JPH117303A - Driving controller for servo system - Google Patents
Driving controller for servo systemInfo
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- JPH117303A JPH117303A JP9159519A JP15951997A JPH117303A JP H117303 A JPH117303 A JP H117303A JP 9159519 A JP9159519 A JP 9159519A JP 15951997 A JP15951997 A JP 15951997A JP H117303 A JPH117303 A JP H117303A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、モータ等の回転
体の回転速度をマイナーループにより指令値に追従させ
ることを目標とするサーボ系の駆動制御装置に関するも
のである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a drive control device for a servo system which aims at causing a rotation speed of a rotating body such as a motor to follow a command value by a minor loop.
【0002】[0002]
【従来の技術】図8は従来のサーボ系の駆動制御装置の
ブロック線図である。図8において、3は比例ゲインK
Vを示すブロック、4はフィルタを示すブロック、5は
トルク定数TMを示すブロック、6は慣性(イナーシ
ャ)JMを有する回転体としてのモータ(例えばダイレ
クト・ドライブ・モータが考えられる)を示すブロッ
ク、8はモータの回転位置を算出する積分器を示すブロ
ック、9はモータと負荷との間の剛性KLを示すブロッ
ク、10は負荷を示すブロック、11は負荷の位置を算
出する積分器を示すブロックである。2は比例ゲインK
V(ブロック3)及びフィルタ(ブロック4)を有する
速度補償器である。12はブロック6が示すモータの近
傍に取り付けられた速度算出手段としての速度検出器に
より検出されたモータの回転速度を示すモータ速度信号
である。なお、ブロック6にはモータ及び速度検出器が
含まれるとして説明する。1は比例ゲインKV(ブロッ
ク3)とフィルタ(ブロック4)とトルク定数TM(ブ
ロック5)とモータ(ブロック6)とモータ速度信号1
2とを含み構成される速度のマイナーループを示す。7
はモータ及び速度検出器(ブロック6)と積分器(ブロ
ック8)と剛性KL(ブロック9)と負荷(ブロック1
0)とを含み構成される構造物モデルを示す。また、1
a,7a,7bは減算器である。なお、図6において
は、電流ループは簡略化のため省略している。また、図
6においては、制御対象である構造物モデル7の運動方
程式を伝達関数の形式で表している。2. Description of the Related Art FIG. 8 is a block diagram of a conventional servo drive control device. In FIG. 8, 3 is a proportional gain K
V indicates a block, 4 indicates a filter, 5 indicates a torque constant T M , and 6 indicates a motor as a rotating body having inertia (inertia) J M (for example, a direct drive motor can be considered). block, block 8 indicating the integrator for calculating the rotational position of the motor, 9 blocks indicating rigidity K L between the motor and the load, block showing the load 10, 11 is an integrator which calculates the position of the load It is a block showing. 2 is proportional gain K
V (block 3) and velocity compensator with filter (block 4). Reference numeral 12 denotes a motor speed signal indicating the rotation speed of the motor detected by a speed detector serving as speed calculation means attached near the motor indicated by the block 6. It is assumed that the block 6 includes a motor and a speed detector. 1 is a proportional gain K V (block 3), a filter (block 4), a torque constant T M (block 5), a motor (block 6), and a motor speed signal 1.
2 illustrates a configured speed minor loop including: 7
Are the motor and speed detector (block 6), the integrator (block 8), the rigidity K L (block 9), and the load (block 1).
0) is shown. Also, 1
a, 7a and 7b are subtractors. In FIG. 6, the current loop is omitted for simplification. In FIG. 6, the equation of motion of the structure model 7 to be controlled is represented in the form of a transfer function.
【0003】次に動作について説明する。速度のマイナ
ーループ1において、速度のマイナーループ1の入力値
である速度指令信号と、ブロック6に含まれる速度検出
器により検出されたモータ速度信号12とが減算器1a
により比較され、その誤差が計算されて速度補償器2に
与えられる。この速度補償器2に与えらた誤差は比例ゲ
インKV(ブロック3)によりP補償(比例させる補
償)され、フィルタ(ブロック4)にて共振ピークに対
する補償をされた後、電流指令信号としてトルク定数T
M(ブロック5)が乗じられ、構造物モデル7の入力ト
ルク信号となる。なお、速度検出器が備えられていない
場合は、モータに取り付けられたエンコーダからの位置
検出信号を計算機などで微分してモータの回転速度を算
出するように構成しても良い。Next, the operation will be described. In the speed minor loop 1, a speed command signal which is an input value of the speed minor loop 1 and a motor speed signal 12 detected by a speed detector included in the block 6 are subtracted by a subtracter 1a.
And the error is calculated and given to the speed compensator 2. The error given to the speed compensator 2 is P-compensated (compensated for proportionally) by a proportional gain K V (block 3) and compensated for a resonance peak by a filter (block 4). Constant T
M (block 5) is multiplied to obtain an input torque signal of the structure model 7. When a speed detector is not provided, a configuration may be adopted in which a position detection signal from an encoder attached to the motor is differentiated by a computer or the like to calculate the rotation speed of the motor.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】従来のサーボ系の駆動
制御装置は以上のように構成されているので、例えば被
駆動制御対象として減速器のないダイレクト・ドライブ
・モータを用いた構造物の制御の場合、モータの慣性J
Mが構造物の慣性JLに比べ、十分大きくない場合、共振
点と反共振点が離れ、共振ピークが高くなり、むだ時間
による位相遅れと相まって、制御系を安定させるのが困
難となる際に、構造物モデルの共振ピークの周波数に合
うように、速度補償器にフィルタ(主にノッチフィル
タ)を設けて、ピークゲインを落とすことが必要であっ
た。よって、共振ピークの逆特性に近似したノッチフィ
ルタを最適設定しなければならず、ノッチフィルタの特
性を決定するために共振周波数を推定または測定するこ
とが必要で、また、共振周波数は構造物の姿勢等により
変化する場合があり、サーボ系の応答帯域を上げたい場
合、そのフィルタの最適設定が困難となるなどの問題点
があった。Since the conventional servo drive control device is constructed as described above, for example, control of a structure using a direct drive motor without a speed reducer as a controlled object to be driven. The motor inertia J
If M is not sufficiently large compared to the inertia J L of the structure, the resonance point and the anti-resonance point are separated, the resonance peak becomes high, and it becomes difficult to stabilize the control system due to the phase delay due to the dead time. In addition, it is necessary to provide a filter (mainly a notch filter) in the speed compensator so as to match the frequency of the resonance peak of the structure model to reduce the peak gain. Therefore, a notch filter that approximates the inverse characteristic of the resonance peak must be optimally set, and it is necessary to estimate or measure the resonance frequency in order to determine the characteristic of the notch filter. In some cases, the position of the filter changes depending on the posture, and when it is desired to increase the response band of the servo system, there is a problem that it is difficult to optimally set the filter.
【0005】この発明は上記のような問題点を解決する
ためになされたもので、モータ等の回転体と、この回転
体により制御される構造物との共振ピークを下げるため
のノッチフィルタ等を設ける必要がなく、サーボ系の応
答帯域内での特性を変化させずに回転体と構造物との共
振点と反共振点を近づけて、結果として共振ピークを下
げ、安定なサーボ系を得ることができるサーボ系の駆動
制御装置を提供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and includes a notch filter or the like for lowering a resonance peak between a rotating body such as a motor and a structure controlled by the rotating body. There is no need to provide, and the resonance point and anti-resonance point of the rotating body and the structure are brought close to each other without changing the characteristics within the response band of the servo system, resulting in lowering the resonance peak and obtaining a stable servo system It is an object of the present invention to provide a servo-system drive control device that can perform the above-described operations.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】第1の発明は、回転体の
加速度に基づいて、サーボ系の応答帯域内では上記回転
体の慣性を変えず、上記回転体と、この回転体により制
御される構造物との共振点を含むサーボ系の応答帯域外
では上記回転体の等価慣性を増加させるように制御する
ことを特徴とするものである。According to a first aspect of the present invention, the inertia of the rotating body is not changed within the response band of the servo system based on the acceleration of the rotating body, and the rotating body and the rotating body are controlled by the rotating body. Outside the response band of the servo system including the resonance point with the structure, the control is performed so as to increase the equivalent inertia of the rotating body.
【0007】第2の発明は、比例ゲインによるP補償を
行い回転体(ブロック18中のモータ)の回転速度を補
償するための速度補償手段(速度補償器17)と、上記
回転体の回転速度を算出し上記速度補償手段にフィード
バックする速度算出手段(ブロック14の積分器)と、
上記回転体の加速度を算出する加速度算出手段(ブロッ
ク18中の加速度検出器)と、上記加速度算出手段で算
出された加速度に基づいて、サーボ系の応答帯域内では
上記回転体の慣性を変えず、上記回転体と、この回転体
により制御される構造物(構造物モデル7)との共振点
を含むサーボ系の応答帯域外では上記回転体の等価慣性
を増加させるように制御するための慣性制御手段(ブロ
ック13の伝達関数)とを備えたことを特徴とするもの
である。According to a second aspect of the present invention, there is provided a speed compensating means (speed compensator 17) for compensating the rotational speed of the rotating body (the motor in the block 18) by performing P compensation by a proportional gain, and a rotating speed of the rotating body. A speed calculating means (integrator of block 14) for calculating and feeding back to the speed compensating means;
An acceleration calculating means (acceleration detector in block 18) for calculating the acceleration of the rotating body; and an inertia of the rotating body in a response band of the servo system based on the acceleration calculated by the acceleration calculating means. Outside the response band of the servo system including the resonance point between the rotating body and a structure controlled by the rotating body (structure model 7), the inertia for controlling to increase the equivalent inertia of the rotating body. Control means (the transfer function of the block 13).
【0008】第3の発明は、比例ゲインによるP補償を
行い回転体(ブロック6中のモータ)の回転速度を補償
するための速度補償手段(速度補償器17)と、上記回
転体の回転速度を算出し上記速度補償手段にフィードバ
ックする速度算出手段(ブロック6中の速度検出器)
と、上記速度算出手段で算出された回転速度から加速度
を求め、この加速度に基づいて、サーボ系の応答帯域内
では上記回転体の慣性を変えず、上記回転体と、この回
転体により制御される構造物(構造物モデル7)との共
振点を含むサーボ系の応答帯域外では上記回転体の等価
慣性を増加させるように制御するための慣性制御手段
(ブロック16の微分要素と伝達関数の積)とを備えた
ことを特徴とするものである。According to a third aspect of the present invention, there is provided a speed compensating means (speed compensator 17) for compensating the rotational speed of the rotating body (the motor in the block 6) by performing P compensation by a proportional gain, and a rotating speed of the rotating body. Speed calculating means (speed detector in block 6) for calculating the speed and feeding it back to the speed compensating means
The acceleration is obtained from the rotation speed calculated by the speed calculation means, and based on the acceleration, the inertia of the rotation body is not changed within the response band of the servo system, and the rotation is controlled by the rotation body and the rotation body. Outside the response band of the servo system including the resonance point with the structure (structure model 7), the inertia control means (the differential element of the block 16 and the transfer function of the transfer function) for controlling so as to increase the equivalent inertia of the rotating body. (Product).
【0009】第4の発明は、第2の発明における慣性制
御手段として、加速度算出手段(ブロック18中の加速
度検出器)で算出された加速度を入力し、また、サーボ
系の周波数特性を示す曲線の折れ点の周波数に基づいて
算出される伝達関数を含むことを特徴とするものであ
る。According to a fourth aspect of the present invention, as the inertial control means in the second aspect, the acceleration calculated by the acceleration calculating means (the acceleration detector in the block 18) is inputted, and a curve representing the frequency characteristic of the servo system is provided. And a transfer function calculated on the basis of the frequency of the break point.
【0010】第5の発明は、第3の発明における慣性制
御手段として、速度算出手段(ブロック6中の速度検出
器)で算出された回転速度を入力して加速度を求め、ま
た、サーボ系の周波数特性を示す曲線の折れ点の周波数
に基づいて算出される伝達関数を含むことを特徴とする
ものである。According to a fifth aspect of the present invention, as the inertial control means in the third aspect, the acceleration is obtained by inputting the rotation speed calculated by the speed calculating means (the speed detector in the block 6). It is characterized by including a transfer function calculated based on the frequency at the break point of the curve showing the frequency characteristic.
【0011】第6の発明は、第4又は第5の発明におけ
る伝達関数を発生させる構成要素として、サーボ系の応
答帯域外のある一定の周波数以上において応答するよう
なハイパスフィルタを用いたことを特徴とするものであ
る。According to a sixth aspect, in the fourth or fifth aspect, a high-pass filter which responds at a certain frequency or more outside a response band of a servo system is used as a component for generating a transfer function. It is a feature.
【0012】[0012]
実施の形態1.以下、この発明の実施の形態1を図に基
づいて説明する。図1は本実施の形態1に係るサーボ系
の駆動制御装置のブロック線図である。図1において、
3は比例ゲインKVを示すブロック、17はブロック3
のゲインKVを有する速度補償手段としての速度補償
器、5はトルク定数TMを示すブロック、18は慣性JM
を有する被駆動制御対象(回転体)としてのモータ(一
例としてダイレクト・ドライブ・モータが考えられる
が、本発明はこれに限定されない)を示すブロックであ
る。なお、このブロック18には、そのモータ及び加速
度算出手段としての加速度検出器が含まれているとして
説明する。14はモータの回転速度を算出し速度補償器
2にフィードバックする速度算出手段としての積分器を
示すブロック、8はモータの回転位置を算出する積分器
を示すブロック、9はモータと負荷との間の剛性KLを
示すブロック、10は慣性JLの負荷を示すブロック、
11は負荷の位置を算出する積分器を示すブロック、1
2はモータ速度信号Y(S)である。Embodiment 1 FIG. Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram of a drive control device for a servo system according to the first embodiment. In FIG.
3 is a block showing the proportional gain K V , 17 is a block 3
A speed compensator as speed compensating means having a gain K V of 5, a block indicating a torque constant T M, and an inertia J M
Is a block showing a motor (a direct drive motor can be considered as an example, but the present invention is not limited to this) as a driven control object (rotating body) having It is assumed that the block 18 includes the motor and an acceleration detector as acceleration calculation means. 14 is a block showing an integrator as a speed calculating means for calculating the rotation speed of the motor and feeding it back to the speed compensator 2, 8 is a block showing an integrator for calculating the rotation position of the motor, and 9 is a block between the motor and the load. A block indicating the rigidity K L of the block, 10 a block indicating the load of the inertia J L ,
11 is a block showing an integrator for calculating the position of the load, 1
2 is a motor speed signal Y (S).
【0013】13はブロック18に含まれる加速度検出
器からのモータ加速度信号15に基づいて、サーボ系の
応答帯域内ではモータの慣性を変えず、モータと、この
モータにより駆動される構造物との共振点を含むサーボ
系の応答帯域外ではモータの等価慣性を増加させるよう
に制御するための慣性制御手段としての伝達関数G
(S)を示すブロックである。1aは入力値である速度
指令信号U(S)とモータ速度信号12との差を算出す
る減算器、16は速度補償器17の出力とブロック13
の出力との差を算出する減算器、7aはブロック15の
出力とブロック9の出力との差を算出する減算器、7b
はブロック8の出力とブロック11の出力との差を算出
する減算器である。Reference numeral 13 denotes a motor and a structure driven by the motor which do not change the inertia of the motor within a response band of the servo system based on the motor acceleration signal 15 from the acceleration detector included in the block 18. A transfer function G as an inertia control means for controlling so as to increase the equivalent inertia of the motor outside the response band of the servo system including the resonance point.
It is a block showing (S). 1a is a subtractor for calculating a difference between a speed command signal U (S) as an input value and a motor speed signal 12, 16 is an output of a speed compensator 17 and a block 13
A subtractor for calculating the difference between the output of the block 15 and the output of the block 9; 7b
Is a subtractor for calculating the difference between the output of the block 8 and the output of the block 11.
【0014】1は減算器1a,1b,7aと速度補償器
17とトルク定数TM(ブロック5)とモータ及び加速
度検出器(ブロック18)と積分器(ブロック14)と
伝達関数(ブロック13)とを含み構成される速度のマ
イナーループを示す。この速度のマイナーループ1はブ
ロック13からの信号を電流指令値にフィードバックし
ている。7はモータ及び加速度検出器(ブロック18)
と積分器(ブロック14)と積分器(ブロック8)と減
算器7a,7bと剛性KL(ブロック9)と負荷(ブロ
ック10)と積分器(ブロック11)とを含み構成され
る構造物モデルを示す。1 is a subtractor 1a, 1b, 7a, a speed compensator 17, a torque constant T M (block 5), a motor and acceleration detector (block 18), an integrator (block 14), and a transfer function (block 13). And a speed minor loop comprising: The minor loop 1 of this speed feeds back the signal from the block 13 to the current command value. 7 is a motor and acceleration detector (block 18)
An integrator (block 14) and an integrator (block 8) subtractor 7a, 7b and rigidity K L (block 9) and the structure model consisting comprises loading a (block 10) and an integrator (block 11) Is shown.
【0015】次に動作について説明する。速度のマイナ
ーループ1において、速度のマイナーループ1の入力値
である速度指令信号U(S)は、減算器1aにより積分
器(ブロック14)からのモータ速度信号12と比較さ
れ、その誤差が計算されて速度補償器17に与えられ
る。この速度補償器2に与えられた誤差は、比例ゲイン
Kv(ブロック3)によりP補償された後、電流指令信
号となる。この電流指令信号は、ブロック18に含ま
れ、モータの近傍に取り付けられた加速度検出器により
検出されたモータ加速度信号15にブロック13の伝達
関数G(S)を乗じた信号と減算器1bにて比較され、
その誤差が計算され、次に、その誤差にトルク定数TM
(ブロック5)を乗じて、構造物モデル7の入力トルク
信号となる。Next, the operation will be described. In the speed minor loop 1, the speed command signal U (S), which is the input value of the speed minor loop 1, is compared with the motor speed signal 12 from the integrator (block 14) by the subtracter 1a, and the error is calculated. The result is supplied to the speed compensator 17. The error given to the speed compensator 2 is P-compensated by the proportional gain Kv (block 3), and becomes a current command signal. This current command signal is included in a block 18, a signal obtained by multiplying a motor acceleration signal 15 detected by an acceleration detector attached near the motor by a transfer function G (S) of the block 13 and a subtractor 1 b. Are compared,
The error is calculated, and the error is then added to the torque constant TM
(Block 5) to obtain an input torque signal of the structure model 7.
【0016】このように本実施の形態1では、モータの
近傍に取り付けられた加速度検出器により、モータ加速
度を検出し、この加速度に伝達関数G(S)を乗じた信
号を電流指令信号にフィードバックする速度のマイナー
ループ1を備えている。伝達関数G(S)は、サーボ制
御系のモータと、このモータにより制御される構造物と
の共振を回避するために、モータの慣性を変えずに、モ
ータの等価慣性を変えるためのものであり、例えばサー
ボ系の応答帯域内では応答が小さく、サーボ系の応答帯
域外(応答帯域よりも高域)のある一定の周波数W0以
上において応答するようなハイパスフィルタを用いるこ
とにより実現される。このような伝達関数G(S)より
出力される信号を電流指令信号にフィードバックするこ
とにより、周波数W0以上の高域側においてはモータの
等価慣性を増すことが可能となり、これによりモータと
構造物との共振点と反共振点とが近くなり、結果として
共振ピークを下げ、安定なサーボ系を得ることができ
る。As described above, in the first embodiment, a motor acceleration is detected by the acceleration detector attached near the motor, and a signal obtained by multiplying the acceleration by the transfer function G (S) is fed back to the current command signal. It has a minor loop 1 with a speed that is high. The transfer function G (S) is for changing the equivalent inertia of the motor without changing the inertia of the motor in order to avoid resonance between the motor of the servo control system and a structure controlled by this motor. For example, this is realized by using a high-pass filter that has a small response within the response band of the servo system and responds at a certain frequency W0 or higher outside the response band (higher than the response band) of the servo system. By feeding back the signal output from the transfer function G (S) to the current command signal, it is possible to increase the equivalent inertia of the motor on the high frequency side of the frequency W0 or higher. Becomes closer to the anti-resonance point, and as a result, the resonance peak is lowered, and a stable servo system can be obtained.
【0017】例えば、一定の周波数(後述する折れ点)
W0(100rad/sec)以上において応答するよ
うなハイパスフィルタを用いたときの伝達関数G(S)
は、For example, a fixed frequency (a break point described later)
Transfer function G (S) when using a high-pass filter that responds above W0 (100 rad / sec)
Is
【0018】[0018]
【数1】 (Equation 1)
【0019】となる。また、制御対象の共振周波数W1
と周波数W0とサーボ系の応答帯域内の周波数(設計
値)W2との大小関係はW1>W0>W2となる。即
ち、## EQU1 ## Further, the resonance frequency W1 of the control object
And the frequency W0 and the frequency (design value) W2 in the response band of the servo system are W1>W0> W2. That is,
【0020】[0020]
【数2】 (Equation 2)
【0021】となる。但し、伝達関数G(S)は1次の
ハイパスと限定しておらず、サーボ系の応答帯域より高
域で、等価慣性を増す特性を持つものであれば良い。## EQU1 ## However, the transfer function G (S) is not limited to the first-order high-pass, but may be any as long as it is higher than the response band of the servo system and has a characteristic of increasing equivalent inertia.
【0022】図2は、上記式(1)に示した伝達関数G
(S)の周波数特性を示すボード線図である。図2にお
いて、21はゲイン曲線を示し、この場合は傾き+20
dB/decの式(1)の伝達関数G(S)を示す。2
2は伝達関数G(S)に対応する位相曲線をしめす。FIG. 2 shows the transfer function G shown in the above equation (1).
It is a Bode diagram which shows the frequency characteristic of (S). In FIG. 2, reference numeral 21 denotes a gain curve. In this case, the slope is +20.
9 shows the transfer function G (S) of the equation (1) of dB / dec. 2
2 indicates a phase curve corresponding to the transfer function G (S).
【0023】図3は図1中の伝達関数G(S)及びモー
タ加速度信号をカットしたサーボ系の周波数特性を示す
ボード線図である。図3において、31はゲイン曲線を
示し、このゲイン曲線31は、低周波域では構造物モデ
ルに含まれるばねは剛性とみなせるので、単純な慣性J
M+JLを持つ系に比例ゲイン補償を含んだ特性となる。
ゲイン曲線31における傾き−20dB/decでのゲ
インは1rad/secにおいてFIG. 3 is a Bode diagram showing frequency characteristics of the servo system in which the transfer function G (S) and the motor acceleration signal in FIG. 1 have been cut. In FIG. 3, reference numeral 31 denotes a gain curve. The gain curve 31 has a simple inertia J since a spring included in the structure model can be regarded as rigid in a low frequency range.
The inclusive characteristic proportional gain compensation systems with M + J L.
The gain at a slope of -20 dB / dec in the gain curve 31 is 1 rad / sec.
【0024】[0024]
【数3】 (Equation 3)
【0025】となる。また、ゲイン曲線31の点31a
は共振点を示し、この共振点31aは## EQU1 ## Also, the point 31a of the gain curve 31
Indicates a resonance point, and the resonance point 31a is
【0026】[0026]
【数4】 (Equation 4)
【0027】となる。また、反共振点31bは## EQU1 ## The anti-resonance point 31b is
【0028】[0028]
【数5】 (Equation 5)
【0029】となる。このゲイン曲線31は、高周波域
ではばね定数はゼロとみなせるので、単純な慣性JMを
持つ系に比例ゲイン補償を含んだ特性となる。高周波域
のゲイン曲線31における傾き−20dB/decでの
ゲインは1rad/secにおいて## EQU1 ## The gain curve 31, the spring constant in the high frequency range, so can be regarded as zero, the inclusive characteristic proportional gain compensation systems with simple inertia J M. The gain at a slope of −20 dB / dec in the gain curve 31 in the high frequency range is 1 rad / sec.
【0030】[0030]
【数6】 (Equation 6)
【0031】となる。また、図3において、32はゲイ
ン曲線31に対応する位相曲線を示す。## EQU1 ## In FIG. 3, reference numeral 32 denotes a phase curve corresponding to the gain curve 31.
【0032】図4は図1に示すブロック線図を次の図5
及び図6に示すようなブロック線図に変形した場合に得
られる伝達関数によるゲイン曲線及び位相曲線を示すボ
ード線図である。まず、図1に示すブロック線図を図5
に示すように変形し、更に図6に示すように変形する。
図6において、61で示す部分を遮断した場合、62で
示す部分の伝達関数はFIG. 4 is a block diagram shown in FIG.
FIG. 7 is a Bode diagram showing a gain curve and a phase curve according to a transfer function obtained when the block diagram is transformed into a block diagram as shown in FIG. 6. First, the block diagram shown in FIG.
And further deformed as shown in FIG.
In FIG. 6, when the portion indicated by 61 is cut off, the transfer function of the portion indicated by 62 is
【0033】[0033]
【数7】 (Equation 7)
【0034】であるが、61で示す部分が接続されてい
る場合は、62で示す部分の伝達関数はHowever, if the portion indicated by 61 is connected, the transfer function of the portion indicated by 62 is
【0035】[0035]
【数8】 (Equation 8)
【0036】となる。伝達関数G(S)が前述した図2
に示すような特性のハイパスフィルタで実現された場
合、高周波域においては伝達関数G(S)は0[dB]
(つまり1倍)なので、図6において、62で示す部分
の伝達関数は## EQU1 ## FIG. 2 shows the transfer function G (S) described above.
When realized by a high-pass filter having the characteristics shown in FIG. 5, the transfer function G (S) is 0 [dB] in a high frequency range.
Therefore, in FIG. 6, the transfer function of the portion indicated by 62 is
【0037】[0037]
【数9】 (Equation 9)
【0038】となる。簡単化のため、TM=1とする
と、上記式(7)は1/JMとなり、上記式(9)は
(1/JM)/(1+1/JM)となる。よって、加速度
フィードバックが有効となる周波数W0[rad/se
c]よりも高周波域において、モータの等価慣性が(1
+1/JM)倍大きくなる。図4に示す特性では、周波
数W0[rad/sec]付近から加速度フィードバッ
クの影響が出る。## EQU4 ## For the sake of simplicity, if T M = 1, the above equation (7) becomes 1 / J M and the above equation (9) becomes (1 / J M ) / (1 + 1 / J M ). Therefore, the frequency W0 [rad / se] at which the acceleration feedback is effective
c], the equivalent inertia of the motor is (1)
+ 1 / J M ) times larger. In the characteristic shown in FIG. 4, the influence of the acceleration feedback occurs near the frequency W0 [rad / sec].
【0039】ここで、図4に戻って、41はゲイン曲線
を示し、このゲイン曲線41は、低周波域では図3に示
すゲイン曲線31と同様な特性となる。一方、高周波域
では加速度フィードバックがかかるので、高周波域のゲ
イン曲線41における傾き−20dB/decでのゲイ
ンは1rad/secおいてHere, returning to FIG. 4, reference numeral 41 denotes a gain curve, and this gain curve 41 has characteristics similar to the gain curve 31 shown in FIG. 3 in a low frequency band. On the other hand, since acceleration feedback is applied in a high frequency range, the gain at a slope of −20 dB / dec in the gain curve 41 in the high frequency range is set to 1 rad / sec.
【0040】[0040]
【数10】 (Equation 10)
【0041】となる。また、ゲイン曲線41の点41a
は共振点を示し、この共振点31aは## EQU1 ## Also, the point 41a of the gain curve 41
Indicates a resonance point, and the resonance point 31a is
【0042】[0042]
【数11】 [Equation 11]
【0043】の近傍になる。ゲイン曲線41の点41b
は反共振点を示し、この反共振点41bはIs near. Point 41b of gain curve 41
Indicates an anti-resonance point, and this anti-resonance point 41b is
【0044】[0044]
【数12】 (Equation 12)
【0045】となる。Is as follows.
【0046】実施の形態2.なお、上記実施の形態1で
はモータ加速度信号に伝達関数G(S)を乗じた信号を
電流指令信号にフィードバックするようにしたが、本実
施の形態2ではモータ速度信号から計算処理によりモー
タ加速度信号を求め、このモータ加速度信号に伝達関数
G(S)を乗じた信号を電流指令信号にフィードバック
するようにしている。Embodiment 2 In the first embodiment, a signal obtained by multiplying the motor acceleration signal by the transfer function G (S) is fed back to the current command signal. In the second embodiment, the motor acceleration signal is calculated from the motor speed signal by a calculation process. And a signal obtained by multiplying the motor acceleration signal by the transfer function G (S) is fed back to the current command signal.
【0047】以下、この発明の実施の形態2を図に基づ
いて説明する。図7は本実施の形態2に係るサーボ系の
駆動制御装置のブロック線図である。図7において、3
は比例ゲインKVを示すブロック、17はブロック3の
ゲインKVを有する速度補償手段としての速度補償器、
5はトルク定数TMを示すブロック、6は慣性JMを有す
るモータを示すブロックである。なお、このブロック6
には、そのモータ及び速度検出手段としての速度検出器
が含まれているとして説明する。8はモータの回転位置
を算出する積分器、9はモータと負荷との間の剛性KL
を示すブロック、10は慣性JLの負荷を示すブロッ
ク、11は負荷の位置を算出する積分器を示すブロッ
ク、12はモータ速度信号Y(S)である。Hereinafter, a second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 7 is a block diagram of a drive control device for a servo system according to the second embodiment. In FIG. 7, 3
Is a block showing the proportional gain K V , 17 is a speed compensator as speed compensating means having the gain K V of the block 3,
5 is a block showing a torque constant T M , and 6 is a block showing a motor having inertia J M. This block 6
Will be described as including the motor and a speed detector as speed detecting means. 8 is an integrator for calculating the rotational position of the motor, and 9 is the rigidity K L between the motor and the load.
Is a block showing the load of the inertia J L , 11 is a block showing an integrator for calculating the position of the load, and 12 is a motor speed signal Y (S).
【0048】16はブロック6に含まれる速度検出器か
らのモータ速度信号12を微分してモータ加速度信号を
求め、このモータ加速度信号に基づいて、サーボ系の応
答帯域内ではモータの慣性を変えず、モータと、このモ
ータにより駆動される構造物との共振点を含むサーボ系
の応答帯域外ではモータの等価慣性を増加させるように
制御するための慣性制御手段としての伝達関数G(S)
と微分要素Sの積を示すブロックである。1aは入力値
である速度指令信号U(S)とモータ速度信号12との
差を算出する減算器、1bは速度補償器17の出力とブ
ロック16の出力との差を算出する減算器、7aはブロ
ック5の出力とブロック9の出力との差を算出する減算
器、7bはブロック8の出力とブロック11の出力との
差を算出する減算器である。Reference numeral 16 denotes a motor acceleration signal obtained by differentiating the motor speed signal 12 from the speed detector included in the block 6. Based on the motor acceleration signal, the inertia of the motor is not changed within the response band of the servo system. , A transfer function G (S) as inertia control means for controlling so as to increase an equivalent inertia of the motor outside a response band of a servo system including a resonance point between the motor and a structure driven by the motor.
And a differential element S. 1a is a subtractor for calculating the difference between the speed command signal U (S) as an input value and the motor speed signal 12, 1b is a subtractor for calculating the difference between the output of the speed compensator 17 and the output of the block 16, 7a Is a subtractor for calculating the difference between the output of the block 5 and the output of the block 9, and 7b is a subtractor for calculating the difference between the output of the block 8 and the output of the block 11.
【0049】1は、減算器1a,1b,7aと、速度補
償器17と、トルク定数TM(ブロック5)と、モータ
及び速度検出器(ブロック6)と、伝達関数G(S)と
微分要素Sの積(ブロック16)とを含み構成される速
度のマイナーループを示す。この速度のマイナーループ
1はブロック16からの信号を電流指令信号にフィード
バックしている。7は、モータ及び速度検出器(ブロッ
ク6)と積分器(ブロック8)と減算器7a,7bと剛
性KL(ブロック9)と負荷(ブロック10)と積分器
(ブロック11)とを含み構成される構造物モデルを示
す。1 is a subtractor 1a, 1b, 7a, a speed compensator 17, a torque constant T M (block 5), a motor and speed detector (block 6), a transfer function G (S) and a differential Figure 7 shows a speed minor loop comprising the product of elements S (block 16). The minor loop 1 of this speed feeds back the signal from the block 16 to the current command signal. 7 includes a motor and a speed detector (Block 6) and an integrator (block 8) and a subtractor 7a, 7b and rigidity K L (block 9) and the load (block 10) and an integrator (block 11) configured 1 shows a structure model to be used.
【0050】次に動作について説明する。速度のマイナ
ーループ1において、速度のマイナーループ1の入力値
である速度指令信号U(S)は、減算器1aによりブロ
ック6からのモータ速度信号12と比較され、その誤差
が計算されて速度補償器17に与えられる。この速度補
償器17に与えられた誤差は、比例ゲインKV(ブロッ
ク3)によりP補償された後、電流指令信号となる。こ
の電流指令信号は、ブロック6に含まれ、モータの近傍
に取り付けられた速度検出器により検出されたモータ速
度信号12にブロック16のS・G(S)を乗じた信号
と減算器1bにて比較され、その誤差が計算され、次
に、その誤差にトルク定数TM(ブロック5)を乗じ
て、構造物モデル7の入力トルク信号となる。Next, the operation will be described. In the speed minor loop 1, the speed command signal U (S), which is the input value of the speed minor loop 1, is compared with the motor speed signal 12 from the block 6 by the subtracter 1a, and the error is calculated to correct the speed. To the vessel 17. The error given to the speed compensator 17 is P-compensated by the proportional gain K V (block 3), and becomes a current command signal. This current command signal is included in a block 6 and is obtained by multiplying a signal obtained by multiplying a motor speed signal 12 detected by a speed detector attached near the motor by S · G (S) of a block 16 and a subtractor 1b. The error is calculated, and the error is then multiplied by a torque constant T M (block 5) to provide the input torque signal for the structure model 7.
【0051】このように本実施の形態2では、モータの
近傍に取り付けられた速度検出器により、モータの回転
速度を検出し、この回転速度にS・G(S)を乗じた信
号を電流指令信号にフィードバックする速度のマイナー
ループ1を備えている。このようなS・G(S)より出
力される信号を電流指令信号にフィードバックすること
により、サーボ系の応答帯域外(応答帯域よりも高域)
のある一定の周波数以上の高域側においてはモータの等
価慣性を増すことが可能となり、これによりモータと構
造物との共振点と反共振点が近くなり、結果として共振
ピークを下げ、安定なサーボ系を得ることができる。ま
た、構成としては、本実施の形態2の方が上記実施の形
態1よりも簡易になる。As described above, in the second embodiment, the rotation speed of the motor is detected by the speed detector attached near the motor, and a signal obtained by multiplying the rotation speed by SG (S) is given by the current command. A minor loop 1 having a speed for feeding back to a signal is provided. By feeding back the signal output from the SG (S) to the current command signal, the signal is out of the response band of the servo system (higher than the response band).
It is possible to increase the equivalent inertia of the motor on the high frequency side above a certain frequency, which makes the resonance point and the anti-resonance point of the motor and the structure closer, resulting in a lower resonance peak and stable A servo system can be obtained. Further, as a configuration, the second embodiment is simpler than the first embodiment.
【0052】[0052]
【発明の効果】以上のように第1の発明によれば、回転
体の加速度に基づいて、サーボ系の応答帯域内では回転
体の慣性を変えず、回転体と構造物との共振点を含むサ
ーボ系の応答帯域外では回転体の等価慣性を増加させる
ように制御するので、回転体と、この回転体により制御
される構造物との共振ピークを下げるためのノッチフィ
ルタ等を設ける必要がなく、サーボ系の応答帯域内での
特性を変化させずに回転体と構造物との共振点と反共振
点を近づけることができ、これにより共振ピークが下が
り、安定なサーボ系を得ることができるという効果があ
る。As described above, according to the first aspect, the resonance point between the rotating body and the structure is determined based on the acceleration of the rotating body without changing the inertia of the rotating body within the response band of the servo system. Since control is performed to increase the equivalent inertia of the rotating body outside the response band of the servo system including the servo system, it is necessary to provide a notch filter or the like for lowering a resonance peak between the rotating body and a structure controlled by the rotating body. Without changing the characteristics within the response band of the servo system, the resonance point and anti-resonance point of the rotating body and the structure can be brought close to each other, thereby lowering the resonance peak and obtaining a stable servo system. There is an effect that can be.
【0053】第2の発明によれば、加速度算出手段で算
出された加速度に基づいて、サーボ系の応答帯域内では
回転体の慣性を変えず、回転体と、この回転体により駆
動される構造物との共振点を含むサーボ系の応答帯域外
では回転体の等価慣性を増加させるように制御するため
の慣性制御手段を備えて構成したので、回転体と、この
回転体により制御される構造物との共振ピークを下げる
ためのノッチフィルタ等を設ける必要がなく、サーボ系
の応答帯域内での特性を変化させずに回転体と構造物と
の共振点と反共振点を近づけることができ、これにより
共振ピークが下がり、安定なサーボ系を得ることができ
るという効果がある。According to the second aspect, based on the acceleration calculated by the acceleration calculating means, the inertia of the rotating body is not changed within the response band of the servo system, and the rotating body and the structure driven by the rotating body. Outside the response band of the servo system including the resonance point with the object, since the apparatus is provided with inertia control means for controlling so as to increase the equivalent inertia of the rotating body, the rotating body and the structure controlled by this rotating body It is not necessary to provide a notch filter for lowering the resonance peak with the object, and the resonance point and anti-resonance point between the rotating body and the structure can be made closer without changing the characteristics within the response band of the servo system. Thus, there is an effect that the resonance peak is lowered and a stable servo system can be obtained.
【0054】第3の発明によれば、速度算出手段で算出
された回転速度から加速度を求め、この加速度に基づい
てサーボ系の応答帯域内では回転体の慣性を変えず、回
転体と、この回転体により駆動される構造物との共振点
を含むサーボ系の応答帯域外では回転体の等価慣性を増
加させるように制御するための慣性制御手段を備えて構
成したので、回転体と、この回転体により制御される構
造物との共振ピークを下げるためのノッチフィルタ等を
設ける必要がなく、サーボ系の応答帯域内での特性を変
化させずに回転体と構造物との共振点と反共振点を近づ
けることができ、これにより共振ピークが下がり、安定
なサーボ系を得ることができるという効果がある。According to the third aspect, the acceleration is obtained from the rotation speed calculated by the speed calculation means. Based on the acceleration, the inertia of the rotary body is not changed within the response band of the servo system. Outside the response band of the servo system including the resonance point with the structure driven by the rotating body, the apparatus is provided with inertia control means for controlling so as to increase the equivalent inertia of the rotating body. It is not necessary to provide a notch filter or the like to lower the resonance peak with the structure controlled by the rotating body, and the resonance point between the rotating body and the structure is not changed without changing the characteristics within the response band of the servo system. The resonance point can be made closer, whereby the resonance peak is reduced, and there is an effect that a stable servo system can be obtained.
【0055】第4の発明によれば、慣性制御手段とし
て、加速度算出手段で算出された加速度を入力し、ま
た、サーボ系の周波数特性を示す曲線の折れ点の周波数
に基づいて算出される伝達関数を含み構成して、伝達関
数を用いて回転体の等価慣性を増加させるようにしたの
で、第2の発明の効果を達成できる。According to the fourth aspect, as the inertia control means, the acceleration calculated by the acceleration calculation means is input, and the transmission calculated based on the frequency of the break point of the curve showing the frequency characteristic of the servo system is performed. Since the configuration including the function is used to increase the equivalent inertia of the rotating body using the transfer function, the effect of the second invention can be achieved.
【0056】第5の発明によれば、慣性制御手段とし
て、速度算出手段で算出された回転速度を入力して加速
度を求め、また、サーボ系の周波数特性を示す曲線の折
れ点の周波数に基づいて算出される伝達関数を含み構成
して、伝達関数を用いて回転体の等価慣性を増加させる
ようにしたので、第3の発明の効果を達成できる。According to the fifth aspect, as the inertial control means, the rotational speed calculated by the speed calculating means is inputted to obtain the acceleration, and based on the frequency of the break point of the curve showing the frequency characteristic of the servo system. Since the transfer function includes the calculated transfer function and the transfer function is used to increase the equivalent inertia of the rotating body, the effect of the third invention can be achieved.
【0057】第6の発明によれば、伝達関数を発生させ
る構成要素として、サーボ系の応答帯域外のある一定の
周波数以上において応答するようなハイパスフィルタを
用いて、サーボ系の応答帯域内では回転体の慣性を変え
ず、回転体と構造物との共振点を含むサーボ系の応答帯
域外では回転体の等価慣性を増加させるように制御する
ための伝達関数を実現するようにしたので、上記各効果
を達成することができる。According to the sixth aspect of the present invention, a high-pass filter that responds at a certain frequency or more outside the response band of the servo system is used as a component for generating the transfer function, and the component within the response band of the servo system is used. Since the inertia of the rotating body is not changed, a transfer function for controlling so as to increase the equivalent inertia of the rotating body outside the response band of the servo system including the resonance point between the rotating body and the structure is realized. Each of the above effects can be achieved.
【図1】 この発明の実施の形態1に係るサーボ系の駆
動制御装置のブロック線図である。FIG. 1 is a block diagram of a drive control device for a servo system according to a first embodiment of the present invention.
【図2】 図1中のブロック13の伝達関数G(S)の
一例としてあげられた折れ点W0のハイパスフィルタの
周波数応答を示すシミュレーション結果のボード線図で
ある。FIG. 2 is a Bode diagram of a simulation result showing a frequency response of a high-pass filter at a break point W0 given as an example of a transfer function G (S) of a block 13 in FIG.
【図3】 図1中のブロック13の伝達関数G(S)か
らの出力をフィードバックしないときの速度のマイナー
ループ1の開ループの周波数応答を示すシミュレーショ
ン結果のボード線図である。3 is a Bode diagram of a simulation result showing an open-loop frequency response of the speed minor loop 1 when the output from the transfer function G (S) of the block 13 in FIG. 1 is not fed back.
【図4】 図1中のブロック13の伝達関数G(S)か
らの出力をフィードバックしたときの速度のマイナール
ープ1の開ループの周波数応答を示すシミュレーション
結果のボード線図である。4 is a Bode diagram of a simulation result showing an open-loop frequency response of the speed minor loop 1 when the output from the transfer function G (S) of the block 13 in FIG. 1 is fed back.
【図5】 図1に示すブロック線図を変形したブロック
線図である。FIG. 5 is a block diagram obtained by modifying the block diagram shown in FIG. 1;
【図6】 図5に示すブロック線図を更に変形したブロ
ック線図である。FIG. 6 is a block diagram obtained by further modifying the block diagram shown in FIG. 5;
【図7】 この発明の実施の形態2に係るサーボ系の駆
動制御装置のブロック線図である。FIG. 7 is a block diagram of a drive control device for a servo system according to a second embodiment of the present invention;
【図8】 従来のサーボ系の駆動制御装置のブロック線
図である。FIG. 8 is a block diagram of a conventional drive control device for a servo system.
1 速度のマイナーループ、1a,1b,7a,7b
減算器、2,17 速度補償器(速度補償手段)、3
比例ゲインを示すブロック、5 トルク定数を示すブロ
ック、6 モータ(回転体)及び速度検出器を示すブロ
ック、7 構造物モデル、8 モータの回転位置を算出
する積分器を示すブロック、9 モータと負荷の間の剛
性を示すブロック、10 負荷を示すブロック、11
負荷の位置を算出する積分器を示すブロック、12 Y
(S)モータ速度信号、13 伝達関数を示すブロック
(慣性制御手段)、14 モータの回転速度を算出する
積分器を示すブロック(速度算出手段)、15 モータ
加速度信号、16 微分要素と伝達関数の積を示すブロ
ック(慣性制御手段)、18 モータ及び加速度検出器
を示すブロック(加速度算出手段)、19 U(S)速
度指令信号。1 Speed minor loop, 1a, 1b, 7a, 7b
Subtractor, 2, 17 Speed compensator (speed compensating means), 3
Block showing a proportional gain, 5 block showing a torque constant, 6 block showing a motor (rotating body) and a speed detector, 7 structural model, 8 block showing an integrator for calculating the rotational position of the motor, 9 motor and load Block showing rigidity between 10, block showing load, 11
Block showing integrator to calculate load position, 12Y
(S) motor speed signal, 13 block showing transfer function (inertial control means), 14 block showing integrator for calculating motor rotation speed (speed calculating means), 15 motor acceleration signal, 16 differential element and transfer function Block indicating product (inertial control means), 18 block indicating motor and acceleration detector (acceleration calculating means), 19 U (S) speed command signal.
Claims (6)
応答帯域内では上記回転体の慣性を変えず、上記回転体
とこの回転体により駆動される構造物との共振点を含む
サーボ系の応答帯域外では上記回転体の等価慣性を増加
させるように制御することを特徴とするサーボ系の駆動
制御装置。1. A servo system including a resonance point between the rotating body and a structure driven by the rotating body without changing the inertia of the rotating body within a response band of the servo system based on the acceleration of the rotating body. A drive control device for a servo system, wherein the control is performed so as to increase the equivalent inertia of the rotating body outside the response band of (1).
り指令値に追従させることを目標とするサーボ系の駆動
制御装置において、比例ゲインによるP補償を行う回転
速度の速度補償手段と、上記回転体の回転速度を算出し
上記速度補償手段にフィードバックする速度算出手段
と、上記回転体の加速度を算出する加速度算出手段と、
上記加速度算出手段で算出された加速度に基づいて、サ
ーボ系の応答帯域内では上記回転体の慣性を変えず、上
記回転体と、この回転体により制御される構造物との共
振点を含むサーボ系の応答帯域外では上記回転体の等価
慣性を増加させるように制御するための慣性制御手段と
を備えたことを特徴とするサーボ系の駆動制御装置。2. A drive control device for a servo system which aims to cause a rotation speed of a rotating body to follow a command value by a minor loop. Speed calculation means for calculating the rotation speed of the rotation and feedback to the speed compensation means, acceleration calculation means for calculating the acceleration of the rotating body,
Based on the acceleration calculated by the acceleration calculating means, the servo including the resonance point of the rotating body and a structure controlled by the rotating body without changing the inertia of the rotating body within the response band of the servo system. A drive control device for a servo system, comprising: inertia control means for performing control so as to increase an equivalent inertia of the rotating body outside a response band of the system.
り指令値に追従させることを目標とするサーボ系の駆動
制御装置において、比例ゲインによるP補償を行う回転
速度の速度補償手段と、上記回転体の回転速度を算出し
上記速度補償手段にフィードバックする速度算出手段
と、上記速度算出手段で算出された回転速度から加速度
を求め、この加速度に基づいて、サーボ系の応答帯域内
では上記回転体の慣性を変えず、上記回転体と、この回
転体により制御される構造物との共振点を含むサーボ系
の応答帯域外では上記回転体の等価慣性を増加させるよ
うに制御するための慣性制御手段とを備えたことを特徴
とするサーボ系の駆動制御装置。3. A drive control device for a servo system which aims to make the rotation speed of a rotating body follow a command value by a minor loop. A speed calculating means for calculating the rotation speed of the rotating body and feeding back to the speed compensating means; and obtaining an acceleration from the rotation speed calculated by the speed calculating means. Inertia control means for controlling so as to increase an equivalent inertia of the rotating body outside a response band of a servo system including a resonance point of the rotating body and a structure controlled by the rotating body without changing inertia. A drive control device for a servo system, comprising:
出手段で算出された加速度を入力し、また、サーボ系の
周波数特性を示す曲線の折れ点の周波数に基づいて算出
される伝達関数を含むことを特徴とする請求項第2項記
載のサーボ系の駆動制御装置。4. The inertial control means includes an input of an acceleration calculated by the acceleration calculating means, and a transfer function calculated based on a frequency at a break point of a curve indicating a frequency characteristic of a servo system. 3. The drive control device for a servo system according to claim 2, wherein:
手段で算出された回転速度を入力して加速度を求め、ま
た、サーボ系の周波数特性を示す曲線の折れ点の周波数
に基づいて算出される伝達関数を含むことを特徴とする
請求項第3項記載のサーボ系の駆動制御装置。5. The inertial control means calculates the acceleration by inputting the rotation speed calculated by the speed calculating means, and calculates the acceleration based on the frequency of a break point of a curve indicating the frequency characteristic of the servo system. The drive control device for a servo system according to claim 3, further comprising a transfer function.
て、サーボ系の応答帯域外のある一定の周波数以上にお
いて応答するようなハイパスフィルタを用いたことを特
徴とする請求項第4項記載のサーボ系の駆動制御装置。6. The servo according to claim 4, wherein a high-pass filter that responds at a certain frequency or higher outside a response band of a servo system is used as a component for generating the transfer function. System drive controller.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15951997A JP3307564B2 (en) | 1997-06-17 | 1997-06-17 | Drive control device for servo system |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP15951997A JP3307564B2 (en) | 1997-06-17 | 1997-06-17 | Drive control device for servo system |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JPH117303A true JPH117303A (en) | 1999-01-12 |
JP3307564B2 JP3307564B2 (en) | 2002-07-24 |
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ID=15695550
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
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JP (1) | JP3307564B2 (en) |
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