JPS4925951A - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS4925951A JPS4925951A JP6535972A JP6535972A JPS4925951A JP S4925951 A JPS4925951 A JP S4925951A JP 6535972 A JP6535972 A JP 6535972A JP 6535972 A JP6535972 A JP 6535972A JP S4925951 A JPS4925951 A JP S4925951A
- Authority
- JP
- Japan
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6535972A JPS5146719B2 (cg-RX-API-DMAC10.html) | 1972-06-29 | 1972-06-29 | |
| US372694A US3869211A (en) | 1972-06-29 | 1973-06-22 | Instrument for measuring thickness of thin film |
| DE2333326A DE2333326C3 (de) | 1972-06-29 | 1973-06-29 | Einrichtung zum Messen der Dicke eines auf einer Unterlage abgelagerten dünnen Films |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6535972A JPS5146719B2 (cg-RX-API-DMAC10.html) | 1972-06-29 | 1972-06-29 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS4925951A true JPS4925951A (cg-RX-API-DMAC10.html) | 1974-03-07 |
| JPS5146719B2 JPS5146719B2 (cg-RX-API-DMAC10.html) | 1976-12-10 |
Family
ID=13284672
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6535972A Expired JPS5146719B2 (cg-RX-API-DMAC10.html) | 1972-06-29 | 1972-06-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5146719B2 (cg-RX-API-DMAC10.html) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51145333A (en) * | 1975-06-09 | 1976-12-14 | Shuzo Hattori | Manufacturing method of multi-layer dielectric film reflector |
| JPS5852475A (ja) * | 1981-09-24 | 1983-03-28 | Ulvac Corp | 薄膜形成装置における薄膜監視測定方法およびその装置 |
| JP2008504291A (ja) * | 2004-06-24 | 2008-02-14 | バーテックス ファーマシューティカルズ インコーポレイテッド | Ａｔｐ結合カセットトランスポーターのモジュレーター |
| JP5189711B1 (ja) * | 2012-02-15 | 2013-04-24 | 株式会社シンクロン | 光学式膜厚計測装置及び光学式膜厚計測装置を用いた薄膜形成装置 |
-
1972
- 1972-06-29 JP JP6535972A patent/JPS5146719B2/ja not_active Expired
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51145333A (en) * | 1975-06-09 | 1976-12-14 | Shuzo Hattori | Manufacturing method of multi-layer dielectric film reflector |
| JPS5852475A (ja) * | 1981-09-24 | 1983-03-28 | Ulvac Corp | 薄膜形成装置における薄膜監視測定方法およびその装置 |
| JP2008504291A (ja) * | 2004-06-24 | 2008-02-14 | バーテックス ファーマシューティカルズ インコーポレイテッド | Ａｔｐ結合カセットトランスポーターのモジュレーター |
| JP2012062319A (ja) * | 2004-06-24 | 2012-03-29 | Vertex Pharmaceuticals Inc | Ａｔｐ結合カセットトランスポーターのモジュレーター |
| JP2012107069A (ja) * | 2004-06-24 | 2012-06-07 | Vertex Pharmaceuticals Inc | Ａｔｐ結合カセットトランスポーターのモジュレーター |
| JP2014156468A (ja) * | 2004-06-24 | 2014-08-28 | Vertex Pharmaceuticals Inc | Ａｔｐ結合カセットトランスポーターのモジュレーター |
| JP5189711B1 (ja) * | 2012-02-15 | 2013-04-24 | 株式会社シンクロン | 光学式膜厚計測装置及び光学式膜厚計測装置を用いた薄膜形成装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5146719B2 (cg-RX-API-DMAC10.html) | 1976-12-10 |