JPH1148611A - Optical recording medium - Google Patents

Optical recording medium

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JPH1148611A
JPH1148611A JP9210745A JP21074597A JPH1148611A JP H1148611 A JPH1148611 A JP H1148611A JP 9210745 A JP9210745 A JP 9210745A JP 21074597 A JP21074597 A JP 21074597A JP H1148611 A JPH1148611 A JP H1148611A
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JP
Japan
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layer
recording
atomic
optical recording
recording medium
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Pending
Application number
JP9210745A
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Japanese (ja)
Inventor
Kazuhiro Kaneko
和弘 金子
Tomohiko Onda
智彦 恩田
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Kao Corp
Original Assignee
Kao Corp
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Publication date
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Priority to US09/031,549 priority patent/US6022605A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical recording medium being excellent in repeated record erasing property by providing a recording layer wherein the composition ratios for Au, In, Sb and Te are specified. SOLUTION: This optical recording medium 1 has a structure wherein a lower dielectric layer 3, a recording layer 4, an upper dielectric layer 5, a reflective layer 6 and a protective layer are laminated by this order on a base plate 2. In the recording layer 4, the range of a composition ratio α for Au is made 1 atom% <=α<=16 atom%, the range of a composition ratio β for In is made 8 atom% <=β<=17 atom%, the range of a composition ratio γ for Sb is made 41 atom% <=γ<=63 atom%, and the range of a composition ratio δ for Te is made 24 atom% <=δ<= 36 atom%. In this case, it is taken as 99 atom% <=α+β+γ+δ<= 100 atom%. This recording layer 4 indicates a favorable recording erasing property when a relative speed of the recording layer for a light beam at the time of recording erasing is 5-7 m/s.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、相変化型記録材料
からなる記録層を有する光記録媒体に関し、特に、光ビ
ームに対する記録層の記録消去時の相対速度が5〜7m/
s で使用される光記録媒体に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical recording medium having a recording layer made of a phase-change recording material, and more particularly, to a recording medium having a relative speed of 5 to 7 m / sec.
s relates to an optical recording medium.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、高密度記録が可能で、しかも記録
情報を消去して書き換えることが可能な光記録媒体が注
目されている。書き換え可能型の光記録媒体のうち相変
化型の光記録媒体は、レーザー光を照射することにより
記録層の結晶状態を変化させ、このような状態変化に伴
う記録層の反射率変化を検出するものである。相変化型
の光記録媒体は単一の光ビームによるオーバーライトが
可能であり、また、駆動装置の光学系が光磁気記録媒体
のそれに比べて単純である点で優れている。
2. Description of the Related Art In recent years, an optical recording medium capable of high-density recording and capable of erasing and rewriting recorded information has attracted attention. Among the rewritable optical recording media, a phase-change optical recording medium changes the crystal state of the recording layer by irradiating a laser beam, and detects a change in the reflectance of the recording layer due to such a state change. Things. The phase change type optical recording medium is excellent in that overwriting can be performed by a single light beam, and the optical system of the driving device is simpler than that of the magneto-optical recording medium.

【0003】相変化型光記録媒体の記録層の材料として
は、結晶状態と非晶質状態とで反射率の差が大きく、非
晶質状態の安定度が比較的高い、Ge-Te 系材料が用いら
れることが多い。その代表的な材料例として、米国特許
第 3,530,441号に開示されているように、Ge-Te 、Ge-T
e-Sb-S、Ge-Te-S 、Ge-Se-S 、Ge-Se-Sb、Ge-As-Se、In
-Te 、Se-Te 、Se-As 等のいわゆるカルコゲン系合金材
料があげられる。
As a material for a recording layer of a phase-change optical recording medium, a Ge-Te-based material having a large difference in reflectance between a crystalline state and an amorphous state and having a relatively high amorphous state stability. Is often used. Typical examples of the material include Ge-Te and Ge-T as disclosed in U.S. Patent No. 3,530,441.
e-Sb-S, Ge-Te-S, Ge-Se-S, Ge-Se-Sb, Ge-As-Se, In
So-called chalcogen-based alloy materials such as -Te, Se-Te and Se-As.

【0004】また、安定性、高速結晶化等の向上を目的
にGe-Te 系にAu(特開昭61-219692号公報)、Sn及びAu
(特開昭61-270190 号公報)、Pd(特開昭62-19490号公
報)等を添加した材料の提案や、記録/消去の繰り返し
性能向上を目的に Ge-Te-Se-Sbの組成比を特定した材料
(特開昭62-73438号公報)の提案等もなされている。し
かしながら、上述した組成のいずれもが相変化型書き換
え可能光記録媒体の記録層として要求される諸特性のす
べてを満足しうるものとはいえない。特に、記録感度、
消去感度の向上、オーバーライト時の消し残りによる消
去比低下の防止、並びに記録部、未記録部の繰り返し記
録消去特性の長寿命化が最も重要な課題となっている。
In order to improve the stability and the high-speed crystallization, Au (Japanese Patent Application Laid-Open No. 61-219692), Sn and Au
(JP-A-61-270190), Pd (JP-A-62-19490), etc., and the composition of Ge-Te-Se-Sb for the purpose of improving the recording / erasing repetition performance A material having a specified ratio (JP-A-62-73438) has also been proposed. However, none of the above-described compositions can satisfy all of the properties required for the recording layer of the phase-change rewritable optical recording medium. In particular, recording sensitivity,
The most important issues are to improve the erasing sensitivity, to prevent the erasing ratio from being reduced due to the unerased portion at the time of overwriting, and to prolong the life of the repeated recording and erasing characteristics of the recorded and unrecorded portions.

【0005】これに対し、最近、カルコパイライトと呼
ばれる化合物を応用することが提案されている。カルコ
パイライト型化合物は化合物半導体材料として広く研究
され、太陽電池等にも応用されている。カルコパイライ
ト型化合物は、化学周期律表を用いるとIb-IIIb-VIb2
やIIb-IVb-Vb2で表される組成であり、ダイヤモンド構
造を2つ積み重ねた構造を有する。
On the other hand, it has recently been proposed to apply a compound called chalcopyrite. Chalcopyrite type compounds have been widely studied as compound semiconductor materials and have been applied to solar cells and the like. The chalcopyrite type compound can be obtained from Ib-IIIb-VIb 2 by using the chemical periodic table.
A composition represented by or IIb-IVb-Vb 2, have two stacked diamond structures.

【0006】これらカルコパイライト型化合物の中で特
にAgInTe2 は、SbやBiを用いて希釈することにより、線
速度7m/s 前後の光記録媒体の記録層材料として使用で
きることが知られている(特開平3-240590号公報、特開
平3-166268号公報、特開平3-82593 号公報、特開平3-73
384 号公報等)。このようなカルコパイライト型化合物
を用いた相変化型光記録媒体の他、特開平4-267192号公
報や特開平4-232779号公報、特開平6-166268号公報に
は、記録層が結晶化する際にAgSbTe2 相が生成する相変
化型光記録媒体が開示されている。これらの記録材料を
用いた光記録媒体は優れたC/N、消去比、変調度、記
録感度を有する。
Among these chalcopyrite-type compounds, it is known that AgInTe 2 can be used as a recording layer material of an optical recording medium having a linear velocity of about 7 m / s by diluting it with Sb or Bi (see, for example). JP-A-3-240590, JP-A-3-166268, JP-A-3-82593, JP-A-3-73
No. 384, etc.). In addition to the phase-change optical recording media using such chalcopyrite-type compounds, JP-A-4-267192, JP-A-4-232779, and JP-A-6-166268 disclose that the recording layer is crystallized. There is disclosed a phase change type optical recording medium in which an AgSbTe 2 phase is generated at the time. Optical recording media using these recording materials have excellent C / N, erasure ratio, modulation degree, and recording sensitivity.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た組成のカルコパイライト型化合物の記録層は、繰り返
し記録消去の寿命が数千回程度しかなく、光磁気ディス
クの繰り返し記録消去の寿命が十万回であることと比べ
ると、必ずしも十分ではないという問題点があった。
However, the recording layer of the chalcopyrite-type compound having the above-mentioned composition has a repetitive recording and erasing life of only several thousand times and a magneto-optical disk has a repetitive recording and erasing life of 100,000 times. There was a problem that it was not always enough compared to that.

【0008】本発明はこのような従来の問題点に鑑み、
C/N、消去比、変調度、記録感度が高く、更に、繰り
返し記録消去特性の優れた光記録媒体を提供することを
目的とする。
The present invention has been made in view of such conventional problems,
It is an object of the present invention to provide an optical recording medium having a high C / N, an erasing ratio, a degree of modulation, a recording sensitivity, and an excellent repetitive recording / erasing characteristic.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】このため、請求項1に係
る発明の光記録媒体は、光ビームに対する記録層の記録
消去時の相対速度が、5〜7m/s で使用される光記録媒
体において、それぞれα、β、γ、及びδで表される、
Au、In、Sb、およびTeの組成比率が、1原子%≦α≦16
原子%、8原子%≦β≦17原子%、41原子%≦γ≦63原
子%、24原子%≦δ≦36原子%、ただし、99原子%≦α
+β+γ+δ≦100 原子%、である記録層を有すること
を特徴とする。このうち、 2原子%≦α≦10原子%、10
原子%≦β≦16原子%、45原子%≦γ≦59原子%、26原
子%≦δ≦34原子%の組成範囲が特に好ましい。
According to the present invention, there is provided an optical recording medium according to the first aspect of the present invention, wherein a relative speed of recording and erasing of a recording layer with respect to a light beam is 5 to 7 m / s. In, each represented by α, β, γ, and δ,
The composition ratio of Au, In, Sb, and Te is 1 atomic% ≦ α ≦ 16
Atomic%, 8 atomic% ≦ β ≦ 17 atomic%, 41 atomic% ≦ γ ≦ 63 atomic%, 24 atomic% ≦ δ ≦ 36 atomic%, provided that 99 atomic% ≦ α
+ Β + γ + δ ≦ 100 at%, characterized by having a recording layer. Of these, 2 atomic% ≦ α ≦ 10 atomic%, 10 atomic%
The composition ranges of atomic% ≦ β ≦ 16 atomic%, 45 atomic% ≦ γ ≦ 59 atomic%, and 26 atomic% ≦ δ ≦ 34 atomic% are particularly preferable.

【0010】このような構成の光記録媒体では、C/
N、消去比、変調度、及び記録感度に加え、繰り返し記
録消去特性も改善される。記録層が、Au、In、Sb、Teを
含有する可能性のある技術については、たとえば、特開
昭60-177446 号公報、特開平1-307034号公報、特開平1-
303643号公報、特開平1-241340号公報等に見ることがで
きる。
In the optical recording medium having such a configuration, C /
In addition to N, the erasing ratio, the degree of modulation, and the recording sensitivity, the repetitive recording / erasing characteristics are also improved. The technology in which the recording layer may contain Au, In, Sb, and Te is described in, for example, JP-A-60-177446, JP-A-1-307034, and
This can be seen in JP 303643, JP-A 1-241340 and the like.

【0011】しかしながら、特開昭60-177446 号公報、
特開平1-307034号公報、特開平1-303643号公報には、記
録層を構成する元素が多数羅列されているが、それらの
元素の多様な組み合わせの中で、Au、In、Sb、Teの組み
合わせも理論的には可能であることを伺わせる程度にと
どまり、本願発明のように、上記特定の元素を特定の比
率で含有する記録層についての記載や示唆は全く存在し
ない。
However, Japanese Patent Application Laid-Open No. 60-177446 discloses
JP-A-1-307034 and JP-A-1-303643, a number of elements constituting the recording layer are listed, among various combinations of these elements, Au, In, Sb, Te Can only be shown to be theoretically possible, and there is no description or suggestion about a recording layer containing the specific element in a specific ratio as in the present invention.

【0012】一方、特開平1-241340号公報には、Au、I
n、Sb、Teの4元素の構成比率を広範囲に規定した記録
層が開示されている。具体的には、Auは0〜30原子%、
Inは5〜80原子%、Sbは10〜90原子%、Teは0〜50原子
%までの範囲で可変であると思われ、本願発明に係る上
記4元素の構成比率が包含される可能性もある。しかし
ながら、特開平1-241340号公報では、AuとInとは0原子
%でもよい(つまりAuとInは必須構成要件ではない)と
認識されており、本願発明とは各元素の構成比率におい
て一致しておらず、本願発明が目的とする記録層の諸特
性(C/N、消去比、変調度、記録感度、繰り返し消去
特性等)の改善についての記載や示唆は全く存在しな
い。
On the other hand, Japanese Unexamined Patent Publication No. Hei 1-241340 discloses Au, I
A recording layer in which the composition ratio of four elements of n, Sb, and Te is specified in a wide range is disclosed. Specifically, Au is 0 to 30 atomic%,
It is considered that In is variable within a range of 5 to 80 atomic%, Sb is variable within a range of 10 to 90 atomic%, and Te is variable within a range of 0 to 50 atomic%, and the composition ratio of the above four elements according to the present invention may be included. There is also. However, in Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-241340, it is recognized that Au and In may be 0 atomic% (that is, Au and In are not indispensable constituent elements). There is no description or suggestion about improvement of various characteristics (C / N, erasing ratio, modulation degree, recording sensitivity, repetitive erasing characteristics, etc.) of the recording layer aimed at by the present invention.

【0013】本願発明の光記録媒体では、Auの組成比率
αの範囲を1原子%≦α≦16原子%、Inの組成比率βの
範囲を8原子%≦β≦17原子%、Sbの組成比率γの範囲
を41原子%≦γ≦63原子%、Teの組成比率δの範囲を24
原子%≦δ≦36原子%とする。より好ましい組成の範囲
は、2原子%≦α≦10原子%、10原子%≦β≦16原子
%、45原子%≦γ≦59原子%、26原子%≦δ≦34原子%
である。
In the optical recording medium of the present invention, the composition ratio α of Au is 1 atomic% ≦ α ≦ 16 atomic%, the composition ratio β of In is 8 atomic% ≦ β ≦ 17 atomic%, and the composition ratio of Sb is The range of the ratio γ is 41 at% ≦ γ ≦ 63 at%, and the range of the composition ratio δ of Te is 24
Atomic% ≦ δ ≦ 36 At%. More preferred composition ranges are 2 atomic% ≦ α ≦ 10 atomic%, 10 atomic% ≦ β ≦ 16 atomic%, 45 atomic% ≦ γ ≦ 59 atomic%, 26 atomic% ≦ δ ≦ 34 atomic%
It is.

【0014】β、γ、δが上記組成範囲にある時、αが
1原子%未満になると、結晶転移速度が遅くなり、消去
比が低下する。また、繰り返し記録消去寿命が低下す
る。αが16原子%を越えると、結晶転移速度が速くなり
すぎて、十分な記録が難しくなる。βの組成範囲につい
ては、検討した組成範囲8原子%≦β≦17原子%におい
てすべて良好な記録消去特性が得られている。
When β, γ, and δ are in the above composition ranges, if α is less than 1 atomic%, the crystal transition rate is reduced, and the erasing ratio is reduced. In addition, the life of repeated recording / erasing is reduced. If α exceeds 16 atomic%, the crystal transition speed becomes too fast, and it becomes difficult to sufficiently record. Regarding the composition range of β, good recording and erasing characteristics were obtained in all the studied composition ranges of 8 at% ≦ β ≦ 17 at%.

【0015】αとβが上記組成範囲にある時、γが41原
子%未満となると、結晶転移速度が遅くなり、消去が困
難になる。また、検討したγ=63原子%までの組成範囲
においてすべて良好な記録消去特性が得られている。α
とβが上記組成範囲にある時、δが36原子%を越える
と、結晶転移速度が遅くなり、消去が困難になる。同時
に、吸収係数が増加して誘電体層での多重反射による光
学干渉効果が減少し、C/Nが低下する。また、検討し
たδ=24原子%までの組成範囲においてすべて良好な記
録消去特性が得られている。
When α and β are in the above composition ranges, if γ is less than 41 at%, the crystal transition rate becomes slow and erasure becomes difficult. In addition, good recording and erasing characteristics were obtained in all the composition ranges studied up to γ = 63 atomic%. α
When δ exceeds 36 atomic%, when β and β are in the above composition range, the crystal transition speed becomes slow and erasure becomes difficult. At the same time, the absorption coefficient increases, the optical interference effect due to multiple reflection on the dielectric layer decreases, and the C / N decreases. In addition, good recording and erasing characteristics were obtained in all the composition ranges studied up to δ = 24 atomic%.

【0016】記録層中には、上述したAu、In、Sb、Te各
元素に加え、例えば微量不純物として、Cu、Ag、Ni、Z
n、Fe、Ge、Se、S 、Sn、Pd、V 、As、C 、N 、O 等の
他の元素が含まれていてもよいが、これらの元素の合計
含有量は原子比で1%以下であることが好ましい。上記
記載の組成を持つ記録層は、光ビームに対する記録層の
記録消去時の相対速度が5〜7m/s の時、良好な記録消
去特性を示す。光記録媒体の具体的な構造としては、請
求項2に係る発明のように、基板上に、下部誘電体層、
前記記録層、上部誘電体層、反射層、及び保護層をこの
順で積層した片面記録用のものが簡便である。
In the recording layer, in addition to the above-mentioned elements of Au, In, Sb, and Te, for example, Cu, Ag, Ni, Z
Other elements such as n, Fe, Ge, Se, S, Sn, Pd, V, As, C, N, and O may be contained, but the total content of these elements is 1% by atomic ratio. The following is preferred. The recording layer having the composition described above exhibits good recording / erasing characteristics when the relative speed of recording / erasing of the recording layer with respect to the light beam is 5 to 7 m / s. As a specific structure of the optical recording medium, as in the invention according to claim 2, a lower dielectric layer,
A single-sided recording layer in which the recording layer, the upper dielectric layer, the reflective layer, and the protective layer are laminated in this order is simple.

【0017】また、請求項3に係る発明のように、少な
くとも下部誘電体層、前記記録層、上部誘電体層、及び
反射層を、この順で基板上にそれぞれ積層した2枚の光
記録媒体を、前記反射層側を対向させ、接着層を介して
接合した、両面記録が可能なものとしてもよい。さら
に、請求項4に係る発明のように、基板上に、少なくと
も下部誘電体層、前記記録層、上部誘電体層、反射層、
接着層、及び上部基板をこの順で積層し、機械的強度を
高めた構成としてもよい。
Further, as in the invention according to claim 3, two optical recording media in which at least a lower dielectric layer, the recording layer, an upper dielectric layer, and a reflective layer are respectively laminated on a substrate in this order. May be bonded to each other with the reflection layer side facing and bonded via an adhesive layer, so that double-sided recording is possible. Further, as in the invention according to claim 4, at least a lower dielectric layer, the recording layer, an upper dielectric layer, a reflective layer,
The adhesive layer and the upper substrate may be laminated in this order to increase the mechanical strength.

【0018】[0018]

【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。図1〜図3は、本発明の光記録媒
体の好ましい構成例を示す断面図である。図1に示した
光記録媒体1は、基板2上に、下部誘電体層3、記録層
4、上部誘電体層5、反射層6、及び保護層7をこの順
で積層した構造を有する、片面記録用の光記録媒体であ
る。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1 to 3 are cross-sectional views showing preferred examples of the configuration of the optical recording medium of the present invention. The optical recording medium 1 shown in FIG. 1 has a structure in which a lower dielectric layer 3, a recording layer 4, an upper dielectric layer 5, a reflective layer 6, and a protective layer 7 are laminated in this order on a substrate 2. This is an optical recording medium for single-sided recording.

【0019】また、図2に示した光記録媒体1は、基板
2上に、下部誘電体層3、記録層4、上部誘電体層5、
反射層6、保護層7、接着層8、及び上部基板9をこの
順で積層し、機械的強度を高めた片面記録用の光記録媒
体である。また、図3に示した光記録媒体1は、2枚の
基板2の上に、それぞれ下部誘電体層3、記録層4、上
部誘電体層5、反射層6、及び保護層7をこの順で積層
し、この2枚の光記録媒体を、保護層7側を対向させ
て、接着層8を介して接合した、両面記録用の光記録媒
体である。
The optical recording medium 1 shown in FIG. 2 has a lower dielectric layer 3, a recording layer 4, an upper dielectric layer 5,
This is an optical recording medium for single-sided recording in which the reflective layer 6, the protective layer 7, the adhesive layer 8, and the upper substrate 9 are laminated in this order to increase the mechanical strength. In the optical recording medium 1 shown in FIG. 3, a lower dielectric layer 3, a recording layer 4, an upper dielectric layer 5, a reflective layer 6, and a protective layer 7 are formed on two substrates 2 in this order. This optical recording medium for double-sided recording is obtained by bonding these two optical recording media with the protective layer 7 side facing each other and bonding via an adhesive layer 8.

【0020】図2及び図3に示した光記録媒体では、保
護層7を省くこともできる。基板2は、用いる光ビーム
に対して透明である材質、例えば、樹脂やガラス等から
構成することが好ましく、特に、取り扱いが容易で安価
であることから、樹脂が好ましい。樹脂として具体的に
は例えば、ポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂、エポ
キシ樹脂、ABS樹脂等を用いることができる。基板の
形状及び寸法は特に限定されないが、通常、ディスク状
であり、その厚さは、通常、0.5 〜3mm程度、直径は40
〜360 mm程度である。また、基板の表面には、トラッキ
ング用やアドレス用等のために、グルーブ等の所定パタ
ーンが必要に応じて設けられる。
In the optical recording medium shown in FIGS. 2 and 3, the protective layer 7 can be omitted. The substrate 2 is preferably made of a material that is transparent to the light beam to be used, for example, resin or glass, and is particularly preferably resin because it is easy to handle and inexpensive. Specifically, for example, a polycarbonate resin, an acrylic resin, an epoxy resin, an ABS resin, or the like can be used as the resin. The shape and dimensions of the substrate are not particularly limited, but are usually disk-shaped, the thickness is usually about 0.5 to 3 mm, and the diameter is 40 mm.
It is about 360 mm. In addition, a predetermined pattern such as a groove is provided on the surface of the substrate for tracking, addressing, and the like as necessary.

【0021】下部誘電体層3及び上部誘電体層5は、記
録層4の結晶状態の変化に伴う反射率の変化を、下部誘
電体層3と上部誘電体層5との間での多重反射によって
拡大し、変調度( 結晶状態と非晶質状態との反射率の
差)を高める作用、並びに、記録時に、記録層4に残っ
た熱を熱伝導により適度な速度で放出する作用を有す
る。
The lower dielectric layer 3 and the upper dielectric layer 5 use the multiple reflection between the lower dielectric layer 3 and the upper dielectric layer 5 to reflect the change in the reflectance accompanying the change in the crystal state of the recording layer 4. Has the effect of increasing the degree of modulation (difference in the reflectance between the crystalline state and the amorphous state) and releasing the heat remaining in the recording layer 4 at an appropriate rate by heat conduction during recording. .

【0022】下部誘電体層3及び上部誘電体層5に用い
る誘電体は、用いる光ビームに対してほぼ透明である無
機物が好ましい。更に、その無機物の融点は記録層4を
構成する材料の融点よりも高いことが好ましい。具体的
な誘電体材料の例としては、例えば、SiO 、SiO2、ZnO
、Al2O3 、TiO2、SnO2、In2O3 、MgO 、ZrO2等の金属
酸化物、Si3N4 、AlN 、BN、TiN 、ZrN 等の窒化物、Zn
S 、In2S3 、TaS4等の硫化物、SiC 、TaC 、WC、TiC 、
ZrC 、B4C 等の炭化物やダイヤモンド状カーボン或いは
それらの混合物があげられる。これらの材料は単体で用
いることもできるし、2つ以上の材料を混合して用いる
こともできる。また、必要に応じて不純物を含んでいて
もよい。誘電体層はスパッタ法や真空蒸着法、プラズマ
CVD 法、光CVD 法、電子ビーム蒸着法等の気相成長法に
より形成できる。
The dielectric used for the lower dielectric layer 3 and the upper dielectric layer 5 is preferably an inorganic substance that is substantially transparent to the light beam used. Further, the melting point of the inorganic substance is preferably higher than the melting point of the material forming the recording layer 4. Specific examples of dielectric materials include, for example, SiO 2 , SiO 2 , ZnO
, Al 2 O 3 , TiO 2 , SnO 2 , In 2 O 3 , MgO, metal oxide such as ZrO 2 , Si 3 N 4 , nitride such as AlN, BN, TiN, ZrN, Zn
S, In 2 S 3, TaS sulfides such as 4, SiC, TaC, WC, TiC,
Examples thereof include carbides such as ZrC and B 4 C, diamond-like carbon, and mixtures thereof. These materials can be used alone or as a mixture of two or more materials. Further, it may contain impurities as needed. The dielectric layer is formed by sputtering, vacuum evaporation, plasma
It can be formed by a vapor phase growth method such as a CVD method, a photo CVD method, and an electron beam evaporation method.

【0023】光学特性の観点から言うと、下部誘電体層
3の厚さを50〜300 nm程度とし、上部誘電体層5の厚さ
を10〜60nmまたは100 〜250 nmとすることにより、光の
多重反射の効果を有効に利用した高い変調度が得られ
る。一方、熱的には、上部誘電体層5の厚さが薄いと、
記録層4と反射層6の間を断熱する効果が小さくなり、
記録時に記録層4に蓄熱された熱は、高い放熱作用を持
つ金属の反射層6に速やかに散逸する。従って、10〜60
nm程度の薄い上部誘電体層5をもつ光記録媒体で記録並
びに消去を実現するためには、記録材料がレーザー光に
よる加熱に対し高い感度をもつ必要がある。
From the viewpoint of optical characteristics, the lower dielectric layer 3 has a thickness of about 50 to 300 nm and the upper dielectric layer 5 has a thickness of 10 to 60 nm or 100 to 250 nm. And a high degree of modulation that effectively utilizes the effect of multiple reflection of. On the other hand, thermally, when the thickness of the upper dielectric layer 5 is small,
The effect of insulating the space between the recording layer 4 and the reflective layer 6 is reduced,
The heat stored in the recording layer 4 at the time of recording is quickly dissipated to the metal reflective layer 6 having a high heat radiation effect. Therefore, 10-60
In order to realize recording and erasing on an optical recording medium having an upper dielectric layer 5 as thin as about nm, the recording material needs to have high sensitivity to heating by laser light.

【0024】従来、Ge-Sb-Te等のカルコゲン系記録材料
を用いた光記録媒体では、記録材料が十分な感度をもっ
ていないために、上部誘電体層5の厚さを100 〜250 nm
とした構造をとっていた。一方、Ag-In-Sb-Te 系合金並
びに本発明であるAu-In-Sb-Te 系合金の記録材料は、レ
ーザー光による加熱に対し高い感度をもつため、それら
を記録層4に用いた光記録媒体においては、上部誘電体
層5の厚さを10〜60nmとすることができる。この構造で
は、記録時の記録層4の冷却速度が速くなる急冷型とな
るため、記録ピットのエッジが明瞭となってジッターが
低くなるという利点がある。しかも、膜厚が薄いので上
部誘電体層5をスパッタ等によって作製する時間を短縮
でき、生産性の向上につながる。
Conventionally, in an optical recording medium using a chalcogen-based recording material such as Ge-Sb-Te, the thickness of the upper dielectric layer 5 is set to 100 to 250 nm because the recording material does not have sufficient sensitivity.
The structure was taken. On the other hand, the recording materials of the Ag-In-Sb-Te alloy and the Au-In-Sb-Te alloy of the present invention have high sensitivity to heating by laser light. In an optical recording medium, the thickness of the upper dielectric layer 5 can be set to 10 to 60 nm. This structure is of a quenching type in which the cooling rate of the recording layer 4 during recording is high, and thus has the advantage that the edges of the recording pits become clear and the jitter is reduced. In addition, since the film thickness is small, the time for forming the upper dielectric layer 5 by sputtering or the like can be shortened, which leads to an improvement in productivity.

【0025】記録層4は、Au、In、Sb、及びTeの組成比
率をそれぞれα、β、γ、及びδで表すと、1原子%≦
α≦16原子%、8原子%≦β≦17原子%、41原子%≦γ
≦63原子%、24原子%≦δ≦36原子%(ただし、99原子
%≦α+β+γ+δ≦100 原子%)であるカルコパイラ
イト型化合物で形成される。記録層4の厚さは特に限定
されないが、高反射率と高変調度(記録状態と未記録状
態との反射率の差が大きいこと)を実現するために、通
常、10〜200 nm、特に15〜150 nmとすることが好まし
い。
The recording layer 4 has a composition ratio of Au, In, Sb, and Te represented by α, β, γ, and δ, respectively, where 1 atomic% ≦
α ≦ 16 atomic%, 8 atomic% ≦ β ≦ 17 atomic%, 41 atomic% ≦ γ
It is formed of a chalcopyrite-type compound in which ≦ 63 at% and 24 at% ≦ δ ≦ 36 at% (however, 99 at% ≦ α + β + γ + δ ≦ 100 at%). Although the thickness of the recording layer 4 is not particularly limited, it is usually 10 to 200 nm, in particular, in order to realize a high reflectance and a high degree of modulation (a large difference in reflectance between a recorded state and an unrecorded state). It is preferably 15 to 150 nm.

【0026】また、記録層4の形成方法は特に限定され
ないが、スパッタ法や真空蒸着法、プラズマCVD 法、光
CVD 法、電子ビーム蒸着法等の気相成長法により形成す
ることが好ましい。形成された記録層4の組成は、X線
マイクロアナライザーにより測定するのが簡便である。
その他にも蛍光X線、ラザフォード後方散乱、オージェ
電子分光、発光分析等の分析法が考えられるが、それら
を用いる場合には、X線マイクロアナライザーで得られ
る値との校正をする必要がある。
The method for forming the recording layer 4 is not particularly limited, but may be a sputtering method, a vacuum evaporation method, a plasma CVD method,
It is preferably formed by a vapor phase growth method such as a CVD method and an electron beam evaporation method. It is convenient to measure the composition of the formed recording layer 4 using an X-ray microanalyzer.
Other analysis methods such as fluorescent X-ray, Rutherford backscattering, Auger electron spectroscopy, and emission analysis are conceivable, but when using them, it is necessary to calibrate with a value obtained by an X-ray microanalyzer.

【0027】また、記録層4中に含まれる物質の結晶状
態の判定には、X線回折または電子線回折等が適してい
る。例えば、電子線回折像でスポット状やデバイリング
状のパターンが観測される場合には結晶状態、リング状
のパターンやハローパターンが観測される場合には非晶
質状態と判定することができる。反射層6の材質は特に
限定されないが、通常、Al、Au、Ag、Pt、Cu等の単体或
いはこれらの1種以上を含む合金等の高反射率金属から
構成すればよい。反射層6の厚さは、30〜300 nmとする
ことが好ましい。厚さが30nm未満であると十分な反射率
が得にくくなるし、記録時に、記録層4に残った熱を放
出する効果が低減する。また、300 nmを越えても反射率
や熱放出効果の顕著な向上は見られない。反射層はスパ
ッタ法や蒸着法等の気相成長法により形成することが好
ましい。
For determining the crystal state of the substance contained in the recording layer 4, X-ray diffraction or electron diffraction is suitable. For example, when a spot-like or Debye-ring pattern is observed in the electron beam diffraction image, the crystal state can be determined, and when a ring-shaped pattern or a halo pattern is observed, the amorphous state can be determined. The material of the reflective layer 6 is not particularly limited, but may be usually made of a single metal such as Al, Au, Ag, Pt, Cu, or a high-reflectivity metal such as an alloy containing one or more of these. The thickness of the reflective layer 6 is preferably 30 to 300 nm. If the thickness is less than 30 nm, it is difficult to obtain a sufficient reflectance, and the effect of releasing the heat remaining in the recording layer 4 during recording is reduced. Further, even if it exceeds 300 nm, no remarkable improvement in the reflectance and the heat emission effect is observed. The reflective layer is preferably formed by a vapor phase growth method such as a sputtering method or an evaporation method.

【0028】保護層7は、耐擦傷性や耐腐食性の向上の
ために設けられる。この保護層7は種々の有機系の物質
から構成されることが好ましいが、特に、放射線硬化型
化合物やその組成物を、電子線、紫外線等の放射線によ
り硬化させた物質から構成されることが好ましい。保護
層7の厚さは、通常、0.1 〜100 μm 程度であり、スピ
ンコート、グラビア塗布、スプレーコート等、通常の方
法により形成すればよい。
The protective layer 7 is provided for improving scratch resistance and corrosion resistance. The protective layer 7 is preferably composed of various organic substances, but is particularly preferably composed of a substance obtained by curing a radiation-curable compound or a composition thereof with radiation such as electron beams or ultraviolet rays. preferable. The thickness of the protective layer 7 is usually about 0.1 to 100 μm, and may be formed by an ordinary method such as spin coating, gravure coating, spray coating, or the like.

【0029】接着層8は、種々の有機系の物質から構成
されることが望ましいが、熱可塑性物質、粘着性物質、
放射線硬化型化合物やその組成物を電子線や放射線によ
り硬化させた物質から構成されることが好ましい。接着
層8の厚さは、通常、0.1 〜100μm 程度であり、接着
層8を構成する物質により選ばれる最適な方法、例え
ば、スピンコート、グラビア塗布、スプレーコート、ロ
ールコート等により形成すればよい。
The adhesive layer 8 is desirably made of various organic materials, but is preferably made of a thermoplastic material, a sticky material,
The radiation-curable compound or the composition thereof is preferably composed of a substance cured by an electron beam or radiation. The thickness of the adhesive layer 8 is usually about 0.1 to 100 μm, and may be formed by an optimum method selected according to the material constituting the adhesive layer 8, for example, spin coating, gravure coating, spray coating, roll coating, or the like. .

【0030】また、上部基板9は、上述した基板2と同
様の樹脂で構成することができる。一般に、相変化型光
記録媒体の作製時には、記録層4は非晶質状態であり、
オーバーライト可能な光記録媒体とするためには何らか
の方法で記録層4を結晶化(初期化)する必要が生じ
る。光記録媒体1の初期化方法としては、半導体レーザ
ーによる方法、Arレーザーによる方法、フラッシュラン
プによる方法等種々の方法を用いることができる。特
に、大出力の半導体レーザーにより初期化を行なう方法
は、記録層4を形成する膜の初期化後の均質性、光記録
媒体1の信号特性、生産性の点で優れている。そのビー
ム径は、幅0.5 〜5μm 、長さ10〜300 μm が適してい
る。パワーは100 〜3000mW、線速は1〜20m/s の範囲が
適している。
The upper substrate 9 can be made of the same resin as the substrate 2 described above. Generally, at the time of producing a phase-change optical recording medium, the recording layer 4 is in an amorphous state,
In order to obtain an overwritable optical recording medium, it is necessary to crystallize (initialize) the recording layer 4 by some method. As a method for initializing the optical recording medium 1, various methods such as a method using a semiconductor laser, a method using an Ar laser, and a method using a flash lamp can be used. In particular, the method of performing initialization using a high-output semiconductor laser is excellent in the homogeneity of the film forming the recording layer 4 after initialization, the signal characteristics of the optical recording medium 1, and the productivity. The beam diameter is suitably 0.5 to 5 μm in width and 10 to 300 μm in length. A power of 100 to 3000 mW and a linear velocity of 1 to 20 m / s are suitable.

【0031】本発明の光記録媒体1では、記録及び再生
は以下のようにして行われる。光記録媒体1は、初期化
された状態では記録層4全面が結晶化している。結晶化
状態の記録層4に記録用光ビーム(レーザー光ビーム)
を照射すると、照射された部位は光ビームのエネルギー
により融解する。そして、融解した部位の温度は記録用
光ビーム通過後に急速に下がるため、この部位が非晶質
化して信号記録部となる。
In the optical recording medium 1 of the present invention, recording and reproduction are performed as follows. In the optical recording medium 1, the entire surface of the recording layer 4 is crystallized in the initialized state. A recording light beam (laser light beam) is applied to the crystallized recording layer 4.
Is irradiated, the irradiated part is melted by the energy of the light beam. Then, since the temperature of the melted portion drops rapidly after passing through the recording light beam, this portion becomes amorphous and becomes a signal recording portion.

【0032】また、記録情報を書き換えるときには、新
たに信号を書き込む記録部位に記録用光ビームを照射
し、その他の部位に消去用光ビームを照射する。その
際、消去用光ビームのパワーは記録用光ビームのパワー
よりも弱く、消去用光ビームの照射部位を記録層4の結
晶化温度(或いはガラス転移温度)以上融点以下に加熱
できるように調整する。
When rewriting the recording information, a recording light beam is applied to a recording portion where a new signal is to be written, and an erasing light beam is applied to other portions. At this time, the power of the erasing light beam is weaker than the power of the recording light beam, and the irradiation portion of the erasing light beam is adjusted to be heated to a temperature higher than the crystallization temperature (or glass transition temperature) of the recording layer 4 and lower than the melting point. I do.

【0033】記録用光ビームが照射された部位は、照射
前に結晶であったか非晶質であったかにかかわらず融解
し、ビーム通過後の急冷によって非晶質化する。一方、
消去用ビームが照射された部位は、その部位が結晶の場
合には変わらず、その部位が非晶質の場合には結晶化温
度以上(融点以下)に加熱されるため結晶化する。従っ
て、書き換えの際には、ビーム照射前の状態が結晶であ
っても非晶質であっても、記録層4の記録用光ビーム照
射部位は全て非晶質の信号記録部となり、また、消去用
光ビーム照射部位は全て結晶となり、オーバーライト記
録が可能となる。
The portion irradiated with the recording light beam is melted irrespective of whether it is crystalline or amorphous before the irradiation, and becomes amorphous by rapid cooling after passing through the beam. on the other hand,
The part irradiated with the erasing beam is not changed when the part is crystalline, and is crystallized when the part is amorphous because it is heated to a temperature higher than the crystallization temperature (lower the melting point). Therefore, at the time of rewriting, even if the state before beam irradiation is crystalline or amorphous, the recording light beam irradiated part of the recording layer 4 is all an amorphous signal recording part, and All the irradiating portions of the erasing light beam are crystallized, and overwriting can be performed.

【0034】尚、記録用光ビーム及び消去用光ビーム
は、単一の光ビームの強度を変調して用いることによ
り、1つの光源で供給することができる。記録用光ビー
ムは、図4に示すように、マルチパルス状に照射するこ
とが好ましい。1つの信号を少なくとも2回のパルス光
照射で記録することにより記録部位の蓄熱が抑制され、
記録部位後端部の膨れ(ティアドロップ現象)を抑える
ことができるので、C/Nやジッターが向上する。記録
用光ビームのパワーPwと消去用光ビームのパワーPeの具
体的な値は、使用する光ビームの波長に応じて実験的に
決定することができる。尚、図中、Pbはボトムパワーを
示す。
The recording light beam and the erasing light beam can be supplied from one light source by modulating the intensity of a single light beam. It is preferable that the recording light beam is irradiated in a multi-pulse form as shown in FIG. By recording one signal with at least two irradiations of pulsed light, heat storage at a recording portion is suppressed,
Since swelling (tear drop phenomenon) at the rear end of the recording portion can be suppressed, C / N and jitter are improved. Specific values of the power Pw of the recording light beam and the power Pe of the erasing light beam can be experimentally determined according to the wavelength of the light beam to be used. In the drawing, Pb indicates bottom power.

【0035】再生用光ビームは、記録層4をその結晶化
温度以上に加熱することがなく、記録層4の結晶状態及
び非晶質状態に影響を与えない程度の低パワーのビーム
であり、使用する光ビームの波長に応じて決定すること
ができる。本発明の光記録媒体では、上記記録用並びに
消去用光ビームに対する記録層の相対速度を5〜7m/s
として使用する。
The reproducing light beam is a low-power beam that does not heat the recording layer 4 above its crystallization temperature and does not affect the crystalline state and the amorphous state of the recording layer 4. It can be determined according to the wavelength of the light beam used. In the optical recording medium of the present invention, the relative speed of the recording layer with respect to the recording and erasing light beams is 5 to 7 m / s.
Use as

【0036】次に、本発明の具体的実施例を示し、本発
明をさらに詳細に説明するが、これらの実施例は本発明
を何ら制限するものではない。直径120 mm、厚さ0.6 mm
のランド/グルーブを有する、2枚のポリカーボネート
基板2の上に、それぞれ下部誘電体層3、記録層4、上
部誘電体層5、反射層6、及び保護層7をこの順で積層
し、この2枚の光記録媒体を、保護層7側を対向させ
て、接着層8を介して接合し、図3の構成を有する光記
録媒体1とした。基板2のランド/グルーブは、トラッ
クピッチ0.74μm 、深さ70nmとした。
Next, the present invention will be described in more detail with reference to specific examples of the present invention. However, these examples do not limit the present invention in any way. Diameter 120 mm, thickness 0.6 mm
A lower dielectric layer 3, a recording layer 4, an upper dielectric layer 5, a reflective layer 6, and a protective layer 7 are laminated in this order on two polycarbonate substrates 2 having lands / grooves of The two optical recording media were joined via an adhesive layer 8 with the protective layer 7 facing the optical recording medium 1 to obtain an optical recording medium 1 having the configuration shown in FIG. The land / groove of the substrate 2 had a track pitch of 0.74 μm and a depth of 70 nm.

【0037】下部誘電体層3は、ZnS-SiO2(SiO2:20 m
ol%)をターゲットとし、RFスパッタ法により作製し
た。下部誘電体層3の厚さは140 nmとした。記録層4
は、In-Sb-Teターゲット上にAu、In、Sb、Te、Agの各チ
ップを載せて組成を変化させ、DCスパッタ法により作
製した。記録層4の厚さは22nmとした。
The lower dielectric layer 3 is made of ZnS-SiO 2 (SiO 2 : 20 m
ol%) as a target and produced by an RF sputtering method. The thickness of the lower dielectric layer 3 was 140 nm. Recording layer 4
Was fabricated by mounting each chip of Au, In, Sb, Te, and Ag on an In-Sb-Te target, changing the composition, and using a DC sputtering method. The thickness of the recording layer 4 was 22 nm.

【0038】記録層4の組成は、フィリップス社製ED
AX装置システムを用い、X線マイクロアナライザーに
より測定した。即ち、ポリカーボネート平板上に記録層
約50nmの記録層4をスパッタ法により作製後、X線マイ
クロアナライザーにより試料のエネルギースペクトルを
検出した。検出されたエネルギースペクトルからポリカ
ーボネート平板等のバックグラウンドを除去し、記録層
4のみのエネルギースペクトルを導出した。このエネル
ギースペクトルから記録層4の構成元素の定量を行い、
記録層4の組成とした。
The composition of the recording layer 4 was ED manufactured by Philips.
The measurement was performed by an X-ray microanalyzer using an AX apparatus system. That is, after a recording layer 4 having a recording layer of about 50 nm was formed on a polycarbonate flat plate by a sputtering method, the energy spectrum of the sample was detected by an X-ray microanalyzer. The background of the polycarbonate flat plate and the like was removed from the detected energy spectrum, and the energy spectrum of only the recording layer 4 was derived. From the energy spectrum, the constituent elements of the recording layer 4 are quantified,
The composition of the recording layer 4 was used.

【0039】上部誘電体層5は、下部誘電体層3と同様
にして形成した。上部誘電体層5の厚さは25nmとした。
反射層6は、Alをターゲットとし、DCスパッタ法によ
り作製した。厚さは100 nmとした。保護層7は、紫外線
硬化型樹脂をスピンコート法により塗布した後、紫外線
照射により硬化して形成した。硬化後の保護層7の厚み
は10μm であった。
The upper dielectric layer 5 was formed in the same manner as the lower dielectric layer 3. The thickness of the upper dielectric layer 5 was 25 nm.
The reflection layer 6 was formed by a DC sputtering method using Al as a target. The thickness was 100 nm. The protective layer 7 was formed by applying an ultraviolet curable resin by a spin coating method, and then curing the applied resin by ultraviolet irradiation. The thickness of the protective layer 7 after curing was 10 μm.

【0040】接着層8は、紫外線硬化型樹脂をスクリー
ンコート法により塗布した後、紫外線照射により硬化し
て形成した。硬化後の接着層8の厚みは30〜50μm であ
った。光記録媒体1作製後の記録層4は非晶質であっ
た。このため、波長 810 nm の大出力半導体レーザー光
により記録層4を十分に結晶化させ初期化状態とした。
The adhesive layer 8 was formed by applying an ultraviolet curable resin by a screen coating method and then curing the resin by irradiation with ultraviolet light. The thickness of the adhesive layer 8 after curing was 30 to 50 μm. The recording layer 4 after the production of the optical recording medium 1 was amorphous. For this reason, the recording layer 4 was sufficiently crystallized by a high-output semiconductor laser beam having a wavelength of 810 nm to be in an initialized state.

【0041】光記録媒体1の評価は、波長635 nmの半導
体レーザー光をNA=0.6 の対物レンズを通して基板2側
から照射し、記録層4の表面で直径約1μm のスポット
径に絞り込むことにより行なった。記録時には、照射す
るレーザーパルスをマルチパルス化して記録を行なっ
た。ディスク特性としては、C/N、消去比、変調度、
及び繰り返し記録消去の寿命の4つを次のような方法で
測定した。
The evaluation of the optical recording medium 1 is performed by irradiating a semiconductor laser beam having a wavelength of 635 nm from the substrate 2 side through an objective lens with NA = 0.6, and narrowing the surface of the recording layer 4 to a spot diameter of about 1 μm. Was. At the time of recording, recording was performed by changing the irradiation laser pulse to multi-pulse. Disc characteristics include C / N, erasure ratio, modulation degree,
And the four lifespan of repeated recording and erasure were measured by the following methods.

【0042】即ち、C/Nは、線速6.0m/sで、記録周波
数 4.86MHz(8/16変調方式の3T)の信号を記録し、
それを線速6.0m/sで再生したときの再生信号のC/Nを
測定した。消去比は、記録周波数 4.86MHz(8/16変
調方式の3T)の信号を線速6.0m/sで記録した上に、記録
周波数1.32MHz (8/16変調方式の11T )の信号をオ
ーバーライトした時の、線速6.0m/s、周波数4.86MHz で
のキャリアレベルの差(C2−C1)から求めた。ただ
し、C1は3T記録後の線速6.0 m/s 、周波数4.86MHz で
のキャリアレベル、C2は11T オーバーライト後の線速
6.0m/s、周波数4.86MHz での残留キャリアレベルであ
る。
That is, C / N records a signal having a linear velocity of 6.0 m / s and a recording frequency of 4.86 MHz (3T of 8/16 modulation system).
The C / N of the reproduced signal was measured when it was reproduced at a linear velocity of 6.0 m / s. The erasure ratio is to record a signal with a recording frequency of 4.86 MHz (3T in 8/16 modulation method) at a linear velocity of 6.0 m / s, and then overwrite a signal with a recording frequency of 1.32 MHz (11T in 8/16 modulation method). It was obtained from the carrier level difference (C2-C1) at a linear velocity of 6.0 m / s and a frequency of 4.86 MHz. Here, C1 is the linear velocity 6.0 m / s after 3T recording, the carrier level at a frequency of 4.86 MHz, and C2 is the linear velocity after 11T overwriting.
It is the residual carrier level at 6.0m / s and frequency 4.86MHz.

【0043】変調度は、線速6.0m/sで、記録周波数1.32
MHz (8/16変調方式の11T )の信号を記録した時
の、再生信号から得られる未記録部と記録部の反射率レ
ベルの差{(R1−R2)/R1}から求めた。ただ
し、R1は未記録部の再生信号レベル、R2は記録部の
再生信号レベルである。繰り返し記録消去特性は、線速
6.0m/sで8/16変調方式のランダム信号を繰り返しオ
ーバーライトし、500 回のオーバーライト毎に線速6.0m
/sで再生を行い、ランダム信号のジッターを測定した。
ジッターが、基準クロック(29.18MHz)の15%を越え
る回数を繰り返し記録消去の寿命とした。 [実施例1]記録層4に、Au:9.6 、In:11.4、Sb:4
5.2、Te:33.8の組成を用い、2枚のポリカーボネート
基板(0.6mm) 上に、それぞれ、ZnS-SiO2(140nm)/Au-In-
Sb-Te(22nm)/ZnS-SiO2(25nm)/Al(100nm)/ 紫外線硬化樹
脂 (10μm)をこの順で積層し、この2枚の光記録媒体
を、保護層7側を対向させて、接着層8を介して接合し
た光記録媒体1を作成した。
The modulation was linear velocity 6.0 m / s and recording frequency 1.32.
It was determined from the difference {(R1−R2) / R1} between the reflectance levels of the unrecorded portion and the recorded portion obtained from the reproduced signal when a signal of MHz (11T of the 8/16 modulation method) was recorded. Here, R1 is a reproduced signal level of an unrecorded portion, and R2 is a reproduced signal level of a recorded portion. Repeated recording and erasing characteristics are linear velocity
Overwrites 8/16 modulation random signal repeatedly at 6.0m / s, linear velocity 6.0m every 500 overwrites
The reproduction was performed at / s, and the jitter of the random signal was measured.
The number of times that jitter exceeded 15% of the reference clock (29.18 MHz) was defined as the life of repeated recording and erasing. [Example 1] In the recording layer 4, Au: 9.6, In: 11.4, Sb: 4
5.2, using a composition of 33.8 Te, on two polycarbonate substrates (0.6 mm), ZnS-SiO 2 (140 nm) / Au-In-
Sb-Te (22 nm) / ZnS-SiO 2 (25 nm) / Al (100 nm) / ultraviolet curable resin (10 μm) are laminated in this order, and these two optical recording media are placed with the protective layer 7 side facing. Then, the optical recording medium 1 joined through the adhesive layer 8 was produced.

【0044】記録パワーを変え、消去パワー 6mW、マル
チパルスのボトムパワー1mW、再生パワー1mWの条件
で、前述の方法により光記録媒体としての評価を行なっ
た。この結果を表1に示す。
The evaluation as an optical recording medium was performed by changing the recording power, erasing power of 6 mW, multi-pulse bottom power of 1 mW, and reproduction power of 1 mW by the method described above. Table 1 shows the results.

【0045】[0045]

【表1】 [Table 1]

【0046】低い記録パワーでも十分なC/N、消去
比、変調度が得られた。 [実施例2]記録層4に、Au:4.6 、In:10.4、Sb:5
5.6、Te:29.4の組成を用い、ポリカーボネート基板(0.
6mm) 上に、それぞれ、ZnS-SiO2(140nm)/Au-In-Sb-Te(2
2nm)/ZnS-SiO2(25nm)/Al(100nm)/ 紫外線硬化樹脂 (10
μm)をこの順で積層し、この2枚の光記録媒体を、保護
層7側を対向させて、接着層8を介して接合した光記録
媒体1を作成した。
Sufficient C / N, erasure ratio, and degree of modulation were obtained even with a low recording power. [Example 2] In the recording layer 4, Au: 4.6, In: 10.4, Sb: 5
Using a composition of 5.6, Te: 29.4, a polycarbonate substrate (0.
6mm), and ZnS-SiO 2 (140nm) / Au-In-Sb-Te (2
2nm) / ZnS-SiO 2 (25nm) / Al (100nm) / UV curable resin (10
μm) were laminated in this order, and an optical recording medium 1 was prepared in which the two optical recording media were joined via an adhesive layer 8 with the protective layer 7 side facing each other.

【0047】記録パワーを変え、消去パワー 6mW、マル
チパルスのボトムパワー1mW、再生パワー1mWの条件
で、前述の方法により光記録媒体としての評価を行なっ
た。この結果を表2に示す。
The optical recording medium was evaluated by the above-described method under the conditions of changing the recording power, erasing power 6 mW, multi-pulse bottom power 1 mW, and reproducing power 1 mW. Table 2 shows the results.

【0048】[0048]

【表2】 [Table 2]

【0049】低い記録パワーでも十分なC/N、消去
比、変調度が得られた。 [実施例3〜18、比較例1〜6]2枚のポリカーボネー
ト基板(0.6mm) 上に、それぞそれ、ZnS-SiO2(140nm)/Au
-In-Sb-Te(22nm)/ZnS-SiO2(25nm)/Al(100nm)/ 紫外線硬
化樹脂 (10μm)をこの順で積層し、この2枚の光記録媒
体を、保護層7側を対向させて、接着層8を介して接合
した光記録媒体1の構成を有し、記録層4の組成の異な
る光記録媒体を作製して、前述の方法により光記録媒体
としての評価を行なった。
Sufficient C / N, erasure ratio, and degree of modulation were obtained even with a low recording power. [Examples 3 to 18, Comparative Examples 1 to 6] ZnS-SiO2 (140 nm) / Au on two polycarbonate substrates (0.6 mm), respectively.
-In-Sb-Te (22 nm) / ZnS-SiO 2 (25 nm) / Al (100 nm) / ultraviolet curable resin (10 μm) are laminated in this order, and these two optical recording media are placed on the protective layer 7 side. Optical recording media 1 having the configuration of the optical recording medium 1 opposing and bonded via the adhesive layer 8 and having a different composition of the recording layer 4 were produced, and evaluated as the optical recording medium by the above-described method. .

【0050】記録パワーは12mW、消去パワー 6mW、マル
チパルスのボトムパワー1mW、再生パワー1mWとした。
ディスク特性として、C/N、繰り返し記録消去特性の
結果を表3に示す。尚、繰り返し記録消去特性について
は、上述した実験方法でジッターが基準クロックの15
%を越えるまでのオーバーライトの回数を、例えば「1,
000 〜10,000」等のように一定の範囲で示した。これ
は、製造条件及び評価条件により、表示した範囲内で特
性が変わり得ることを示す。
The recording power was 12 mW, the erasing power was 6 mW, the bottom power of the multipulse was 1 mW, and the reproducing power was 1 mW.
Table 3 shows the results of C / N and repeated recording / erasing characteristics as the disk characteristics. As for the repetitive recording and erasing characteristics, the jitter was 15
%, For example, "1,
000 to 10,000 "and so on. This indicates that the characteristics can be changed within the indicated range depending on the manufacturing conditions and the evaluation conditions.

【0051】[0051]

【表3】 [Table 3]

【0052】Auの組成比率αが1原子%≦α≦16原子
%、Inの組成比率βが8原子%≦β≦17原子%、Sbの組
成比率γが41原子%≦γ≦63原子%、Teの組成比率δが
24原子%≦δ≦36原子%(ただし、99原子%≦α+β+
γ+δ≦100 原子%)の範囲内の組成の記録層を有する
実施例3〜18の光記録媒体は、前記範囲外の組成の記録
層を有する比較例1〜6の光記録媒体に比較して良好な
ディスク特性を示すことがわかる。
The composition ratio α of Au is 1 atom% ≦ α ≦ 16 atom%, the composition ratio β of In is 8 atom% ≦ β ≦ 17 atom%, the composition ratio γ of Sb is 41 atom% ≦ γ ≦ 63 atom% , Te has a composition ratio δ
24 atomic% ≦ δ ≦ 36 atomic% (however, 99 atomic% ≦ α + β +
The optical recording media of Examples 3 to 18 having the recording layer having a composition within the range of (γ + δ ≦ 100 atomic%) are compared with the optical recording media of Comparative Examples 1 to 6 having the recording layer having the composition outside the above range. It can be seen that good disc characteristics are exhibited.

【0053】特に、2原子%≦α≦10原子%、10原子%
≦β≦16原子%、45原子%≦γ≦59原子%、26原子%≦
δ≦34原子%(ただし、99原子%≦α+β+γ+δ≦10
0 原子%)の範囲内の組成の記録層を有する実施例4、
実施例5、実施例8、実施例10、実施例17の光記録媒体
は特性が優れている。更に、異なる元素を含む記録層と
の比較のために、以下の実験を行なった。 [比較例7]記録層4にAg-In-Sb-Te を用いた以外は、
実施例3〜18と同様の層構成を有する光記録媒体を作製
し、上述の実施例3〜18と同様の条件で、C/N、及び
繰り返し記録消去特性を評価した。結果を表4に示す。
In particular, 2 at% ≦ α ≦ 10 at%, 10 at%
≦ β ≦ 16 atomic%, 45 atomic% ≦ γ ≦ 59 atomic%, 26 atomic% ≦
δ ≦ 34 atomic% (however, 99 atomic% ≦ α + β + γ + δ ≦ 10
Example 4 having a recording layer having a composition in the range of 0 atomic%).
The optical recording media of Example 5, Example 8, Example 10, and Example 17 have excellent characteristics. Further, the following experiment was performed for comparison with a recording layer containing a different element. Comparative Example 7 Except that Ag-In-Sb-Te was used for the recording layer 4,
Optical recording media having the same layer configuration as in Examples 3 to 18 were produced, and the C / N and the repetitive recording / erasing characteristics were evaluated under the same conditions as in Examples 3 to 18 described above. Table 4 shows the results.

【0054】[0054]

【表4】 [Table 4]

【0055】比較例7では繰り返し記録消去回数は1,00
0 〜2,000 の範囲であり最高でも2,000 である。これに
対し実施例3〜18では1,000 〜10,000回以上の繰り返し
記録消去回数が得られ、異なる元素を含む組成の記録層
を有する比較例7に比べ、優れたディスク特性を示すこ
とがわかる。
In Comparative Example 7, the number of times of repeated recording and erasing was 1,00.
It ranges from 0 to 2,000, up to 2,000. On the other hand, in Examples 3 to 18, repetitive recording and erasing times of 1,000 to 10,000 times or more were obtained, and it was found that disc characteristics were superior to those of Comparative Example 7 having a recording layer having a composition containing a different element.

【0056】[0056]

【発明の効果】以上説明したように、請求項1に係る発
明によれば、光ビームに対する記録層の記録消去時の相
対速度が5〜7m/s で使用される光記録媒体において、
C/N、消去比、変調度、記録感度が高く、繰り返し記
録消去特性の向上したものを得られるという効果があ
る。
As described above, according to the first aspect of the present invention, there is provided an optical recording medium in which the relative speed at the time of recording / erasing of a recording layer with respect to a light beam is 5 to 7 m / s.
The C / N, the erasure ratio, the degree of modulation, the recording sensitivity are high, and the effect of repeatedly improving the recording / erasing characteristics can be obtained.

【0057】また、請求項2に係る発明によれば、簡便
な層構成で優れた特性を有する片面記録用の光記録媒体
が得られるという効果がある。また、請求項3に係る発
明によれば、優れた特性を有する両面記録用光記録媒体
が得られるという効果がある。また、請求項4に係る発
明によれば、機械的強度及び耐久性が高く、優れた特性
を有する光記録媒体が得られるという効果がある。
According to the second aspect of the present invention, there is an effect that an optical recording medium for single-sided recording having excellent characteristics with a simple layer structure can be obtained. Further, according to the third aspect of the invention, there is an effect that an optical recording medium for double-sided recording having excellent characteristics can be obtained. Further, according to the invention of claim 4, there is an effect that an optical recording medium having high mechanical strength and durability and excellent characteristics can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明の光記録媒体の層構成の一例を示す断
面図
FIG. 1 is a sectional view showing an example of a layer configuration of an optical recording medium of the present invention.

【図2】 本発明の光記録媒体の層構成の他の例を示す
断面図
FIG. 2 is a sectional view showing another example of the layer configuration of the optical recording medium of the present invention.

【図3】 本発明の光記録媒体の層構成の更に他の例を
示す断面図
FIG. 3 is a sectional view showing still another example of the layer configuration of the optical recording medium of the present invention.

【図4】 オーバーライト時のパルスストラテジの一例
を示す図
FIG. 4 is a diagram showing an example of a pulse strategy at the time of overwriting.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 光記録媒体 2 基板 3 下部誘電体層 4 記録層 5 上部誘電体層 6 反射層 7 保護層 8 接着層 9 上部基板 Pw 記録パワー Pe 消去パワー Pb ボトムパワー DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Optical recording medium 2 Substrate 3 Lower dielectric layer 4 Recording layer 5 Upper dielectric layer 6 Reflective layer 7 Protective layer 8 Adhesive layer 9 Upper substrate Pw Recording power Pe Erase power Pb Bottom power

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 光ビームに対する記録層の記録消去時の
相対速度が、5〜7m/s で使用される光記録媒体におい
て、それぞれα、β、γ、及びδで表される、Au、In、
Sb、及びTeの組成比率が、 1原子%≦α≦16原子%、 8原子%≦β≦17原子%、 41原子%≦γ≦63原子%、 24原子%≦δ≦36原子%、 ただし、99原子%≦α+β+γ+δ≦100 原子%、 である記録層を有することを特徴とする光記録媒体。
1. In an optical recording medium used at a relative speed of 5 to 7 m / s when recording and erasing a recording layer with respect to a light beam, Au, In, and Au are represented by α, β, γ, and δ, respectively. ,
The composition ratio of Sb and Te is 1 atomic% ≦ α ≦ 16 atomic%, 8 atomic% ≦ β ≦ 17 atomic%, 41 atomic% ≦ γ ≦ 63 atomic%, 24 atomic% ≦ δ ≦ 36 atomic%, An optical recording medium comprising: a recording layer satisfying the condition: 99 atomic% ≦ α + β + γ + δ ≦ 100 atomic%.
【請求項2】 基板上に、下部誘電体層、前記記録層、
上部誘電体層、反射層、及び保護層をこの順で積層した
請求項1に記載の光記録媒体。
2. A method according to claim 1, wherein a lower dielectric layer, said recording layer,
The optical recording medium according to claim 1, wherein an upper dielectric layer, a reflective layer, and a protective layer are laminated in this order.
【請求項3】 少なくとも下部誘電体層、前記記録層、
上部誘電体層、及び反射層を、この順で基板上にそれぞ
れ積層した2枚の光記録媒体を、前記反射層側を対向さ
せ、接着層を介して接合した請求項1に記載の光記録媒
体。
3. At least a lower dielectric layer, the recording layer,
2. The optical recording device according to claim 1, wherein two optical recording media in which an upper dielectric layer and a reflective layer are respectively stacked on a substrate in this order are joined via an adhesive layer with the reflective layer side facing each other. Medium.
【請求項4】基板上に、少なくとも下部誘電体層、前記
記録層、上部誘電体層、反射層、接着層、及び上部基板
をこの順で積層した請求項1に記載の光記録媒体。
4. The optical recording medium according to claim 1, wherein at least a lower dielectric layer, said recording layer, an upper dielectric layer, a reflective layer, an adhesive layer, and an upper substrate are laminated on the substrate in this order.
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