JPS57145167U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS57145167U JPS57145167U JP2933181U JP2933181U JPS57145167U JP S57145167 U JPS57145167 U JP S57145167U JP 2933181 U JP2933181 U JP 2933181U JP 2933181 U JP2933181 U JP 2933181U JP S57145167 U JPS57145167 U JP S57145167U
- Authority
- JP
- Japan
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2933181U JPS57145167U (en:Method) | 1981-03-03 | 1981-03-03 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2933181U JPS57145167U (en:Method) | 1981-03-03 | 1981-03-03 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57145167U true JPS57145167U (en:Method) | 1982-09-11 |
Family
ID=29826925
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2933181U Pending JPS57145167U (en:Method) | 1981-03-03 | 1981-03-03 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS57145167U (en:Method) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020134116A (ja) * | 2019-02-26 | 2020-08-31 | 株式会社東芝 | 冷却装置、その冷却装置を含む冷却システム、及び、その冷却システムを含むアッセンブリ |
| JP2022526980A (ja) * | 2019-04-08 | 2022-05-27 | ラム リサーチ コーポレーション | プラズマ系反応器のための冷却 |
-
1981
- 1981-03-03 JP JP2933181U patent/JPS57145167U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020134116A (ja) * | 2019-02-26 | 2020-08-31 | 株式会社東芝 | 冷却装置、その冷却装置を含む冷却システム、及び、その冷却システムを含むアッセンブリ |
| JP2022526980A (ja) * | 2019-04-08 | 2022-05-27 | ラム リサーチ コーポレーション | プラズマ系反応器のための冷却 |