JPH1151576A - Trap unit - Google Patents

Trap unit

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Publication number
JPH1151576A
JPH1151576A JP21096297A JP21096297A JPH1151576A JP H1151576 A JPH1151576 A JP H1151576A JP 21096297 A JP21096297 A JP 21096297A JP 21096297 A JP21096297 A JP 21096297A JP H1151576 A JPH1151576 A JP H1151576A
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JP
Japan
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gas
particles
cooling
main body
turning space
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP21096297A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Eiji Nakamu
栄治 中務
Masao Takeda
正夫 武田
Ippei Yamauchi
一平 山内
Ryunosuke Yamada
龍之介 山田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shimadzu Mectem Inc
Original Assignee
Shimadzu Mectem Inc
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Filing date
Publication date
Application filed by Shimadzu Mectem Inc filed Critical Shimadzu Mectem Inc
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  • Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
  • Waste-Gas Treatment And Other Accessory Devices For Furnaces (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To capture particles in a gas containing condensates or sublimates efficiently while enhancing the trap efficiency by providing a turning space having an opening in parallel with the flow at a nozzle section, changing the direction of main gas flow at the nozzle section and introducing a part of the particles into the turning space. SOLUTION: The trap unit is inserted into a exhaust line coupling between an incinerator and an external vacuum pump. Gas passes through the outside of a cooling pipe 2 in a tubular body 1 and it is cooled down through adiabatic expansion when passing through a nozzle section 4 and impinges on a cooling plate 3 to which a part of particles adheres. When passing through the nozzle section 4, the particles in the gas is subjected to inertia force and shunted because the direction of main gas flow is changed and introduced from the opening 6 of a partition 5 into a turning space S. The gas is turned in the turning space S and the particles in the gas are blown off centrifugally outwards and separated. Subsequently, the particles are collected and the grown up particle falls down gravitationally and collected below the turning space S.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、純化炉を始め、焼
成炉、真空焼結炉など各種の炉から放出されるガス中の
凝縮、昇華物等の捕捉装置として好適に利用されるトラ
ップ装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a trapping device which is suitably used as a trapping device for condensing or subliming a gas discharged from various furnaces such as a purifying furnace, a firing furnace and a vacuum sintering furnace. It is about.

【0002】[0002]

【従来の技術】例えば、金属及びセラミック等の各種焼
結材料は、周知のように、原料粉末を目的形状に成形し
た後高温で焼結して製造される。しかして、まず原料粉
末から粉末成形品を造る段階では、粉末粒子の成形性を
確保する必要等から種々のバインダが加えられる。反
面、焼結工程においてはこのバインダが焼結品に種々の
悪影響を及ぼす有害物質として作用することになるた
め、粉末成型品を焼結するに当たっては、その前処理と
して成型品中に含まれるバインダを除去しておかなけれ
ばならない。そこで、この種の焼結炉では、そのバイン
ダ除去工程時に成形品から発生するバインダの蒸気を含
むガスからバインダを回収する為にトラップ装置を付帯
している。
2. Description of the Related Art As is well known, for example, various sintered materials such as metals and ceramics are produced by molding a raw material powder into a desired shape and then sintering it at a high temperature. In the stage of producing a powder molded product from the raw material powder, various binders are added because it is necessary to ensure the moldability of the powder particles. On the other hand, in the sintering process, the binder acts as a harmful substance having various adverse effects on the sintered product. Therefore, in sintering the powder molded product, the binder contained in the molded product is used as a pre-treatment. Must be removed. Therefore, this type of sintering furnace is provided with a trap device for recovering the binder from the gas containing the binder vapor generated from the molded product during the binder removing step.

【0003】このトラップ装置は、排気ラインに介在さ
れて、バインダを含んだ流通ガスの中からバインダを凝
縮、昇華させて分離し、真空ポンプ側への排気ライン中
にバインダが混入するのを防止する役目を果たす。従
来、この種のトラップ装置は、バインダを含んだガスを
流通させる本体内に複数の冷却面を配設し、各冷却面に
バインダを捕捉させるように構成しているのが一般的で
ある。
[0003] This trap device is interposed in an exhaust line to condense and sublimate the binder from the flowing gas containing the binder to separate it, thereby preventing the binder from being mixed into the exhaust line to the vacuum pump. Play a role. Conventionally, this type of trap device is generally configured such that a plurality of cooling surfaces are provided in a main body through which a gas containing a binder flows, and the binder is trapped on each cooling surface.

【0004】具体的に説明すると、従来のトラップ装置
は、図10〜図11に示すように、本体1内にガス中の
バインダを凝縮又は昇華し得る温度に保つ冷却パイプ2
を配設し、前記冷却パイプ2にて冷却される冷却板30
3を複数枚配設し、前記冷却板303と本体1の内周1
cとの間にノズル部304を設けてなるものである。そ
して、トラップ装置内にガスを導入し本体1内のノズル
部304を順次通過させてガスを冷却しガス中のバイン
ダを捕捉するようにしている。
More specifically, as shown in FIGS. 10 to 11, a conventional trap device includes a cooling pipe 2 for maintaining a binder in a gas in a main body 1 at a temperature capable of condensing or sublimating the binder.
And a cooling plate 30 cooled by the cooling pipe 2
The cooling plate 303 and the inner periphery 1 of the main body 1 are provided.
and a nozzle portion 304 is provided between the nozzle portion 304 and the nozzle c. Then, the gas is introduced into the trap device and sequentially passed through the nozzle portion 304 in the main body 1 to cool the gas and capture the binder in the gas.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来のトラップ装置においても、凝縮しにくいバイ
ンダや、成型品から発生する不純物の蒸気が含まれる場
合には、昇華した細かなダストがガス中に残留したまま
下流の真空ポンプ側に流れ込むことが往々にしてあっ
た。そして、これらのガス中に残留したダストが配管内
のバルブの開閉を阻害したり、真空ポンプ内に吸引され
そのオイルに混入してポンプ性能を劣化あるいは作動不
能に至らしめる等の不具合を生じていた。さらに、ダス
トを含んだガスが大気に放出されることにより大気が汚
染されるなど、一層深刻な事態に発展する危険性も伴う
ものであった。
However, even in such a conventional trap device, when a binder which is hardly condensed or a vapor of an impurity generated from a molded product is contained, fine sublimated dust is contained in the gas. It often flows to the downstream vacuum pump side while remaining in the vacuum pump. Dust remaining in these gases may cause problems such as obstructing the opening and closing of valves in the piping, and being sucked into the vacuum pump and being mixed into the oil to deteriorate the pump performance or render it inoperable. Was. In addition, there is a danger that the situation will be more serious, such as polluting the atmosphere by discharging dust-containing gas into the atmosphere.

【0006】本発明は、このような課題に着目してなさ
れたものであって、凝縮物や昇華物を含むガス中からよ
り効率良く粒子を捕捉し得るようにしたトラップ装置を
提供することを目的としている。
The present invention has been made in view of such a problem, and has as its object to provide a trap device capable of more efficiently trapping particles from a gas containing condensate and sublimate. The purpose is.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明は、かかる目的を
達成するために、次のような構成のトラップ装置を採用
したものである。すなわち、本発明のトラップ装置は、
ガス中の成分を冷却により凝縮又は昇華し得る温度に保
たれる複数の冷却面を有する本体と、前記本体の冷却面
に設けられ粒子を含んだガスを順次通過させるノズル部
とを具備してなり、ガスを冷却しつつガス中の粒子を捕
捉するトラップ装置において、前記ノズル部の流れに並
向して開口する旋回空間を設け、ノズル部においてガス
の主流の方向を換えると共に前記旋回空間内に粒子の一
部を導入するようにしたことを特徴とする。
In order to achieve the above object, the present invention employs a trap device having the following configuration. That is, the trap device of the present invention
A main body having a plurality of cooling surfaces maintained at a temperature at which components in the gas can be condensed or sublimated by cooling, and a nozzle portion provided on the cooling surface of the main body and sequentially passing a gas containing particles is provided. In the trap device for capturing particles in the gas while cooling the gas, a swirl space that opens in parallel with the flow of the nozzle portion is provided, and the direction of the main flow of the gas is changed in the nozzle portion and the inside of the swirl space is changed. Characterized in that a part of the particles is introduced into the substrate.

【0008】このような構成のものであると、ガス中の
成分は、本体内を流通する際、ノズル部を通過する時に
断熱膨脹によって自冷し、或いは冷却面に衝突すること
により冷却されて、凝縮又は昇華しミスト又はダスト状
の粒子になり、一部は冷却面に捕捉される。一方、ガス
中の粒子の一部は、ノズル部を通過する際に主流の方向
が換わるため慣性力を受けて主流から分流し、前記旋回
空間に導かれ、該空間内を旋回する。この旋回中に、ガ
ス中に含まれる粒子は、ガス中の他の気体分子に比べて
分子量が大きいため遠心力により外側に飛ばされ、かつ
旋回中に粒同士が集合することにより成長して、重力に
より下方に落下して捕捉される。
[0008] With such a structure, the components in the gas are self-cooled by adiabatic expansion when passing through the nozzle portion when flowing through the main body, or are cooled by colliding with the cooling surface. , Condenses or sublimates into mist or dusty particles, some of which are trapped on the cooling surface. On the other hand, a part of the particles in the gas receive the inertial force and diverge from the main flow because the direction of the main flow changes when passing through the nozzle portion, are guided to the swirling space, and swirl in the space. During this swirl, the particles contained in the gas are blown outward by centrifugal force due to their large molecular weight compared to other gas molecules in the gas, and grow during the swirl by the aggregation of the particles, It falls down due to gravity and is caught.

【0009】このように、ガスを順次冷却面にて冷却す
るのに加え、ノズル部においてガスの主流の方向を換
え、粒子の一部を旋回空間に引き込み粒子の効果的な捕
捉を行っているので、従来に比べてトラップ効率を確実
に向上させることが可能となる。
As described above, in addition to cooling the gas sequentially on the cooling surface, the direction of the main flow of the gas is changed at the nozzle portion, and a part of the particles is drawn into the swirling space to effectively capture the particles. Therefore, it is possible to surely improve the trap efficiency as compared with the related art.

【実施例】以下、本発明の一実施例について図1〜図4
を参照して説明する。なお、従来例と同様の構造を有す
る部分には、図10〜図11と同様の符号を付すもので
ある。また、本実施例では、ガス中に含まれる不純物で
ある粒子が凝縮性のみでなく昇華性を有する場合につい
て説明する。
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG.
This will be described with reference to FIG. Parts having the same structure as the conventional example are denoted by the same reference numerals as in FIGS. Further, in this embodiment, a case where particles as impurities contained in a gas have not only a condensability but also a sublimation property will be described.

【0010】このトラップ装置は、焼結炉と外部の真空
ポンプを接続する排気ラインに介在され、ガスの中から
凝縮分や昇華分を分離し、真空ポンプへこれら粒子が流
入するのを防止するものである。すなわち、このトラッ
プ装置は、図1及び図2に示すように、一端1aを焼結
炉の排気口に接続され、他端1bを真空ポンプに接続さ
れる円筒状の本体1と、前記本体1内に長手方向に沿っ
て挿入された冷却パイプ2と、前記冷却パイプ2に支持
された冷却面である複数の冷却板3とを具備してなる。
This trap device is interposed in an exhaust line connecting the sintering furnace and an external vacuum pump, separates condensed and sublimed components from the gas, and prevents these particles from flowing into the vacuum pump. Things. That is, as shown in FIGS. 1 and 2, the trap device has a cylindrical main body 1 having one end 1a connected to an exhaust port of a sintering furnace and the other end 1b connected to a vacuum pump. And a plurality of cooling plates 3 as cooling surfaces supported by the cooling pipes 2.

【0011】冷却パイプ2は、内部に冷却水を流通する
ことにより冷却板3を冷却するものである。冷却板3
は、図2及び図3に示すように、本体1の軸方向に等間
隔で交互に配置された略円盤状の金属製の薄板からなる
もので、一端部に本体1内に取着した際に仕切板5との
間に略長方形の開口部を持つノズル部4を形成する。仕
切板5は、前記冷却板3の一端部と対向する他端部に本
体1の長手方向に沿って表裏両面から突設されているも
のである。この冷却板3は、図4に示すように、隣設す
る冷却板3のノズル部4同士が交互に左右対称に開口す
るように配設され、本体1内に導入されたガスを順次流
通させ、またその方向を換えるように構成されている。
また、前記ノズル部4に対向させて開口部6を配置して
前記本体1の内周1cと仕切板5に包囲される位置に旋
回空間Sを設け、この旋回空間S内に粒子の一部を導入
して旋回させるようにしている。
The cooling pipe 2 cools the cooling plate 3 by flowing cooling water inside. Cooling plate 3
As shown in FIG. 2 and FIG. 3, a substantially disk-shaped metal thin plate alternately arranged at equal intervals in the axial direction of the main body 1 is provided. The nozzle portion 4 having a substantially rectangular opening is formed between the nozzle portion 4 and the partition plate 5. The partition plate 5 protrudes from the front and back surfaces along the longitudinal direction of the main body 1 at the other end facing the one end of the cooling plate 3. As shown in FIG. 4, the cooling plates 3 are arranged so that the nozzle portions 4 of the adjacent cooling plates 3 open alternately symmetrically to allow the gas introduced into the main body 1 to flow sequentially. , And change its direction.
Further, an opening 6 is disposed so as to be opposed to the nozzle portion 4, and a swirling space S is provided at a position surrounded by the inner periphery 1 c of the main body 1 and the partition plate 5. And turn it.

【0012】このような構成のものであると、図4に示
すように、ガスは、本体1内を順次通過し、ノズル部4
を通過する時に断熱膨脹により自冷するとともに、冷却
板3に衝突することにより冷却されて粒子の一部は凝固
して冷却板3に固着する。一方、ガス中の粒子は、ノズ
ル部4を通過する時にガスの主流の方向が換わるため慣
性力を受けて主流から分流し、旋回空間Sに導かれる。
そして、該旋回空間S内のガスは主流の影響を受けて旋
回する。この旋回中に、ガス中に含まれる粒子は、ガス
中の他の気体分子に比べて分子量が大きいため遠心力に
より外側に飛ばされて分離されるとともに、粒同士が集
合して成長することにより重力で落下し、旋回空間Sの
下方に捕捉される。
With such a configuration, as shown in FIG. 4, gas passes through the inside of the main body 1 sequentially, and
Self-cooling by adiabatic expansion when passing through, and being cooled by colliding with the cooling plate 3, a part of the particles solidify and adhere to the cooling plate 3. On the other hand, the particles in the gas undergo a change in the direction of the main flow of the gas when passing through the nozzle portion 4, are separated from the main flow by the inertial force, and guided to the swirling space S.
Then, the gas in the swirling space S swirls under the influence of the main flow. During this swirling, the particles contained in the gas are separated and separated by the centrifugal force because the molecular weight is larger than the other gas molecules in the gas, and the particles aggregate and grow. It falls by gravity and is captured below the turning space S.

【0013】このように、ガスの主流を冷却板3により
冷却して捕捉するのに加え、さらに粒子を旋回空間Sに
引き込み旋回させることにより粒子の有効な捕捉を行っ
ているので、従来と比べてトラップ効率を確実に向上さ
せることが可能になる。例えば、各段のノズル部4にお
いて捕捉されず通過する粒子の割合が60%であるとし
ても、ノズル部4を本体1内に9ヶ所設置すれば、全て
のノズル部4を通過する粒子の割合は(0.6)の9
乗、すなわち高々1%程度にまで低減することができ
る。
As described above, in addition to cooling and capturing the main flow of the gas by the cooling plate 3, the particles are effectively captured by drawing the particles into the swirling space S and swirling. As a result, the trap efficiency can be reliably improved. For example, even if the ratio of particles that are not captured and pass through the nozzle units 4 in each stage is 60%, if nine nozzle units 4 are installed in the main body 1, the ratio of particles that pass through all the nozzle units 4 Is 9 in (0.6)
, Ie, at most about 1%.

【0014】そして、冷却板3及び仕切板5は、冷却パ
イプ2とともに本体1から容易に抜き取ることができる
ので、冷却板3や本体1の内周1cに固着した粒子も容
易に除去することが可能となる。なお、上述した実施例
では、凝縮性又は昇華性を有する粒子の捕捉について説
明をおこなったが、捕捉される粒子の3相状態が明確な
場合には、本体1を適切な温度に加熱することにより、
粒子を液相の状態でタンクに回収することもできる。こ
の場合には、図2及び図3に示すように、冷却板3の下
端に切り欠き7を設けておき、本体1をタンクに傾斜さ
せて配設することにより、前記切り欠き7を介して粒子
を液相状態でタンクに回収することができる。
Since the cooling plate 3 and the partition plate 5 can be easily removed from the main body 1 together with the cooling pipe 2, particles fixed to the cooling plate 3 and the inner periphery 1c of the main body 1 can be easily removed. It becomes possible. In the above-described embodiment, the capturing of particles having condensability or sublimation has been described. However, when the three-phase state of the captured particles is clear, the main body 1 may be heated to an appropriate temperature. By
The particles can be collected in a tank in a liquid phase. In this case, as shown in FIGS. 2 and 3, a notch 7 is provided at the lower end of the cooling plate 3, and the main body 1 is arranged to be inclined in the tank, so that The particles can be collected in the tank in a liquid phase.

【0015】一方、ガスの成分が主に昇華性を有するも
のである場合には、本体1を外部から冷却することによ
り昇華が進みトラップ効率を向上させることができる。
また、各部の具体的な構成は、上述した実施例に限定さ
れるものではなく、例えば、以下のような変形例が挙げ
られる。まず、第1変形例について図5及び図6を参照
して説明する。
On the other hand, when the gas component mainly has sublimability, sublimation proceeds by cooling the main body 1 from the outside, so that trap efficiency can be improved.
In addition, the specific configuration of each unit is not limited to the above-described embodiment, and includes, for example, the following modified examples. First, a first modified example will be described with reference to FIGS.

【0016】このものは、図5に示すように、上記実施
例とほぼ同様の構造を有し、上記実施例と同様に、本体
1内に導入されたガスを順次流通させ得るように構成し
たものであるが、冷却板、仕切り板の構造を異にするも
のである。なお、上記実施例と同様の構造を有する部分
には、同様の符号を付し具体的な説明を省略するもので
ある。
As shown in FIG. 5, this device has substantially the same structure as that of the above-described embodiment, and is configured so that the gas introduced into the main body 1 can be sequentially circulated as in the above-described embodiment. However, the structure of the cooling plate and the partition plate is different. Note that portions having the same structure as in the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.

【0017】この冷却板103は、図6に示すように、
上述した実施例の冷却板3においてノズル部104を略
半円環状とし、仕切板105に開口部106を設けると
ともに仕切板105を下方まで延長して旋回空間Sの下
方によどみ部107を設けたものである。このような構
成のものであると、よどみ部107においてはガスの旋
回速度が遅くなり、昇華物を多く含むガスに対してより
確実なトラップ効率の向上が計られる。
This cooling plate 103 is, as shown in FIG.
In the cooling plate 3 of the above-described embodiment, the nozzle portion 104 has a substantially semi-annular shape, the opening portion 106 is provided in the partition plate 105, and the partition plate 105 is extended to the lower side to provide the stagnation portion 107 below the swirling space S. Things. With such a configuration, the swirling speed of the gas in the stagnation portion 107 is reduced, and the trapping efficiency of the gas containing a large amount of sublimate is more reliably improved.

【0018】次に、第2変形例について図7〜図9を参
照して説明する。なお、上記実施例と同様の構造を有す
る部分には、同様の符号を付し具体的な説明を省略する
ものである。このトラップ装置は、図7に示すように、
円筒状の本体1内に冷却パイプ2を配設し、前記冷却パ
イプ2に2種類の冷却板203A、203Bを交互に配
置して、上記実施例と同様に、本体1内に導入されたガ
スを順次流通させ得るように構成したものであり、上記
実施例とは冷却板、仕切り板の構造を異にするものであ
る。
Next, a second modification will be described with reference to FIGS. Note that portions having the same structure as in the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted. This trap device, as shown in FIG.
A cooling pipe 2 is disposed in a cylindrical main body 1, and two types of cooling plates 203 A and 203 B are alternately disposed in the cooling pipe 2, and the gas introduced into the main body 1 is similar to the above embodiment. Are arranged so that the cooling plate and the partition plate are different from the above embodiment.

【0019】詳述すると、冷却板203Aは、図8に示
すように、円盤状の薄板の下端部に略半円環状の切り欠
きを設けて、その切り欠きに本体1の長手方向に伸びる
半円筒状の仕切り板205を添接しているものであり、
前記略半円環状の切り欠きの左右端部をさらに内方に切
り欠いてノズル部204Aを形成している。仕切板20
5は、前記ノズル部204Aの対向箇所に開口部206
を有し、本体1の内周1cと仕切板205に包囲され前
記開口部206を介してノズル部204Aに連通する旋
回空間Sを形成するとともに、その下方によどみ部20
7を形成している。
More specifically, as shown in FIG. 8, the cooling plate 203A is provided with a substantially semi-annular notch at the lower end of a disk-shaped thin plate, and the notch extends in the longitudinal direction of the main body 1 in the notch. A cylindrical partition plate 205 is abutted,
The left and right ends of the substantially semi-annular notch are further cut inward to form a nozzle portion 204A. Partition plate 20
5 is an opening 206 at a position facing the nozzle 204A.
To form a swirling space S that is surrounded by the inner periphery 1c of the main body 1 and the partition plate 205 and communicates with the nozzle portion 204A through the opening 206, and has a stagnation portion 20 below it.
7 are formed.

【0020】冷却板203Bは、図9に示すように、円
盤状の薄板の上端部に切り欠きを設けノズル部204B
を形成してなるものである。このような構成のものであ
ると、図7に示すように、粒子を含んだガスの主流は、
本体1内を並列な流れを作って流通する際に冷却板20
3A、203Bにより自冷して凝縮又は昇華し、或いは
それらの冷却板203A、203Bに衝突して捕捉され
る。一方、粒子の一部は、ノズル部204Aを通過する
時に慣性力を受けて主流から分流し、前記開口部206
から旋回空間Sに導かれ、該空間S内を旋回する。この
旋回中に、ガス中に含まれる粒子は、ガス中の他の気体
分子に比べて分子量が大きいため遠心力により飛ばされ
て分離され、かつ旋回中に凝集して、粒径が大きくなり
重力により下方のよどみ部207に落下し捕捉される。
As shown in FIG. 9, the cooling plate 203B is provided with a notch at the upper end of a disk-shaped thin plate to form a nozzle portion 204B.
Is formed. With such a configuration, as shown in FIG. 7, the main flow of the gas containing particles is:
When a parallel flow is created and distributed in the main body 1, the cooling plate 20
3A and 203B, self-cooled and condensed or sublimated, or collided with the cooling plates 203A and 203B and captured. On the other hand, some of the particles receive an inertial force when passing through the nozzle portion 204A, and are diverted from the main stream, and the opening 206
Is led to the turning space S, and turns inside the space S. During this swirling, the particles contained in the gas have a higher molecular weight than the other gas molecules in the gas, so they are blown off by centrifugal force and separated, and agglomerated during the swirling to increase the particle size and the gravity. As a result, it falls to the lower stagnation portion 207 and is captured.

【0021】なお、これら第1、第2変形例においても
上記実施例と同様の効果が得られるとともに、適用され
る粒子等にも種々の変形が可能であることは言うまでも
ない。例えば、このトラップ装置は、高温ガス中の粉塵
を除去するための集塵装置としても適用できる。また、
昇華性のガスに凝縮性のパラフィン蒸気やミストを混入
し、トラップ装置内で共に捕捉し、ダストをミストの液
相に載せてタンクに捕捉するようにしてもよい。
It is needless to say that the first and second modifications can provide the same effects as those of the above-described embodiment, and that various modifications can be made to the applied particles and the like. For example, the trap device can also be applied as a dust collector for removing dust in a high-temperature gas. Also,
Condensable paraffin vapor or mist may be mixed into the sublimable gas, captured together in the trap device, and the dust may be loaded on the liquid phase of the mist and captured in the tank.

【0022】さらに、前記のようなノズル部4、10
4、204A、204Bは、ガスを笛の音波のように振
動させることにより粒子を凝集させる効果も期待でき、
また、前記のようなノズル部4、104、204A、2
04Bは、ガスを通過する際に粒子を帯電させて静電気
により粒子を凝集させる効果も期待できるものとなる。
また、冷却板3、103、203A、203Bと本体1
の対向面間に積極的に電圧を加え、粒子をそれらの対向
面の一方に静電吸着させるようにしてもよい。
Further, the nozzle portions 4, 10 as described above
4, 204A and 204B can also expect the effect of aggregating particles by vibrating gas like a flute sound wave,
Further, the nozzle units 4, 104, 204A, 2
04B is also expected to have the effect of charging the particles when passing through the gas and aggregating the particles by static electricity.
Further, the cooling plates 3, 103, 203A, 203B and the main body 1
A voltage may be positively applied between the opposing surfaces to electrostatically adsorb the particles on one of the opposing surfaces.

【0023】その他、本体1や冷却板3を角形で構成す
る等、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能
である。
In addition, various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention, such as forming the main body 1 and the cooling plate 3 in a rectangular shape.

【0024】[0024]

【発明の効果】本発明は、以上説明したような形態で実
施され以下に記載されるような効果を奏する。すなわ
ち、本発明のトラップ装置は、ガスの主流をノズル部に
おいて自冷、或いは冷却面において冷却して粒子を捕捉
するのに加えて、粒子の一部を旋回空間に引き込み旋回
させることにより効果的な粒子の捕捉を行っているの
で、従来に比べてトラップ効率を確実に向上させること
が可能となり、粒子が混入したガスが真空ポンプや外部
に流出することを防止し、これにより真空ポンプを劣化
あるいは作動不能に至らしめる等の不具合や、大気汚染
等の問題を有効に解消することができる。
The present invention is embodied in the form described above and has the following effects. That is, the trap device of the present invention is effective in that the main flow of gas is self-cooled at the nozzle portion or cooled at the cooling surface to capture particles, and a part of the particles is drawn into the swirling space and swirled. Trapping particles, it is possible to improve the trapping efficiency more reliably than before, and prevent the gas containing particles from flowing out to the vacuum pump or the outside, thereby deteriorating the vacuum pump. Alternatively, problems such as inoperability and problems such as air pollution can be effectively solved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例を示す模式的な縦断面図。FIG. 1 is a schematic longitudinal sectional view showing one embodiment of the present invention.

【図2】同図1におけるA−A線拡大断面図。FIG. 2 is an enlarged sectional view taken along line AA in FIG.

【図3】同冷却板を示す図。FIG. 3 is a view showing the cooling plate.

【図4】同作用説明図。FIG. 4 is an explanatory view of the operation.

【図5】本発明の第1変形例を示す模式的な縦断面図。FIG. 5 is a schematic longitudinal sectional view showing a first modification of the present invention.

【図6】同図5におけるB−B線拡大断面図。FIG. 6 is an enlarged sectional view taken along line BB in FIG. 5;

【図7】本発明の第2変形例を示す模式的な縦断面図。FIG. 7 is a schematic longitudinal sectional view showing a second modification of the present invention.

【図8】図7におけるC−C線拡大断面図。FIG. 8 is an enlarged sectional view taken along line CC in FIG. 7;

【図9】同図7におけるD−D線拡大断面図。FIG. 9 is an enlarged sectional view taken along line DD in FIG. 7;

【図10】従来例を示す模式的な縦断面図。FIG. 10 is a schematic longitudinal sectional view showing a conventional example.

【図11】同図10におけるE−E線拡大断面図。FIG. 11 is an enlarged sectional view taken along line EE in FIG. 10;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…本体 3、103、203A、203B…冷却面(冷却板) 4、104、204A、204B…ノズル部 S…旋回空間 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Main body 3, 103, 203A, 203B ... Cooling surface (cooling plate) 4, 104, 204A, 204B ... Nozzle part S ... Swirling space

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山田 龍之介 滋賀県大津市月輪一丁目8番1号 島津メ クテム株式会社内 ──────────────────────────────────────────────────の Continuing on the front page (72) Inventor Ryunosuke Yamada 1-8-1, Tsukuwa, Otsu-shi, Shiga Prefecture Shimadzu Mectem Corporation

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】ガス中の成分を冷却により凝縮又は昇華し
得る温度に保たれる複数の冷却面を有する本体と、前記
本体の冷却面に設けられ粒子を含んだガスを順次通過さ
せるノズル部とを具備してなり、ガスを冷却しつつガス
中の粒子を捕捉するトラップ装置において、 前記ノズル部の流れに並向して開口する旋回空間を設
け、ノズル部においてガスの主流の方向を換えると共に
前記旋回空間内に粒子の一部を導入するようにしたこと
を特徴とするトラップ装置。
1. A main body having a plurality of cooling surfaces maintained at a temperature at which components in a gas can be condensed or sublimated by cooling, and a nozzle portion provided on the cooling surface of the main body and sequentially passing a gas containing particles. In a trap device for capturing particles in a gas while cooling the gas, a swirling space that opens in parallel with the flow of the nozzle portion is provided, and a direction of a main flow of the gas is changed in the nozzle portion. And a part of the particles is introduced into the swirling space.
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