JPS58101872U - 真空蒸着装置 - Google Patents
真空蒸着装置Info
- Publication number
- JPS58101872U JPS58101872U JP19861981U JP19861981U JPS58101872U JP S58101872 U JPS58101872 U JP S58101872U JP 19861981 U JP19861981 U JP 19861981U JP 19861981 U JP19861981 U JP 19861981U JP S58101872 U JPS58101872 U JP S58101872U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- vacuum deposition
- door
- deposition equipment
- opening
- Prior art date
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- Granted
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来例を示す概略平断面図である。第２図〜第
４図は本考案の一実施例を示し、第２図は斜視図、第３
図は一部切欠した平面図、第４図は第３図におけるＩＶ
−ＩＶ線断面図である。 ２・・・チャンバ、３・・・扉、５・・・蒸着空間。
４図は本考案の一実施例を示し、第２図は斜視図、第３
図は一部切欠した平面図、第４図は第３図におけるＩＶ
−ＩＶ線断面図である。 ２・・・チャンバ、３・・・扉、５・・・蒸着空間。
Claims (1)
- 開口部を有したチャンバと、このチャンバの開”
口部に開閉可能に蝶着した扉とを具備してなる真空蒸
着装置において、前記チャンバと前記扉とをそれぞれ半
円筒体状のものにし、前記扉を閉成した場合に該扉と前
記チャンバとによって円筒状の蒸着空間が形成されるよ
うに構成したことを特徴とする真空蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19861981U JPS599006Y2 (ja) | 1981-12-30 | 1981-12-30 | 真空蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19861981U JPS599006Y2 (ja) | 1981-12-30 | 1981-12-30 | 真空蒸着装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58101872U true JPS58101872U (ja) | 1983-07-11 |
| JPS599006Y2 JPS599006Y2 (ja) | 1984-03-21 |
Family
ID=30111790
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19861981U Expired JPS599006Y2 (ja) | 1981-12-30 | 1981-12-30 | 真空蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS599006Y2 (ja) |
-
1981
- 1981-12-30 JP JP19861981U patent/JPS599006Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS599006Y2 (ja) | 1984-03-21 |
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