JPS4627644B1 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS4627644B1 JPS4627644B1 JP2382868A JP2382868A JPS4627644B1 JP S4627644 B1 JPS4627644 B1 JP S4627644B1 JP 2382868 A JP2382868 A JP 2382868A JP 2382868 A JP2382868 A JP 2382868A JP S4627644 B1 JPS4627644 B1 JP S4627644B1
- Authority
- JP
- Japan
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Heat Treatments In General, Especially Conveying And Cooling (AREA)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2382868A JPS4627644B1 (enExample) | 1968-04-10 | 1968-04-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2382868A JPS4627644B1 (enExample) | 1968-04-10 | 1968-04-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS4627644B1 true JPS4627644B1 (enExample) | 1971-08-11 |
Family
ID=77553066
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2382868A Pending JPS4627644B1 (enExample) | 1968-04-10 | 1968-04-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS4627644B1 (enExample) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021085066A (ja) * | 2019-11-27 | 2021-06-03 | 株式会社神戸製鋼所 | 箔基材の真空熱処理装置、箔基材の熱処理方法 |
| JP2023538027A (ja) * | 2020-08-20 | 2023-09-06 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 少なくとも１つの加熱アセンブリを有する材料堆積装置並びに基板を予加熱及び／又は後加熱するための方法 |
-
1968
- 1968-04-10 JP JP2382868A patent/JPS4627644B1/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021085066A (ja) * | 2019-11-27 | 2021-06-03 | 株式会社神戸製鋼所 | 箔基材の真空熱処理装置、箔基材の熱処理方法 |
| WO2021106439A1 (ja) * | 2019-11-27 | 2021-06-03 | 株式会社神戸製鋼所 | 箔基材の真空熱処理装置、箔基材の熱処理方法 |
| JP2023538027A (ja) * | 2020-08-20 | 2023-09-06 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 少なくとも１つの加熱アセンブリを有する材料堆積装置並びに基板を予加熱及び／又は後加熱するための方法 |