JPH1166518A - Magnetoresistance effect-type magnetic head and its manufacture - Google Patents
Magnetoresistance effect-type magnetic head and its manufactureInfo
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- JPH1166518A JPH1166518A JP22676597A JP22676597A JPH1166518A JP H1166518 A JPH1166518 A JP H1166518A JP 22676597 A JP22676597 A JP 22676597A JP 22676597 A JP22676597 A JP 22676597A JP H1166518 A JPH1166518 A JP H1166518A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスク装置
に搭載される磁気抵抗効果型磁気ヘッドおよびその製造
方法に関し、特にスライダの空気軸受け面にリセスのな
い磁気抵抗効果型磁気ヘッドおよびその製造方法に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magneto-resistance effect type magnetic head mounted on a magnetic disk drive and a method of manufacturing the same, and more particularly, to a magneto-resistance effect type magnetic head having no recess in an air bearing surface of a slider and a method of manufacturing the same. About.
【０００２】[0002]
【従来の技術】現在、磁気ディスク装置における記録密
度は、年率約５０％の割合で上昇している。この記録密
度の向上、すなわち、線記録密度およびトラック記録密
度の向上に伴って、磁気抵抗効果型磁気ヘッドの浮上量
もより微小化の傾向にある。2. Description of the Related Art At present, the recording density of a magnetic disk drive is increasing at an annual rate of about 50%. With the improvement of the recording density, that is, the improvement of the linear recording density and the track recording density, the flying height of the magnetoresistive head has also been reduced.
【０００３】一方、従来の磁気抵抗効果型磁気ヘッド
は、磁気抵抗効果素子を形成したスライダを、加圧支持
ばねの一端に設けたジンバル機構に取り付け、回転駆動
された磁気ディスク媒体上を所定の浮上量で浮揚させて
データの読み書きを行うように構成されているが、最近
の磁気抵抗効果型磁気ヘッドのように、例えば、約４０
〜５０ｎｍ程度の微小浮上高さで動作（浮揚）させる
と、スライダの空気軸受け面（浮揚面）が磁気ディスク
媒体面上に存在する微小突起と接触する機会が多くなっ
ている。On the other hand, in a conventional magnetoresistive head, a slider on which a magnetoresistive element is formed is mounted on a gimbal mechanism provided at one end of a pressure supporting spring, and a predetermined amount is rotated on a magnetic disk medium driven by rotation. It is configured to read and write data by levitating at the flying height. For example, as in recent magnetoresistive magnetic heads, about 40
When the slider is operated (floated) at a minute flying height of about 50 nm, the chance that the air bearing surface (flying surface) of the slider comes into contact with minute projections existing on the surface of the magnetic disk medium is increased.
【０００４】次に、従来の磁気抵抗効果型磁気ヘッドの
主要部であるスライダの構成について、図面を参照して
具体的に説明する。図３は、従来の磁気抵抗効果型磁気
ヘッドが磁気ディスク媒体に接触した状態を模式的に示
す側面図である。図３を参照すると、磁気抵抗効果型磁
気ヘッド（スライダ）１１は、浮動型の空気軸受け面を
有するスライダからなっており、このスライダは、例え
ば、Ａｌ2 Ｏ3 −ＴｉＣ（以下、アルチックという）か
らなる硬質基板（アルチック部１２）上に、Ａｌ2 Ｏ3
（以下、アルミナという）からなる下層シールド層，ギ
ャップ膜（図中、アルミナ部１３として示す）、磁気抵
抗効果膜からなる磁気抵抗効果素子１６，アルミナから
なる上層シールド層（図中、アルミナ部１３として示
す）が順次積層されている。そして、アルチック部１２
上およびアルミナ部１３上には、コーティング膜として
ダイヤモンド構造を有するカーボン膜（以下ダイヤモン
ドライクカーボン膜という）１４が形成されている。Next, the configuration of a slider, which is a main part of a conventional magnetoresistive head, will be specifically described with reference to the drawings. FIG. 3 is a side view schematically showing a state in which a conventional magnetoresistive head is in contact with a magnetic disk medium. Referring to FIG. 3, a magneto-resistance effect type magnetic head (slider) 11 is composed of a slider having a floating air bearing surface, and this slider is composed of, for example, Al2 O3 -TiC (hereinafter referred to as Altic). Al2O3 on a hard substrate (Altic part 12)
(Hereinafter, referred to as alumina), a lower shield layer, a gap film (shown as an alumina portion 13 in the figure), a magnetoresistive element 16 made of a magnetoresistive film, and an upper shield layer made of alumina (in the figure, an alumina portion 13). ) Are sequentially stacked. And the Altic part 12
A carbon film having a diamond structure (hereinafter referred to as a diamond-like carbon film) 14 is formed as a coating film on the upper part and the alumina part 13.
【０００５】ここで、従来の磁気抵抗効果型磁気ヘッド
１１の空気軸受け面上には、アルチック部１２とアルミ
ナ部１３との間に段差がある。すなわち、磁気抵抗効果
素子１６を含むアルミナ部１３がアルチック部１２の面
に対してわずかに低く下がり、従って、コーティング膜
であるダイヤモンドライクカーボン膜１４には段差によ
るリセス(Recess)が生じている。Here, there is a step on the air bearing surface of the conventional magnetoresistive head 11 between the altic portion 12 and the alumina portion 13. That is, the alumina portion 13 including the magnetoresistive effect element 16 is slightly lowered with respect to the surface of the altic portion 12, so that a recess due to a step occurs in the diamond-like carbon film 14, which is a coating film.
【０００６】これは、磁気抵抗効果型磁気ヘッドの製造
時において、スライダの空気軸受け面を研磨加工する際
に、アルチック部１２とアルミナ部１３との材質の硬度
が異なることから、硬度の小さいアルミナ部１３の方が
アルチック部１２よりも多く研磨され、その結果とし
て、アルミナ部１３の研磨面とアルチック部１２の研磨
面との間に段差が生じることによるものである。This is because when the air bearing surface of the slider is polished during the manufacture of the magnetoresistive head, the hardness of the material of the Altic portion 12 and that of the alumina portion 13 are different. This is because the portion 13 is polished more than the altic portion 12, and as a result, a step is generated between the polished surface of the alumina portion 13 and the polished surface of the altic portion 12.
【０００７】このため、磁気ディスク装置の動作時に
は、磁気抵抗効果型磁気ヘッド（スライダ）の磁気ディ
スク媒体との空気流入方向に対する浮上姿勢（角度）を
示すピッチ角（図中、記号θで示す）に依存し、例え
ば、図３に示すように、ピッチ角θが大きい場合は、磁
気抵抗効果素子１６から離れたアルミナ部１３のエッジ
上のダイヤモンドライクカーボン膜１４が磁気ディスク
媒体１７と接触し（図中、符号Ｂで示す）、磁気ディス
ク媒体１７上を瞬時摺動する。For this reason, during operation of the magnetic disk drive, a pitch angle (indicated by the symbol θ in the figure) indicating a flying attitude (angle) of the magnetoresistive head (slider) with respect to the air inflow direction with respect to the magnetic disk medium. For example, as shown in FIG. 3, when the pitch angle θ is large, the diamond-like carbon film 14 on the edge of the alumina portion 13 distant from the magnetoresistive element 16 comes into contact with the magnetic disk medium 17 ( (Indicated by reference numeral B in the figure), and slides instantaneously on the magnetic disk medium 17.
【０００８】また、反対にピッチ角θが小さい場合は、
図４に示すように、磁気抵抗効果素子１６に近いアルチ
ック部のエッジ上のダイヤモンドライクカーボン１４が
磁気ディスク媒体と接触し（図中、符号Ｃで示す）、同
様に磁気ディスク媒体１７上を瞬時摺動する。On the other hand, when the pitch angle θ is small,
As shown in FIG. 4, the diamond-like carbon 14 on the edge of the altic portion close to the magnetoresistive element 16 comes into contact with the magnetic disk medium (indicated by the symbol C in the figure), and likewise momentarily moves on the magnetic disk medium 17. Slide.
【０００９】磁気抵抗効果型磁気ヘッド１１が磁気ディ
スク媒体１７と接触摺動すると接触箇所で摩擦熱が発生
し、その発熱によって磁気抵抗効果素子１６の温度が上
昇する。そして、このとき磁気抵抗効果素子１６からノ
イズが発生するという現象が起きる。このような現象は
サーマルアスペリティと呼ばれている。When the magnetoresistance effect type magnetic head 11 slides in contact with the magnetic disk medium 17, frictional heat is generated at the contact location, and the heat generated causes the temperature of the magnetoresistance effect element 16 to rise. At this time, a phenomenon occurs in which noise is generated from the magnetoresistive effect element 16. Such a phenomenon is called thermal asperity.
【００１０】この磁気抵抗効果型磁気ヘッドにおけるサ
ーマルアスペリティについては、磁気ディスク装置の信
頼性を損なうものとして、これを低減するための種々の
改善検討がはかられている。ここで、磁気抵抗効果素子
の耐熱性の向上をはかる技術として、例えば、特開平８
−２７３１２６号公報には、ギャップ膜が薄くなった場
合でも、良好な絶縁性を確保しつつ、電流密度の向上に
伴う熱伝導性の劣化を防止するため、ギャップ膜にダイ
ヤモンドライクカーボン膜を用いる技術が開示されてい
る。また、特開平６−２２３３３１号公報には、磁気抵
抗効果素子周辺の絶縁層に、熱伝導率と絶縁性に優れか
つ放熱効果のよいシリコンやダイヤモンドライクカーボ
ン膜を用いる技術が開示されている。Regarding the thermal asperity in the magneto-resistance effect type magnetic head, various improvements have been studied to reduce the thermal asperity, which is considered to impair the reliability of the magnetic disk drive. Here, as a technique for improving the heat resistance of the magnetoresistive effect element, for example, Japanese Unexamined Patent Publication No.
Japanese Patent No. 273126 discloses that a diamond-like carbon film is used as a gap film in order to ensure good insulation and prevent thermal conductivity from being deteriorated due to an increase in current density, even when the gap film becomes thin. Techniques are disclosed. Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 6-223331 discloses a technique in which a silicon or diamond-like carbon film having excellent heat conductivity and insulating properties and good heat dissipation effect is used for an insulating layer around a magnetoresistive element.
【００１１】しかしながら、上述した従来の磁気抵抗効
果型磁気ヘッドでは、浮揚時におけるスライダのピッチ
角が小さい場合には、磁気抵抗効果素子に近いアルチッ
ク部のエッジ上のダイヤモンドライクカーボン膜が磁気
ディスク媒体と接触摺動するため、耐熱効果が減少して
サーマルアスペリティが発生する。However, in the above-described conventional magnetoresistive magnetic head, when the pitch angle of the slider at the time of flying is small, the diamond-like carbon film on the edge of the altic portion close to the magnetoresistive effect element has a magnetic disk medium. As a result, thermal asperity is generated due to reduced heat resistance.
【００１２】[0012]
【発明が解決しようとする課題】磁気抵抗効果型磁気ヘ
ッドのサーマルアスペリティの発生を回避するには、磁
気抵抗効果素子に対する耐熱性を向上させなければなら
ない。磁気抵抗効果素子の温度上昇に対する主な原因の
１つとしては、上述したように、磁気抵抗効果型磁気ヘ
ッドが磁気ディスク媒体に接触摺動した際に、その接触
点が磁気抵抗効果素子に近接しているため、磁気抵抗効
果型磁気ヘッドが磁気ディスク媒体に接触摺動した際に
生じた摩擦熱が伝達され、磁気抵抗効果素子の温度が上
昇しやすいことにある。In order to avoid the occurrence of thermal asperity in a magnetoresistive head, the heat resistance of the magnetoresistive element must be improved. One of the main causes for the rise in temperature of the magnetoresistive element is that, as described above, when the magnetoresistive magnetic head comes into contact with the magnetic disk medium and slides, the contact point is close to the magnetoresistive element. Therefore, frictional heat generated when the magnetoresistive head is in contact with the magnetic disk medium is slid, and the temperature of the magnetoresistive element is likely to rise.
【００１３】本発明の目的は、このような従来の磁気抵
抗効果型磁気ヘッドが有する課題を解決し、磁気抵抗効
果素子の温度上昇を抑制するとともに、磁気抵抗効果型
磁気ヘッドの電気特性を低下させることなくサーマルア
スペリティを低減し、ノイズ発生の少ない磁気抵抗効果
型磁気ヘッドおよびその製造方法を提供することにあ
る。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the problems of the conventional magneto-resistance effect type magnetic head, suppress the temperature rise of the magneto-resistance effect element, and reduce the electric characteristics of the magneto-resistance effect type magnetic head. It is an object of the present invention to provide a magnetoresistive magnetic head which reduces thermal asperity without causing noise and generates less noise, and a method of manufacturing the same.
【００１４】[0014]
【課題を解決するための手段】本発明の磁気抵抗効果型
磁気ヘッドは、アルチック基板からなる浮動型スライダ
の空気流出端側の側面に形成され、かつこのスライダの
空気軸受け面に配置された磁気抵抗効果素子を含むアル
ミナ部を有する磁気抵抗効果型磁気ヘッドにおいて、前
記磁気抵抗効果素子を含むアルミナ部上のみに形成した
ダイヤモンド構造を有するカーボン膜を備えることを特
徴とする。A magnetoresistive head according to the present invention is formed on a side surface of a floating slider made of an Altic substrate on an air outflow end side, and is disposed on an air bearing surface of the slider. A magneto-resistance effect type magnetic head having an alumina portion including a resistance effect element is provided with a carbon film having a diamond structure formed only on the alumina portion including the magneto-resistance effect element.
【００１５】また、アルチック基板からなる浮動型スラ
イダの空気流出端側の側面に形成され、かつこのスライ
ダの空気軸受け面に配置された磁気抵抗効果素子を含む
アルミナ部を有する磁気抵抗効果型磁気ヘッドにおい
て、前記スライダの空気軸受け面の全面に形成したダイ
ヤモンド構造を有する第１のカーボン膜と、前記磁気抵
抗効果素子を含むアルミナ部上のみに形成したダイヤモ
ンド構造を有する第２のカーボン膜とを備えることを特
徴とする。A magnetoresistive head having an alumina portion formed on a side surface on the air outflow end side of a floating slider made of an Altic substrate and including a magnetoresistive element disposed on an air bearing surface of the slider. And a first carbon film having a diamond structure formed on the entire surface of the air bearing surface of the slider, and a second carbon film having a diamond structure formed only on the alumina portion including the magnetoresistive element. It is characterized by the following.
【００１６】次に、上述した磁気抵抗効果型磁気ヘッド
の製造方法であって、スライダの空気軸受け面のアル
チック部にマスキングを施す工程、アルミナ部にダイ
ヤモンド構造を有するカーボン膜をスパッタリングする
工程、を含むことを特徴とする。Next, in the method of manufacturing the above-described magnetoresistive effect type magnetic head, a step of masking an altic portion of an air bearing surface of a slider and a step of sputtering a carbon film having a diamond structure on an alumina portion are provided. It is characterized by including.
【００１７】また、別の磁気抵抗効果型磁気ヘッドの製
造方法は、スライダの空気軸受け面のアルチック部に
マスキングを施す工程、アルミナ部にダイヤモンド構
造を有する第２のカーボン膜をスパッタリングする工
程、スライダの空気軸受け面のアルチック部に施した
マスキングを除去する工程、スライダの空気軸受け面
の全面にダイヤモンド構造を有する第１のカーボン膜を
スパッタリングする工程、を含むことを特徴とする。Another method of manufacturing a magneto-resistance effect type magnetic head includes a step of masking an altic portion of an air bearing surface of a slider, a step of sputtering a second carbon film having a diamond structure on an alumina portion, Removing the masking applied to the altic portion of the air bearing surface, and sputtering a first carbon film having a diamond structure on the entire surface of the air bearing surface of the slider.
【００１８】さらに、別の磁気抵抗効果型磁気ヘッドの
製造方法は、スライダの空気軸受け面の全面にダイヤ
モンド構造を有する第１のカーボン膜をスパッタリング
する工程、スライダの空気軸受け面のアルチック部に
マスキングを施す工程、アルミナ部にダイヤモンド構
造を有する第２のカーボン膜をスパッタリングする工
程、スライダの空気軸受け面のアルチック部に施した
マスキングを除去する工程、を含むことを特徴とする。Further, another method of manufacturing a magneto-resistance effect type magnetic head includes a step of sputtering a first carbon film having a diamond structure on the entire surface of an air bearing surface of a slider, and a method of masking an altic portion of the air bearing surface of the slider. , A step of sputtering a second carbon film having a diamond structure on the alumina part, and a step of removing masking applied to the altic part of the air bearing surface of the slider.
【００１９】本発明によれば、磁気抵抗効果型磁気ヘッ
ドと磁気ディスク媒体との接触点と、磁気抵抗効果素子
との距離を長くするとともに、ダイヤモンドライクカー
ボン膜の膜厚を増加させて段差によるリセスを解消する
ことにより、磁気抵抗効果素子の温度上昇を抑制し、サ
ーマルアスペリティを低減する。According to the present invention, the distance between the contact point between the magneto-resistance effect type magnetic head and the magnetic disk medium and the magneto-resistance effect element is increased, and the thickness of the diamond-like carbon film is increased to reduce the step. By eliminating the recess, the temperature rise of the magnetoresistive element is suppressed, and the thermal asperity is reduced.
【００２０】[0020]
【発明の実施の形態】次に、本発明の構成について図面
を参照して説明する。図１は、本発明の一実施の形態を
示す磁気抵抗効果型磁気ヘッドが磁気ディスク媒体に接
触した状態を模式的に示す側面図である。なお、一般に
浮動型磁気ヘッドは、電磁変換素子を形成したスライダ
を、加圧支持ばねの一端に設けたジンバル機構に取り付
けたものを示すが、本実施例においては、磁気抵抗効果
型磁気ヘッドは、特に磁気抵抗効果素子を形成したスラ
イダのことを示すものとする。Next, the configuration of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a side view schematically showing a state in which a magnetoresistive magnetic head according to an embodiment of the present invention is in contact with a magnetic disk medium. In general, a floating magnetic head is one in which a slider on which an electromagnetic transducer is formed is attached to a gimbal mechanism provided at one end of a pressure supporting spring, but in this embodiment, a magnetoresistive magnetic head is In particular, it refers to a slider on which a magnetoresistive element is formed.
【００２１】図１を参照すると、本実施例における磁気
抵抗効果型磁気ヘッドの基本的な構成は従来と同様であ
って、磁気抵抗効果型磁気ヘッド１は、Ａｌ2 Ｏ3 −Ｔ
ｉＣ（以下、アルチックという）からなる硬質基板（ア
ルチック部２）上に、Ａｌ2Ｏ3 （以下、アルミナとい
う）からなる下層シールド層，ギャップ膜（図中、アル
ミナ部３として示す）、磁気抵抗効果膜からなる磁気抵
抗効果素子６およびアルミナからなる上層シールド層
（図中、アルミナ部３として示す）が順次積層されてい
る。また、アルチック部２上およびアルミナ部３上に
は、コーティング膜としてダイヤモンドライクカーボン
膜４が形成されている。Referring to FIG. 1, the basic configuration of the magnetoresistive head according to the present embodiment is the same as that of the prior art, and the magnetoresistive head 1 is made of Al2 O3 -T
On a hard substrate (altic portion 2) made of iC (hereinafter called altic), a lower shield layer made of Al2 O3 (hereafter called alumina), a gap film (shown as alumina portion 3 in the figure), and a magnetoresistive film. A magnetoresistive element 6 and an upper shield layer made of alumina (shown as an alumina part 3 in the figure) are sequentially laminated. Further, a diamond-like carbon film 4 is formed on the altic portion 2 and the alumina portion 3 as a coating film.
【００２２】そして、本実施例では、さらに磁気抵抗効
果型磁気ヘッド１のアルチック部２および磁気抵抗効果
素子６を含むアルミナ部３の浮揚面側（図中、磁気ディ
スク媒体７と対向する側）に、ダイヤモンドライクカー
ボン膜４を約１０ｎｍの厚さでスパッタリングを施す。
次に、アルチック部２上のダイヤモンドライクカーボン
膜４に対してマスキングを行い、アルミナ部３上のダイ
ヤモンドライクカーボン膜４上に、さらにダイヤモンド
ライクカーボン膜５を約１０ｎｍの厚さにスパッタリン
グを施す。すなわち、アルチック部２とアルミナ部３間
の段差によるリセスの箇所にダイヤモンドライクカーボ
ン膜５を形成する。In this embodiment, the flying surface side of the alumina portion 3 including the altic portion 2 and the magnetoresistive element 6 of the magnetoresistive head 1 (the side facing the magnetic disk medium 7 in the figure). Then, a diamond-like carbon film 4 is sputtered to a thickness of about 10 nm.
Next, the diamond-like carbon film 4 on the altic portion 2 is masked, and a diamond-like carbon film 5 is further sputtered on the diamond-like carbon film 4 on the alumina portion 3 to a thickness of about 10 nm. That is, the diamond-like carbon film 5 is formed at a recess due to a step between the altic portion 2 and the alumina portion 3.
【００２３】これにより、磁気抵抗効果型磁気ヘッド１
に存在するリセスが解消される。その結果、磁気抵抗効
果型磁気ヘッド１と磁気ディスク媒体７との接触位置
は、磁気抵抗効果素子６に、アルチック部２上のダイヤ
モンドライクカーボン膜４のエッジ部と比べて、より離
れた位置にあるアルミナ部３上のダイヤモンドライクカ
ーボン膜５のエッジ部（図中、符号Ａで示す）に限定さ
れ、例えば、図２に示すように、磁気抵抗効果型磁気ヘ
ッド１（スライダ）のピッチ角（図中、記号θで示す）
が、図１に示す状態より小さい場合でも、磁気抵抗効果
型磁気ヘッド１と磁気ディスク媒体７との接触位置（同
様に符号Ａで示す）は変わらない。Thus, the magnetoresistive head 1
The existing recess is eliminated. As a result, the position of contact between the magnetoresistive head 1 and the magnetic disk medium 7 is located at a position farther away from the magnetoresistive element 6 than the edge of the diamond-like carbon film 4 on the altic 2. It is limited to the edge portion of the diamond-like carbon film 5 on a certain alumina portion 3 (indicated by the symbol A in the drawing). For example, as shown in FIG. 2, the pitch angle of the magnetoresistive magnetic head 1 (slider) ( (Indicated by the symbol θ in the figure)
Is smaller than the state shown in FIG. 1, the contact position between the magnetoresistive head 1 and the magnetic disk medium 7 (similarly denoted by A) remains unchanged.
【００２４】また、ダイヤモンドライクカーボン膜５の
有する耐熱効果により、接触摺動時における磁気抵抗効
果素子６の温度上昇を低減できる。これにより、磁気抵
抗効果型磁気ヘッドの電気特性を低下させることなくサ
ーマルアスペリティの発生を抑制することができる。Further, due to the heat resistance effect of the diamond-like carbon film 5, the temperature rise of the magnetoresistive element 6 during contact sliding can be reduced. This makes it possible to suppress the occurrence of thermal asperity without deteriorating the electrical characteristics of the magnetoresistive head.
【００２５】次に、上述した磁気抵抗効果型磁気ヘッド
の製造方法について説明する。Next, a method of manufacturing the above-mentioned magnetoresistive head will be described.
【００２６】本発明の磁気抵抗効果型磁気ヘッドは、公
知の技術を用いてアルチック基板上に磁気抵抗効果素子
やアルミナの保護層などを形成した後、浮揚型スライダ
の形状に研削加工し、さらにスライダの空気軸受け面を
研磨加工する。そして、この空気軸受け面のアルチック
部にマスキングを施し、アルミナ部にダイヤモンド構造
を有するカーボン膜をスパッタリングする。The magneto-resistance effect type magnetic head of the present invention is formed by forming a magneto-resistance effect element, a protective layer of alumina, etc. on an Altic substrate by using a known technique, and then grinding it into a floating type slider. The air bearing surface of the slider is polished. Then, masking is performed on the altic portion of the air bearing surface, and a carbon film having a diamond structure is sputtered on the alumina portion.
【００２７】また、別の磁気抵抗効果型磁気ヘッドの製
造方法は、スライダの空気軸受け面を研磨加工後、スラ
イダの空気軸受け面のアルチック部にマスキングを施
し、アルミナ部にダイヤモンド構造を有するカーボン膜
をスパッタリングする。そして、マスキングを除去する
と、さらにスライダの空気軸受け面の全面にダイヤモン
ド構造を有するカーボン膜をスパッタリングする。In another method of manufacturing a magnetoresistive head, the air bearing surface of the slider is polished, the mask is applied to the altic portion of the air bearing surface of the slider, and the carbon film having a diamond structure is formed on the alumina portion. Is sputtered. When the masking is removed, a carbon film having a diamond structure is further sputtered on the entire surface of the air bearing surface of the slider.
【００２８】このとき、最初にスライダの空気軸受け面
の全面にダイヤモンド構造を有するカーボン膜をスパッ
タリングし、後にアルミナ部にダイヤモンド構造を有す
るカーボン膜をスパッタリングしてもよい。At this time, first, a carbon film having a diamond structure may be sputtered on the entire surface of the air bearing surface of the slider, and then a carbon film having a diamond structure may be sputtered on the alumina portion.
【００２９】[0029]
【発明の効果】以上説明したように、本発明の磁気抵抗
効果型磁気ヘッドおよびその製造方法によれば、アルチ
ック部とアルミナ部との間に生じるリセスを除去するこ
とにより、磁気ディスク媒体との接触摺動時における磁
気抵抗効果素子の温度上昇を低減できるため、電気特性
を低下させることなくサーマルアスペリティの発生を抑
制でき、ノイズ発生の少ない磁気抵抗効果型磁気ヘッド
を提供できるという効果がある。As described above, according to the magnetoresistive head of the present invention and the method of manufacturing the same, the recess formed between the AlTiC portion and the alumina portion is removed, thereby enabling the magnetic head to be connected to the magnetic disk medium. Since the temperature rise of the magnetoresistive element at the time of contact sliding can be reduced, it is possible to suppress the occurrence of thermal asperity without deteriorating the electrical characteristics, and to provide a magnetoresistive magnetic head with less noise.
【図１】本発明の一実施の形態を示す磁気抵抗効果型磁
気ヘッドが磁気ディスク媒体に接触した状態を模式的に
示す側面図である。FIG. 1 is a side view schematically illustrating a state in which a magnetoresistive head according to an embodiment of the present invention is in contact with a magnetic disk medium.
【図２】図１においてピッチ角が小さいときの磁気抵抗
効果型磁気ヘッドと磁気ディスク媒体との関係を模式的
に示す側面図である。FIG. 2 is a side view schematically showing the relationship between the magnetoresistive head and the magnetic disk medium when the pitch angle is small in FIG.
【図３】従来の磁気抵抗効果型磁気ヘッドが磁気ディス
ク媒体に接触した状態を模式的に示す側面図である。FIG. 3 is a side view schematically showing a state in which a conventional magnetoresistive head is in contact with a magnetic disk medium.
【図４】図３においてピッチ角が小さいときの磁気抵抗
効果型磁気ヘッドと磁気ディスク媒体との関係を模式的
に示す側面図である。FIG. 4 is a side view schematically showing the relationship between the magnetoresistive head and the magnetic disk medium when the pitch angle is small in FIG.
１，１１ 磁気抵抗効果型磁気ヘッド ２，１２ アルチック部 ３，１３ アルミナ部 ４，５，１４ ダイヤモンドライクカーボン膜 ６，１６ 磁気抵抗効果素子 ７，１７ 磁気ディスク媒体 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,11 Magnetoresistance effect type magnetic head 2,12 Altic part 3,13 Alumina part 4,5,14 Diamond-like carbon film 6,16 Magnetoresistance effect element 7,17 Magnetic disk medium
Claims (5)
からなる浮動型スライダの空気流出端側の側面に形成さ
れ、かつこのスライダの空気軸受け面に配置された磁気
抵抗効果素子を含むアルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）部を有する
磁気抵抗効果型磁気ヘッドにおいて、前記磁気抵抗効果
素子を含むアルミナ部上のみにダイヤモンド構造を有す
るカーボン膜を備えることを特徴とする磁気抵抗効果型
磁気ヘッド。1. An alumina (Al2 O3) formed on an air outflow end side of a floating type slider made of an Altic (Al2 O3 --TiC) substrate and including a magnetoresistive element disposed on an air bearing surface of the slider. A magnetoresistive head having a carbon film having a diamond structure only on the alumina portion including the magnetoresistive element.
からなる浮動型スライダの空気流出端側の側面に形成さ
れ、かつこのスライダの空気軸受け面に配置された磁気
抵抗効果素子を含むアルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）部を有する
磁気抵抗効果型磁気ヘッドにおいて、前記スライダの空
気軸受け面の全面に形成したダイヤモンド構造を有する
第１のカーボン膜と、前記磁気抵抗効果素子を含むアル
ミナ部上のみに形成したダイヤモンド構造を有する第２
のカーボン膜とを備えることを特徴とする磁気抵抗効果
型磁気ヘッド。2. An alumina (Al2 O3) formed on an air outflow end side of a floating slider made of an Altic (Al2 O3 --TiC) substrate and including a magnetoresistive element disposed on an air bearing surface of the slider. And a first carbon film having a diamond structure formed on the entire surface of the air bearing surface of the slider, and a diamond structure formed only on the alumina portion including the magnetoresistive element. The second with
And a carbon film.
ドの製造方法であって、次の工程を含むことを特徴とす
る磁気抵抗効果型磁気ヘッドの製造方法。 （１）スライダの空気軸受け面のアルチック（Ａｌ2 Ｏ
3 −ＴｉＣ）部にマスキングを施す工程 （２）アルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）部にダイヤモンド構造を
有するカーボン膜をスパッタリングする工程3. The method of manufacturing a magnetoresistive head according to claim 1, further comprising the following steps. (1) Altic (Al2O) on the air bearing surface of the slider
Step of masking the (3-TiC) part (2) Step of sputtering a carbon film having a diamond structure on the alumina (Al2 O3) part
ドの製造方法であって、次の工程を含むことを特徴とす
る磁気抵抗効果型磁気ヘッドの製造方法。 （１）スライダの空気軸受け面のアルチック（Ａｌ2 Ｏ
3 −ＴｉＣ）部にマスキングを施す工程 （２）アルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）部にダイヤモンド構造を
有する第２のカーボン膜をスパッタリングする工程 （３）スライダの空気軸受け面のアルチック（Ａｌ2 Ｏ
3 −ＴｉＣ）部に施したマスキングを除去する工程 （４）スライダの空気軸受け面の全面にダイヤモンド構
造を有する第１のカーボン膜をスパッタリングする工程4. A method of manufacturing a magneto-resistance effect type magnetic head according to claim 2, comprising the following steps. (1) Altic (Al2O) on the air bearing surface of the slider
(2) Step of sputtering a second carbon film having a diamond structure on the alumina (Al2 O3) section (3) Altic (Al2 O) on the air bearing surface of the slider
Step of removing masking applied to (3-TiC) portion (4) Step of sputtering a first carbon film having a diamond structure on the entire surface of the air bearing surface of the slider
ドの製造方法であって、次の工程を含むことを特徴とす
る磁気抵抗効果型磁気ヘッドの製造方法。 （１）スライダの空気軸受け面の全面にダイヤモンド構
造を有する第１のカーボン膜をスパッタリングする工程 （２）スライダの空気軸受け面のアルチック（Ａｌ2 Ｏ
3 −ＴｉＣ）部にマスキングを施す工程 （３）アルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）部にダイヤモンド構造を
有する第２のカーボン膜をスパッタリングする工程 （４）スライダの空気軸受け面のアルチック（Ａｌ2 Ｏ
3 −ＴｉＣ）部に施したマスキングを除去する工程5. The method of manufacturing a magnetoresistive magnetic head according to claim 2, comprising the following steps. (1) Step of sputtering a first carbon film having a diamond structure on the entire surface of the air bearing surface of the slider (2) Altic (Al2O) on the air bearing surface of the slider
(3) Step of masking the (TiC) portion (3) Step of sputtering a second carbon film having a diamond structure on the alumina (Al2 O3) portion (4) Altic (Al2 O) on the air bearing surface of the slider
Step of removing masking applied to 3-TiC) portion
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22676597A JPH1166518A (en) | 1997-08-22 | 1997-08-22 | Magnetoresistance effect-type magnetic head and its manufacture |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22676597A JPH1166518A (en) | 1997-08-22 | 1997-08-22 | Magnetoresistance effect-type magnetic head and its manufacture |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1166518A true JPH1166518A (en) | 1999-03-09 |
Family
ID=16850274
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22676597A Pending JPH1166518A (en) | 1997-08-22 | 1997-08-22 | Magnetoresistance effect-type magnetic head and its manufacture |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1166518A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6243234B1 (en) * | 1998-05-21 | 2001-06-05 | Maxtor Corporation | Disk drive including slider with contact edge and recessed read transducer |
| US6947259B2 (en) | 2002-07-30 | 2005-09-20 | Tdk Corporation | Magnetic head, magnetic head device and magnetic recording/reproducing device |
-
1997
- 1997-08-22 JP JP22676597A patent/JPH1166518A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6243234B1 (en) * | 1998-05-21 | 2001-06-05 | Maxtor Corporation | Disk drive including slider with contact edge and recessed read transducer |
| US6947259B2 (en) | 2002-07-30 | 2005-09-20 | Tdk Corporation | Magnetic head, magnetic head device and magnetic recording/reproducing device |
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|---|---|---|---|
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