JPS505021B1 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS505021B1 JPS505021B1 JP12888470A JP12888470A JPS505021B1 JP S505021 B1 JPS505021 B1 JP S505021B1 JP 12888470 A JP12888470 A JP 12888470A JP 12888470 A JP12888470 A JP 12888470A JP S505021 B1 JPS505021 B1 JP S505021B1
- Authority
- JP
- Japan
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Formation Of Insulating Films (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12888470A JPS505021B1 (ja) | 1970-12-28 | 1970-12-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12888470A JPS505021B1 (ja) | 1970-12-28 | 1970-12-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS505021B1 true JPS505021B1 (ja) | 1975-02-27 |
Family
ID=14995722
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12888470A Pending JPS505021B1 (ja) | 1970-12-28 | 1970-12-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS505021B1 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58120850U (ja) * | 1982-02-09 | 1983-08-17 | 川崎重工業株式会社 | スロツトルバルブの開度規制装置 |
| JP2015149410A (ja) * | 2014-02-06 | 2015-08-20 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法、前処理装置、後処理装置、基板処理システムおよび記憶媒体 |
| WO2016084596A1 (ja) * | 2014-11-28 | 2016-06-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法、基板処理装置および記憶媒体 |
| JP2017041658A (ja) * | 2012-08-07 | 2017-02-23 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板洗浄装置、基板洗浄システム、基板洗浄方法および記憶媒体 |
| JP2017112239A (ja) * | 2015-12-17 | 2017-06-22 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法、基板処理システム、基板処理装置、及び基板処理プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 |
-
1970
- 1970-12-28 JP JP12888470A patent/JPS505021B1/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58120850U (ja) * | 1982-02-09 | 1983-08-17 | 川崎重工業株式会社 | スロツトルバルブの開度規制装置 |
| JP2017041658A (ja) * | 2012-08-07 | 2017-02-23 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板洗浄装置、基板洗浄システム、基板洗浄方法および記憶媒体 |
| JP2015149410A (ja) * | 2014-02-06 | 2015-08-20 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法、前処理装置、後処理装置、基板処理システムおよび記憶媒体 |
| WO2016084596A1 (ja) * | 2014-11-28 | 2016-06-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法、基板処理装置および記憶媒体 |
| JP2016103595A (ja) * | 2014-11-28 | 2016-06-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法、基板処理装置および記憶媒体 |
| JP2017112239A (ja) * | 2015-12-17 | 2017-06-22 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法、基板処理システム、基板処理装置、及び基板処理プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 |