に、電源に接続されたチャンバ側端子
    を隣接する。とともに、前記扉に、前記電極に接続され
    前記扉を閉成した場合に前記チャンバ側端子に接触する
    扉側端子を設けたことを特徴とする真空蒸着装置。
JP19862081U 1981-12-30 1981-12-30 真空蒸着装置 Expired JPS599007Y2 (ja)

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JP19862081U JPS599007Y2 (ja) 1981-12-30 1981-12-30 真空蒸着装置

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Publication Number Publication Date
JPS58101873U true JPS58101873U (ja) 1983-07-11
JPS599007Y2 JPS599007Y2 (ja) 1984-03-21

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ID=30111791

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JPS599007Y2 (ja) 1984-03-21

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