JPH115857A - Surface treatment of supporter, surface treatment apparatus and coating method - Google Patents
Surface treatment of supporter, surface treatment apparatus and coating methodInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、連続搬送される支
持体上にグロー放電処理を施す表面処理方法、表面処理
装置及びこの表面処理がなされた支持体上に塗布液を塗
布する塗布方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a surface treatment method for performing a glow discharge treatment on a continuously transported support, a surface treatment apparatus, and a coating method for applying a coating solution on the surface-treated support. .
【０００２】[0002]
【従来の技術】支持体上に塗布液を塗布する前に、塗布
液の支持体上への接着性を向上させるために、従来から
種々の表面処理が行われている。例えば、ポリマー支持
体として各種ポリエステル支持体、例えば、ポリエチレ
ンテレフタレート（以下、ＰＥＴともいう）やポリエチ
レンナフタレート（以下、ＰＥＮともいう）を連続搬送
して、コーター等の塗布装置によって塗布液として写真
乳剤を塗布する場合には、ポリマー支持体と写真乳剤と
の膜付きを良くするために、コロナ放電処理、火炎処理
等の種々の表面改質法が発明されてきた。これら従来の
方法においては、均一性に問題があり、十分な接着性が
得られなかった。2. Description of the Related Art Prior to coating a coating solution on a support, various surface treatments have been conventionally performed to improve the adhesion of the coating solution to the support. For example, various polyester supports such as polyethylene terephthalate (hereinafter, also referred to as PET) or polyethylene naphthalate (hereinafter, also referred to as PEN) are continuously transported as a polymer support, and a photographic emulsion is formed as a coating solution by a coating apparatus such as a coater. In the case of coating, various surface modification methods such as corona discharge treatment and flame treatment have been invented in order to improve the adhesion between the polymer support and the photographic emulsion. In these conventional methods, there was a problem in uniformity, and sufficient adhesiveness could not be obtained.
【０００３】ところが、近年、電気放電処理を施すこと
により膜付き性を向上させる表面処理方法が特開平８−
１８８６５９号公報により提案された。かかる表面処理
方法は、大気圧下で、不活性ガスであるヘリウムと酸素
又は／及び窒素とを混合したガスを一対の電極間に供給
して、一対の電極間を搬送する支持体に対して電気放電
（グロー放電）処理を施すものである。However, in recent years, a surface treatment method for improving the film forming property by performing an electric discharge treatment has been disclosed in Japanese Unexamined Patent Publication No. Hei.
No. 1,886,659. Such a surface treatment method supplies a gas obtained by mixing helium, which is an inert gas, with oxygen or / and nitrogen, between a pair of electrodes under an atmospheric pressure to a support that is transported between the pair of electrodes. An electric discharge (glow discharge) process is performed.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記公報に
記載された表面処理方法においては、一対の電極間に供
給するガスにヘリウムを使用しているため、非常に高価
な気体となり、工業生産には適さない。However, in the surface treatment method described in the above-mentioned publication, helium is used as a gas supplied between a pair of electrodes. Is not suitable.
【０００５】更に、本発明者らが鋭意検討した結果、支
持体を連続搬送しながらグロー放電処理を施す際には、
以下のような課題、問題を見いだした。まず、グロー放
電処理には一対の電極間の間隙が重要な因子となってお
り、しかも、一対の電極間の間隙の中を安定して支持体
を搬送させることが、安定したグロー放電処理のために
必要となる。また、一対の電極間に常にガスを供給して
拡散を促すことが安定したグロー放電処理には必要であ
るが、使用されたガスをそのまま廃棄すると、高コスト
を招くばかりでなく、環境破壊にもつながる。また、グ
ロー放電処理の処理時間の経過に伴い、プラズマ反応に
よる一対の電極間のガス濃度の変化や電極の汚れ（異物
の付着）などにより、グロー放電処理を長時間、安定し
て施すことが困難である。更に、一対の電極間の間隙を
狭めるとグロー放電ではなくアーク放電が生じて安定し
た放電処理を行うことができないばかりでなく、支持体
や電極に傷をつける（穴があく）ことがある。Further, as a result of intensive studies by the present inventors, when performing glow discharge treatment while continuously transporting a support,
The following issues and problems were found. First, the gap between a pair of electrodes is an important factor in the glow discharge treatment, and moreover, it is necessary to stably transport the support in the gap between the pair of electrodes. It is necessary for In addition, it is necessary for stable glow discharge treatment to constantly supply gas between a pair of electrodes to promote diffusion, but if the used gas is discarded as it is, not only high cost is caused but also environmental destruction is caused. Also leads. In addition, as the processing time of the glow discharge process elapses, the glow discharge process can be stably performed for a long time due to a change in gas concentration between the pair of electrodes due to a plasma reaction and contamination of the electrodes (adhesion of foreign matter). Have difficulty. Further, when the gap between the pair of electrodes is narrowed, not only glow discharge but arc discharge is generated, so that stable discharge treatment cannot be performed, and the support and the electrodes may be damaged (holes).
【０００６】また、表面処理がなされた支持体上は膜付
き性が向上するように表面改質がなされているため、次
行程として塗布液を塗布するまでに巻き取ってしまう
と、くっつき固まり、いわゆる、ブロッキングが生じ、
良好な塗布を行うことができず、製品に致命的な欠陥が
生じる。更に、表面処理による支持体表面の改質効果は
経時劣化するために、表面処理後に塗布液を塗布する際
に、表面処理から時間の経過を経るほど膜付き性が低下
し、良好な塗布を行うことができない。[0006] Further, since the surface of the surface-treated support is surface-modified so as to improve the film-coating property, if the film is wound up before the application of the coating solution in the next step, it will stick and harden. So-called blocking occurs,
Good application cannot be performed, resulting in a fatal defect in the product. Further, since the effect of modifying the surface of the support by the surface treatment deteriorates with time, when the coating solution is applied after the surface treatment, as the time elapses from the surface treatment, the film coating property decreases, and a good coating is achieved. Can't do it.
【０００７】そこで、本発明においては、グロー放電に
よる表面処理を安価に行うことを第１課題とする。ま
た、一対の電極間の間隙を最適に保ち、しかも、支持体
を安定して搬送することにより、安定したグロー放電処
理を施すことを第２課題とする。また、低コスト化、環
境問題に対応し、かつ、安定したグロー放電処理を施す
ことを第３課題とする。また、グロー放電処理を長時
間、安定して施すことを第４課題とする。また、アーク
放電の発生を抑え、安定したグロー放電をさせ、均一な
放電処理を可能とし、支持体や電極に傷をつけないこと
を第５課題とする。また、表面処理後に塗布液を塗布す
る際にブロッキングを生じさせず、良好な塗布を可能と
することを第６課題とする。また、表面処理後に塗布液
を塗布する際に、膜付き性を低下させずに、良好な塗布
を可能とすることを第７課題とする。Therefore, it is a first object of the present invention to perform inexpensive surface treatment by glow discharge. It is a second object of the present invention to perform a stable glow discharge process by maintaining the gap between the pair of electrodes at an optimum level and stably transporting the support. In addition, a third object is to provide a stable glow discharge treatment that is cost-effective and responds to environmental problems. A fourth object is to perform the glow discharge treatment stably for a long time. A fifth object is to suppress the occurrence of arc discharge, to perform stable glow discharge, to enable uniform discharge treatment, and not to damage the support and the electrodes. A sixth object is to enable good coating without causing blocking when applying a coating liquid after the surface treatment. It is a seventh object of the present invention to make it possible to perform good coating without lowering film-forming properties when applying a coating liquid after surface treatment.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】上記第１課題は、連続搬
送される支持体の表面を処理する方法において、一対の
電極間を、大気圧若しくはその近傍下で少なくとも５０
圧力％以上のアルゴンを含有したガスの雰囲気とし、か
つ、前記一対の電極間の間隙を１０ｍｍ以下とし、前記
一対の電極間を連続搬送されている支持体に対してグロ
ー放電を施すことを特徴とする支持体の表面処理方法に
よって解決することができる。即ち、本発明において
は、少なくとも５０圧力％以上のアルゴンを含有したガ
スをグロー放電を行う雰囲気とするので、ヘリウムに比
して安価にその雰囲気を形成することができるばかりで
なく、アルゴンを用いることによりその分子量が大きい
ために支持体表面を叩き凹凸をつけるエッジング効果に
優れるため、膜付き性の向上をはかることができる。し
かも、この雰囲気中で一対の電極間の間隙を１０ｍｍ以
下とすることにより、グロー放電の安定化を図ることが
できる。The first object of the present invention is to provide a method for treating the surface of a continuously transported support, comprising the steps of:
An atmosphere of a gas containing argon at a pressure of not less than%, a gap between the pair of electrodes is set to 10 mm or less, and glow discharge is performed on a support that is continuously transported between the pair of electrodes. The method can be solved by a surface treatment method for a support. That is, in the present invention, since a gas containing at least 50% by pressure or more of argon is used as an atmosphere for performing glow discharge, the atmosphere can be formed at a lower cost than helium, and argon is used. As a result, since the molecular weight is large, the surface of the support is beaten to provide an uneven edging effect, so that the film-forming property can be improved. Moreover, by setting the gap between the pair of electrodes to 10 mm or less in this atmosphere, the glow discharge can be stabilized.
【０００９】上記第２課題は、一対の電極間を連続搬送
されている支持体に対して、グロー放電を施す支持体の
表面処理装置において、前記一対の電極間を搬送されて
いる支持体に対して、少なくとも５０圧力％以上の不活
性ガスを含有したガスを噴出させることにより、前記一
対の電極間を搬送されている支持体を、前記一対の電極
各々に非接触で支持することを特徴とする支持体の表面
処理装置、又は、一対の電極間を連続搬送されている支
持体に対して、グロー放電を施す支持体の表面処理装置
において、前記一対の電極のうち一方の第１電極に支持
体を接触させながら搬送するとともに、他方の第２電極
を、前記第１電極との間隙が１０ｍｍ以下になるように
対向して配置し、前記第１電極と前記第２電極との間
に、少なくとも５０圧力％以上の不活性ガスを含有した
ガスを供給しつつ、支持体に対してグロー放電を施すこ
とを特徴とする支持体の表面処理装置によって解決する
ことができる。即ち、ガスを噴出して搬送されている支
持体を非接触で支持する、又は、一方の電極に接触して
支持するので、一つの電極間の間隙の中を安定して搬送
することができ、安定したグロー放電処理を施すことが
できる。A second object of the present invention is to provide a support surface treatment apparatus for performing glow discharge on a support continuously transported between a pair of electrodes. On the other hand, by ejecting a gas containing at least 50% by pressure or more of an inert gas, the support carried between the pair of electrodes is supported in a non-contact manner on each of the pair of electrodes. A surface treatment device for a support, or a support surface treatment device for performing a glow discharge on a support continuously transported between a pair of electrodes, wherein the first electrode of one of the pair of electrodes is And the other second electrode is disposed so as to face the first electrode with a gap of 10 mm or less, and a gap between the first electrode and the second electrode is provided. At least 50 While supplying a gas containing forces% or more inert gases, it can be solved by the surface treatment apparatus of a support characterized by applying the glow discharge to the support. In other words, the support that is being conveyed by ejecting gas is supported in a non-contact manner, or is supported in contact with one electrode, so that it can be stably conveyed in the gap between one electrode. And a stable glow discharge treatment can be performed.
【００１０】また、上記第３課題は、大気圧若しくはそ
の近傍下で、少なくとも５０圧力％以上の不活性ガスを
含有したガスの雰囲気とした一対の電極間を、連続搬送
されている支持体に対して、グロー放電を施す支持体の
表面処理装置において、前記一対の電極間のガスの少な
くとも一部を循環させることを特徴とする支持体の表面
処理装置によって解決することができる。即ち、使用さ
れたガスにはグロー放電で消費されないガスがあるた
め、これを循環して一対の電極間に供給することによ
り、ガスの拡散を促して安定したグロー放電処理を行う
ことができ、しかも、廃棄するガスが減り、低コスト
化、環境問題に対応することができる。A third object is to provide a support which is continuously transported between a pair of electrodes in a gas atmosphere containing an inert gas of at least 50% by pressure at or near atmospheric pressure. On the other hand, the problem can be solved by a surface treatment device for a support, which circulates at least a part of the gas between the pair of electrodes in the device for surface treatment of a support for performing glow discharge. That is, since the used gas includes a gas that is not consumed by the glow discharge, by circulating and supplying the gas between the pair of electrodes, it is possible to promote the diffusion of the gas and perform a stable glow discharge process, In addition, the amount of gas to be discarded is reduced, and cost reduction and environmental problems can be addressed.
【００１１】また、上記第４課題は、大気圧若しくはそ
の近傍下で、少なくとも５０圧力％以上の不活性ガスを
含有したガスの雰囲気とした一対の電極間を、連続搬送
されている支持体に対して、グロー放電を施す支持体の
表面処理装置において、前記一対の電極間のガスの濃度
を検出する検出手段と、前記検出手段により検出したガ
スの濃度に応じて、前記一対の電極間へ供給するガスを
制御することを特徴とする支持体の表面処理装置、又
は、大気圧若しくはその近傍下で、少なくとも５０圧力
％以上の不活性ガスを含有したガスの雰囲気とした一対
の電極間を、連続搬送されている支持体に対して、グロ
ー放電を施す支持体の表面処理装置において、定電圧条
件下で、前記一対の電極間に流れる電流若しくは消費す
る電力が一定になるように制御することを特徴とする支
持体の表面処理装置によって達成することができる。即
ち、グロー放電処理の処理時間の経過に伴い、プラズマ
反応による一対の電極間のガス濃度の変化を検出し、こ
れに基づいてガスを供給することによりガス濃度の変化
を抑えることができ、又は、電極の汚れ（異物の付着）
などによる電源出力（電圧を一定に保ったまま電圧間に
流れる電流若しくは消費する電力）の低下を防ぐことが
できるため、グロー放電処理を長時間、安定して施すこ
とができる。A fourth object is to provide a support which is continuously transported between a pair of electrodes in a gas atmosphere containing at least 50% by pressure of inert gas at or near atmospheric pressure. On the other hand, in a surface treatment apparatus for a support that performs glow discharge, a detecting unit that detects a gas concentration between the pair of electrodes, and a gas between the pair of electrodes according to the gas concentration detected by the detecting unit. A surface treatment device for a support, characterized by controlling a gas to be supplied, or between a pair of electrodes in an atmosphere of a gas containing at least 50% by pressure or more of an inert gas at or near atmospheric pressure. In a support surface treatment apparatus for performing glow discharge on a continuously transported support, the current flowing between the pair of electrodes or the power consumed becomes constant under a constant voltage condition. Be controlled so can be achieved by surface treatment apparatus support according to claim. That is, with the lapse of the processing time of the glow discharge processing, a change in the gas concentration between the pair of electrodes due to the plasma reaction is detected, and the change in the gas concentration can be suppressed by supplying the gas based on the detected change, or , Electrode contamination (adhesion of foreign matter)
For example, it is possible to prevent a decrease in power supply output (a current flowing between voltages or a consumed power while keeping the voltage constant), so that the glow discharge process can be stably performed for a long time.
【００１２】また、上記第５課題は、大気圧若しくはそ
の近傍下で、少なくとも５０圧力％以上の不活性ガスを
含有したガスの雰囲気とした一対の電極間を、連続搬送
されている支持体に対して、グロー放電を施す支持体の
表面処理装置において、前記一対の電極各々は、導電性
部材と誘電体とを有し、前記一対の電極が対向している
導電性部材の面積よりも広い面積を有する誘電体を、少
なくとも前記一対の電極が対向している面を含んで前記
導電性部材に設けたことを特徴とする支持体の表面処理
装置によって解決することができる。即ち、誘電体を広
く設けることによりアーク放電の発生を抑え、安定した
グロー放電をさせ、均一な放電処理を可能とし、支持体
や電極に傷をつけないことができる。The fifth object is to provide a support which is continuously transported between a pair of electrodes in a gas atmosphere containing at least 50% by pressure of inert gas at or near atmospheric pressure. On the other hand, in a surface treatment apparatus for a support that performs glow discharge, each of the pair of electrodes has a conductive member and a dielectric, and is wider than an area of the conductive member facing the pair of electrodes. This problem can be solved by a surface treatment device for a support, wherein a dielectric having an area is provided on the conductive member including at least a surface of the pair of electrodes facing each other. That is, by providing a wide dielectric material, the occurrence of arc discharge can be suppressed, stable glow discharge can be performed, uniform discharge processing can be performed, and the support and electrodes can be prevented from being damaged.
【００１３】また、上記第６課題は、表面処理がなされ
た連続搬送される支持体上に、塗布液を塗布する塗布方
法において、前記表面処理がなされた支持体を、巻き取
ることなく搬送し、塗布液を塗布することを特徴とする
塗布方法によって解決することができる。即ち、表面処
理がなされた支持体を巻き取ることなく搬送し、該支持
体上に塗布液を塗布するので、ブロッキングを生じさせ
ず、良好な塗布を可能とすることができる。A sixth object of the present invention is to provide a coating method in which a coating solution is applied onto a continuously transported support having been subjected to surface treatment, wherein the surface-treated support is transported without being wound up. The problem can be solved by a coating method characterized by applying a coating liquid. That is, since the surface-treated support is transported without being wound up and the coating solution is applied on the support, good coating can be achieved without causing blocking.
【００１４】また、上記第７課題は、表面処理がなされ
た連続搬送される支持体上に、塗布液を塗布する塗布方
法において、前記表面処理がなされた後、１０分以内
に、塗布液を塗布することを特徴とする塗布方法によっ
て解決することができる。即ち、表面処理による支持体
表面の改質効果の経時劣化により膜付き性が低下しない
うちに塗布液を塗布するので、良好な塗布を可能とする
ことができる。A seventh object of the present invention is to provide a coating method for applying a coating solution on a continuously transported support having been subjected to a surface treatment, wherein the coating solution is applied within 10 minutes after the surface treatment is performed. The problem can be solved by a coating method characterized by coating. That is, since the coating liquid is applied before the film-coating property is reduced due to the deterioration with time of the effect of modifying the surface of the support due to the surface treatment, good coating can be achieved.
【００１５】なお、本明細書でいう「グロー放電」と
は、真空下で起こるグロー放電に似た放電のことをい
う。The term "glow discharge" as used herein refers to a discharge similar to a glow discharge that occurs under vacuum.
【００１６】[0016]
（第１の実施の形態）まず、第１の実施の形態につい
て、グロー放電処理を施す表面処理装置１０の概略構成
図である図１に基づいて説明する。(First Embodiment) First, a first embodiment will be described with reference to FIG. 1 which is a schematic configuration diagram of a surface treatment apparatus 10 for performing a glow discharge treatment.
【００１７】図示しない搬送手段により一対の電極２、
３の間を連続搬送される支持体１は、好ましくはポリマ
ー支持体であり、更に好ましくは各種ポリエステル支持
体、例えば、ＰＥＴやＰＥＮなどであり、感光材料の製
造に用いられるものである。A pair of electrodes 2,
The support 1 conveyed continuously between 3 is preferably a polymer support, more preferably a various polyester support, for example, PET or PEN, which is used for producing a photosensitive material.
【００１８】この支持体１が搬送される一対の電極２、
３間は、大気圧若しくはその近傍下で少なくとも５０圧
力％以上の不活性ガス（好ましくはアルゴンであり、以
下、アルゴンとして説明する）を含有したガスの雰囲気
とされている。なお、このガスの雰囲気としてアルゴン
の他に酸素及び／又は窒素及び／又は二酸化炭素及び／
又はヘリウム及び／又はケトン若しくは炭化水素を含む
気体及び／又は水蒸気を含有してもよい。特に、酸素及
び／又は窒素及び／又は二酸化炭素及び／又はケトン若
しくは炭化水素を含む気体及び／又は水蒸気を含有して
いる方が、化学的改質を行うことができ膜付き性の向上
を図ることができる。このガスは、図示しない供給手段
によって一対の電極２、３間に供給され、その雰囲気を
保っている。A pair of electrodes 2 on which the support 1 is transported,
The space between the three is an atmosphere of a gas containing at least 50% by pressure or more of an inert gas (preferably argon, and hereinafter, described as argon) at or near atmospheric pressure. In addition, as an atmosphere of this gas, other than argon, oxygen and / or nitrogen and / or carbon dioxide and / or
Alternatively, it may contain gas containing helium and / or ketone or hydrocarbon and / or water vapor. In particular, those containing a gas and / or water vapor containing oxygen and / or nitrogen and / or carbon dioxide and / or a ketone or hydrocarbon can perform chemical reforming and improve film-forming properties. be able to. This gas is supplied between the pair of electrodes 2 and 3 by a supply unit (not shown) to maintain the atmosphere.
【００１９】一対の電極２、３は、平板電極であり、導
電性部材、例えば、ステンレス、アルミニウム、銅など
の金属と誘電体（例えば、セラミックなど）とから形成
されており、少なくとも一対の電極２、３の対向する面
（穴２１、３１が設けられた面）には誘電体（図示せ
ず）が設けられている。そして、この一対の電極２、３
間の間隙は１０ｍｍ以下になるように設定されている。
また、この一対の電極２、３が互いに対向する面上に、
複数の開口部としての穴２１、３１を設けるとともに、
対向する面とは反対側には、供給手段からガスが供給さ
れる供給口２２、３２が設けられている。また、一対の
電極２、３は中空にした中空部２３、３３を有してお
り、供給口２２、３２から供給されたガスを一旦滞留さ
せ、複数の穴２１、３１から均等に噴出させる。複数の
穴２１、３１から噴出されたガスは、連続搬送されてい
る支持体を、一対の電極２、３各々に非接触で支持す
る。また、一対の電極２、３に、１ｋＨｚ以上、１００
ｋＨｚ以下、好ましくは１ｋＨｚ以上１０ｋＨｚ以下の
周波数を有する図示しない電源を接続することにより、
一対の電極２、３間にグロー放電を生じせしめる。The pair of electrodes 2 and 3 are plate electrodes, and are formed of a conductive member, for example, a metal such as stainless steel, aluminum or copper, and a dielectric (for example, ceramic). Dielectrics (not shown) are provided on a few opposing surfaces (surfaces on which holes 21 and 31 are provided). Then, the pair of electrodes 2, 3
The gap between them is set to be 10 mm or less.
Also, on a surface where the pair of electrodes 2 and 3 face each other,
While providing holes 21 and 31 as a plurality of openings,
On the side opposite to the facing surface, supply ports 22 and 32 to which gas is supplied from the supply means are provided. In addition, the pair of electrodes 2 and 3 have hollow portions 23 and 33 made hollow, and the gas supplied from the supply ports 22 and 32 is temporarily retained and ejected from the plurality of holes 21 and 31 uniformly. The gas ejected from the plurality of holes 21 and 31 supports the support being continuously transported by the pair of electrodes 2 and 3 in a non-contact manner. The pair of electrodes 2 and 3 have a frequency of 1 kHz or more and 100
By connecting a power supply (not shown) having a frequency of 1 kHz or less, preferably 1 kHz or more and 10 kHz or less,
Glow discharge is generated between the pair of electrodes 2 and 3.
【００２０】このように本実施の形態では、連続搬送さ
れている支持体１の表面（本実施の形態では両面）に対
して、大気圧若しくはその近傍下で少なくとも５０圧力
％以上のアルゴンを含有したガスの雰囲気とした一対の
電極２、３間でグロー放電を行うことにより、膜付き性
を向上させることができる。しかも、ヘリウムよりも安
価なアルゴンを少なくとも５０圧力％以上含んだガスを
用いるので、ランニングコストの低減を図ることができ
る。しかも、アルゴンを用いることにより、その分子量
がヘリウムに比して大きいために、支持体１表面を叩き
凹凸をつけるエッジング効果に優れるため、更に膜付き
性を向上させることができる。更に、本実施の形態で
は、一対の電極２、３間の間隙を１０ｍｍ以下とするこ
とにより、安定したグロー放電を生じせしめることがで
きる。As described above, in the present embodiment, at least 50% by pressure or more of argon is contained at or near atmospheric pressure with respect to the surface (both surfaces in the present embodiment) of the continuously transported support 1. By performing a glow discharge between the pair of electrodes 2 and 3 in the atmosphere of the gas, the film-forming property can be improved. In addition, since a gas containing at least 50% by pressure of argon, which is cheaper than helium, is used, the running cost can be reduced. In addition, the use of argon has an excellent edging effect of hitting the surface of the support 1 and providing irregularities because its molecular weight is larger than that of helium, so that the film-forming property can be further improved. Further, in the present embodiment, a stable glow discharge can be generated by setting the gap between the pair of electrodes 2 and 3 to 10 mm or less.
【００２１】また、本実施の形態では、電極２、３に設
けた複数の穴２１、３１から連続搬送されている支持体
１に対してガスを噴出させることにより、一対の電極
２、３間を搬送されている支持体１を一対の電極２、３
各々に非接触で支持するので狭い一対の電極２、３間を
安定して搬送して、しかも、一対の電極２、３間に直接
ガスを噴出するのでガスの拡散を促進して安定したグロ
ー放電処理を施すことができ、更に、両面の表面処理を
一度で行うことができ処理効率の向上を図ることができ
る。なお、電極２、３に穴２１、３１を設けてガスを噴
出させるようにしたが、これに限られず、支持体１の搬
送方向に直交する方向に伸びるスリットを複数設けてガ
スを噴出させるようにしてもよい。In this embodiment, the gas is ejected from the plurality of holes 21 and 31 provided in the electrodes 2 and 3 to the support 1 which is continuously conveyed, so that the pair of electrodes 2 and 3 is Is transported to a pair of electrodes 2 and 3
Since each is supported in a non-contact manner, it is stably conveyed between a pair of narrow electrodes 2 and 3, and a gas is jetted directly between a pair of electrodes 2 and 3, thereby promoting gas diffusion to achieve a stable glow. Discharge treatment can be performed, and further, surface treatment of both surfaces can be performed at once, thereby improving treatment efficiency. It should be noted that the gas is ejected by providing holes 21 and 31 in the electrodes 2 and 3. However, the present invention is not limited to this, and a plurality of slits extending in a direction orthogonal to the transport direction of the support 1 may be provided to eject the gas. It may be.
【００２２】また、本実施の形態では、支持体１が一対
の電極２、３間へ入る入り口側（図１においては上側）
に、一対のニップローラ４を設けている。この一対のニ
ップローラ４は、支持体１の搬送に伴う同伴風が一対の
電極２、３間（若しくは、後段の第５、６の実施の形態
で示すように表面処理装置１０を囲む処理室６の入り口
に設けられた場合は、処理室６内）に入ることを防ぐ防
止手段として作用し、これにより同伴風が一対の電極
２、３間に入ることなくガス濃度の変化を防止し、安定
したグロー放電を可能にする。なお、この防止手段とし
ては、本実施の形態の一対のニップローラ４の代わり
に、電極２、３間の雰囲気と同じガスを用いたエアーブ
レードを用いてもよい。Further, in the present embodiment, the entrance side where the support 1 enters between the pair of electrodes 2 and 3 (the upper side in FIG. 1)
, A pair of nip rollers 4 is provided. The pair of nip rollers 4 causes the accompanying wind accompanying the transport of the support 1 to flow between the pair of electrodes 2 and 3 (or the processing chamber 6 surrounding the surface processing apparatus 10 as described in the fifth and sixth embodiments below). If it is provided at the entrance of the processing chamber 6), it acts as a preventing means for preventing the gas from entering the processing chamber 6), thereby preventing the accompanying wind from changing between the pair of electrodes 2 and 3, thereby preventing the gas concentration from changing and stabilizing it. Glow discharge. In addition, as this prevention means, an air blade using the same gas as the atmosphere between the electrodes 2 and 3 may be used instead of the pair of nip rollers 4 of the present embodiment.
【００２３】また、本実施の形態では、支持体１の搬送
方向を鉛直方向にすることにより、平板電極である一対
の電極２、３各々の平面性を損なうことがなく、一対の
電極２、３間の間隙を保つのに有利である。Further, in the present embodiment, the transport direction of the support 1 is set to the vertical direction, so that the flatness of the pair of electrodes 2 and 3 which are plate electrodes is not impaired. It is advantageous to keep the gap between the three.
【００２４】また、本実施の形態では、表面処理装置１
０を１つだけ設けたものについて説明したが、図２に示
すように、上述した表面処理装置１０を複数設けてもよ
い。なお、図２の装置は本実施の形態と同じなので説明
を省略する。また、図２のように並べるのではなく、支
持体１の搬送方向に並置してもよい。In the present embodiment, the surface treatment device 1
Although a case where only one 0 is provided has been described, a plurality of the above-described surface treatment apparatuses 10 may be provided as shown in FIG. The apparatus shown in FIG. 2 is the same as that of the present embodiment, and the description is omitted. Further, instead of being arranged as shown in FIG. 2, they may be arranged side by side in the transport direction of the support 1.
【００２５】（第２の実施の形態）次に第２の実施の形
態について、表面処理装置の概略構成図である図３に基
づいて説明する。上述した第１の実施の形態は一対の電
極として平板電極を用いて支持体を直線移動させたもの
であるが、本実施の形態では曲面電極を用いたものであ
る。なお、以下に説明するもの以外は、上述した第１の
実施の形態と同じとし、同じ番号を付与した構成につい
ても同じ作用・構成であるものとして説明を省略する。(Second Embodiment) Next, a second embodiment will be described with reference to FIG. 3, which is a schematic configuration diagram of a surface treatment apparatus. In the first embodiment described above, the support is moved linearly using a flat plate electrode as a pair of electrodes, but in the present embodiment, a curved electrode is used. The components other than those described below are the same as those in the first embodiment described above, and the description of the components assigned the same reference numerals will be omitted because they have the same operation and configuration.
【００２６】本実施の形態の電極２、３は、支持体１の
表面と平行であって支持体１の搬送方向と直交する方向
から見たときに、対向する面の断面形状が曲面となって
いる曲面板電極である。そして、この電極２、３を複数
（図２においては３つ）搬送方向に並べることにより、
搬送されている支持体１が蛇行するするように構成して
いる（なお、本実施の形態では、電極２、３の形状が異
なる他は第１の実施の形態と同様である）。従って、供
給口２２、３２から供給されたガスを中空部２３、３３
で一旦滞留させ、複数の穴２１、３１から均等に噴出さ
せる。複数の穴２１、３１から噴出されたガスは、連続
搬送されている支持体を、その間隙が１０ｍｍ以下に設
定された一対の電極２、３各々に非接触で、蛇行するよ
うに支持しているので、狭い一対の電極２、３間を安定
して搬送して、しかも、一対の電極２、３間に直接ガス
を噴出するのでガスの拡散を促進して安定したグロー放
電処理を施すことができ、更に、両面の表面処理を一度
で行うことができ処理効率の向上を図ることができる。The electrodes 2 and 3 of the present embodiment have a curved cross section when viewed from a direction parallel to the surface of the support 1 and perpendicular to the transport direction of the support 1. Curved plate electrode. By arranging a plurality of (three in FIG. 2) electrodes 2 and 3 in the transport direction,
The transported support 1 is configured to meander (this embodiment is the same as the first embodiment except that the shapes of the electrodes 2 and 3 are different). Therefore, the gas supplied from the supply ports 22 and 32 is supplied to the hollow portions 23 and 33.
, And are ejected from the plurality of holes 21 and 31 evenly. The gas ejected from the plurality of holes 21 and 31 supports the continuously transported support in a meandering manner without contact with each of the pair of electrodes 2 and 3 whose gap is set to 10 mm or less. Therefore, the gas can be stably transported between the pair of narrow electrodes 2 and 3, and gas is jetted directly between the pair of electrodes 2 and 3, so that gas diffusion is promoted and stable glow discharge treatment is performed. In addition, the surface treatment of both surfaces can be performed at once, and the processing efficiency can be improved.
【００２７】更に、本実施の形態では蛇行させるように
電極２、３を設けたので、上述した第１の実施の形態よ
り更に安定した搬送を行うことができ、そのために、電
極２、３間の間隙を更に狭めることができるので、効率
がよくしかも安定したグロー放電を施すことができる。Further, in this embodiment, since the electrodes 2 and 3 are provided so as to meander, the conveyance can be performed more stably than in the above-described first embodiment. Can be further narrowed, so that an efficient and stable glow discharge can be performed.
【００２８】なお、本実施の形態では、電極２、３に穴
２１、３１を設けてガスを噴出させるようにしたが、こ
れに限られず、支持体１の搬送方向に直交する方向に伸
びるスリットを複数設けてガスを噴出させるようにして
もよい。また、本実施の形態では、複数の電極を支持体
の搬送方向に並置して、支持体を蛇行させるように構成
することにより、電極の作成や電極間の間隙の調整を容
易にできるが、これら複数の電極を一体的に構成しても
よい。また、図２においては、第１の実施の形態で示し
た防止手段（ニップローラやエアーブレード）を省略し
たが、設けてもよいことはいうまでもない。In this embodiment, the electrodes 2 and 3 are provided with holes 21 and 31 so as to eject gas. However, the present invention is not limited to this, and the slits extending in the direction perpendicular to the direction of transport of the support 1 are provided. May be provided to eject gas. Further, in the present embodiment, by forming a plurality of electrodes side by side in the transport direction of the support and making the support meander, it is possible to easily create the electrodes and adjust the gap between the electrodes. These plural electrodes may be integrally formed. In FIG. 2, the prevention means (nip roller and air blade) shown in the first embodiment is omitted, but it goes without saying that it may be provided.
【００２９】（第３の実施の形態）次に第３の実施の形
態について、表面処理装置の概略構成図である図４
（ａ）に基づいて説明する。本実施の形態は、上述した
第１、２の実施の形態で示した電極の変形例であり、一
対の電極２、３のうち一方の電極３（以下、本実施の形
態では第１電極３といい、他方の電極を第２電極２とい
う）を円筒状（円柱状でもよい）のロール電極とし、支
持体１を接触させながら搬送するものである。なお、以
下に説明するもの以外は、上述した第１、２の実施の形
態と同じとし、同じ番号を付与した構成についても同じ
作用・構成であるものとして説明を省略することもあ
る。(Third Embodiment) Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
Description will be made based on (a). This embodiment is a modification of the electrodes shown in the first and second embodiments described above, and is one of the pair of electrodes 2 and 3 (hereinafter, the first electrode 3 in the present embodiment). That is, the other electrode is referred to as a second electrode 2), which is a cylindrical (or cylindrical) roll electrode, and is transported while the support 1 is in contact with the roll electrode. Except for what is described below, it is assumed to be the same as the first and second embodiments described above, and the description of the components having the same reference numerals may be omitted because they have the same operation and configuration.
【００３０】第１電極３は、ロール電極であり、支持体
１と接触しその搬送とともに回転する。なお、第１電極
３はロール状の導電性部材の周面に誘電体（図示せず）
が設けられている。一方、第２電極２は、第１電極３の
周面と対向するように（間隙は１０ｍｍ以下）配置され
た第１電極３の軸方向から見たときの断面形状が曲面と
なっている曲面電極である。従って、供給口２２から供
給されたガスを中空部２３で一旦滞留させ、複数の穴２
１から均等に噴出させ、第１電極３と第２電極２との間
の間隙を、ガスの雰囲気とさせる。そして、第１電極３
と第２電極間に電源周波数１ｋＨｚ以上１００ｋＨｚ以
下（好ましくは、１ｋＨｚ以上１０ｋＨｚ以下）を印加
することにより、連続搬送されている支持体１の第２電
極２に対向する面に対してグロー放電を施すことができ
る。The first electrode 3 is a roll electrode, which comes into contact with the support 1 and rotates with its transport. In addition, the first electrode 3 is provided on the peripheral surface of the roll-shaped conductive member by a dielectric (not shown).
Is provided. On the other hand, the second electrode 2 is a curved surface having a curved cross section when viewed from the axial direction of the first electrode 3 disposed so as to face the peripheral surface of the first electrode 3 (the gap is 10 mm or less). Electrodes. Therefore, the gas supplied from the supply port 22 is temporarily retained in the hollow portion 23, and the plurality of holes 2
1 and the gap between the first electrode 3 and the second electrode 2 is made to be a gas atmosphere. And the first electrode 3
By applying a power frequency of 1 kHz or more and 100 kHz or less (preferably 1 kHz or more and 10 kHz or less) between the first electrode and the second electrode, a glow discharge is generated on the surface of the continuously transported support 1 facing the second electrode 2. Can be applied.
【００３１】このように、本実施の形態では、第１電極
３に支持体１を接触させながら搬送し、グロー放電処理
を施すことにより、支持体１を安定して搬送することが
でき、安定したグロー放電処理を施すことができる。し
かも、第１電極３によって搬送される支持体１を支持し
ているので、第２電極２をより近接して配置することが
でき、効率がよくしかも安定したグロー放電を施すこと
ができる。また、本実施の形態では、第１電極３が支持
体１の搬送に伴って回転するので、支持体１を傷つけず
に搬送でき、安定したグロー放電を施すことができる。
また、本実施の形態では、ニップローラ４を第１電極３
に接触させて回転させることにより、上述した第１の実
施の形態のように一対のニップローラを必要とせずに、
同伴風進入の防止を低コストで実現できる。As described above, in the present embodiment, the support 1 is transported while being in contact with the first electrode 3 and subjected to glow discharge treatment, so that the support 1 can be transported stably. Glow discharge treatment can be performed. In addition, since the support 1 that is transported by the first electrode 3 is supported, the second electrode 2 can be disposed closer to the device, and efficient and stable glow discharge can be performed. Further, in the present embodiment, since the first electrode 3 rotates with the conveyance of the support 1, the first electrode 3 can be conveyed without damaging the support 1, and a stable glow discharge can be performed.
In the present embodiment, the nip roller 4 is connected to the first electrode 3.
By rotating by contacting with the nip roller, a pair of nip rollers are not required as in the first embodiment described above,
Prevention of entrainment winds can be realized at low cost.
【００３２】なお、本実施の形態では、第２電極２に穴
２１を設けてガスを噴出させるようにしたが、これに限
られず、支持体１の搬送方向に直交する方向に伸びるス
リットを複数設けてガスを噴出させるようにしてもよ
い。In the present embodiment, the gas is ejected by providing the hole 21 in the second electrode 2. However, the present invention is not limited to this, and a plurality of slits extending in a direction orthogonal to the transport direction of the support 1 are provided. A gas may be jetted out.
【００３３】また、本実施の形態のように、一方の電極
３に支持体１を接触させながらグロー放電処理を施す場
合には、支持体１の片面しか行うことができないが、図
４（ｂ）のように、電極３に接触する支持体１の面が異
なる面となるように複数の電極３を千鳥状に設けること
により、支持体１の両面をグロー放電処理を行うことが
できる。なお、この場合は電極３を４つ設けているの
で、電極３に対向する電極２、２′各々は一体的に構成
することにより、電極２、２′の剛性を上げることがで
き、電極間の間隙を保ちやすくなる。また、一体的に構
成することにより、同伴風の進入を防止するニップロー
ラ４、４′も複数の電極３毎に設ける必要はなく、低コ
スト化を実現できる。しかも、この場合、鉛直方向に複
数の電極を並置しているので、電極の保守点検時には、
電極２、２′を図４（ｂ）において左右方向にスライド
させればよいので、その作業性が向上する。When the glow discharge treatment is performed while the support 1 is in contact with one of the electrodes 3 as in the present embodiment, only one surface of the support 1 can be used. As described in (2)), by providing a plurality of electrodes 3 in a staggered manner so that the surfaces of the support 1 that come into contact with the electrodes 3 are different, glow discharge treatment can be performed on both surfaces of the support 1. In this case, since the four electrodes 3 are provided, the rigidity of the electrodes 2, 2 'can be increased by integrally forming the electrodes 2, 2' opposed to the electrode 3, and the distance between the electrodes can be increased. It is easy to keep the gap between the two. In addition, since the nip rollers 4 and 4 ′ for preventing the accompanying wind from entering need not be provided for each of the plurality of electrodes 3, the cost can be reduced. In addition, in this case, since a plurality of electrodes are juxtaposed in the vertical direction, during maintenance and inspection of the electrodes,
Since the electrodes 2, 2 'may be slid in the left-right direction in FIG. 4B, the workability is improved.
【００３４】（第４の実施の形態）次に第４の実施の形
態について、表面処理装置の概略構成図である図５
（ａ）に基づいて説明する。本実施の形態は、上述した
第３の実施の形態で示した電極（第２電極）２の変形例
であり、第２電極２として複数の円筒状（又は円柱状）
のロール電極２を設けている。なお、以下に説明するも
の以外は、上述した第１、２の実施の形態と同じとし、
同じ番号を付与した構成についても同じ作用・構成であ
るものとして説明を省略することもある。(Fourth Embodiment) Next, in the fourth embodiment, FIG. 5 is a schematic configuration diagram of a surface treatment apparatus.
Description will be made based on (a). This embodiment is a modification of the electrode (second electrode) 2 shown in the third embodiment described above, and has a plurality of cylindrical (or columnar) shapes as the second electrode 2.
Roll electrode 2 is provided. Except for what is described below, it is the same as the first and second embodiments described above,
The description of the components assigned the same numbers may be omitted because they have the same operation and configuration.
【００３５】第２電極２は、ロール電極であり、支持体
１と接触しその搬送とともに回転する第１電極３の周面
と対向するように（間隙は１０ｍｍ以下）複数が円状に
配置されている。なお、この第２電極２はロール状の導
電性部材の周面に誘電体（図示せず）が設けられてい
る。また、円状に配置された複数の第２電極２の周囲に
は、図示しない供給手段から供給されるガスを、噴出さ
せるための開口部である複数の穴５が設けられている。
この複数の穴５から噴出されたガスは、第１電極３と複
数の第２電極２との間の間隙を、ガスの雰囲気にする。
そして、第１電極３と複数の第２電極２間に電源周波数
１ｋＨｚ以上１００ｋＨｚ以下（好ましくは、１ｋＨｚ
以上１０ｋＨｚ以下）を印加することにより、第１電極
３の回転とともに連続搬送されている支持体１の複数の
第２電極２に対向する面に対してグロー放電を施すこと
ができる。The second electrode 2 is a roll electrode, and a plurality of the second electrodes 2 are arranged in a circle so as to face (with a gap of 10 mm or less) the peripheral surface of the first electrode 3 which is in contact with the support 1 and rotates while being conveyed. ing. The second electrode 2 is provided with a dielectric (not shown) on the peripheral surface of a roll-shaped conductive member. Around the plurality of second electrodes 2 arranged in a circle, a plurality of holes 5 as openings for ejecting gas supplied from a supply unit (not shown) are provided.
The gas ejected from the plurality of holes 5 causes a gap between the first electrode 3 and the plurality of second electrodes 2 to be a gas atmosphere.
Then, a power supply frequency of 1 kHz or more and 100 kHz or less (preferably 1 kHz) is applied between the first electrode 3 and the plurality of second electrodes 2.
By applying a voltage of 10 kHz or less, a glow discharge can be applied to the surface of the support 1 that is continuously conveyed with the rotation of the first electrode 3 and faces the plurality of second electrodes 2.
【００３６】このように、本実施の形態（第３の実施の
形態と同様に）では、第１電極３に支持体１を接触させ
ながら搬送し、グロー放電処理を施すことにより、支持
体１を安定して搬送することができ、安定したグロー放
電処理を施すことができ、しかも、第１電極３によって
搬送される支持体１を支持しているので、第２電極２を
より近接して配置することができ、効率がよくしかも安
定したグロー放電を施すことができる。また、本実施の
形態では、第１電極が支持体１の搬送に伴って回転する
ので、支持体１に傷を付けずに安定した搬送を可能にす
る。更に、本実施の形態では、第２電極２として、複数
の円筒状又は円柱状のロール電極を用いたので、上述し
た第３の実施の形態に比して、電極の加工性、互換性を
高めることができる。As described above, in the present embodiment (similar to the third embodiment), the support 1 is conveyed while being brought into contact with the first electrode 3 and subjected to the glow discharge treatment to thereby provide the support 1. Can be stably transported, a stable glow discharge process can be performed, and the support 1 supported by the first electrode 3 is supported. The glow discharge can be performed efficiently and stably. Further, in the present embodiment, since the first electrode rotates with the transport of the support 1, stable transport is possible without damaging the support 1. Further, in the present embodiment, a plurality of cylindrical or columnar roll electrodes are used as the second electrode 2, so that the processability and the compatibility of the electrode are improved as compared with the above-described third embodiment. Can be enhanced.
【００３７】なお、図５（ａ）には図示しないが、第３
の実施の形態と同様に、ニップローラを設けて同伴風の
進入を防止して、グロー放電の安定性を向上させてもよ
い。また、本実施の形態では、ガスを噴出させるために
穴５を設けたが、これに限られず、支持体１の搬送方向
に直交する方向に伸びるスリットを複数設けてガスを噴
出させるようにしてもよい。また、本実施の形態のよう
な表面処理装置を図５（ｂ）に示すように並置すること
により、グロー放電を行う時間をかせぐことができ、早
いラインスピード（支持体１の搬送速度）であっても、
十分な表面処理を行うことができる。Although not shown in FIG. 5A, the third
Similarly to the embodiment, a nip roller may be provided to prevent the entry of the accompanying wind, thereby improving the stability of the glow discharge. Further, in the present embodiment, the hole 5 is provided for ejecting the gas, but the present invention is not limited to this, and a plurality of slits extending in the direction perpendicular to the transport direction of the support 1 are provided to eject the gas. Is also good. Further, by arranging the surface treatment devices as in this embodiment side by side as shown in FIG. 5B, the time for performing the glow discharge can be increased, and the line treatment device can be operated at a high line speed (transport speed of the support 1). Even so,
Sufficient surface treatment can be performed.
【００３８】（第５の実施の形態）次に第５の実施の形
態について、表面処理装置の概略構成図である図６に基
づいて説明する。この第５の実施の形態は、上述した第
１〜４の実施の形態で説明した表面処理装置に限らず、
連続搬送されている支持体１に対してグロー放電を施す
表面処理装置に適用することができるので、以下の説明
においては、第１の実施の形態を例にして説明する。な
お、上述した第１の実施の形態と同じ番号を付与した構
成についても同じ作用・構成であるものとして説明を省
略することもある。(Fifth Embodiment) Next, a fifth embodiment will be described with reference to FIG. 6, which is a schematic configuration diagram of a surface treatment apparatus. The fifth embodiment is not limited to the surface treatment apparatus described in the first to fourth embodiments,
Since the present invention can be applied to a surface treatment apparatus that performs glow discharge on the support 1 that is continuously transported, the first embodiment will be described as an example in the following description. It should be noted that the description of the configuration given the same number as that of the above-described first embodiment may be omitted because it has the same operation and configuration.
【００３９】上述したように、連続搬送されている支持
体１に対してグロー放電を施す際には、一対の電極２、
３間を大気圧若しくはその近傍下で、少なくとも５０圧
力％以上の不活性ガス（好ましくは、アルゴン）を含有
したガスの雰囲気とした。そして、グロー放電処理を安
定させるためには、この雰囲気を安定させ、特に、一対
の電極間に常にガスを供給して拡散を促すことが必要で
ある。ところが、使用されたガスをそのまま廃棄する
と、高コストを招くばかりでなく、環境破壊にもつなが
る。これを図６（ｂ）で説明すると、まず表面処理装置
１０は処理室６内に配置されている。そして、図示しな
い供給手段から供給されたガスは、供給口２２、３２を
介して複数の穴２１、３１から均等に噴出され、電極
２、３間の間隙を、ガスの雰囲気とさせる。そして、こ
のガス供給は、安定したグロー放電を施すのに拡散を促
す如く、常に行われる。ところが、ガス供給が行われる
と、電極２、３間のガス濃度や圧力の変化をきたすた
め、処理室６に設けた排気口６１から排出して廃棄する
ようにしている。この場合、使用されたガスは常に廃棄
されるため環境破壊を招くばかりでなく、供給口２２、
３２から新たなガスを供給する必要があり、高コスト化
を招く。As described above, when the glow discharge is applied to the continuously transported support 1, the pair of electrodes 2,
A gas atmosphere containing at least 50% by pressure or more of an inert gas (preferably, argon) at or near atmospheric pressure was set between the three. In order to stabilize the glow discharge treatment, it is necessary to stabilize this atmosphere, and in particular, to constantly supply gas between the pair of electrodes to promote diffusion. However, if the used gas is discarded as it is, it not only incurs high cost, but also leads to environmental destruction. This will be described with reference to FIG. 6B. First, the surface treatment apparatus 10 is disposed in the treatment chamber 6. Then, the gas supplied from a supply unit (not shown) is uniformly jetted from the plurality of holes 21 and 31 through the supply ports 22 and 32 to make the gap between the electrodes 2 and 3 an atmosphere of the gas. This gas supply is always performed so as to promote diffusion for performing a stable glow discharge. However, when the gas is supplied, the gas concentration and the pressure between the electrodes 2 and 3 change, so that the gas is discharged from the exhaust port 61 provided in the processing chamber 6 and discarded. In this case, the used gas is always discarded, which causes environmental destruction.
It is necessary to supply a new gas from 32, which leads to an increase in cost.
【００４０】ところが、本発明者らが検討した結果、排
気口６１から廃棄されるガスには、グロー放電で消費さ
れないガスがあることが判明した。そこで、本実施の形
態では、これを循環して一対の電極間に供給することに
より、ガスの拡散を促して安定したグロー放電処理を行
うものである。この模式的な概略構成を図６（ａ）に示
している。However, as a result of the examination by the present inventors, it has been found that some of the gases discarded from the exhaust port 61 are gases that are not consumed by glow discharge. Therefore, in the present embodiment, by circulating this gas and supplying it between the pair of electrodes, gas diffusion is promoted to perform stable glow discharge processing. FIG. 6A shows this schematic configuration.
【００４１】上述と同様に、図示しない供給手段から供
給されたガスは、供給口２２、３２を介して複数の穴２
１、３１から均等に噴出され、電極２、３間の間隙を、
ガスの雰囲気とさせる。そして、処理室６に設けた排気
口６１から排気手段であるポンプ６９により排出して、
その一部を廃棄するようにし、残りを循環、即ち、図示
しない供給手段から供給されるガスと合流させて、再
び、供給口２２、３２を介して複数の穴２１、３１から
噴出させるように構成している。As described above, the gas supplied from the supply means (not shown) is supplied to the plurality of holes 2 through the supply ports 22 and 32.
1, 31 are evenly ejected, and the gap between the electrodes 2, 3 is
Make the atmosphere of gas. Then, the gas is exhausted from an exhaust port 61 provided in the processing chamber 6 by a pump 69 which is an exhaust means.
A part thereof is discarded, and the rest is circulated, that is, merged with a gas supplied from a supply unit (not shown), and ejected again from the plurality of holes 21 and 31 through the supply ports 22 and 32. Make up.
【００４２】このように一対の電極２、３間のガスの少
なくとも一部を循環させるように構成した、即ち、グロ
ー放電で消費されないガスを循環して一対の電極間に供
給することにより、ガスの拡散を促して安定したグロー
放電処理を行うことができ、しかも、廃棄するガスが減
り、低コスト化、環境問題に対応することができる。As described above, at least a part of the gas between the pair of electrodes 2 and 3 is circulated, that is, the gas not consumed by the glow discharge is circulated and supplied between the pair of electrodes, so that the gas is circulated. Can promote stable diffusion of glow discharge, reduce the amount of gas to be discarded, reduce costs, and respond to environmental problems.
【００４３】（第６の実施の形態）次に第６の実施の形
態について、表面処理装置の概略構成図である図７に基
づいて説明する。この第６の実施の形態は、上述した第
１〜５の実施の形態で説明した表面処理装置に限らず、
連続搬送されている支持体１に対してグロー放電を施す
表面処理装置に適用することができるので、以下の説明
においては、第１の実施の形態を例にして説明する。な
お、上述した第１の実施の形態と同じ番号を付与した構
成についても同じ作用・構成であるものとして説明を省
略することもある。(Sixth Embodiment) Next, a sixth embodiment will be described with reference to FIG. 7, which is a schematic configuration diagram of a surface treatment apparatus. The sixth embodiment is not limited to the surface treatment apparatus described in the first to fifth embodiments,
Since the present invention can be applied to a surface treatment apparatus that performs glow discharge on the support 1 that is continuously transported, the first embodiment will be described as an example in the following description. It should be noted that the description of the configuration given the same number as that of the above-described first embodiment may be omitted because it has the same operation and configuration.
【００４４】上述したように、大気圧若しくはその近傍
下で、少なくとも５０圧力％以上の不活性ガス（好まし
くは、アルゴン）を含有したガスの雰囲気とした一対の
電極２、３間を、連続搬送されている支持体１に対し
て、グロー放電を施すことにより、支持体１の表面を表
面処理（膜付き性の向上）を図ることができるが、実際
に工業化する際には、長時間処理の安定化が必要であ
る。ところが、本発明者らが鋭意検討した結果、グロー
放電処理の処理時間の経過に伴い、プラズマ反応による
一対の電極２、３間のガス濃度の変化や電極の汚れ（異
物の付着）などにより、電源出力の低下が生じ、グロー
放電処理を長時間、安定して施すことが困難であること
が判明した。As described above, a continuous transfer between a pair of electrodes 2 and 3 under an atmosphere of a gas containing at least 50% by pressure or more of an inert gas (preferably argon) at or near atmospheric pressure. By subjecting the support 1 to glow discharge, the surface of the support 1 can be subjected to a surface treatment (improvement of film-coating property). Needs to be stabilized. However, as a result of intensive studies by the present inventors, as the processing time of the glow discharge processing elapses, a change in gas concentration between the pair of electrodes 2 and 3 due to a plasma reaction, contamination of the electrodes (adhesion of foreign substances), etc. It turned out that the power supply output was reduced, and it was difficult to stably perform the glow discharge treatment for a long time.
【００４５】そこで、本実施の形態では、一対の電極
２、３間のガス濃度を管理、制御することと、定電圧条
件下（一つの電極２、３間電圧を一定に保つ）で電流制
御（若しくは電力制御でもよいが、本実施の形態では電
流制御で説明する）の電源を用いるという、２つの方法
を同時に行い、安定化を図っている。なお、これら２つ
の方法は、各々単独で行ってもよいが、同時に行った方
がより安定化を図ることができる。Therefore, in this embodiment, the gas concentration between the pair of electrodes 2 and 3 is managed and controlled, and the current control is performed under constant voltage conditions (the voltage between one electrode 2 and 3 is kept constant). (Or, power control may be used, but in this embodiment, current control will be described.) Two methods of using a power source are performed simultaneously to achieve stabilization. In addition, these two methods may be performed independently, but it is more stable to perform them simultaneously.
【００４６】まず、ガス濃度の管理、制御について説明
する。まず表面処理装置１０は処理室６内に配置されて
いる。そして、供給手段６５から供給されたガスは、供
給口２２、３２を介して複数の穴２１、３１から均等に
噴出され、電極２、３間の間隙を、ガスの雰囲気とさせ
る。そして、このガス供給は、安定したグロー放電を施
すのに拡散を促す如く、常に行われる。ところが、ガス
供給が行われると、電極２、３間のガス濃度や圧力の変
化をきたすため、処理室６に設けた排気口６１から排出
して廃棄するようにしている。なお、上述した第５の実
施の形態のように循環させてもよい。そして、排気口６
１から排出されたガスの濃度を検出手段であるガスアナ
ライザ６２で検出している。これにより本実施の形態で
は、一対の電極２、３間のガスの濃度を間接的に検出し
ているが、一対の電極２、３間のガス濃度を直接的に検
出してもよく、また、処理室６内に検出手段を設けても
よい。そして、ガス濃度制御手段６３によって、ガスア
ナライザ６２で検出されたガス濃度に応じて、供給手段
６５によるガスの供給量を制御する。First, the management and control of the gas concentration will be described. First, the surface treatment apparatus 10 is disposed in the treatment chamber 6. Then, the gas supplied from the supply means 65 is uniformly jetted from the plurality of holes 21 and 31 through the supply ports 22 and 32, and the gap between the electrodes 2 and 3 is made to have a gas atmosphere. This gas supply is always performed so as to promote diffusion for performing a stable glow discharge. However, when the gas is supplied, the gas concentration and the pressure between the electrodes 2 and 3 change, so that the gas is discharged from the exhaust port 61 provided in the processing chamber 6 and discarded. Note that the circulation may be performed as in the fifth embodiment described above. And the exhaust port 6
The concentration of the gas discharged from 1 is detected by a gas analyzer 62 which is a detecting means. Thus, in the present embodiment, the gas concentration between the pair of electrodes 2 and 3 is indirectly detected, but the gas concentration between the pair of electrodes 2 and 3 may be directly detected. Alternatively, detection means may be provided in the processing chamber 6. Then, the gas supply amount of the supply unit 65 is controlled by the gas concentration control unit 63 according to the gas concentration detected by the gas analyzer 62.
【００４７】このように、測定された一対の電極２、３
間のガス濃度に応じて、一対の電極２、３間に供給する
ガスを制御するので、一対の電極２、３間のガス濃度の
変化を抑え、常に最適に保つことができるので、グロー
放電処理を長時間安定して施すことができる。As described above, the measured pair of electrodes 2 and 3
Since the gas supplied between the pair of electrodes 2 and 3 is controlled in accordance with the gas concentration between them, a change in the gas concentration between the pair of electrodes 2 and 3 can be suppressed, and the gas concentration can always be kept optimal. Processing can be performed stably for a long time.
【００４８】次に、電流制御について説明する。一対の
電極２、３間には１ｋＨｚ以上１００ｋＨｚ以下（好ま
しくは１ｋＨｚ以上１０ｋＨｚ以下）の高周波電源６６
が接続されている。また、この回路上には、一対の電極
２、３間に流れる電流を測定する電流計６７、一定電圧
下で電流を可変にするための可変抵抗６８が設けられて
いる。従って、グロー放電処理を行っている間、常に一
対の電極２、３間に流れる電流を電流計６７でもって測
定し、その測定結果に基づいて、電流制御手段（可変抵
抗６８は電流制御手段の一部である）によって、一対の
電極２、３間に流れる電流が常に一定になるように制御
する。Next, the current control will be described. A high-frequency power supply 66 of 1 kHz to 100 kHz (preferably 1 kHz to 10 kHz) is provided between the pair of electrodes 2 and 3.
Is connected. Further, on this circuit, an ammeter 67 for measuring a current flowing between the pair of electrodes 2 and 3 and a variable resistor 68 for varying the current under a constant voltage are provided. Therefore, during the glow discharge process, the current flowing between the pair of electrodes 2 and 3 is always measured by the ammeter 67, and based on the measurement result, the current control means (the variable resistor 68 is Is controlled so that the current flowing between the pair of electrodes 2 and 3 is always constant.
【００４９】このように、一対の電極２、３間に流れる
電流（若しくは消費する電力でもよい）が一定になるよ
うに制御することにより、グロー放電処理の処理時間の
経過に伴うガス濃度の変化や電極の汚れ（異物の付着）
などによる電源出力の低下を防ぐことができるため、グ
ロー放電処理を長時間、安定して施すことができる。As described above, by controlling the current flowing between the pair of electrodes 2 and 3 (or the power to be consumed) to be constant, the change in gas concentration with the lapse of the processing time of the glow discharge processing is performed. And electrode contamination (adhesion of foreign matter)
For example, glow discharge processing can be stably performed for a long time because a decrease in power supply output due to the above can be prevented.
【００５０】（第７の実施の形態）次に第７の実施の形
態について、表面処理装置の概略構成図である図８に基
づいて説明する。この第７の実施の形態は、上述した第
１〜６の実施の形態で説明した表面処理装置に限らず、
連続搬送されている支持体１に対してグロー放電を施す
表面処理装置に適用することができるので、以下の説明
においては、第１の実施の形態を例にして説明する。な
お、上述した第１の実施の形態と同じ番号を付与した構
成についても同じ作用・構成であるものとして説明を省
略することもある。(Seventh Embodiment) Next, a seventh embodiment will be described with reference to FIG. 8, which is a schematic configuration diagram of a surface treatment apparatus. The seventh embodiment is not limited to the surface treatment apparatus described in the first to sixth embodiments,
Since the present invention can be applied to a surface treatment apparatus that performs glow discharge on the support 1 that is continuously transported, the first embodiment will be described as an example in the following description. It should be noted that the description of the configuration given the same number as that of the above-described first embodiment may be omitted because it has the same operation and configuration.
【００５１】上述したように、大気圧若しくはその近傍
下で、少なくとも５０圧力％以上の不活性ガス（好まし
くは、アルゴン）を含有したガスの雰囲気とした一対の
電極２、３間を、連続搬送されている支持体１に対し
て、グロー放電を施すことにより、支持体１の表面を表
面処理（膜付き性の向上）を図ることができる。ところ
が、本発明者らが鋭意検討した結果、グロー放電処理を
行うに際しては、一対の電極間の間隙を狭める（特に、
不活性ガスとしてアルゴンを用いた場合は更に狭める）
必要があるが、一対の電極間の間隙を狭めるとグロー放
電ではなく、誘電体により非被覆部の導電性部材の表面
より放電が回り込むことによるアーク放電が生じて安定
した放電処理を行うことができないばかりでなく、支持
体や電極に傷をつける（穴があく）ことがある。即ち、
図８（ａ）に示すように、一対の電極２、３が互いに対
向する面のみに誘電体７（なお、図８（ａ）〜（ｃ）に
おいて斜線を付与した部分が誘電体７である）を設けた
場合、一対の電極２、３の側面は導電性部材がむき出し
になっている。また、グロー放電を安定させるために一
対の電極２、３間の間隙を狭めると、一対の電極２、３
の側面もその間が狭まることになり、アーク放電が生じ
やすい環境となってしまう。As described above, a continuous transfer between a pair of electrodes 2 and 3 under an atmosphere of a gas containing at least 50% by pressure or more of an inert gas (preferably argon) at or near atmospheric pressure. The surface of the support 1 can be subjected to a surface treatment (improvement of film-coating property) by performing glow discharge on the support 1 that has been used. However, as a result of intensive studies by the present inventors, when performing glow discharge treatment, the gap between a pair of electrodes is narrowed (particularly,
(If argon is used as the inert gas, narrow it further.)
Although it is necessary to reduce the gap between the pair of electrodes, it is possible to perform a stable discharge process by generating an arc discharge due to a discharge spilling from the surface of the conductive member of the uncovered portion due to a dielectric instead of a glow discharge. Not only is it impossible, but it can also damage (perforate) the support and electrodes. That is,
As shown in FIG. 8A, only the surface where the pair of electrodes 2 and 3 face each other is a dielectric 7 (note that the hatched portion in FIGS. 8A to 8C is the dielectric 7). ), The conductive members are exposed on the side surfaces of the pair of electrodes 2 and 3. When the gap between the pair of electrodes 2 and 3 is narrowed to stabilize the glow discharge, the pair of electrodes 2 and 3 is reduced.
Is narrowed in the space between them, which results in an environment in which arc discharge easily occurs.
【００５２】そこで、本実施の形態では、図８（ｂ）に
示すように、一対の電極２、３が互いに対向する面ばか
りでなく、一対の電極２、３の側面にも誘電体７を設け
ることにより、放電の回り込みを抑制できる。このよう
に構成することにより、アーク放電の発生を抑え、安定
したグロー放電をさせ、均一な放電処理を可能とし、支
持体や電極に傷をつけないことができる。なお、図８
（ｂ）に示すように一対の電極２、３の側面に誘電体７
を設けるのではなく、図８（ｃ）に示すように一対の電
極２、３からはみ出して誘電体７を設けてもよく、要
は、一対の電極２、３が対向している面積よりも広い面
積を有する誘電体７を、少なくとも一対の電極２、３が
対向している面を含んで（連なって）導電性部材に設け
ればよい。Therefore, in the present embodiment, as shown in FIG. 8B, the dielectric 7 is formed not only on the surfaces of the pair of electrodes 2 and 3 facing each other but also on the side surfaces of the pair of electrodes 2 and 3. By providing, the wraparound of discharge can be suppressed. With this configuration, the occurrence of arc discharge can be suppressed, stable glow discharge can be performed, uniform discharge processing can be performed, and the support and the electrode can be prevented from being damaged. FIG.
As shown in (b), a dielectric 7 is provided on the side surfaces of the pair of electrodes 2 and 3.
8c, the dielectric 7 may be provided so as to protrude from the pair of electrodes 2 and 3 as shown in FIG. 8 (c). The dielectric member 7 having a large area may be provided on the conductive member including (continuously) including at least the surfaces of the pair of electrodes 2 and 3 facing each other.
【００５３】（第８の実施の形態）次に第８の実施の形
態について説明する。本実施の形態は、上述の第１〜７
の実施の形態に記載した表面処理装置に限らず、表面処
理（例えば、コロナ放電処理や火炎処理などであり、好
ましくは、グロー放電処理であり、以下グロー放電処理
として説明する）がなされた支持体上に、塗布液を塗布
する際に適用できるものである。また、塗布の方法とし
ては、押し出し、ディップ、スライドビード、カーテン
塗布など種々の塗布方法を用いることができる。(Eighth Embodiment) Next, an eighth embodiment will be described. In the present embodiment, the first to seventh embodiments are described.
Not only the surface treatment device described in the embodiment but also a support having been subjected to a surface treatment (for example, a corona discharge treatment or a flame treatment, preferably a glow discharge treatment, hereinafter described as a glow discharge treatment). It can be applied when applying a coating liquid on the body. Various coating methods such as extrusion, dip, slide bead, and curtain coating can be used as the coating method.
【００５４】本発明者らは、上述したように、グロー放
電処理について鋭意検討した結果、グロー放電処理を施
した支持体１の特性に大きな問題があることを知見し
た。即ち、グロー放電処理がなされた支持体上は膜付き
性が向上するように表面改質がなされているため、次行
程として塗布液を塗布するまでに巻き取ってしまうと、
くっつき固まり、いわゆる、ブロッキングが生じ、良好
な塗布を行うことができない。特に、このブロッキング
という現象は、支持体としてポリマー支持体、更にＰＥ
ＴやＰＥＮであると顕著に生じる。As described above, the present inventors have conducted intensive studies on the glow discharge treatment, and as a result, have found that there is a major problem in the characteristics of the support 1 subjected to the glow discharge treatment. In other words, since the surface of the support subjected to the glow discharge treatment has been subjected to surface modification so as to improve the film-forming property, if it is wound up before the application of the coating liquid as the next step,
Sticking and solidification, so-called blocking occurs, and good coating cannot be performed. In particular, this blocking phenomenon is caused by a polymer support as a support and further a PE support.
It is remarkable when it is T or PEN.
【００５５】そのため、本実施の形態では、グロー放電
処理がなされた支持体を巻き取ることなく搬送し、そし
て、巻き取ることなく搬送された支持体上に塗布液を塗
布する。従って、ブロッキングを生じさせず、良好な塗
布を可能とすることができる。なお、ここでいう「巻き
取ることなく」とは、支持体同士を接触させることがな
いことであり、例えば、ロール状に巻き取らないことで
ある。For this reason, in this embodiment, the support subjected to the glow discharge treatment is transported without being wound up, and the coating liquid is applied onto the transported support without being wound up. Therefore, good coating can be achieved without blocking. Here, "without winding" means that the supports are not brought into contact with each other, for example, that they are not wound into a roll.
【００５６】（第９の実施の形態）次に第９の実施の形
態について説明する。本実施の形態は、上述の第１〜７
の実施の形態に記載した表面処理装置に限らず、表面処
理（例えば、コロナ放電処理や火炎処理などであり、好
ましくは、グロー放電処理であり、以下グロー放電処理
として説明する）がなされた支持体上に、塗布液を塗布
する際に適用できるものである。また、塗布の方法とし
ては、押し出し、ディップ、スライドビード、カーテン
塗布など種々の塗布方法を用いることができる。(Ninth Embodiment) Next, a ninth embodiment will be described. In the present embodiment, the first to seventh embodiments are described.
Not only the surface treatment device described in the embodiment but also a support having been subjected to a surface treatment (for example, a corona discharge treatment or a flame treatment, preferably a glow discharge treatment, hereinafter described as a glow discharge treatment). It can be applied when applying a coating liquid on the body. Various coating methods such as extrusion, dip, slide bead, and curtain coating can be used as the coating method.
【００５７】本発明者らは、上述したように、グロー放
電処理について鋭意検討した結果、グロー放電処理を施
した支持体１の特性に大きな問題があることを知見し
た。即ち、グロー放電処理による支持体表面の改質効果
は経時劣化するために、グロー放電処理後に塗布液を塗
布する際に、グロー放電処理から時間の経過を経るほど
膜付き性が低下し、良好な塗布を行うことができない。As described above, the present inventors have conducted intensive studies on the glow discharge treatment, and as a result, have found that there is a large problem in the characteristics of the support 1 subjected to the glow discharge treatment. That is, since the effect of modifying the surface of the support by the glow discharge treatment is deteriorated with time, when the coating solution is applied after the glow discharge treatment, the film forming property decreases as the time elapses from the glow discharge treatment, and Coating cannot be performed.
【００５８】そのため、本実施の形態では、支持体にグ
ロー放電処理がなされた後、１０分以内に、塗布液を塗
布するように行う。この１０分をすぎて塗布を行うと、
グロー放電による支持体表面の改質効果が低下し、膜付
き性が悪化する。従って、グロー放電処理後１０分以内
に塗布液を塗布することにより、膜付き性が低下しない
うちに塗布液を塗布することができ、良好な塗布を可能
とすることができる。For this reason, in the present embodiment, the coating liquid is applied within 10 minutes after the glow discharge treatment is performed on the support. If you apply after 10 minutes,
The effect of modifying the surface of the support by the glow discharge decreases, and the film-forming property deteriorates. Therefore, by applying the coating liquid within 10 minutes after the glow discharge treatment, the coating liquid can be applied before the film-coating property is reduced, and good coating can be achieved.
【００５９】[0059]
（実験１）まず、グロー放電による表面処理、更には、
一対の電極間の雰囲気の主成分が膜付き性に及ぼす影響
についての実験を行った。本実験においては、図１に示
す表面処理装置を用いて行った（ただし、支持体は搬送
せず）。実験の条件は、表１に示すとおりである。な
お、グロー放電処理を行った実験１−２、１−３、１−
５、１−６においては、一対の電極２、３間に５ｋＨｚ
の周波数電源を接続し、また、一対の電極２、３間を表
１に示される圧力％のヘリウム（Ｈｅ）又はアルゴン
（Ａｒ）に二酸化炭素（ＣＯ2）を７．５圧力％と窒素
（Ｎ2）７．５圧力％を混合したガスで大気圧（≒１気
圧）の雰囲気とした。また、実験１−１と１−４につい
ては、グロー放電処理を行っていない。(Experiment 1) First, surface treatment by glow discharge,
An experiment was conducted on the effect of the main component of the atmosphere between the pair of electrodes on the film forming property. This experiment was performed using the surface treatment apparatus shown in FIG. 1 (however, the support was not transported). The conditions of the experiment are as shown in Table 1. Experiments 1-2, 1-3, and 1- were performed with glow discharge treatment.
In 5 and 1-6, 5 kHz is applied between the pair of electrodes 2 and 3.
Is connected between the pair of electrodes 2 and 3, 7.5% by pressure of carbon dioxide (CO 2 ) in helium (He) or argon (Ar) at a pressure of% shown in Table 1, and nitrogen ( An atmosphere of atmospheric pressure (≒ 1 atm) was obtained with a gas mixture containing 7.5% by pressure of N 2 ). In Experiments 1-1 and 1-4, no glow discharge treatment was performed.
【００６０】また、評価の方法は、各実験を行った支持
体に対して、白黒乳剤を塗布、乾燥後、市販のかみそり
刃で膜に垂直（９０度）、３０度に入刃し、傷を約５ｃ
ｍ巾付け、そこにテープ（３Ｍ社ｓｃｏｔｃｈブラン
ド）を貼り、入刃方向に垂直な方向に速いスピードで剥
離させた結果、膜の剥離量で以て膜付き性を比較した。
実験の結果を表１に示す。The evaluation method was as follows. A black-and-white emulsion was applied to the support on which each experiment was carried out, dried, and then cut perpendicularly (90 °) and 30 ° into the film with a commercially available razor blade. About 5c
Then, a tape (3M scotch brand) was stuck thereon and peeled off at a high speed in a direction perpendicular to the cutting direction.
Table 1 shows the results of the experiment.
【００６１】[0061]
【表１】 [Table 1]
【００６２】なお、表中において、○印は剥離なし、△
印は一部剥離、×印はテープ貼り部分全面剥離を表して
いる。In the table, the mark ○ indicates no peeling, and the mark △
The mark indicates partial peeling, and the cross indicates peeling of the entire tape-attached portion.
【００６３】表１から明らかなように、支持体に対して
グロー放電処理を施すと膜付き性が向上し、また、アル
ゴンを主成分とする雰囲気でグロー放電処理を施すこと
により更に膜付き性が向上する。As is clear from Table 1, when the support is subjected to the glow discharge treatment, the film forming property is improved, and by performing the glow discharge treatment in an atmosphere containing argon as a main component, the film forming property is further improved. Is improved.
【００６４】（実験２）次に、一対の電極間の間隙がグ
ロー放電の安定に及ぼす影響、更に、種々の表面処理装
置による支持体搬送の安定性について実験を行った。実
験２−１、２−２においては図１に示す表面処理装置を
改造したもので電極２、３に穴２１、３１及び供給口２
２、３２を設けずに図示しない供給手段から供給された
ガスを電極２、３外から一対の電極２、３間へ供給する
ようした表面処理装置を用いた。実験２−３においては
図１に示す表面処理装置を用い、実験２−４においては
図１に示す表面処理装置の複数の穴２１、３１をスリッ
トに代えた表面処理装置を用いた。実験２−５において
は、図３に示す表面処理装置を用いた。実験２−６、２
−７においては図４（ａ）示す表面処理装置の複数の穴
２１、３１をスリットに代えた表面処理装置を用い、実
験２−８においては図４（ａ）に示す表面処理装置を用
いた。実験２−９においては図５（ａ）に示す表面処理
装置を用いた。なお、全ての実験において、供給したガ
スは、８５圧力％のアルゴン（Ａｒ）に二酸化炭素（Ｃ
Ｏ2）を７．５圧力％と窒素（Ｎ2）７．５圧力％を混合
したガスであり、処理時間は全ての実験において２０秒
（ｓ）で行い、一対の電極２、３間に５ｋＨｚの周波数
電源を接続し、支持体としてＰＥＴを用いた。(Experiment 2) Next, an experiment was conducted on the effect of the gap between a pair of electrodes on the stability of glow discharge, and on the stability of transport of a support by various surface treatment devices. In Experiments 2-1 and 2-2, the surface treatment apparatus shown in FIG.
A surface treatment apparatus was used in which a gas supplied from a supply means (not shown) was supplied to the pair of electrodes 2 and 3 from outside the electrodes 2 and 3 without providing the electrodes 2 and 32. In Experiment 2-3, the surface treatment apparatus shown in FIG. 1 was used, and in Experiment 2-4, the surface treatment apparatus in which the plurality of holes 21 and 31 of the surface treatment apparatus shown in FIG. 1 were replaced with slits was used. In Experiment 2-5, the surface treatment device shown in FIG. 3 was used. Experiment 2-6, 2
In -7, the surface treatment apparatus shown in FIG. 4A was used in which a plurality of holes 21 and 31 were replaced with slits, and in Experiment 2-8, the surface treatment apparatus shown in FIG. 4A was used. . In Experiment 2-9, the surface treatment device shown in FIG. 5A was used. In all experiments, the supplied gas was carbon dioxide (C) in 85% pressure argon (Ar).
O 2 ) is a gas in which 7.5% by pressure of nitrogen (N 2 ) and 7.5% by pressure of nitrogen (N 2 ) are mixed. The processing time is 20 seconds (s) in all experiments. A frequency power supply of 5 kHz was connected, and PET was used as a support.
【００６５】評価に関しては、上述した実験１において
記載した膜付き性と同様に膜付き性を評価し、一対の電
極２、３間に流れる電流値で以てグロー放電の安定性を
評価し、また、目視にて電極２、３と連続搬送される支
持体１との接触があったかどうかを評価した。実験の結
果を表２に示す。Regarding the evaluation, the film-forming property was evaluated in the same manner as the film-forming property described in Experiment 1 described above, and the stability of glow discharge was evaluated by the current value flowing between the pair of electrodes 2 and 3. In addition, it was visually evaluated whether or not the electrodes 2 and 3 were in contact with the support 1 that was continuously conveyed. Table 2 shows the results of the experiment.
【００６６】[0066]
【表２】 [Table 2]
【００６７】表２から明らかなように、主成分がアルゴ
ンである場合電極間の間隙が１０ｍｍ以下であると安定
したグロー放電を施すことができる。また、上述した第
１〜４の実施の形態で示した表面処理装置においては支
持体を安定して搬送することができ、膜付き性が向上す
る。As is clear from Table 2, when the main component is argon, a stable glow discharge can be performed if the gap between the electrodes is 10 mm or less. Further, in the surface treatment apparatus shown in the above-described first to fourth embodiments, the support can be stably transported, and the film forming property is improved.
【００６８】（実験３）次に、ガスのリサイクルについ
ての実験を行った。実験３−１は図６（ｂ）に示す表面
処理装置を、実験３−２、３−３、３−４は図６（ａ）
に示す表面処理装置を用いた。全ての実験において、電
極２、３のサイズは巾３００ｍｍ、長さ４００ｍｍ、電
極２、３間の間隙は５ｍｍであり、処理室６の容量は３
０Ｌであり、処理時間は３０秒（ｓ）であり、供給した
ガスは８５圧力％のアルゴン（Ａｒ）に二酸化炭素（Ｃ
Ｏ2）を１０圧力％と窒素（Ｎ2）５圧力％を混合したガ
スである。(Experiment 3) Next, an experiment on gas recycling was conducted. Experiment 3-1 shows the surface treatment apparatus shown in FIG. 6B, and Experiments 3-2, 3-3 and 3-4 show FIG.
Was used. In all experiments, the size of the electrodes 2 and 3 was 300 mm in width and 400 mm in length, the gap between the electrodes 2 and 3 was 5 mm, and the capacity of the processing chamber 6 was 3 mm.
0 L, the processing time was 30 seconds (s), and the supplied gas was carbon dioxide (C) in 85% by pressure argon (Ar).
O 2 ) is a gas in which 10% by pressure and 5% by weight of nitrogen (N 2 ) are mixed.
【００６９】評価は、グロー放電の安定性、膜付き性と
もに、上述した実験２と同様の方法で行った。なお、膜
付き性を比較した支持体は、処理室６内に十分にガスを
供給した後に、グロー放電処理を開始後、支持体を連続
搬送させて２０分経過後の支持体を比較した。実験の結
果を表３に示す。The evaluation was performed in the same manner as in Experiment 2 described above for both the stability of glow discharge and the film-forming property. In addition, after sufficiently supplying the gas into the processing chamber 6, the support for which the film-attaching property was compared was subjected to continuous glow discharge treatment after the start of the glow discharge treatment, and the support after 20 minutes had passed was compared. Table 3 shows the results of the experiment.
【００７０】[0070]
【表３】 [Table 3]
【００７１】なお、表３中の「供給流量」とは新しいガ
スを供給した流量であり、「廃棄流量」とは廃棄したガ
ス流量であり、「電極部流入量」とは供給口２２、３２
から供給されるガス流量のことである。Note that “supply flow rate” in Table 3 is the flow rate at which new gas was supplied, “waste flow rate” is the flow rate of discarded gas, and “electrode section inflow rate” is the supply ports 22 and 32.
Is the gas flow supplied from the
【００７２】表３から明らかなように、排気口６１から
排出されたガスを全て廃棄した実験３−１と比較して、
排気口６１から排出されたガスの一部を廃棄した実験３
−２〜３−４は同様のグロー放電の安定性、膜付き性を
示し、しかも、実験３−４で示されるように、新たなガ
スが１／１０流量で行うことができる。As is clear from Table 3, compared with Experiment 3-1 in which all the gas discharged from the exhaust port 61 was discarded,
Experiment 3 in which part of the gas discharged from the exhaust port 61 was discarded
Nos. 2-2 to 3-4 show similar glow discharge stability and film sticking property, and as shown in Experiment 3-4, a new gas can be used at 1/10 flow rate.
【００７３】（実験４）次に、長時間処理の安定化のた
めの制御についての実験を行った。実験は図７に示す表
面処理装置を用い、実験４−１はガス（検出したガス濃
度に応じたガスの制御）、電流制御（電極間に流れる電
流を一定にする制御）を行わず、実験４−２はガスのみ
制御を行い、実験４−３は電流のみ制御を行い、実験４
−４はガス、電流の両方の制御を行った。全ての実験に
おいて、電極２、３のサイズは巾３００ｍｍ、長さ４０
０ｍｍ、電極２、３間の間隙は５ｍｍであり、処理室６
の容量は３０Ｌであり、処理時間は３０秒（ｓ）であ
り、供給したガスは８５圧力％のアルゴン（Ａｒ）に二
酸化炭素（ＣＯ2）を１０圧力％と窒素（Ｎ2）５圧力％
を混合したガスである。また、ガスの制御は、ガスアナ
ライザ６２の出力をＰＩＤ（Ｐｒｏｐｏｒｔｉｏｎ Ｉ
ｎｔｅｇｒａｌ Ｄｅｒｉｖａｔｉｖｅ）制御して、ガ
ス供給量を制御した。(Experiment 4) Next, an experiment on control for stabilizing long-time processing was performed. In the experiment, the surface treatment apparatus shown in FIG. 7 was used. In the experiment 4-1, the gas (control of the gas according to the detected gas concentration) and the current control (the control for keeping the current flowing between the electrodes constant) were not performed. 4-2 controls only gas, and Experiment 4-3 controls only current.
-4 controlled both gas and current. In all experiments, the size of the electrodes 2 and 3 was 300 mm in width and 40 in length.
0 mm and the gap between the electrodes 2 and 3 was 5 mm.
Is 30 liters, the processing time is 30 seconds (s), and the supplied gas is 10% by pressure of carbon dioxide (CO 2 ) and 5% by pressure of nitrogen (N 2 ) in 85% by pressure of argon (Ar).
Is mixed gas. Further, the gas is controlled by outputting the output of the gas analyzer 62 to PID (Proportion I).
The amount of gas supply was controlled by controlling the amount of gas supply.
【００７４】評価は、膜付き性（ただし３０度入刃の
み）を上述した実験１と同様の方法でグロー放電処理を
開始後支持体を連続搬送させ２０分、６０分、１２０分
経過後の支持体（ＰＥＴ）を比較した。実験の結果を表
４に示す。After the glow discharge treatment was started in the same manner as in Experiment 1 described above, the support was continuously conveyed for 20 minutes, 60 minutes, and 120 minutes after the start of glow discharge treatment. The supports (PET) were compared. Table 4 shows the results of the experiment.
【００７５】[0075]
【表４】 [Table 4]
【００７６】表４から明らかなように、ガス及び／又は
電流制御を行った場合に比して、制御を行わない場合
（実験４−１）時間の経過とともに膜付き性が低下して
いる。As is evident from Table 4, when no control is performed (Experiment 4-1), the film-forming property decreases with time as compared with the case where gas and / or current control is performed.
【００７７】（実験５）次に、グロー放電処理を施した
支持体の改質効果の経時劣化についての実験を行った。
グロー放電処理は、図１に示す表面処理装置（電極２、
３のサイズは巾３００ｍｍ、長さ４００ｍｍ、電極２、
３間の間隙は５ｍｍであり、処理室６の容量は３０Ｌで
あり、処理時間は３０秒（ｓ）であり、供給したガスは
８５圧力％のアルゴン（Ａｒ）に二酸化炭素（ＣＯ2）
を１０圧力％と窒素（Ｎ2）５圧力％を混合したガスで
ある）を用いた。(Experiment 5) Next, an experiment was conducted on the deterioration over time of the modifying effect of the support subjected to the glow discharge treatment.
The glow discharge treatment is performed by a surface treatment apparatus (electrodes 2,
3 is 300mm wide, 400mm long, electrode 2,
The gap between the three is 5 mm, the capacity of the processing chamber 6 is 30 L, the processing time is 30 seconds (s), and the supplied gas is 85% by pressure argon (Ar) in carbon dioxide (CO 2 ).
Is a gas obtained by mixing 10% by pressure and 5% by pressure of nitrogen (N 2 ).
【００７８】評価は、グロー放電処理した支持体（ＰＥ
Ｔ）を１、３、５、１０、２０分経過後に、白黒乳剤を
塗布し、実験１に示した膜付き性を評価した。実験の結
果を表５に示す。The evaluation was performed on a support (PE
After 1, 3, 5, 10, and 20 minutes of T), a black-and-white emulsion was applied, and the film-forming property shown in Experiment 1 was evaluated. Table 5 shows the results of the experiment.
【００７９】[0079]
【表５】 [Table 5]
【００８０】表５より明らかなように、グロー放電処理
後１０分を経過した支持体に写真乳剤を塗布したもの
は、その膜付き性が低下しているが、１０分以内に塗布
したものは良好な膜付き性をしめしている。As is evident from Table 5, when the photographic emulsion was coated on the support 10 minutes after the glow discharge treatment, the film-coating property was reduced. It has good film-forming properties.
【００８１】[0081]
【発明の効果】以上詳述したように、請求項１に記載の
発明においては、少なくとも５０圧力％以上のアルゴン
を含有したガスをグロー放電を行う雰囲気とするので、
ヘリウムに比して安価にその雰囲気を形成することがで
きるばかりでなく、アルゴンを用いることによりその分
子量が大きいために支持体表面を叩き凹凸をつけるエッ
ジング効果に優れるため、膜付き性の向上をはかること
ができる。しかも、この雰囲気中で一対の電極間の間隙
を１０ｍｍ以下とすることにより、グロー放電の安定化
を図ることができる。As described in detail above, in the first aspect of the present invention, a gas containing at least 50% by pressure or more of argon is used as an atmosphere for performing glow discharge.
In addition to being able to form the atmosphere at a lower cost than helium, the use of argon has an excellent edging effect of hitting the surface of the support due to its large molecular weight, which results in an improvement in film-forming properties. Can be measured. Moreover, by setting the gap between the pair of electrodes to 10 mm or less in this atmosphere, the glow discharge can be stabilized.
【００８２】また、請求項５又は請求項１０に記載の発
明においては、ガスを噴出して搬送されている支持体を
非接触で支持する、又は、一方の電極に接触して支持す
るので、一つの電極間の間隙の中を安定して搬送するこ
とができ、安定したグロー放電処理を施すことができ
る。Further, according to the invention described in claim 5 or claim 10, the support which is ejected and conveyed by the gas is supported in a non-contact manner, or is supported in contact with one of the electrodes. It can be stably transported in the gap between one electrode and can perform a stable glow discharge treatment.
【００８３】また、請求項１９に記載の発明において
は、使用されたガスにはグロー放電で消費されないガス
があるため、これを循環して一対の電極間に供給するこ
とにより、ガスの拡散を促して安定したグロー放電処理
を行うことができ、しかも、廃棄するガスが減り、低コ
スト化、環境問題に対応することができる。In the invention according to the nineteenth aspect, since some of the gases used are not consumed by the glow discharge, the gas is circulated and supplied between the pair of electrodes to diffuse the gas. The glow discharge process can be stably performed by performing the glow discharge process, and the amount of gas to be discarded can be reduced, thereby reducing costs and responding to environmental problems.
【００８４】また、請求項２０又は請求項２１に記載の
発明においては、即ち、グロー放電処理の処理時間の経
過に伴い、プラズマ反応による一対の電極間のガス濃度
の変化を検出し、これに基づいてガスを供給することに
よりガス濃度の変化を抑えることができ、又は、電極の
汚れ（異物の付着）などによる電源出力の低下を防ぐこ
とができるため、グロー放電処理を長時間、安定して施
すことができる。Further, in the invention according to claim 20 or 21, a change in gas concentration between a pair of electrodes due to a plasma reaction is detected as the processing time of the glow discharge processing elapses. By supplying gas based on the above, the change in gas concentration can be suppressed, or the power output can be prevented from lowering due to contamination of the electrode (adhesion of foreign matter). Can be applied.
【００８５】また、請求項２２に記載の発明において
は、誘電体を広く設けることによりアーク放電の発生を
抑え、安定したグロー放電をさせ、均一な放電処理を可
能とし、支持体や電極に傷をつけないことができる。Further, in the invention according to the twenty-second aspect, by providing a wide dielectric material, the occurrence of arc discharge is suppressed, stable glow discharge is achieved, uniform discharge treatment is enabled, and damage to the support and electrodes is prevented. Can not be attached.
【００８６】また、請求項２３に記載の発明において
は、グロー放電処理がなされた支持体を巻き取ることな
く搬送し、該支持体上に塗布液を塗布するので、ブロッ
キングを生じさせず、良好な塗布を可能とすることがで
きる。In the invention according to the twenty-third aspect, since the support subjected to the glow discharge treatment is conveyed without being wound up and the coating solution is applied on the support, no blocking occurs and good results are obtained. Application can be made possible.
【００８７】また、請求項２４に記載の発明において
は、グロー放電処理による支持体表面の改質効果の経時
劣化により膜付き性が低下しないうちに塗布液を塗布す
るので、良好な塗布を可能とすることができる。In the invention according to the twenty-fourth aspect, since the coating solution is applied before the film-forming property is reduced by the deterioration with time of the effect of modifying the surface of the support by the glow discharge treatment, good coating is possible. It can be.
【図１】グロー放電処理を施す第１の実施の形態の表面
処理装置の概略構成図である。FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a surface treatment apparatus according to a first embodiment for performing a glow discharge treatment.
【図２】第１の実施の形態の変形例の表面処理装置の概
略構成図である。FIG. 2 is a schematic configuration diagram of a surface treatment apparatus according to a modification of the first embodiment.
【図３】第２の実施の形態の表面処理装置の概略構成図
である。FIG. 3 is a schematic configuration diagram of a surface treatment apparatus according to a second embodiment.
【図４】第３の実施の形態の表面処理装置の概略構成図
である。FIG. 4 is a schematic configuration diagram of a surface treatment apparatus according to a third embodiment.
【図５】第４の実施の形態の表面処理装置の概略構成図
である。FIG. 5 is a schematic configuration diagram of a surface treatment apparatus according to a fourth embodiment.
【図６】第５の実施の形態の表面処理装置を説明する図
である。FIG. 6 is a diagram illustrating a surface treatment apparatus according to a fifth embodiment.
【図７】第６の実施の形態の表面処理装置の概略構成図
である。FIG. 7 is a schematic configuration diagram of a surface treatment apparatus according to a sixth embodiment.
【図８】第７の実施の形態の表面処理装置を説明する図
である。FIG. 8 is a diagram illustrating a surface treatment apparatus according to a seventh embodiment.
１ 支持体 ２、３ 電極 ４ ニップローラ（防止手段） ２１、３１ 穴 ２２、３２ 供給口 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Support body 2, 3 electrode 4 Nip roller (prevention means) 21, 31 Hole 22, 32 Supply port
フロントページの続き (72)発明者 西脇 彰 東京都日野市さくら町１番地コニカ株式会 社内Continued on the front page (72) Inventor Akira Nishiwaki 1 Konica Corporation, Sakuracho, Hino-shi, Tokyo In-house
Claims (24)
方法において、 一対の電極間を、大気圧若しくはその近傍下で少なくと
も５０圧力％以上のアルゴンを含有したガスの雰囲気と
し、かつ、前記一対の電極間の間隙を１０ｍｍ以下と
し、前記一対の電極間を連続搬送されている支持体に対
してグロー放電を施すことを特徴とする支持体の表面処
理方法。1. A method of treating a surface of a continuously transported support, wherein a space between a pair of electrodes is a gas atmosphere containing at least 50% by pressure or more of argon at or near atmospheric pressure. A surface treatment method for a support, wherein a gap between a pair of electrodes is set to 10 mm or less, and a glow discharge is applied to the support continuously transported between the pair of electrodes.
ｚ以上１００ｋＨｚ以下であることを特徴とする請求項
１に記載の支持体の表面処理方法。2. The frequency at which glow discharge is performed is 1 kHz.
The surface treatment method for a support according to claim 1, wherein the frequency is not less than z and not more than 100 kHz.
体であることを特徴とする請求項１又は２に記載の支持
体の表面処理方法。3. The method according to claim 1, wherein the continuously transported support is a polymer support.
造に用いられる支持体であることを特徴とする請求項３
に記載の支持体の表面処理方法。4. The support which is continuously transported is a support used for producing a photosensitive material.
4. The method for treating a surface of a support according to the above.
体に対して、グロー放電を施す支持体の表面処理装置に
おいて、 前記一対の電極間を搬送されている支持体に対して、少
なくとも５０圧力％以上の不活性ガスを含有したガスを
噴出させることにより、前記一対の電極間を搬送されて
いる支持体を、前記一対の電極各々に非接触で支持する
ことを特徴とする支持体の表面処理装置。5. A support surface treatment apparatus for performing glow discharge on a support that is continuously transported between a pair of electrodes, wherein at least a support that is transported between the pair of electrodes is provided. A support, wherein the support carried between the pair of electrodes is supported in a non-contact manner by each of the pair of electrodes by ejecting a gas containing an inert gas at 50% by pressure or more. Surface treatment equipment.
る請求項５に記載の支持体の表面処理装置。6. The apparatus according to claim 5, wherein each of the pair of electrodes has an opening, and the gas is ejected from the opening.
を特徴とする請求項６に記載の支持体の表面処理装置。7. The apparatus according to claim 6, wherein the pair of electrodes are plate electrodes.
って、支持体の搬送方向と直交する方向からみたとき
に、搬送されている支持体が蛇行するように前記一対の
電極を設けたことを特徴とする請求項６に記載の支持体
の表面処理装置。8. The pair of electrodes are provided so that the transported support meanders when viewed from a direction parallel to the surface of the continuously transported support and orthogonal to the transport direction of the support. The surface treatment apparatus for a support according to claim 6, wherein:
下であることを特徴とする請求項５〜８の何れか１つに
記載の支持体の表面処理装置。9. The apparatus according to claim 5, wherein a gap between the pair of electrodes is 10 mm or less.
持体に対して、グロー放電を施す支持体の表面処理装置
において、 前記一対の電極のうち一方の第１電極に支持体を接触さ
せながら搬送するとともに、 他方の第２電極を、前記第１電極との間隙が１０ｍｍ以
下になるように対向して配置し、 前記第１電極と前記第２電極との間に、少なくとも５０
圧力％以上の不活性ガスを含有したガスを供給しつつ、
支持体に対してグロー放電を施すことを特徴とする支持
体の表面処理装置。10. A support surface treatment apparatus for performing glow discharge on a support continuously transported between a pair of electrodes, wherein the support is brought into contact with one of the first electrodes of the pair of electrodes. The other second electrode is disposed so as to face the first electrode with a gap of 10 mm or less, and between the first electrode and the second electrode, at least 50
While supplying gas containing inert gas of pressure% or more,
A surface treatment apparatus for a support, wherein a glow discharge is applied to the support.
開口部を有した面状電極であることを特徴とする請求項
１０に記載の支持体の表面処理装置。11. The apparatus according to claim 10, wherein the second electrode is a planar electrode having an opening for ejecting the gas.
柱状電極であることを特徴とする請求項１０に記載の支
持体の表面処理装置。12. The apparatus according to claim 10, wherein the second electrode is a plurality of cylindrical or columnar electrodes.
ロールであることを特徴とする請求項１０〜１２の何れ
か１つに記載の支持体の表面処理装置。13. The apparatus according to claim 10, wherein the first electrode is a cylindrical or cylindrical roll.
て、回転することを特徴とする請求項１３に記載の支持
体の表面処理装置。14. The apparatus according to claim 13, wherein the first electrode rotates as the support is transported.
し、２つの一対の電極を支持体の搬送方向に並置したこ
とを特徴とする請求項５〜１４の何れか１つに記載の支
持体の表面処理装置。15. The support according to claim 5, wherein the support has at least two pairs of electrodes, and the two pairs of electrodes are juxtaposed in the direction of transport of the support. Surface treatment equipment.
並置したことを特徴とする請求項１５に記載の支持体の
表面処理装置。16. The apparatus according to claim 15, wherein the two pairs of electrodes are arranged side by side in a vertical direction.
極に接触する支持体の面は、異なることを特徴とする請
求項１５又は１６に記載の支持体の表面処理装置。17. The apparatus for treating a surface of a support according to claim 15, wherein a surface of the support in contact with a first electrode of each of the two pairs of electrodes is different.
対の電極間に進入することを防ぐ防止手段を有すること
を特徴とする請求項５〜１７の何れか１つに記載の支持
体の表面処理装置。18. The support according to claim 5, further comprising means for preventing a wind accompanying the transport of the support from entering between the pair of electrodes. Surface treatment equipment.
とも５０圧力％以上の不活性ガスを含有したガスの雰囲
気とした一対の電極間を、連続搬送されている支持体に
対して、グロー放電を施す支持体の表面処理装置におい
て、 前記一対の電極間のガスの少なくとも一部を循環させる
ことを特徴とする支持体の表面処理装置。19. A glow discharge is applied to a continuously transported support between a pair of electrodes in a gas atmosphere containing at least 50% by pressure or more of an inert gas at or near atmospheric pressure. A surface treatment apparatus for a support, wherein at least a part of the gas between the pair of electrodes is circulated.
とも５０圧力％以上の不活性ガスを含有したガスの雰囲
気とした一対の電極間を、連続搬送されている支持体に
対して、グロー放電を施す支持体の表面処理装置におい
て、 前記一対の電極間のガスの濃度を検出する検出手段と、 前記検出手段により検出したガスの濃度に応じて、前記
一対の電極間へ供給するガスを制御することを特徴とす
る支持体の表面処理装置。20. A glow discharge is applied to a continuously transported support between a pair of electrodes in a gas atmosphere containing at least 50% by pressure or more of an inert gas at or near atmospheric pressure. In the surface treatment apparatus for a support to be applied, a detecting unit for detecting a gas concentration between the pair of electrodes, and a gas supplied between the pair of electrodes is controlled according to a gas concentration detected by the detecting unit. A surface treatment apparatus for a support, characterized in that:
とも５０圧力％以上の不活性ガスを含有したガスの雰囲
気とした一対の電極間を、連続搬送されている支持体に
対して、グロー放電を施す支持体の表面処理装置におい
て、 定電圧条件下で、前記一対の電極間に流れる電流若しく
は消費する電力が一定になるように制御することを特徴
とする支持体の表面処理装置。21. A glow discharge is applied to a continuously transported support between a pair of electrodes in a gas atmosphere containing at least 50% by pressure or more of an inert gas at or near atmospheric pressure. An apparatus for treating a surface of a support to be applied, wherein a current flowing between the pair of electrodes or a consumed power is controlled to be constant under a constant voltage condition.
とも５０圧力％以上の不活性ガスを含有したガスの雰囲
気とした一対の電極間を、連続搬送されている支持体に
対して、グロー放電を施す支持体の表面処理装置におい
て、 前記一対の電極各々は、導電性部材と誘電体とを有し、 前記一対の電極が対向している導電性部材の面積よりも
広い面積を有する誘電体を、少なくとも前記一対の電極
が対向している面を含んで前記導電性部材に設けたこと
を特徴とする支持体の表面処理装置。22. A glow discharge is applied to a continuously transported support between a pair of electrodes in an atmosphere of a gas containing at least 50% by pressure of an inert gas at or near atmospheric pressure. In the apparatus for treating a surface of a support to be applied, each of the pair of electrodes includes a conductive member and a dielectric, and the dielectric having a larger area than an area of the conductive member facing the pair of electrodes. A surface treatment device for a support, wherein at least a surface of the pair of electrodes facing each other is provided on the conductive member.
持体上に、塗布液を塗布する塗布方法において、 前記表面処理がなされた支持体を、巻き取ることなく搬
送し、塗布液を塗布することを特徴とする塗布方法。23. A coating method for applying a coating solution onto a continuously transported support having been subjected to a surface treatment, wherein the surface-treated support is transported without winding and the coating solution is applied. A coating method characterized by the above-mentioned.
持体上に、塗布液を塗布する塗布方法において、 前記表面処理がなされた後、１０分以内に、塗布液を塗
布することを特徴とする塗布方法。24. A coating method for applying a coating liquid on a continuously transported support having been subjected to a surface treatment, wherein the coating liquid is applied within 10 minutes after the surface treatment is performed. Coating method.
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002339075A (en) * | 2001-05-17 | 2002-11-27 | Konica Corp | Surface treatment method for long material and optical film produced by the method |
| EP1403902A1 (en) * | 2002-09-30 | 2004-03-31 | Fuji Photo Film B.V. | Method and arrangement for generating an atmospheric pressure glow discharge plasma (APG) |
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1998
- 1998-04-07 JP JP09446898A patent/JP3646282B2/en not_active Expired - Fee Related
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| JP4921710B2 (en) * | 2002-09-30 | 2012-04-25 | フジフィルム マニュファクチャリング ユーロプ ビー．ブイ． | Method for generating atmospheric pressure glow discharge plasma |
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