JPH1148469A - Ink jet recording head - Google Patents

Ink jet recording head

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JPH1148469A
JPH1148469A JP22582097A JP22582097A JPH1148469A JP H1148469 A JPH1148469 A JP H1148469A JP 22582097 A JP22582097 A JP 22582097A JP 22582097 A JP22582097 A JP 22582097A JP H1148469 A JPH1148469 A JP H1148469A
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ink
recording head
elastic member
jet recording
ink jet
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Yasushi Oki
靖 大木
Shinobu Koseki
忍 小関
Yutaka Morita
豊 森田
Kazuhiro Hayashi
和廣 林
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  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ink jet recording head capable of reducing a diameter of ejected ink drops and not having conventional defects such as the ejection unstability of ink drops, the irregularity of the dot positions of the ejected ink drops or the like. SOLUTION: This recording head has a vibration generating part 2 vibrated corresponding to a pixel signal and the leading and 7a coming into contact with ink 8 and is equipped with an elastic member 7 having a cantilevered beam structure making the cross sectional shape of the ink 8 generating bending vibration corresponding to the excitation of the vibration generating part 2 and cut along the surface vertical to the neutral shaft of the bending deformation of the leading part 7a asymmetric to a neutral surface and capillary waves are generated on the surface of the ink 8 to fly the ink 8 to bond the same to a recording medium.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、記録媒体上にイン
クドロップなどの液滴を吐出して印字を行うインクジェ
ット記録ヘッドに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ink jet recording head for performing printing by discharging droplets such as ink drops on a recording medium.

【0002】[0002]

【従来の技術】記録媒体上に液滴、特にインクドロップ
を吐出して印字を行う記録方式の代表的なものとしてノ
ズルを用いる方式がある。ここで、ノズル式の記録方式
には、オンデマンド型と連続流型とがある。
2. Description of the Related Art A typical method of printing by discharging droplets, particularly ink drops, onto a recording medium is a method using a nozzle. Here, the recording method of the nozzle type includes an on-demand type and a continuous flow type.

【0003】オンデマンド型は、記録情報に対応してノ
ズルから間欠的にインクを吐出させて印字を行う方式
で、代表的なものとして、ピエゾ振動子型とサーマル型
とがある。ピエゾ振動子型は、インク室に付設した圧電
素子にパルス電圧を印加して圧電素子を変形させること
により、インク室内のインク液圧を変化させ、ノズルか
らインクドロップを吐出させて、記録媒体上にドットを
記録するものである。サーマル型は、インク室内に設け
た加熱素子によりインクを加熱し、これにより発生した
バブルによりノズルからインクドロップを吐出させて、
記録媒体上にドットを記録するものである。
The on-demand type is a system in which ink is intermittently ejected from nozzles in accordance with recording information to perform printing, and there are a piezo oscillator type and a thermal type as typical ones. The piezo oscillator type applies a pulse voltage to a piezoelectric element provided in the ink chamber to deform the piezoelectric element, thereby changing the ink liquid pressure in the ink chamber and ejecting an ink drop from a nozzle to print on a recording medium. The dot is recorded in the. In the thermal type, the ink is heated by a heating element provided in the ink chamber, and an ink drop is ejected from a nozzle by a bubble generated thereby,
This is to record dots on a recording medium.

【0004】一方、連続流型は、インクに圧力を加えて
ノズルから連続的にインクを吐出させると同時に、ピエ
ゾ振動子などにより振動を加えて吐出インク柱を液滴化
し、さらに液滴に対して選択的に帯電、偏向を行うこと
によって、記録を行うものである。
[0004] On the other hand, in the continuous flow type, ink is continuously ejected from a nozzle by applying pressure to the ink, and at the same time, a vibration is applied by a piezo vibrator or the like to form an ejected ink column into droplets. The recording is performed by selectively charging and deflecting.

【0005】最近では600〜720ドット/インチと
いうような高解像度が要求されてきている。そのような
要求を満たすためには、記録媒体上のドット径を小さく
する必要があり、従来のノズル式の記録方式では、ノズ
ル径を小さくして吐出されるインクドロップ径を小さく
する必要がある。
Recently, a high resolution such as 600 to 720 dots / inch has been demanded. In order to satisfy such demands, it is necessary to reduce the dot diameter on the recording medium, and in the conventional nozzle-type recording method, it is necessary to reduce the nozzle diameter to reduce the ink drop diameter to be ejected. .

【0006】しかしながら、ノズル径を小さくすると、
ゴミ・チリ、ノズル内のインク表面の乾燥によるノズル
詰まりやこれらを原因とするインク吐出方向の変化を生
じやすく、記録媒体上の画質に欠陥を生じる。そのた
め、ノズル径を小さくすることによって、要求される解
像度に対応したドット径を達成することは困難である。
However, when the nozzle diameter is reduced,
Dust and dust, nozzle clogging due to drying of the ink surface in the nozzle, and a change in the ink ejection direction due to these factors are likely to occur, resulting in a defect in the image quality on the recording medium. Therefore, it is difficult to achieve a dot diameter corresponding to the required resolution by reducing the nozzle diameter.

【0007】そこで、このようなノズルに起因する問題
を解決する方法として、ノズルを用いないで、振動また
は音響波を用いて、被印字面にインクドロップを吐出し
て印字を行う記録方式がいくつか提案されている。
Therefore, as a method of solving such a problem caused by the nozzle, there are several recording methods for performing printing by ejecting ink drops onto a printing target surface using vibration or acoustic waves without using a nozzle. Or has been proposed.

【0008】ノズルを用いない第1の記録方式として
は、米国特許第4308547号明細書で開示されてい
るように、振動子で発生した振動を音響レンズでインク
自由表面の一点に集束させてインクドロップを吐出させ
る方式である。音響レンズとしては、圧電体自体をレン
ズ状にしたもの、特開平3−200199号公報に開示
されているように、位相を多重に重ねる位相フレネルレ
ンズを用いたものを用いる。音響レンズは、形状と波動
の集束・発散との関係が光学レンズとは逆になり、凸状
レンズでは波動が発散してしまうため凹状レンズを用い
ることが望ましい。
As a first recording method using no nozzle, as disclosed in US Pat. No. 4,308,547, ink generated by vibrating a vibrator is focused on an ink free surface at one point by an acoustic lens. This is a method of discharging a drop. As the acoustic lens, a lens in which the piezoelectric body itself is formed into a lens shape, or a lens using a phase Fresnel lens in which phases are multiplexed as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 3-200199 are used. As for the acoustic lens, the relationship between the shape and the convergence / divergence of the wave is opposite to that of the optical lens, and the convex lens causes the wave to diverge, so it is desirable to use a concave lens.

【0009】インクドロップ径は、インク中を伝搬して
きた縦波がインク自由表面に集束されるときの集束径に
ほぼ等しく、その集束径dは、振動子の駆動周波数を
f、レンズのF値をFとすると、d〜F/fとなる。な
お、インク中を伝搬する縦波の波長をλ、その伝搬速度
をvとすると、これらと振動子の駆動周波数fとの間に
は、v=f・λの関係がある。
The diameter of the ink drop is almost equal to the diameter of the longitudinal wave propagating through the ink when the longitudinal wave is focused on the free surface of the ink. Let F be d to F / f. When the wavelength of the longitudinal wave propagating in the ink is λ and the propagation speed is v, there is a relation v = f · λ between these and the driving frequency f of the vibrator.

【0010】したがって、例えば、ドロップ径(集束
径)d=15μm程度の非常に小さなインクドロップを
吐出させようとする場合には、レンズのF値を1とする
と、従来の低粘度・水性インク中の縦波の伝搬速度vは
ほぼ1500m/秒となる。これに対応するために、振
動子の駆動周波数fを約100MHzというような非常
に高い周波数にしなければならない。レンズのF値は、
種々の問題から著しく小さくすることは実際上困難であ
るため、ドロップ径dをより小さくしようとすると、一
般には極めて高い周波数で振動子を駆動することにな
る。
Therefore, for example, when an extremely small ink drop having a drop diameter (converging diameter) d of about 15 μm is to be ejected, if the F value of the lens is 1, the conventional low-viscosity, aqueous ink Is about 1500 m / sec. To cope with this, the driving frequency f of the vibrator must be set to a very high frequency such as about 100 MHz. The F value of the lens is
Since it is practically difficult to make the diameter extremely small due to various problems, generally, when the drop diameter d is made smaller, the vibrator is driven at an extremely high frequency.

【0011】このように、第1の記録方式では、100
MHz前後の高い周波数で複数の振動子を駆動しなけれ
ばならないため、一般に駆動手段が高価になるというコ
スト上の問題を生じる。また、発熱によりインク粘度が
変化してドロップ径が変動したり、記録装置内でインク
自体の乾燥や固化を生じてインクを吐出できなくなるこ
とがあるという品質上の問題も生じる。
As described above, in the first recording method, 100
Since a plurality of vibrators must be driven at a high frequency of about MHz, there is a cost problem that the driving means is generally expensive. In addition, there is a quality problem that the ink viscosity changes due to heat generation and the drop diameter fluctuates, and the ink itself may be dried or solidified in the recording apparatus and the ink cannot be ejected.

【0012】ノズルを用いない第2の記録方式として
は、振動発生手段で発生した振動を音響ホーンでインク
自由表面の一点に集束させてインクドロップを吐出させ
る方式がある。
As a second recording method which does not use a nozzle, there is a method in which the vibration generated by the vibration generating means is focused on a point on the free surface of the ink by an acoustic horn to discharge an ink drop.

【0013】例えば、上記の米国特許第4308547
号明細書には、凹状レンズの代わりに振動発生手段上に
形成した音響ホーンにより振動を集束させ、音響ホーン
先端に接触させたベルト上を搬送されてくるインク薄膜
に、この振動を作用させてインクドロップを吐出させる
ことが示されている。ここでは、音響ホーン先端に吐出
力が生成されることになる。
For example, see the above-mentioned US Pat. No. 4,308,547.
In the specification, vibration is focused by an acoustic horn formed on vibration generating means instead of a concave lens, and the vibration is applied to an ink thin film conveyed on a belt in contact with the tip of the acoustic horn. It is shown that an ink drop is ejected. Here, a discharge force is generated at the tip of the acoustic horn.

【0014】また、同様の技術として、特開平4−16
8050号公報には、図12に示すように、集音体15
を圧電体3上に設けることが示されている。集音体15
は、圧電体3およびこれに電圧を印加するための電極
4,5からなる振動発生手段2上に形成され、インク8
を保持したインクリザーバ10中に配される。集音体1
5は、図12に示すように、先細りの形状をとる。この
場合、集音体15の底部から入射した歪みが集音体15
内を伝搬するのに伴って、その振幅が増幅され、集音体
15で集められた大振幅の波がインク8を叩いて、そこ
で生じた縦波がインク自由表面8aを押し上げ、インク
ドロップ9が吐出される。
As a similar technique, Japanese Patent Laid-Open No.
No. 8050 discloses a sound collector 15 as shown in FIG.
Is provided on the piezoelectric body 3. Sound collector 15
Are formed on the vibration generating means 2 including the piezoelectric body 3 and the electrodes 4 and 5 for applying a voltage to the piezoelectric body 3 and the ink 8
Is disposed in the ink reservoir 10 which holds. Sound collector 1
5 has a tapered shape as shown in FIG. In this case, the distortion incident from the bottom of the sound collector 15 is
As it propagates through the inside, the amplitude is amplified, and the large-amplitude wave collected by the sound collector 15 hits the ink 8, and the generated longitudinal wave pushes up the ink free surface 8 a, and the ink drop 9 Is discharged.

【0015】ただし、米国特許第4308547号明細
書や、特開平4−168050号公報では、集音体また
は音響ホーンを用いるとするものの、その大きさや駆動
条件、振動モードなどは、さらには小径ドロップを形成
できるか否かについては、述べられていない。
However, in US Pat. No. 4,308,547 and JP-A-4-168050, although a sound collector or an acoustic horn is used, the size, driving conditions, vibration mode, etc. are further reduced by a small diameter drop. It is not stated whether or not can be formed.

【0016】音響ホーンに関しては、一般に音響学の分
野においては、共振により集音体(または音響ホーン)
の先端を大振幅に振動させて吐出力を得ようとする場
合、集音体の垂直断面方向の長さ(高さ)は振動波の波
長の1/2の整数倍でなければならないことが知られて
いる。このことから、図12に示した方式において、高
密度の記録素子を作製するために集音体15を小さくし
ようとすると、振動波の波長も短くしなければならず、
振動発生手段2の駆動周波数を高くしなければならな
い。
Regarding the acoustic horn, generally, in the field of acoustics, a sound collector (or acoustic horn) is generated by resonance.
When trying to obtain a discharge force by vibrating the tip of the sound collector with a large amplitude, the length (height) of the sound collector in the vertical cross section must be an integral multiple of half the wavelength of the vibration wave. Are known. For this reason, in the method shown in FIG. 12, when trying to reduce the size of the sound collector 15 in order to produce a high-density recording element, the wavelength of the vibration wave must be shortened.
The driving frequency of the vibration generating means 2 must be increased.

【0017】したがって、現実的な密度の記録素子を作
製するためには、第1の記録方式と同様に、数10MH
zから100MHz前後という高い周波数で振動発生手
段を駆動する必要がある。このため、インク中のエネル
ギー減衰が大きいとともに、駆動回路が高価なものとな
る。また、米国特許第4308547号明細書に開示さ
れているように音響ホーン先端に接触させたベルトでイ
ンク薄膜を安定に搬送することは実際上困難であり、吐
出ドロップ径もばらつきやすい。
Therefore, in order to manufacture a recording element with a realistic density, several tens of MHs are required as in the first recording method.
It is necessary to drive the vibration generating means at a high frequency of about 100 MHz from z. For this reason, the energy in the ink is greatly attenuated, and the driving circuit becomes expensive. Further, as disclosed in U.S. Pat. No. 4,308,547, it is practically difficult to stably convey an ink thin film with a belt in contact with the tip of an acoustic horn, and the diameter of a discharge drop tends to vary.

【0018】ノズルを用いない第3の記録方式として、
吐出力として静電力を用いる、いわゆる静電吸引方式が
あり、さらにそのインクメニスカス(インク隆起)を形
成するために振動を用いるものが知られている。
As a third recording method without using a nozzle,
There is a so-called electrostatic attraction method using electrostatic force as a discharge force, and a method using vibration to form an ink meniscus (ink protrusion) is known.

【0019】例えば、特開昭62−222853号公報
には、記録針をインク表面から突出させて、これに軸方
向に伝搬する超音波エネルギーを与えることが示されて
いる。これによると、超音波流動(acoustic
streaming)現象により、記録針に接するイン
クは記録針の先端方向に移動して、記録針の先端に凸状
のインクメニスカスが形成される。その状態で、記録針
と背面電極との間に静電界を印加してインクを引きちぎ
り、記録針と背面電極との間に配置された記録媒体上に
インクドロップを着弾させる。この方式によれば、記録
針の先端にインクメニスカスを形成するため、従来の静
電吸引方式に比べて、より小さいインクドロップを形成
できる。
For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 62-222853 discloses that a recording needle is made to protrude from the ink surface to apply ultrasonic energy propagating in the axial direction to the recording needle. According to this, ultrasonic flow (acoustic)
Due to the streaming phenomenon, the ink in contact with the recording needle moves toward the tip of the recording needle, and a convex ink meniscus is formed at the tip of the recording needle. In this state, an electrostatic field is applied between the recording needle and the back electrode to tear off the ink, and an ink drop lands on a recording medium disposed between the recording needle and the back electrode. According to this method, since an ink meniscus is formed at the tip of the recording needle, a smaller ink drop can be formed as compared with the conventional electrostatic suction method.

【0020】また、特開昭56−28867号公報に
も、針電極と背面電極との間に静電界を印加した状態で
針電極に画像信号を印加すると同時に、針電極を振動さ
せる静電吸引方式が示されている。このようにすると、
インクを安定に粒子化できる。
Japanese Patent Application Laid-Open No. 56-28867 also discloses an electrostatic attraction in which an image signal is applied to a needle electrode while an electrostatic field is applied between the needle electrode and the back electrode, and the needle electrode is vibrated at the same time. The scheme is shown. This way,
Ink can be stably formed into particles.

【0021】しかしながら、静電吸引方式では、湿度な
どによる記録媒体の誘電体の厚みの変動や、記録媒体の
表面の粗さのばらつきなどによって、形成されるドロッ
プ径が変動するという問題を生じる。さらに、静電吸引
方式では、帯電したインクドロップを吐出させること
で、記録媒体上の先行ドットの残留電荷によりドット位
置ばらつきが大きくなるという問題を生じる。
However, in the electrostatic suction method, there is a problem that the diameter of the formed drop varies due to a variation in the thickness of the dielectric of the recording medium due to humidity or a variation in the roughness of the surface of the recording medium. Further, in the electrostatic suction method, a problem arises in that, by discharging a charged ink drop, a dot position variation is increased due to a residual charge of a preceding dot on a recording medium.

【0022】[0022]

【発明が解決しようとする課題】ノズル径を小さくせず
に、吐出されるインクドロップ径を小さくするために提
案されている従来の方式は、それぞれエネルギー効率や
安定性の問題を抱えている。それらの問題を解決するも
のとして本出願人により出願された、特願平8−215
036号がある。しかし、当該出願による技術でも単一
のインクドロップを安定に飛翔させるために駆動条件の
微調整が必要になるという問題がある。
The conventional methods proposed to reduce the diameter of the ejected ink drop without reducing the diameter of the nozzle have problems of energy efficiency and stability. Japanese Patent Application No. 8-215 filed by the present applicant to solve those problems.
No. 036. However, even the technique according to the application has a problem that fine adjustment of driving conditions is required to stably fly a single ink drop.

【0023】本発明の目的は、吐出されるインクドロッ
プ径を小さくすることができ、従来例の欠点であるイン
クドロップの吐出の不安定、吐出されたインクドロップ
のドット位置のばらつき等従来の欠点を有しないインク
ジェット記録ヘッドを提供することである。より具体的
には、本発明の目的は、ノズルの目詰まりや乾燥による
吐出不良が起こらないこと、エネルギー効率が良いこ
と、吐出履歴や隣接するノズルの影響を受けずインクド
ロップ飛翔安定性に優れること、記録媒体上でのドット
径のばらつきが小さくかつドット位置精度が良いこと、
等の特性を有するインクジェット記録ヘッドを提供する
ことである。
An object of the present invention is to reduce the diameter of an ink drop to be ejected, and to reduce the disadvantages of the prior art, such as instability of ejection of the ink drop and variation in the dot position of the ejected ink drop. The object of the present invention is to provide an ink jet recording head having no ink jet recording head. More specifically, an object of the present invention is to prevent ejection failure due to nozzle clogging and drying, to have high energy efficiency, and to be excellent in ink drop flight stability without being affected by the ejection history or adjacent nozzles. That the dot diameter variation on the recording medium is small and the dot position accuracy is good,
An object of the present invention is to provide an ink jet recording head having such characteristics.

【0024】[0024]

【課題を解決するための手段】上記目的は、画素信号に
対応して振動する振動発生手段と、インクに接触する先
端部を有し、振動発生手段の励振に応じて曲げ振動し、
先端部の曲げ変形の中立軸に対して垂直な面で切断した
インクの断面形状を中立面に対して非対称にさせる片持
ち梁構造の弾性部材とを備え、インクの表面にキャピラ
リ波を発生させて、インクを飛翔させて記録媒体に付着
させることを特徴とするインクジェット記録ヘッドによ
って達成される。
The object of the present invention is to provide a vibration generating means which vibrates in response to a pixel signal and a tip portion which comes into contact with ink, and which bends and vibrates in response to excitation of the vibration generating means.
Equipped with a cantilevered elastic member that makes the cross-sectional shape of the ink cut at a plane perpendicular to the neutral axis of the bending deformation of the tip part asymmetric with respect to the neutral plane, and generates a capillary wave on the ink surface The ink jet recording head is characterized in that the ink is caused to fly and adhere to the recording medium.

【0025】ここで、中立軸と中立面について図13乃
至図15を用いて説明する。図13乃至図15は、片持
ち梁が曲げ変形している様子を模式的に示したものであ
り、図13は曲げ変形している片持ち梁の側面図、図1
4は図AのN−N線で切った横断面図、図15は曲げ変
形している片持ち梁の斜視図である。梁が図13のよう
に曲げ変形する場合、図14に示すように梁の横断面に
はその垂直方向に曲げ応力が作用している。
Here, the neutral shaft and the neutral surface will be described with reference to FIGS. 13 to 15 schematically show how the cantilever is bent and deformed. FIG. 13 is a side view of the bent cantilever, and FIG.
4 is a cross-sectional view taken along line NN in FIG. A, and FIG. 15 is a perspective view of a cantilever beam that is being bent and deformed. When the beam is bent and deformed as shown in FIG. 13, a bending stress acts on the cross section of the beam in the vertical direction as shown in FIG.

【0026】図13におけるN−N断面の場合、曲がっ
た梁の凸表面(図中、梁の右側)には引っ張りひずみが
生じ、凹表面(図中、梁の左側)には圧縮ひずみが生じ
ており、この中間に伸縮のない面が存在する。これを中
立面という。そして、図15に示すように、中立面と横
断面が交差する軸を中立軸という。
In the case of the NN cross section in FIG. 13, a tensile strain is generated on the convex surface of the bent beam (the right side of the beam in the figure), and a compressive strain is generated on the concave surface (the left side of the beam in the figure). There is a plane without expansion and contraction in the middle of this. This is called the neutral plane. Then, as shown in FIG. 15, an axis at which the neutral plane and the cross section intersect is called a neutral axis.

【0027】また、上記目的は、本発明のインクジェッ
ト記録ヘッドにおいて、曲げ変形の中立軸に対して垂直
な面で切断した先端部の断面形状が、曲げ変形の中立面
に対して非対称であるように構成しても達成される。さ
らに、上記目的は、本発明のインクジェット記録ヘッド
において、先端部が、互いに濡れ性の異なる一表面及び
他表面を有しているようにして達成される。またさら
に、上記目的は、本発明のインクジェット記録ヘッドに
おいて、先端部が、一表面のみにインクが供給されるよ
うにしても達成される。
Further, the object is to provide an ink jet recording head according to the present invention, wherein the cross-sectional shape of the tip section taken along a plane perpendicular to the neutral axis of bending deformation is asymmetric with respect to the neutral plane of bending deformation. This is achieved even if the configuration is made as described above. Further, the above object is achieved in the ink jet recording head of the present invention, in which the tip has one surface and another surface having different wettabilities from each other. Still further, the above object is achieved even in the ink jet recording head according to the present invention, in which the tip is supplied with ink only to one surface.

【0028】以下、図面を用いて本発明によるインクジ
ェット記録ヘッドの基本的構成および動作原理を示す。
図1は、本発明のインクジェット記録ヘッドの基本的構
成の一例の断面図を示したものである。また、図2は図
1に示した弾性部材7の先端部近傍拡大図である。弾性
部材7が振動発生部2に接続され、その接続部を基端部
とする片持ち梁構造をしており、少なくとも先端近傍が
インクと接触している。振動発生部2は、弾性部材7が
曲げ振動で共振する周波数で励振し、この共振により弾
性部材7の先端近傍は大きな振幅を有することになる。
曲げ振動の振動方向のインク厚は、弾性部材7の先端近
傍において、インク8と弾性部材7の濡れと重力の効果
により、数μm〜数百μmに形成される。これによっ
て、インク8は振動の作用を強く受け、その表面にキャ
ピラリ波を生じる。キャピラリ波の作用により、微小滴
の生成が可能となり、振動発生部2は、その駆動条件を
外部駆動部12により所定の値に設定することによっ
て、単一インクドロップ飛翔が可能となる。振動発生部
2の励振は図3に示すように、1画素信号に応じて単一
インクドロップの飛翔を実現するように、単一インクド
ロップの飛翔に必要な励振数を終了するごとに間欠的に
励振を区切るものである。なお、単一インクドロップ飛
翔に必要な励振パルスは矩形波に限らず、正弦波や三角
波でもよい。これらにより、ノズルなしで、微小滴が生
成され、インク目詰まりのない高画質なインクジェット
記録ヘッドの実現が可能となる。
Hereinafter, the basic structure and operation principle of the ink jet recording head according to the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a sectional view showing an example of a basic configuration of the ink jet recording head of the present invention. FIG. 2 is an enlarged view near the distal end of the elastic member 7 shown in FIG. The elastic member 7 is connected to the vibration generating section 2 and has a cantilever structure with the connection section as a base end, and at least the vicinity of the tip is in contact with ink. The vibration generating section 2 is excited at a frequency at which the elastic member 7 resonates by bending vibration, and the resonance causes a large amplitude near the tip of the elastic member 7.
The ink thickness in the vibration direction of the bending vibration is formed to be several μm to several hundred μm in the vicinity of the tip of the elastic member 7 due to the effects of the wetting of the ink 8 and the elastic member 7 and the effect of gravity. As a result, the ink 8 is strongly affected by the vibration, and generates a capillary wave on its surface. The action of the capillary wave enables the generation of microdroplets, and the vibration generator 2 can fly a single ink drop by setting its driving conditions to a predetermined value by the external driving unit 12. As shown in FIG. 3, the excitation of the vibration generating unit 2 is intermittently performed every time the number of excitations required for the single ink drop is completed so that the single ink drop is performed in response to one pixel signal. Excitation is demarcated. Note that the excitation pulse required for flying a single ink drop is not limited to a rectangular wave, but may be a sine wave or a triangular wave. As a result, fine droplets are generated without a nozzle, and a high-quality ink jet recording head free from ink clogging can be realized.

【0029】圧電体3および電極4、5からなる振動発
生部2は、基板1の剛性や、圧電体3の厚さおよび圧電
特性、および接続される弾性部材7の大きさや剛性など
から決まる固有の共振周波数foを有する。なお、外部
駆動部12の駆動周波数はいかなる値でもよいが、共振
周波数fo、またはその整数倍の周波数fで駆動する
と、効率よく振動発生部2を励振できる。
The vibration generating section 2 composed of the piezoelectric body 3 and the electrodes 4 and 5 has a characteristic determined by the rigidity of the substrate 1, the thickness and piezoelectric characteristics of the piezoelectric body 3, and the size and rigidity of the connected elastic member 7. Has a resonance frequency fo. The drive frequency of the external drive unit 12 may be any value, but when driven at the resonance frequency fo or a frequency f that is an integral multiple of the resonance frequency fo, the vibration generation unit 2 can be efficiently excited.

【0030】なお、弾性部材7を曲げ振動させる振動発
生部2で最も重要な圧電体3は、圧電基板で構成して
も、圧電薄膜で構成してもよい。また、圧電体3は単層
で構成されても、多層で構成されてもよい。圧電体3と
しては、水晶、PZT、チタン酸バリウムBaTi
3、ニオブ酸鉛PbNb26、ビスマスゲルマネウト
Bi12GeO20、ニオブ酸リチウムLiNbO3、タン
タル酸リチウムLiTaO3などの多結晶体や単結晶
体、またはZnOやAlNなどの圧電薄膜、またはポリ
尿素、PVDF(ポリフッ化ビニリデン)やPVDFの
共重合体などの圧電性高分子、またはPZTなどの無機
圧電物質と圧電性高分子との複合体などを用いることが
できる。もちろん、インクジェット記録ヘッドを設計す
る際に設定する駆動周波数に応じて、最適な圧電材料を
選択しなければならない。印加する交流の周波数が数1
0kHzから1MHzの間であれば、PZTのようなセ
ラミックでもよいが、より高い周波数で駆動する場合に
はZnOなどのように高周波に対応する圧電薄膜などを
選択しなければならない。いずれにしろ、安定し、かつ
十分な振動を振動発生部2にもたせられる振動特性を持
つものである必要がある。
The most important piezoelectric body 3 in the vibration generator 2 for bending and vibrating the elastic member 7 may be formed of a piezoelectric substrate or a piezoelectric thin film. Further, the piezoelectric body 3 may be composed of a single layer or a multilayer. Quartz, PZT, barium titanate BaTi
O 3 , lead niobate PbNb 2 O 6 , bismuth germane manut Bi 12 GeO 20 , lithium niobate LiNbO 3 , lithium tantalate LiTaO 3, etc., a polycrystalline or single crystal, or a piezoelectric thin film such as ZnO or AlN, or A piezoelectric polymer such as polyurea, PVDF (polyvinylidene fluoride) or a copolymer of PVDF, or a composite of an inorganic piezoelectric substance such as PZT and a piezoelectric polymer can be used. Of course, it is necessary to select an optimal piezoelectric material according to the drive frequency set when designing the ink jet recording head. The frequency of the applied alternating current is
If the frequency is between 0 kHz and 1 MHz, ceramic such as PZT may be used. However, when driving at a higher frequency, a piezoelectric thin film corresponding to a high frequency such as ZnO must be selected. In any case, it is necessary that the vibration generating portion 2 has stable and sufficient vibration characteristics.

【0031】弾性部材7は、その近傍でインク断面形状
を非対称に形成でき、かつ弾性部材7の曲げ振動によっ
て単一インクドロップを飛翔することができれば、形
状、材質などは限定されない。インク断面形状を対称に
形成してインク飛翔を実施すると、インクドロップの大
きさおよび飛翔方向は不安定になる。インク薄液層が弾
性部材表面に対称に形成されるため、弾性部材先端での
曲げ振動により、インクドロップの吐出が狙った吐出方
向以外にばらつくためである。この原因として、インク
ドロップ飛翔によって、弾性部材先端でインク消費に分
布が生じ、その結果、インク流動が不安定になるものと
考えられる。それに対し、インク断面形状が非対称の場
合には、弾性部材先端でのインク消費が片方の表面に偏
らせたため、弾性部材先端での曲げ振動によるインクド
ロップの吐出方向が安定し、インク消費によるインク流
動が安定するものと考えられる。よって、インク流動が
安定することで弾性部材先端に形成されるキャピラリ波
の箇所が限定されるので、常時、同一の箇所からインク
ドロップ9を吐出することができ、その結果、単一の微
小インクドロップを安定に吐出させることが可能とな
る。
The shape and material of the elastic member 7 are not limited as long as the ink cross section can be formed asymmetrically in the vicinity thereof and a single ink drop can fly by bending vibration of the elastic member 7. If the ink flying is performed with the ink cross-section formed symmetrically, the size and the flying direction of the ink drop become unstable. This is because the ink thin liquid layer is formed symmetrically on the surface of the elastic member, and the ejection of the ink drop varies in a direction other than the intended ejection direction due to bending vibration at the tip of the elastic member. It is considered that a cause of this is that the ink consumption flies at the tip of the elastic member due to the ink drop flying, resulting in unstable ink flow. On the other hand, when the ink cross-sectional shape is asymmetric, the ink consumption at the tip of the elastic member is biased to one surface. It is considered that the flow is stabilized. Therefore, since the location of the capillary wave formed at the tip of the elastic member is limited by the stable ink flow, the ink drop 9 can always be ejected from the same location, and as a result, a single minute ink Drops can be discharged stably.

【0032】以上で説明したとおり、弾性部材の先端部
近傍に存在するインクの厚さの分布を不均一にすること
がインクドロップを安定に飛翔させるために有効であ
る。このことは、言葉を替えて言うと、図2に示したよ
うに、弾性部材の先端部とその表面に存在するインクと
を示した断面図において、インクの断面形状を弾性部材
の左側の面と右側の面とで非対称にすることである(本
明細書では以下、「インクの断面形状が非対称」という
表現を用いる)。そこで、弾性部材近傍のインク断面形
状を非対称に形成するためのいくつかの例について、図
4(a)〜(f)を用いて説明する。まず、弾性部材7
は、先端部にいくにしたがって先鋭状になるものや、そ
の先端部で曲げ振動が可能な厚みのもの、あるいは弾性
部材7の基端部より先端部の方で曲げこわさが小さいも
のが好ましい。これは、太い先端部では曲げ振動による
弾性部材先端部の変位が小さくなってしまい、先端部を
振動させるのに非常に大きな駆動電圧が必要となるため
である。
As described above, it is effective to make the distribution of the thickness of the ink existing near the tip portion of the elastic member non-uniform to stably fly the ink drop. In other words, in other words, as shown in FIG. 2, in the sectional view showing the tip of the elastic member and the ink present on the surface, the sectional shape of the ink is changed to the left side surface of the elastic member. And the right side surface (hereinafter, the expression “the cross-sectional shape of the ink is asymmetric” is used in this specification). Therefore, several examples for asymmetrically forming the cross-sectional shape of the ink in the vicinity of the elastic member will be described with reference to FIGS. First, the elastic member 7
The elastic member 7 preferably has a shape that becomes sharper toward the distal end portion, a thickness that allows bending vibration at the distal end portion, or a material whose bending stiffness is smaller at the distal end portion than at the proximal end portion of the elastic member 7. This is because a displacement of the distal end portion of the elastic member due to bending vibration becomes small at a thick distal end portion, and a very large driving voltage is required to vibrate the distal end portion.

【0033】図4(a)は弾性部材の断面形状を非対称
にした例である。この例では弾性部材7の断面形状が先
端部へいくにしたがって先鋭状に形成されているが、断
面形状が非対称であれば、インク断面形状も必然的に非
対称になるので、弾性部材7の断面形状は特に限定され
ない。
FIG. 4A shows an example in which the cross-sectional shape of the elastic member is asymmetric. In this example, the cross-sectional shape of the elastic member 7 is sharpened toward the tip, but if the cross-sectional shape is asymmetric, the ink cross-sectional shape is inevitably asymmetric. The shape is not particularly limited.

【0034】図4(b)では、振動発生部面に対し、弾
性部材7を傾斜させて設置したものである。この結果、
インク断面形状は非対称になる。傾斜の角度はインク断
面形状が非対称に形成できれば特に限定されない。但
し、傾斜角度に依存して、インクドロップの飛翔方向も
変化するので、デバイス化の際には検討が必要である。
In FIG. 4B, the elastic member 7 is installed so as to be inclined with respect to the surface of the vibration generating section. As a result,
The ink cross section becomes asymmetric. The angle of inclination is not particularly limited as long as the ink cross section can be formed asymmetrically. However, the flight direction of the ink drop also changes depending on the inclination angle, so that it is necessary to consider it when making a device.

【0035】また、図4(c)では、弾性部材表面の濡
れ性を変えて、インク断面形状を非対称にしたものであ
る。濡れ性を変えるために、弾性部材の表面に濡れ性の
異なる二つ以上の材料を塗布する。具体的には、表面に
異なる親水性材料を塗布したり、表面の表面粗さを変え
たり、弾性部材を同一の材料ではなく二つ以上の異なる
材料によって作成することで実現できる。
In FIG. 4C, the wettability of the surface of the elastic member is changed to make the cross-sectional shape of the ink asymmetric. In order to change the wettability, two or more materials having different wettabilities are applied to the surface of the elastic member. Specifically, it can be realized by applying a different hydrophilic material to the surface, changing the surface roughness of the surface, or making the elastic member of two or more different materials instead of the same material.

【0036】図4(d)では、図4(c)と同様に弾性
部材表面の濡れ性を変えて、インク断面形状を非対称に
したものであるが、片面に撥液材料を塗布した例であ
る。この撥液材料を塗布した表面では、インク8によっ
て濡れにくくなり、インクの流動が起こりにくくなる。
これにより、インク供給のための流動は片側のみになる
ので、安定なインク流動を実現できる。
In FIG. 4D, the cross section of the ink is made asymmetric by changing the wettability of the surface of the elastic member as in FIG. 4C. is there. On the surface to which the liquid repellent material is applied, it is difficult for the ink 8 to get wet and the ink does not easily flow.
Thus, since the flow for supplying the ink is only on one side, a stable flow of the ink can be realized.

【0037】図4(e)では、インク供給を片側のみと
するために隔壁部材の上に弾性部材7が構成されてい
る。この例では、弾性部材7の片側からのみインク供給
される構成であれば、インク断面形状は非対称となるの
で必ずしもこの構成に限定されない。弾性部材表面の一
方にのみインク供給を行い、非対称なインク断面形状を
形成したものである。
In FIG. 4E, an elastic member 7 is formed on the partition member to supply ink only to one side. In this example, as long as the ink is supplied from only one side of the elastic member 7, the cross-sectional shape of the ink is asymmetric, and the configuration is not necessarily limited to this configuration. Ink is supplied to only one of the elastic member surfaces to form an asymmetric ink cross-sectional shape.

【0038】図4(f)では、弾性部材7のインクと接
触している表面と振動発生部と表面の濡れ性によって、
形成されるインク断面形状が異なるが、非対称なインク
断面形状が形成されれば、材質、表面濡れ性などは特に
限定されない。
In FIG. 4F, the wettability of the surface of the elastic member 7 which is in contact with the ink, the vibration generating portion, and the surface,
Although the formed ink cross-sectional shape is different, the material, surface wettability, and the like are not particularly limited as long as an asymmetric ink cross-sectional shape is formed.

【0039】弾性部材7の材料としては、シアノアクリ
レート系樹脂やエポキシ系樹脂、またはフッ素系樹脂な
どの各種樹脂を用いることができる。また、SiO2
SiONまたはSiNや、AlNや、Al23などとい
った各種無機材料で弾性部材7を形成してもよい。ま
た、Al、Fe、Ti、Cr、Au、Mo、TiWな
ど、またはそれらの各種合金で弾性部材7を形成しても
よい。ただし、各種樹脂や金属と異なり、インク8と接
する間に腐食しないように、SiO2などの無機膜で、
それらの表面を保護することが望ましい。もちろん、樹
脂、無機材料および金属のうち、2つ以上の材料を用い
てもよい。また、振動エネルギーが効率的に伝搬できる
なら、弾性部材7の先端部と底部を別な材料で構成して
もよい。
As the material of the elastic member 7, various resins such as a cyanoacrylate resin, an epoxy resin, and a fluorine resin can be used. In addition, SiO 2 ,
The elastic member 7 may be formed of various inorganic materials such as SiON, SiN, AlN, and Al 2 O 3 . Further, the elastic member 7 may be formed of Al, Fe, Ti, Cr, Au, Mo, TiW, or the like, or various alloys thereof. However, unlike various resins and metals, an inorganic film such as SiO 2 is used to prevent corrosion during contact with the ink 8.
It is desirable to protect those surfaces. Of course, two or more of the resins, inorganic materials, and metals may be used. Further, if the vibration energy can be efficiently transmitted, the tip and the bottom of the elastic member 7 may be made of different materials.

【0040】なお、この発明では、ドロップ径を規定す
るためにノズルを用いる必要はないが、インク液面を安
定させたり、インクの乾燥を抑制するために、吐出ドロ
ップ径より大きな開口を持つものであれば、なんらかの
部材がインク表面8aの一部に配置されていてもよい。
In the present invention, it is not necessary to use a nozzle to regulate the drop diameter. However, in order to stabilize the ink liquid level and to suppress the drying of the ink, a nozzle having an opening larger than the discharge drop diameter is used. If so, some member may be arranged on a part of the ink surface 8a.

【0041】インクドロップの吐出現象を理解するため
に、ストロボ同期による観察を行った結果を図5および
図6に示す。振動発生部2の静止状態においては、図5
(a)に示すように、弾性部材7の先端7aがインク表
面8aから上に出ている。振動発生部2に図3に示すよ
うなバースト波の電圧を短時間だけ加えると、図5
(b)に示すように、弾性部材7の曲げ振動により側壁
7cにキャピラリー波が形成されることを確認した。そ
して、キャピラリー波が形成されると、図6(a)に示
すように、弾性部材7の先端7aからインクドロップ9
が吐出する。しかし、弾性部材7に対称なインク断面形
状を形成した場合には、図6(b)に示すようにドロッ
プ径の異なるインクドロップ9が多方向に不安定飛翔す
ることを確認した。これは、前述したように、インクド
ロップ飛翔によって、弾性部材先端でインク消費に分布
が生じ、その結果、インク流動が不安定になるものと考
えられる。よって、インク断面形状が対称の場合には、
単一の微小インクドロップを安定に吐出させることは困
難である。
FIGS. 5 and 6 show the results of observation by flash synchronization in order to understand the ink drop ejection phenomenon. FIG. 5 shows a state where the vibration generation unit 2 is stationary.
As shown in (a), the tip 7a of the elastic member 7 protrudes from the ink surface 8a. When a voltage of a burst wave as shown in FIG. 3 is applied to the vibration generator 2 for a short time, FIG.
As shown in (b), it was confirmed that a capillary wave was formed on the side wall 7c due to the bending vibration of the elastic member 7. Then, when the capillary wave is formed, as shown in FIG.
Is discharged. However, when a symmetrical ink sectional shape was formed on the elastic member 7, it was confirmed that the ink drops 9 having different drop diameters fluctuated unstablely in multiple directions as shown in FIG. 6B. This is thought to be because, as described above, the ink consumption flies at the tip of the elastic member due to the ink drop flying, and as a result, the ink flow becomes unstable. Therefore, when the ink cross-sectional shape is symmetric,
It is difficult to stably eject a single minute ink drop.

【0042】弾性部材7の近傍に非対称なインク断面形
状を形成する本発明では、インク断面形状が非対称の場
合には、弾性部材先端でのインク消費が片方の表面に偏
らせたため、弾性部材先端での曲げ振動によるインクド
ロップの吐出方向が安定し、インク消費によるインク流
動が安定するものと考えられる。よって、インク流動が
安定することで弾性部材先端に形成されるキャピラリー
波の箇所が限定されるので、常時、同一の箇所からイン
クドロップ9を吐出することができ、その結果、単一の
微小インクドロップを安定に吐出させることが可能とな
る。
In the present invention, in which an asymmetric ink sectional shape is formed in the vicinity of the elastic member 7, when the ink sectional shape is asymmetric, the ink consumption at the tip of the elastic member is biased to one surface. It is considered that the ejection direction of the ink drop is stabilized by the bending vibration in the above, and the ink flow by the ink consumption is stabilized. Therefore, since the location of the capillary wave formed at the tip of the elastic member is limited by the stable ink flow, the ink drop 9 can always be ejected from the same location, and as a result, a single fine ink Drops can be discharged stably.

【0043】[0043]

【発明の実施の形態】本発明の第1の実施の形態による
インクジェット記録ヘッドを図7を用いて説明する。図
7は本実施の形態によるインクジェット記録ヘッドの模
式的な側面を示している。本実施の形態は、非対称なイ
ンク断面形状を形成してインク飛翔をさせる場合であ
る。まず、500μmの厚さの黄銅からなる基板1上
に、1μmの厚さのAg電極4を堆積後、パターンニン
グし、続いて、100μmの厚さのPZT(ジルコン酸
・チタン酸鉛)からなる圧電体3を堆積後、パターンニ
ングし、さらに、0.05μmの厚さのCrと1μmの
厚さのAuの2層からなる電極5を堆積後、パターンニ
ングして、振動発生部2を形成する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An ink jet recording head according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 7 shows a schematic side view of the ink jet recording head according to the present embodiment. The present embodiment is directed to a case where an asymmetric ink cross-sectional shape is formed to cause ink to fly. First, an Ag electrode 4 having a thickness of 1 μm is deposited and patterned on a substrate 1 made of brass having a thickness of 500 μm, and subsequently, PZT (zirconate / lead titanate) having a thickness of 100 μm is formed. After the piezoelectric body 3 is deposited, patterning is performed, and further, an electrode 5 composed of two layers of Cr having a thickness of 0.05 μm and Au having a thickness of 1 μm is deposited and then patterned to form the vibration generating portion 2. I do.

【0044】PZTからなる圧電体3は、分極処理し
て、電極4、5間に電圧が印加されたとき、その膜面に
垂直な方向に振動するようにする。電極4は、各振動発
生部2に共通するコモン電極であり、電極5は、特定の
振動発生部のみを振動させるためのアドレス電極であ
る。
The piezoelectric body 3 made of PZT is polarized so that when a voltage is applied between the electrodes 4 and 5, the piezoelectric body 3 vibrates in a direction perpendicular to the film surface. The electrode 4 is a common electrode common to the respective vibration generators 2, and the electrode 5 is an address electrode for causing only a specific vibration generator to vibrate.

【0045】さらに、圧電体3および電極4、5からな
る振動発生部2を、1μmの厚さのSiO2などからな
る保護膜6で被覆し、続いて、各振動発生部2上に、底
辺の一辺が200μmで、高さが500μmの、ほぼ三
角形の断面形状の角錐状のシアノアクリレート系樹脂か
らなる弾性部材7を形成する。
Further, the vibration generating part 2 composed of the piezoelectric body 3 and the electrodes 4 and 5 is covered with a protective film 6 made of SiO 2 or the like having a thickness of 1 μm. An elastic member 7 made of a pyramid-shaped cyanoacrylate-based resin having a substantially triangular cross section and having a side of 200 μm and a height of 500 μm is formed.

【0046】弾性部材7は、シアノアクリレート系樹脂
とは濡れ性が悪く、接着しにくいフッ素樹脂に凹状部を
形成し、これを型にして形成する。ただし、以下の実施
の形態でも同様であるが、弾性部材7の形成方法は、こ
れに限らず、半導体プロセスで利用されているリソグラ
フィー技術を利用した加工技術、厚膜印刷技術、または
マイクロマシーンの作製プロセスに利用されている各種
形成技術(放電加工やメッキ技術など)を、樹脂に限ら
ず、無機材や金属材からなる弾性部材7の形成の際に用
いることができる。
The elastic member 7 is formed by forming a concave portion in a fluororesin, which has poor wettability with the cyanoacrylate resin and is difficult to adhere to, and is formed into a mold. However, the same applies to the following embodiments, but the method of forming the elastic member 7 is not limited to this, and a processing technique using a lithography technique used in a semiconductor process, a thick film printing technique, or a micro machine. Various forming techniques (such as electric discharge machining and plating techniques) used in the manufacturing process can be used for forming the elastic member 7 made of an inorganic material or a metal material without being limited to the resin.

【0047】以下に開示されるそれぞれの実施の形態で
も同様であるが、振動発生部2と弾性部材7からなる組
合わせが、インクドロップ吐出のためのイジェクタ11
を構成する(図7破線部)。弾性部材7の先端7aとイ
ンク8の表面8aとの距離は50μmとし、弾性部材7
の先端7aをインク表面8a上に出す。そして、図示し
ていない交流電源を用いて、外部から振動発生部2に、
基板1の剛性などとともに決まる固有の共振周波数fo
と同じ、またはその整数倍の周波数fの電圧を印加し
て、振動発生部2を励振する。
The same applies to each of the embodiments disclosed below. However, the combination of the vibration generating unit 2 and the elastic member 7 is used for the ejector 11 for ejecting ink drops.
(Broken line in FIG. 7). The distance between the tip 7a of the elastic member 7 and the surface 8a of the ink 8 is 50 μm,
Is put on the ink surface 8a. Then, using an AC power supply (not shown), the vibration
A unique resonance frequency fo determined by the rigidity of the substrate 1
Is applied, or a voltage having a frequency f that is an integral multiple thereof is applied to excite the vibration generating unit 2.

【0048】後ほど説明する他の実施の形態でも同様で
あるが、複数のイジェクタ11のうちの一つまたは複数
のイジェクタ11に選択的に電圧を印加する。この例で
は、励振周波数198kHz、電圧40Vp−p(最高
最低振幅)のバースト波を100μ秒の間印加した。そ
の結果、アドレス電極5で選択した振動発生部2から
は、直径20μmのインクドロップ9が図内矢印の方向
に安定吐出した。
The same applies to other embodiments to be described later, but a voltage is selectively applied to one or more of the plurality of ejectors 11. In this example, a burst wave having an excitation frequency of 198 kHz and a voltage of 40 Vp-p (highest and lowest amplitude) was applied for 100 μsec. As a result, an ink drop 9 having a diameter of 20 μm was stably ejected from the vibration generating section 2 selected by the address electrode 5 in the direction of the arrow in the figure.

【0049】また、弾性部材7の先端から1mmの間隔
をあけて配置した記録紙にインクドロップ9を飛翔させ
て記録したところ、同一イジェクタから連続印字した1
00ドットのドット径の平均は40μm、標準偏差は1
μm、並びの中心線に対する、ドット重心の位置ずれの
二乗平均は3μmであり、イジェクタ並び方向のドット
位置の相対位置ずれの二乗平均は3μmであった。
When recording was performed by flying the ink drop 9 on recording paper disposed at a distance of 1 mm from the tip of the elastic member 7, continuous printing was performed from the same ejector.
The average dot diameter of 00 dots is 40 μm, and the standard deviation is 1
The root-mean-square of the displacement of the dot center of gravity with respect to the center line of the dots was 3 μm, and the root-mean-square of the relative displacement of the dot positions in the ejector arrangement direction was 3 μm.

【0050】これに対し、図6(b)に示したように弾
性部材7近傍のインク断面形状が対称になるようなイン
クジェット記録ヘッドを用いて、駆動条件を微調整する
ことで単一インクドロップ飛翔させ、記録紙に印字した
ドットを調べた。その結果、同一の記録素子から連続印
字した100ドットのドット径の平均は40μm、標準
偏差は5μmであり、並びの中心線に対する、ドット重
心の位置ずれの二乗平均は10μmであり、ノズル並び
方向のドット位置の相対位置ずれの二乗平均も10μm
であった。このように、実際の印字の結果から、本実施
の形態によれば、インクドロップの安定な飛翔によって
記録媒体上でドット径のばらつきが小さく、かつドット
の位置精度が良いことを確認した。
On the other hand, as shown in FIG. 6B, by using an ink jet recording head in which the cross section of the ink near the elastic member 7 is symmetrical, the driving conditions are finely adjusted to thereby achieve a single ink drop. It was made to fly and the dots printed on the recording paper were examined. As a result, the average dot diameter of 100 dots continuously printed from the same recording element was 40 μm, the standard deviation was 5 μm, the mean square of the displacement of the dot center of gravity with respect to the center line of the array was 10 μm, and the nozzle arrangement direction was The mean square of the relative displacement of the dot positions is also 10 μm
Met. As described above, it was confirmed from the results of actual printing that, according to the present embodiment, the variation in dot diameter on the recording medium due to the stable flight of the ink drop and the dot position accuracy were good.

【0051】本発明の第2の実施の形態によるインクジ
ェット記録ヘッドの模式図を図8に示す。本実施の形態
においても、非対称なインク断面形状を形成してインク
飛翔を行わせる。本実施の形態によるインクジェット記
録ヘッドは弾性部材7についての製造方法以外は第1の
実施の形態と同様である。
FIG. 8 is a schematic view of an ink jet recording head according to a second embodiment of the present invention. Also in the present embodiment, the ink is caused to fly by forming an asymmetric ink cross-sectional shape. The ink jet recording head according to the present embodiment is the same as the first embodiment except for the method of manufacturing the elastic member 7.

【0052】弾性部材7は各振動発生部2上に厚さ15
μmの板状Alを振動発生部2に対して仰角約70度、
高さ500μmになるように設置し、シアノアクリレー
ト系接着剤によって接着した。
The elastic member 7 has a thickness of 15
μm plate-like Al with respect to the vibration generating portion 2 at an elevation angle of about 70 degrees,
It was installed so as to have a height of 500 μm and was bonded with a cyanoacrylate adhesive.

【0053】弾性部材7の先端7aとインク8の表面8
aとの距離は50μmとし、弾性部材7の先端7aをイ
ンク表面8a上に出す。そして、図示していない交流電
源を用いて、外部から振動発生部2に、基板1の剛性な
どとともに決まる固有の共振周波数foと同じ、または
その整数倍の周波数fの電圧を印加して、振動発生部2
を励振する。
The tip 7a of the elastic member 7 and the surface 8 of the ink 8
The distance to the surface a is set to 50 μm, and the tip 7a of the elastic member 7 is put on the ink surface 8a. Then, by using an AC power source (not shown), a voltage having a frequency f which is the same as the inherent resonance frequency fo determined by the rigidity of the substrate 1 or an integer multiple thereof is applied to the vibration generator 2 from the outside. Generator 2
To excite.

【0054】この例では、励振周波数325kHz、電
圧30Vp−p(最高最低振幅)のバースト波を100
μ秒の間、印加した。その結果、アドレス電極5で選択
した振動発生部から傾斜角度と同等の角度で直径15μ
mのインクドロップ9が図内矢印方向に吐出した。
In this example, a burst wave having an excitation frequency of 325 kHz and a voltage of 30 Vp-p (maximum and minimum amplitude) is set to 100
Applied for μs. As a result, from the vibration generating section selected by the address electrode 5, a diameter of 15 μ
m ink drops 9 were ejected in the direction of the arrow in the figure.

【0055】次に振動発生部に対して垂直(仰角90
度)に弾性部材を設置することで、対称なインク断面形
状を形成したインクジェット記録ヘッドと本実施の形態
のインクジェット記録ヘッドを記録紙に印字したドット
を比較した。その結果、同一の記録素子から連続印字し
た100ドットのドット径の平均はどちらも35μm程
度で変わらないが、ドット径の標準偏差および並びの中
心線に対するドット重心の位置ずれの二乗平均、ノズル
並び方向のドット位置の相対位置ずれの二乗平均はイン
ク断面形状が対称に形成されたインクジェット記録ヘッ
ドのほうが数倍に大きくなった。表1に具体的数値を示
す。
Next, it is perpendicular to the vibration generating portion (elevation angle 90
The dots printed on the recording paper were compared between the ink jet recording head having a symmetrical ink cross-sectional shape and the ink jet recording head of the present embodiment by providing an elastic member in (D). As a result, the average of the dot diameters of 100 dots continuously printed from the same recording element was not changed at about 35 μm, but the standard deviation of the dot diameter and the squared average of the displacement of the dot center of gravity with respect to the center line of the array, and the nozzle array The root-mean-square of the relative positional deviation of the dot positions in the directions was several times larger in the inkjet recording head in which the ink cross-sectional shape was formed symmetrically. Table 1 shows specific numerical values.

【0056】[0056]

【表1】 [Table 1]

【0057】このように、実際の印字の結果から、本実
施の形態によれば、インクドロップの安定な飛翔によっ
て記録媒体上でドット径のばらつきが小さく、かつドッ
トの位置精度が良いことを確認した。
As described above, from the results of actual printing, it is confirmed that according to the present embodiment, the variation in the dot diameter on the recording medium is small and the dot position accuracy is good due to the stable flight of the ink drop. did.

【0058】次に、本発明の第3の実施の形態によるイ
ンクジェット記録ヘッドの模式図を図9に示す。本実施
の形態においても、非対称なインク断面形状を形成して
インク飛翔を行わせる。本実施の形態によるインクジェ
ット記録ヘッドは弾性部材7についての製造方法以外は
第1の実施の形態と同様である。
Next, FIG. 9 shows a schematic view of an ink jet recording head according to a third embodiment of the present invention. Also in the present embodiment, the ink is caused to fly by forming an asymmetric ink cross-sectional shape. The ink jet recording head according to the present embodiment is the same as the first embodiment except for the method of manufacturing the elastic member 7.

【0059】弾性部材7は図4(d)に示すように、表
面にフッ素樹脂を塗布することにより接触角がa面<b
面になるようにして、非対称なインク断面形状を形成し
た。次に、弾性部材7の高さは500μmに作成し、先
端7aからインク8の表面8aまでの距離を50μmに
設定した。そして、図示していない交流電源を用いて、
外部から振動発生部2に、基板1の剛性などとともに決
まる固有の共振周波数foと同じ、またはその整数倍の
周波数fの電圧を印加して、振動発生部2を励振する。
As shown in FIG. 4D, the elastic member 7 is coated with a fluororesin on the surface so that the contact angle is a-plane <b.
An asymmetric ink cross-sectional shape was formed on the surface. Next, the height of the elastic member 7 was set to 500 μm, and the distance from the tip 7 a to the surface 8 a of the ink 8 was set to 50 μm. Then, using an AC power supply not shown,
A voltage having a frequency f that is the same as the inherent resonance frequency fo determined by the rigidity of the substrate 1 or an integer multiple thereof is applied to the vibration generator 2 from the outside to excite the vibration generator 2.

【0060】この例では、励振周波数243kHz、電
圧20Vp−p(最高最低振幅)のバースト波を100
μ秒の間、印加した。その結果、画像信号を入力した振
動発生部2から直径20μmのインクドロップ9が図内
矢印の方向に安定吐出した。
In this example, a burst wave having an excitation frequency of 243 kHz and a voltage of 20 Vp-p (maximum and minimum amplitude) is 100
Applied for μs. As a result, an ink drop 9 having a diameter of 20 μm was stably ejected in the direction of the arrow in the figure from the vibration generating section 2 to which the image signal was input.

【0061】次に弾性部材表面の濡れ性を同じにするこ
とで、対称なインク断面形状を形成したインクジェット
記録ヘッドと本実施の形態のインクジェット記録ヘッド
を記録紙に印字したドットを比較した。その結果、同一
の記録素子から連続印字した100ドットのドット径の
大きさはどちらも変わらなかったが、ドット径の標準偏
差および並びの中心線に対するドット重心の位置ずれの
二乗平均、ノズル並び方向のドット位置の相対位置ずれ
の二乗平均は、弾性部材表面の濡れ性を同じにして対称
なインク断面形状を形成したインクジェット記録ヘッド
のほうが数倍に大きくなった。表2に具体的数値を示
す。
Next, by making the wettability of the surface of the elastic member the same, the dots printed on the recording paper were compared between the ink jet recording head having a symmetrical ink cross section and the ink jet recording head of the present embodiment. As a result, the dot diameter of 100 dots continuously printed from the same recording element did not change, but the standard deviation of the dot diameter and the root mean square of the displacement of the dot centroid with respect to the center line of the arrangement, and the nozzle arrangement direction The mean square of the relative positional deviation of the dot positions was several times larger in the ink jet recording head in which the symmetrical ink cross-sectional shape was formed with the same wettability on the surface of the elastic member. Table 2 shows specific numerical values.

【0062】[0062]

【表2】 [Table 2]

【0063】このように、実際の印字の結果から、本実
施の形態によれば、インクドロップの安定な飛翔によっ
て記録媒体上でドット径のばらつきが小さく、かつドッ
トの位置精度が良いことを確認した。
As described above, from the results of actual printing, it is confirmed that according to the present embodiment, the fluctuation of the dot diameter on the recording medium is small and the positional accuracy of the dots is good due to the stable flight of the ink drop. did.

【0064】次に本発明の第4の実施の形態によるイン
クジェット記録ヘッドの模式図を図10に示す。本実施
の形態においても、非対称なインク断面形状を形成して
インク飛翔を行わせる。本実施の形態によるインクジェ
ット記録ヘッドは弾性部材7についての製造方法以外は
第1の実施の形態と同様である。
Next, FIG. 10 shows a schematic view of an ink jet recording head according to a fourth embodiment of the present invention. Also in the present embodiment, the ink is caused to fly by forming an asymmetric ink cross-sectional shape. The ink jet recording head according to the present embodiment is the same as the first embodiment except for the method of manufacturing the elastic member 7.

【0065】弾性部材7にはシアノアクリレート系樹脂
を使用し、第1の実施の形態の製法と同様にシアノアク
リレート系樹脂とは濡れ性が悪く、接着しにくいフッ素
樹脂に凹状部の型を用いて、弾性部材7に片方からのみ
インク供給する形状にした。
As the elastic member 7, a cyanoacrylate resin is used. As in the manufacturing method of the first embodiment, a concave mold is used for a fluororesin which has poor wettability with the cyanoacrylate resin and is difficult to adhere to. Thus, the ink was supplied to the elastic member 7 from only one side.

【0066】次に、弾性部材7の高さは500μmに作
成し、先端7aからインク8の表面8aまでの距離を6
0μmに設定した。そして、図示していない交流電源を
用いて、外部から振動発生部2に、基板1の剛性などと
ともに決まる固有の共振周波数foと同じ、またはその
整数倍の周波数fの電圧を印加して、振動発生部2を励
振させた。
Next, the height of the elastic member 7 is set to 500 μm, and the distance from the tip 7a to the surface 8a of the ink 8 is set to 6 μm.
It was set to 0 μm. Then, by using an AC power source (not shown), a voltage having a frequency f which is the same as the inherent resonance frequency fo determined by the rigidity of the substrate 1 or an integer multiple thereof is applied to the vibration generator 2 from the outside. The generator 2 was excited.

【0067】この例では、励振周波数192kHz、電
圧20Vp−p(最高最低振幅)のバースト波を90μ
秒の間、印加した。その結果、画像信号を入力した振動
発生部2から直径15μmのインクドロップ9が図内矢
印の方向に安定吐出した。
In this example, a burst wave having an excitation frequency of 192 kHz and a voltage of 20 Vp-p (maximum and minimum amplitude) is 90 μm.
Applied for seconds. As a result, an ink drop 9 having a diameter of 15 μm was stably ejected in the direction of the arrow in FIG.

【0068】次に図6(b)に示したようにインクを弾
性部材7の両側から供給することで、対称なインク断面
形状を形成したインクジェット記録ヘッドと本実施の形
態のインクジェット記録ヘッドを記録紙に印字したドッ
トを比較した。その結果、同一の記録素子から連続印字
した100ドットのドット径の大きさはどちらも変わら
なかったが、ドット径の標準偏差および並びの中心線に
対するドット重心の位置ずれの二乗平均、ノズル並び方
向のドット位置の相対位置ずれの二乗平均は、弾性部材
7の両側からインク供給して対称なインク断面形状を形
成したインクジェット記録ヘッドのほうが数倍に大きく
なった。表3に具体的数値を示す。
Next, as shown in FIG. 6B, ink is supplied from both sides of the elastic member 7 to record the ink jet recording head having a symmetrical ink cross section and the ink jet recording head of the present embodiment. The dots printed on the paper were compared. As a result, the dot diameter of 100 dots continuously printed from the same recording element did not change, but the standard deviation of the dot diameter and the root mean square of the displacement of the dot centroid with respect to the center line of the arrangement, and the nozzle arrangement direction The mean square of the relative positional deviation of the dot positions was several times larger in the ink jet recording head in which ink was supplied from both sides of the elastic member 7 to form a symmetrical ink cross section. Table 3 shows specific numerical values.

【0069】[0069]

【表3】 [Table 3]

【0070】このように、実際の印字によっても本発明
の効果である、インクドロップの安定飛翔によって記録
媒体上でドット径のばらつきが小さく、かつドットの位
置精度が良いことを確認した。
As described above, it was confirmed that the effect of the present invention even in actual printing is that the variation of the dot diameter on the recording medium is small due to the stable flight of the ink drop and that the dot position accuracy is good.

【0071】次に本発明の第5の実施の形態によるイン
クジェット記録ヘッドの模式図を図11に示す。本実施
の形態においても、非対称なインク断面形状を形成して
インク飛翔を行わせる。本実施の形態によるインクジェ
ット記録ヘッドは、弾性部材7、振動発生部2について
は第3の実施の形態と同様であるが、基板1は各イジェ
クタごとに分離し、かつ支持部13と凹状支持部14を
設けた。
Next, FIG. 11 shows a schematic view of an ink jet recording head according to a fifth embodiment of the present invention. Also in the present embodiment, the ink is caused to fly by forming an asymmetric ink cross-sectional shape. In the ink jet recording head according to this embodiment, the elastic member 7 and the vibration generating unit 2 are the same as those of the third embodiment, but the substrate 1 is separated for each ejector, and the support unit 13 and the concave support unit are separated. 14 were provided.

【0072】支持部13は、金属やセラミックなどから
なる部材を加工し、各振動発生部2に対応する基板1の
下面に接着した。また、各イジェクタを支持するために
凹状支持部14を基板1の下面に設けた。
The support portion 13 was formed by processing a member made of metal, ceramic, or the like, and was adhered to the lower surface of the substrate 1 corresponding to each vibration generating portion 2. Further, a concave support portion 14 is provided on the lower surface of the substrate 1 to support each ejector.

【0073】この例では、第3の実施の形態の同一基板
状に振動発生部2がある場合と比較するために、第3の
実施の形態と同じ条件の励振周波数、電圧、時間のバー
スト波を印加した。
In this example, in order to compare with the case where the vibration generating section 2 is provided on the same substrate in the third embodiment, the burst wave of the excitation frequency, voltage and time under the same conditions as the third embodiment is used. Was applied.

【0074】その結果、イジェクタ単体では、インクド
ロップの飛翔についての安定性の差は生じなかった。し
かし、隣接したイジェクタで同時にインクドロップを吐
出した場合では、第3の実施の形態で示した同一基板上
に振動発生部2がある構成はインクドロップ飛翔方向に
影響するものとなった。それに対し、基板1が分離さ
れ、かつ支持部13によって支持する本実施の形態で
は、隣接するイジェクタの影響はほとんど受けず、安定
したインクドロップ9が図内矢印の方向に安定吐出し
た。また、振動発生部2が各イジェクタごとに分離した
ので、各振動発生部が効率よく精密に振動できた。
As a result, there was no difference in the stability of the ink drop flying with the ejector alone. However, when ink drops are ejected simultaneously by adjacent ejectors, the configuration in which the vibration generating unit 2 is provided on the same substrate as described in the third embodiment affects the ink drop flying direction. On the other hand, in the present embodiment in which the substrate 1 is separated and supported by the support portion 13, there is almost no effect of the adjacent ejector, and the stable ink drop 9 is stably ejected in the direction of the arrow in the figure. Further, since the vibration generating section 2 was separated for each ejector, each vibration generating section could efficiently and precisely vibrate.

【0075】本発明は、上記実施の形態に限らず種々の
変形が可能である。例えば、弾性部材7の片持ち梁構造
の自由端の先端部近傍における曲げ振動の振動方向に対
して垂直な面の幅Wが、ほぼW=2λの長さとなる領域
を有するようにしてもよい。但し、λは以下の式で与え
られる。 λ={8πσ/(ρfe2)}1/3×104(μm) ここで、σは、インク表面張力(mN/m) ρは、インク密度(g/cm3) feは、励振周波数(Hz) である。こうすることにより、幅Wにおいて2山のキャ
ピラリ波を生成でき、その後1山のインク隆起部が形成
されて次の瞬間これが分離してより正確に1インク滴を
飛翔させることができるようになる。
The present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications are possible. For example, the width W of the surface perpendicular to the vibration direction of the bending vibration in the vicinity of the free end of the free end of the cantilever structure of the elastic member 7 may have a region where the length is approximately W = 2λ. . Here, λ is given by the following equation. λ = {8πσ / (ρfe 2 )} 1/3 × 10 4 (μm) where σ is ink surface tension (mN / m) ρ is ink density (g / cm 3 ) fe is excitation frequency ( Hz). By doing so, it is possible to generate two peaks of the capillary wave in the width W, and thereafter, one peak of the ink ridge is formed, and this is separated at the next moment, so that one ink droplet can fly more accurately. .

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、ノズル
を用いずに、微小な液滴を吐出することができ、特に画
像の高解像度化の要求を満たすような相当に小さい液滴
を安定に吐出することができる。特に、片持ち梁構造の
弾性部材の曲げ振動により、弾性部材の先端近傍のイン
ク表面にキャピラリ波を生成して、インクを飛翔させる
インクジェット記録ヘッドにおいて、弾性部材近傍のイ
ンク断面形状を非対称にすることによって、インクの飛
翔現象を安定化させることができるようになる。しか
も、低周波かつ低電力で駆動することができるので、エ
ネルギー効率がよく、使用可能な液体の物性範囲も広く
なる。
As described above, according to the present invention, fine droplets can be ejected without using a nozzle, and in particular, a considerably small droplet that satisfies the demand for higher resolution of an image. Can be discharged stably. In particular, the bending vibration of the elastic member having the cantilever structure generates a capillary wave on the ink surface near the tip of the elastic member to make the ink cross-sectional shape near the elastic member asymmetric in the ink jet recording head for flying ink. This makes it possible to stabilize the ink flying phenomenon. In addition, since the liquid can be driven at low frequency and with low power, the energy efficiency is good and the range of physical properties of the usable liquid is widened.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のインクジェット記録ヘッドの基本構成
の一例を示す断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating an example of a basic configuration of an inkjet recording head of the present invention.

【図2】本発明のインクジェット記録ヘッドの弾性部材
及びその表面のインクの分布の拡大図である。
FIG. 2 is an enlarged view of an elastic member of the ink jet recording head of the present invention and an ink distribution on the surface thereof.

【図3】本発明のインクジェット記録ヘッドに印加する
画像信号と駆動信号を示した図である。
FIG. 3 is a diagram illustrating an image signal and a drive signal applied to the inkjet recording head of the present invention.

【図4】本発明のインクジェット記録ヘッドの弾性部材
の断面形状とその近傍で形成されるインクの断面形状の
いくつかの例を示す図である。
FIG. 4 is a diagram showing some examples of a cross-sectional shape of an elastic member of an ink jet recording head of the present invention and a cross-sectional shape of ink formed in the vicinity thereof.

【図5】本発明のインクジェット記録ヘッドの動作原理
を説明するための図である。
FIG. 5 is a diagram for explaining the operation principle of the ink jet recording head of the present invention.

【図6】本発明のインクジェット記録ヘッドの動作原理
を説明するための図である。
FIG. 6 is a diagram for explaining the operation principle of the ink jet recording head of the present invention.

【図7】本発明の第1の実施の形態によるインクジェッ
ト記録ヘッドの構成を示す模式図である。
FIG. 7 is a schematic diagram illustrating a configuration of the inkjet recording head according to the first embodiment of the present invention.

【図8】本発明の第2の実施の形態によるインクジェッ
ト記録ヘッドの構成を示す模式図である。
FIG. 8 is a schematic diagram illustrating a configuration of an inkjet recording head according to a second embodiment of the present invention.

【図9】本発明の第3の実施の形態によるインクジェッ
ト記録ヘッドの構成を示す模式図である。
FIG. 9 is a schematic diagram illustrating a configuration of an inkjet recording head according to a third embodiment of the present invention.

【図10】本発明の第4の実施の形態によるインクジェ
ット記録ヘッドの構成を示す模式図である。
FIG. 10 is a schematic diagram illustrating a configuration of an inkjet recording head according to a fourth embodiment of the present invention.

【図11】本発明の第5の実施の形態によるインクジェ
ット記録ヘッドの構成を示す模式図である。
FIG. 11 is a schematic diagram illustrating a configuration of an inkjet recording head according to a fifth embodiment of the present invention.

【図12】従来のノズルを用いないインクジェット記録
ヘッドの一例を示す図である。
FIG. 12 is a diagram illustrating an example of a conventional inkjet recording head that does not use nozzles.

【図13】中立軸、中立面を説明する図である。FIG. 13 is a diagram illustrating a neutral axis and a neutral surface.

【図14】中立軸、中立面を説明する図である。FIG. 14 is a diagram illustrating a neutral axis and a neutral surface.

【図15】中立軸、中立面を説明する図である。FIG. 15 is a diagram illustrating a neutral axis and a neutral surface.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 基板 2 振動発生部 3 圧電体 4、5 電極 6 保護膜 7 弾性部材 7a 弾性部材先端 7c 弾性部材表面 8 インク 8a インク表面 9 インクドロップ 10 インクリザーバ 11 イジェクタ 12 外部駆動部 13 支持部 14 凹状支持部 15 集音体 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate 2 Vibration generation part 3 Piezoelectric body 4, 5 electrode 6 Protective film 7 Elastic member 7a Elastic member tip 7c Elastic member surface 8 Ink 8a Ink surface 9 Ink drop 10 Ink reservoir 11 Ejector 12 External drive part 13 Support part 14 Concave support Part 15 Sound collector

フロントページの続き (72)発明者 林 和廣 神奈川県足柄上郡中井町境430 グリーン テクなかい 富士ゼロックス株式会社内Continued on the front page (72) Inventor Kazuhiro Hayashi 430 Border, Nakai-cho, Ashigarakami-gun, Kanagawa Prefecture Green Tech Nakai Inside Fuji Xerox Co., Ltd.

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】画素信号に対応して振動する振動発生手段
と、 インクに接触する先端部を有し、前記振動発生手段の励
振に応じて曲げ振動し、前記先端部の曲げ変形の中立軸
に対して垂直な面で切断した前記インクの断面形状を中
立面に対して非対称にさせる片持ち梁構造の弾性部材と
を備え、 インクの表面にキャピラリ波を発生させて、前記インク
を飛翔させて記録媒体に付着させることを特徴とするイ
ンクジェット記録ヘッド。
A vibration generating means for vibrating in response to a pixel signal; and a tip portion which comes into contact with ink, wherein the bending portion vibrates in response to excitation of the vibration generating means, and a neutral axis of bending deformation of the tip portion. An elastic member having a cantilever structure that makes the cross-sectional shape of the ink cut in a plane perpendicular to the surface of the ink asymmetric with respect to a neutral plane; An ink jet recording head characterized by causing the recording head to adhere to a recording medium.
【請求項2】請求項1記載のインクジェット記録ヘッド
において、 前記曲げ変形の中立軸に対して垂直な面で切断した前記
先端部の断面形状は、前記曲げ変形の中立面に対して非
対称であることを特徴とするインクジェット記録ヘッ
ド。
2. The ink jet recording head according to claim 1, wherein a cross-sectional shape of said tip section taken along a plane perpendicular to a neutral axis of said bending deformation is asymmetric with respect to said neutral plane of said bending deformation. An ink jet recording head, comprising:
【請求項3】請求項1または2に記載のインクジェット
記録ヘッドにおいて、 前記先端部は、互いに濡れ性の異なる一表面及び他表面
を有していることを特徴とするインクジェット記録ヘッ
ド。
3. The ink jet recording head according to claim 1, wherein the tip has one surface and another surface having different wettabilities from each other.
【請求項4】請求項1または2に記載のインクジェット
記録ヘッドにおいて、 前記先端部は、一表面のみに前記インクが供給されるこ
とを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
4. The ink jet recording head according to claim 1, wherein the ink is supplied to only one surface of the front end portion.
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